Sie betrifft grundsätzlich die Werkstucktragertechnik für Vaku- umbehandlungs-, insbesondere Vakuumbeschichtungsanlagen. Ziel der Werkstucktragertechnik ist es dabei immer, die Werkstücke so an Behandlungsquellen, wie insbesondere Beschichtungsquellen und Ätzquellen, vorbeizubewegen, dass eine möglichst gleichmä- ssige Behandlungswirkung, insbesondere Beschichtungsdicke und- qualität, an allen zu behandelnden Flache der Werkstücke si- chergestellt wird.

In der nicht vorveröffentlichten Schweizer Patentanmeldung Nr.

2278/97 bzw. 1736/98, jeweils vom 25.9.97 bzw. 25.8.98, ist ein Planetensystem-Werkstücktrager beschrieben, der wie folgt auf- gebaut ist : Es ist ein mit einem anlageseitigen Antrieb koppelbares, bezüg- lich Anlage um eine Achse drehbares, erstes System vorgesehen.

Dieses erste Drehsystem wird im folgenden als Sonnensystem be- zeichnet.

Bezüglich des Sonnensystems ist an letzterem, mit Drehachse versetzt und parallel bezüglich derjenigen des Sonnensystems, ein zweites Drehsystem, im weiteren Planetensystem genannt, vorgesehen, dessen Drehbewegung durch lösbaren Eingriff auf das durch die Anlage bzw. Kammer gebildete Bezugssystem erstellt wird.

Am Planetensystem ist ein drittes Drehsystem, im weiteren Mond- system genannt, vorgesehen, welches mit Drehachse parallel zur Planetensystem-und Sonnensystemachse drehgelagert ist. An den Mondsystemen werden die Werkstücke in Eigenrotation versetzt.

Werkstucktrager dieser Art mit Dreifachdrehbewegung werden ins- besondere bei relativ kleinen Werkstücken angewandt, um sie an anlagenfesten Behandlungsquellen, wie Beschichtungsquellen, vorbeizufuhren und allseitig regelmassig zu behandeln.

An der vorbeschriebenen Werkstucktrageranordnung werden die Mondsysteme intermittierend in Drehbewegung versetzt. Dies, in- dem sie mit der Sonnensystemdrehbewegung und der überlagerten Planetendrehbewegung an Anschlägen vorbeigeführt werden, welche federartig ausgebildet auf eine ratschenartige Verzahnung an den Mondsystemen einwirken. Schwergangige Mondsysteme laufen dabei ohne Drehinkrementierung an den Anschlagen vorbei, was entsprechend negative Folgen auf die gleichförmige Werkstückbe- handlung hat. Generell bedeutet die ruckartige inkrementale Drehbewegung der Mondsysteme, dass, vor allen bei relativ kur- zen Behandlungszeiten, insbesondere Beschichtungszeiten der Werkzeuge und entsprechend vorgesehener geringer Behandlungs- wirkung bzw. geringer Schichtdicke, aufgrund von statistischen Schwankungen bezüglich der federnden Anschlagseingriffe und der daraus resultierenden Ausrichtung der Substrate zu Behandlungs- quellen, negative Auswirkungen auf die Behandlungshomogenitat an den Werkstücken resultiert.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, den erwahnten Werk- stückträger weiterzubilden und dabei die genannten Nachteile zu beheben. Dies wird an einem Planetensystem-Werkstücktråger ein- gangs genannter Art durch dessen Ausbildung nach Anspruch 1

realisiert. Dadurch, dass die Antriebsverbindung zwischen Son- nensystem und Mondsystem ununterbrochen erstellt ist, wird eine kontinuierliche Mondsystem-Drehbewegung realisiert. Bevorzug- terweise wird die Antriebsverbindung als Zwangsantriebsverbin- dung realisiert, so dass die Mondysteme zwingend in Drehbewe- gung versetzt werden.

Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemassen Werkstück- trageranordnung sind in den Ansprüche 2 bis 8 spezifiziert, ein erfindungsgemässes Behandlungsverfahren für Werkstücke in An- spruch 10.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Figuren beispielswei- se erläutert. Es zeigen : Fig. 1 schematisch, das Prinzip und die Funktionsweise einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemassen Werk- stückträgers zur Durchführung des erfindungsgemassen Behandlungsverfahrens, Fig. 2 vereinfacht und in teilschematischer Ansicht, einen Ausschnitt an einer bevorzugten Realisationform des erfindungsgemassen Werkstückträgers, dem Funkti- onsprinzip gemass Fig. 1 folgend, Fig. 3 den Eingriff einer Planetensystem-Partie auf eine Son- nensystem-Partie, wie bevorzugt bei der Ausführungs- form gemäss den Fig. 1 und 2 realisiert, Fig. 4 in Darstellung analog zu derjenigen von Fig. 1, das Prinzip einer weiteren Ausführungsform eines erfin- dungsgemässen Werkstückträgers,

Fig. 5 in Darstellung analog zu Fig. 2, einen Ausschnitt ei- ner bevorzugten Realisationsform des erfindungsgema- ssen Werkstucktragers, realisiert dem Prinzip gemass Fig. 4 folgend, Fig. 6 in Darstellung analog zu den Fig. 1 bzw. 4, eine drit- te prinzipielle Realisationsvariante eines erfindungs- gemassen Werkstückträgers, Fig. 7 in Darstellung analog zu den Fig. 2 bzw. 5, einen Aus- schnitt einer bevorzugten Realisationsform erfindungs- gemässer Werkstuckträger, dem Prinzip nach Fig. 6 fol- gend, Fig. 8 in einer Darstellung analog zu den Fig. 1 bzw. 4 bzw.

6, das Prinzip einer weiteren Ausführungsform erfin- dungsgemässer Werkstücktråger, Fig. 9 in Darstellung analog zu den Fig. 2,5 bzw. 7, einen Ausschnitt einer bevorzugten Realisationsform erfin- dungsgemässer Werkstückträger, dem Prinzip nach Fig. 8 gehorchend, Fig. 10a eine schematische Darstellung einer weiteren bevorzug- ten Antriebsverbindung zwischen Sonnen-und Planeten- system, und Fig. 10b die Anordnung nach Fig. 10a, schematisch, in Aufsicht.

In Fig. 1 ist-aus Übersichtsgründen schematisch-eine erste Ausführungsvariante eines erfindungsgemässen Planetensystem- Werkstückträgers 100 dargestellt. Ein Drehantrieb 1 wirkt zwi- schen Kammerwand 3, als mechanisches Bezugssystem der Anord- nung, und mindestens einem wie aber eine Kupplung 5 loubar mit

dem Antrieb 1 antriebsgekoppelten erfindungsgemässen Werkstück- träger 100. Dabei ist der Drehantrieb üblicherweise ausserhalb der Kammer mit der Kammerwand 3 angeordnet und mit einer vaku- umdichten Drehdurchführung durchgeführt. Der Werkstückträger 100 weist eine Sonnensystemachse 7 auf, am mechanischen Bezugs- system 3 drehgelagert. Diese führt, getrieben, die Sonnendreh- bewegung Mg aus. Am drehfest mit der Sonnensystemachse 7 ver- bundenen mindestens einen Sonnenrad 9 ist ein oder sind mehrere Planetenachsen 11 parallel zur Sonnensystemachse 7 drehgela- gert. Sie stehen aber ein Planetenantriebsrad 13, vorzugsweise über ein Zahnrad kämmend, mit einem bezüglich des mechanischen Bezugssystems 3 festen Übertragerring 15 in Eingriff, welcher Ring 15 koaxial zur Sonnensystemachse 7 angeordnet ist.

Bei Drehantrieb des Sonnensystems um die Sonnensystemachse 7 erfahrt die Planetenachse 11 die Planetendrehung o) p.

An der mindestens einen Planetenachse 11 ist mindestens ein Planetenrad 17 drehfest angeordnet, woran, parallel zur Plane- tenachse 11, mindestens eine Mondachse 19 drehgelagert ist. Be- züglich der Planetenachse 11 frei drehbeweglich ist, hierzu koaxial, ein Ubertragerrad 21, vorzugsweise Übertragerzahnrad, vorgesehen, welches mit einem an der Mondachse 19 drehfesten Mondantriebsrad 29, vorzugsweise als Zahnrad ausgebildet, in Eingriff steht.

Am Übertragerzahnrad 21 ist ein Anschlagbügel 25 befestigt, welcher, bei seiner Schwenkbewegung um die Planetenachse 11, schliesslich mit einem Anschlag 27 am Sonnensystem mit Sonnen- rad 9, bei P, in Anschlagsverbindung kommt.

Bei Planetendrehung (Dp und entsprechender Drehung der Mondachse 19 um die Planetenachse 11, kommt der Anschlagbügel 25 am An-

schlag 27 zum Stillstand, worauf das Mondantriebsrad 29 in Ro- <BR> <BR> <BR> <BR> tation versetzt wird. Das Mondsystem dreht-Om ~ t solange der Antrieb des Sonnensystems erstellt ist, ununterbrochen.

Am Mondsystem ist ein Werkstückhalter für mindestens ein in der Kammer zu behandelndes Werkstück vorgesehen.

In Fig. 2 ist eine Realisationsform des prinzipiell anhand von Fig. 1 erläuterten erfindungsgemassen Planetensystem- Werkstücktragers dargestellt. Für bereits anhand von Fig. 1 er- läuterte Teile werden die gleichen Bezugszeichen verwendet. Die Funktionsweise der bevorzugt wie in Fig. 2 realisierten Anord- nung nach Fig. 1 ergibt sich ohne weiteres aus den Erläuterun- gen zu Fig. 1.

Dabei gilt zusatzlich : Werkstuckhalter 31 sind an den Mondach- sen 19 befestigt. Das Sonnensystem ist als Kafig aufgebaut, mit dem Sonnenrad 9, Längsstaben 33 und 35 sowie Speichen 37 und 39. Es ist ersichtlich, dass die äusseren Längsstäbe 35 gleich- zeitig, gemass Fig. 1, als Anschlag 27 wirken. Die Planetenach- sen 11 sind, wie bei 41 dargestellt, oben an Stiftlagern gela- gert, was ein leichtes Entfernen bzw. Wiedereinfügen des jewei- ligen Planetensystems mit den Mondsystemen ermöglicht. Hierzu sind die Planetenachsen 11 unten bevorzugterweise und wie bei 43 dargestellt kegelgelagert.

Die drehfest an der Planetenachse 11 gelagerten und bevorzug- terweise axial auf diese aufschiebbaren Planetenrader 17 werden durch Distanzhulsen 45 auf Abstand gehalten, welche ebenfalls über die Planetenachse 11 aufschiebbar sind. Die Führung der Übertragerzahnräder 21 kann, bei entsprechend enger Bemessung ihrer Zentrumsöffnung, an den jeweiligen Distanzhülsen 45 er- folgen. Die Übertragerzahnräder 21 können bei drei und mehr zu-

geordneten Mondsystemen durch deren Mondantriebsrader 29 ge- führt sein, was ermöglicht, die Zentrumsöffnung der Ubertrager- zahnrader 21 material-und gewichtssparend gross auszubilden, und was weiter eine geringere Lagerreibung ergibt.

Sollen die Rader 21 mondsystemgeführt werden, so werden bevor- zugt am jeweiligen Planetenrad 17 mindestens funf Mondsysteme vorgesehen. Im weiteren können gegebenenfalls Stützräder 47 oder Gleitstützen (nicht dargestellt) an den Ubertragerzahnra- dern 21 und/oder Planetenrädern 17 vorgesehen sein, um die Übertragerräder zu führen.

Eine weitere Konstruktionsvariante besteht darin, die Planeten- rader 17 drehfest mit den Distanzhülsen 45 zu verbinden und letztere als Lagerbüchsen far die genannten Ubertragerrader 21 einzusetzen.

Bei der Ausfuhrungsform gemass Fig. 1 bzw. Fig. 2 ergibt sich, dass bei Einsetzen der Sonnendrehbewegung Mg die Mondsysteme erst dann in Eigendrehung m versetzt werden, wenn die Plane- tendrehbewegung (Dp die jeweiligen Anschlagbügel 25 an den An- schlägen bzw. Längsstäben 27 bzw. 35 in Anschlag gebracht hat.

In Fig. 3 ist, gemäss Linie III-III von Fig. 2 geschnitten, ein Längsstab 35 dargestellt und die bevorzugte Ausformung des An- schlagbügels 25 in seinem Endbereich. Mit einer U-förmigen Ein- formung 49 ist der Bügel 25 schwenkfest an dem als Anschlag 27 wirkenden Längsstab 35 gelagert, womit verzugslos bei Einsetzen der Sonnendrehbewegung o)., auch die Monddrehbewegung o) m ein- setzt.

Die Ausformung der Anschlagbügel 25 wird den unterschiedlichen Werkstück-Formen und-Grossen bzw. der Mondsystemauslegung an- gepasst.

Wie aus Fig. 2 erkenntlich, können bevorzugterweise am Sonnen- system wahlweise mehrere Planetensystem mit ihren Achsen 11 vorgesehen werden, an den Planetensystemen jeweils wahlweise mehrere Planetenräder 17 und an letzteren wahlweise jeweils mehrere Mondsysteme, weiter an einem Antrieb 1 bzw. in einer Kammer gemäss 3 mehrere Werkstückträger 100.

Um bei einem eventuellen Blockieren einer Mondbewegung oder ei- ner Planetenbewegung zu verhindern, dass der gesamte erfin- dungsgemässe Werkstückträger verklemmt wird, können am erfin- dungsgemässen Werkstucktrager Sollbruchstellen 51 eingebaut werden, um damit den Schaden auf einen möglichst kleinen Teil der jeweiligen Charge zu begrenzen. Bevorzugterweise können solche Sollbruchstellen, bei der Ausführungsform gemass den Fig. 1 bis 3, an den Endpartien der Anschlagsbügel 25 vorgese- hen sein. Durch einfache Überprüfung der jeweiligen Anschlagbü- gel 25 kann nachmals festgestellt werden, ob alle Mondsysteme ordnungsgemass bewegt wurden. Hierzu können die an Sollbruch- stellen 51 abbrechenden Endbereiche der Anschlagsbügel 25 op- tisch auffällig gekennzeichnet, z. B. bemalt, werden. Es können z. B. dort auch optoelektronische, kapazitiv oder induktiv bzw. magnetisch detektierbare Partien vorgesehen sein, um im Betrieb die Drehbewegungen in der Kammer 3 zu überwachen.

Eine weitere Kontrollmöglichkeit für ordnungsgemässes Funktio- nieren der erfindungsgemässen Werkstückträger ergibt sich durch Messung der am Antriebsmotor 1 aufgenommenen Leistung. Wird ei- ner der am Antriebsmotor 1 gemäss Fig. 1 angekoppelten erfin-

dungsgemässen Werkstücktrager 100 blockiert, so steigt mit zu- nehmendem Lastmoment die aufgenommene Motorenleistung. Damit kann ein Alarmsignal und/oder eine automatische Abschaltung ausgelöst werden. Auf diese Weise ist es möglich, im Schadens- fall, die Chargenbearbeitung frühzeitig zu unterbrechen, die erkannte Störung zu beheben und anschliessend den Bearbeitungs- prozess dort fortzusetzen, wo er unterbrochen wurde.

In Fig. 4 ist, in Darstellung analog zu derjenigen von Fig. 1, schematisch eine weitere Ausfuhrungsvariante eines erfindungs- gemässen Werkstückträgers 100 dargestellt. Es sind dieselben Bezugszeichen wie in Fig. 1 für Teile eingesetzt, die auch bei der Ausführungsform gemäss Fig. 4 vorgesehen sind.

Es fallen Bügel 25 mit Übertragerrad 21 sowie Anschlag 27 ge- mass Fig. 1 weg. An deren statt ist an einem Hilfsplanetenrad 17', pro Mondsystem und mit zur Planetenachse 11 paralleler Drehachse 62, ein Ubertragerrad 60, vorzugsweise wiederum ein Zahnrad, drehgelagert. Das Rad 60 steht mit einer koaxial um die Planetenachse 11 umlaufenden (nicht dargestellt) Ubertra- gerfläche 64-als Zahnrad 60 ausgebildet mit einem Zahnkranz kämmend-in Eingriff. Ein weiteres, an der Drehachse 62 dreh- festes Übertragerrad 66, vorzugsweise ein Zahnrad, steht in Eingriff mit einem koaxial um die Planetenachse 11 umlaufenden Übertragerring 68, vorzugsweise ausgebildet als innen-und aus- senverzahnter Ring. Mit der Innenflache des Ringes 68 steht das Übertragerrad 66 in Eingriff, mit der Aussenfläche das Mondan- triebsrades 29. Der Übertragerring 68 ist am Planetenrad 17 gleitgelagert. Durch entsprechende Bemessung insbesondere der Ubertragerrader 66 und des Ubertragerringes 68 kann die Mondum- laufgeschwindigkeit den Bedürfnissen entsprechend angepasst werden. Somit kann die Monddrehbewegung (o. beispielsweise so

langsam eingestellt werden, dass zwar die daran vorgesehenen Werkstücke noch gleichmässig und allseitig behandelt, insbeson- dere beschichtet, werden, gleichzeitig aber die Mondsystem- drehlager einem minimalen Verschleiss ausgesetzt sind.

In Fig. 5 ist eine Realisationsform der schematisch anhand von Fig. 4 dargestellten Variante eines erfindungsgemässen Plane- tensystem-Werkstückträgers dargestellt. Weiterhin werden fur bereits vorbeschriebene Teile dieselben Bezugszeichen verwen- det. Ohne weiteres ergibt sich insbesondere aufgrund der Ver- wendung derselben Bezugszeichen der Aufbau der erfindungsgemas- sen Werkstuckträger nach Fig. 5 aus den Erlauterung zu Fig. 4.

Zudem ist ersichtlich : Die Übertragerflache 64 gemass Fig. 4 ist als innenverzahnter Ring an Halteankern 70 montiert, welch letztere am Sonnenrad 9 fixiert sind.

Dem bisher gewahlten Vorgehen folgend, ist in Fig. 6, analog zu den Fig. 1 bzw. 4, wiederum schematisch, das Prinzip einer wei- teren Ausführungsvariante des erfindungsgemässen Werkstucktra- gers 100 dargestellt. Es wird Bezug genommen auf die Ausfüh- rungsvariante gemäss Fig. 1 bzw. Fig. 2. Bei der Ausfuhrungs- form gemäss Fig. 6 entfallen, mit Blick auf Fig. 1, wiederum Übertragerrad 21, Anschlagbügel 25 und Anschlag 27. An deren statt ist am Sonnenrad 9 eine umlaufende Ubertragerfläche 72 vorgesehen, vorzugsweise in Form eines koaxialen um die Plane- tenachse 11 umlaufenden (in Fig. 6 nicht dargestellt) innenver- zahnten Ringes. Das Mondantriebsrad steht mit der Ubertrager- fläche 72 in Antriebsverbindung. Sofern das Mondantriebsrad 29 ein aussenverzahntes Zahnrad ist, kammt es mit der die Ubertra- gerfläche 72 bildenden Verzahnung des koaxial um die Plane- tenachse 11 angeordneten Ringes am Sonnenrad 9.

Auch hier kann durch entsprechende Dimensionierung der Monan- triebsrader 29 und der Übertragerflache 72, insbesondere deren gegenseitige Verzahnung, das Ubersetzungsverhaltnis in begrenz- tem Rahmen verstellt werden.

In Analogie zu den Fig. 2 und 5 ist in Fig. 7 ein bevorzugte Ausfuhrungsform der erfindungsgemassen Werkstucktragervariante gemäss Fig. 6 dargestellt. Daraus ist ersichtlich, dass die Ubertragerfläche 72, in Form der Innenverzahnung eines Zahnrin- ges 72a, jeweils auf der Hoche der Umlaufbahn der Mondantriebs- räder 29, mittels Halteankern 74 am Sonnenrad 9 gelagert sind.

Dabei können die Ringe 72a, auf den Halteankern 74, mit (nicht dargestellten) Abstandshaltebüchsen auf Abstand gehalten, auf diese Anker aufgesteckt werden. Damit ist eine rasche Ringmon- tage in den einzelnen Mondbewegungsebenen möglich.

In Fig. 8 ist, wiederum analog zum bisherigen Vorgehen, schema- tisch das Prinzip einer weiteren Ausführungsvariante eines er- findungsgemässen Planetensystem-Werkstuckträgers dargestellt.

Es sind weiterhin dieselben Bezugszeichen für selbe Teile ein- gesetzt. Mit Bezug auf Fig. 1 fallen bei der Ausfuhrungsform nach Fig. 8 wiederum Übertragerrad 21, Anschlagbügel 25 und An- schlag 27 weg. An deren statt ist drehfest an der Planetenachse 11 ein Hilfsplanetenrad 17', vorzugsweise in Form eines Zahnra- des, vorgesehen, welches mit einem Übertragerrad 76, vorzugs- weise wiederum einem Zahnrad, in Eingriff steht bzw. kämmt.

Dies treibt eine am Sonnenrad 9 lösbar drehgelagerte, zur Son- nenachse 7 parallele Übertragerachse 78, welche auf der Hoche der jeweiligen Mondantriebsrader 29 jeweils ein abtriebsseiti- ges tbertragerrad 80, wiederum vorzugsweise in Form eines Zahn- rades, trägt. Übertragerrad 80 einerseits und Mondantriebsrad

29 anderseits stehen je mit Innen-bzw. Aussenubertragerflachen 82/84 eines Ubertragerringes 86 in Eingriff, vorzugsweise in Verzahnungsreingriff. Der Ring 82 ist (in Fig. 8 aus Uber- sichtsgründen beabstandet dargestellt) am jeweiligen Planeten- rad 17 geführt und erstreckt sich koaxial um die Planetenachse 11. Wiederum kann durch entsprechende Dimensionierung der ver- schiedenen Ubertrager, nämlich 17', 76,80,82 und 84 an 86, das Ubersetzungsverhältnis zwischen Sonnensystem-Drehbewegung o),, und Mondsystem-Drehbewegung (o,, eingestellt werden. Dabei können die Übertragerräder 80 sowie ggf. der Übertragerring 82 bei Chargiervorgangen leicht ausgewechselt werden. Die Ubertra- gerräder 80 können drehfest auf die Übertragerachse 78 aufge- schoben werden, wobei zwischen einzelnen Ubertragerradern 80 jeweils Distanzhülsen über die Übertragerachse 78 geschoben werden.

In Fig. 9 ist, in Analogie zu den Fig. 2,5 und 7, eine bevor- zugte Realisationsform der anhand von Fig. 8 schematisch erlau- terten Ausführungsvariante des erfindungsgemässen Werkstücktrã- gers dargestellt. Bei Wahl der bisher verwendeten Bezugszeichen und derjenigen, welche anhand von Fig. 8 eingefuhrt worden sind, ergibt sich für den Fachmann der Aufbau und die Funkti- onsweise der in Fig. 9 dargestellten Ausfuhrungsform ohne wei- teres.

In Fig. 10 ist eine besonders einfache und damit bevorzugte Ausführungsvariante der Antriebsverbindung zwischen Sonnensy- stem und Planetensystem, so beispielsweise gemäss Fig. 1 zwi- schen den Sonnenachse 7 und dem Planetenrad 17 wirkend, darge- stellt. Diese Anordnung kann mit allen beschriebenen weiteren Vorkehrungen zum Drehantrieb der Mondsysteme kombiniert werden, kann aber auch bei Systemen eingesetzt werden, bei denen ledig-

lich ein Sonnen/Planetensystem realisiert ist, d. h. kein dre- hendes Mondsystem.

Gemäss Fig. 10a, weiterhin die bereits eingefuhrten Bezugszei- chen verwendend, ist an der Sonnenachse 7, wie erläutert wurde von einem hier nicht dargestellten, ausserhalb der Vakuumkammer angeordneten Antrieb 1 getrieben, das Sonnenrad 9 gelagert. Es trägt, seinerseits daran drehgelagert, das Planetenrad 17, ge- mäss Fig. 1 (hier nicht nochmals dargestellt) sowie ein Plane- tenantriebsrad 13'. Die Sonnenachse 7 läuft zentral durch ein feststehendes Antriebsrad 88. Wie sich insbesondere aus der schematischen Aufsicht aus Fig. 10b entnehmen lasst, lauft ein Antriebsriemenelement 90 um das zentrale, feststehende An- triebsrad 88 sowie um die vorgesehenen Planetenantriebsrader 13'um. Die Rotationsgeschwindigkeit (Op der Planetenräder ist dabei uber das Durchmesserverhältnis von Sonnenrad 9 und Plane- tenantriebsrad 13'in weiten Bereichen frei wahlbar bzw. ein- stellbar. Die Planetenrader 13'rollen bei dieser Anordnung am Antriebsriemenelement 90 ab.

Mit Hilfe der erfindungsgemässen Planetensystem-Werkstückträger wird eine kontinuierliche Drehbewegung der Mondsysteme sicher- gestellt, was insbesondere auch bei kurzen Behandlungszeiten an den Mondsystemen abgelegter Werkstücke in einer Vakuumbehand- lungsanlage, insbesondere in einer Beschichtungsanlage, zu ei- ner regelmässigen, allseitig gleichmassigen Behandlung fuhrt.

Bezugszeichenliste 1 Drehantrieb 3 Wand, Bezugssystem 5 Kupplung 7 Sonnensystemachse 9 Sonnenrad 11 Planetenachse 13 Planetenantriebsrad <BR> <BR> 13'Planetenantriebsrad<BR> <BR> 15 Übertragerring 17 Planetenrad 17'Hilfsplanetenrad 19 Mondachse <BR> <BR> 21 Ubertragerrad<BR> <BR> 23 Ubertragerrad 25Anschlagbügel 27 Anschlag 29 Mondantriebsrad 31 Werkstückhalter 33 Längsstäbe 35 Längsstãbe 37 Speichen 39 Speichen <BR> <BR> 41 Stiftlager<BR> <BR> <BR> 43 Kegellager 45 Distanzhulsen 47Stützräder 49 Einformung 51 Sollbruch 60 Übertragerrad

62 Drehachse 64Übertragerfläche 66 Übertragerrad 68Übertragerring 70 Halteanker 72Übertragerfläche 72aÜbertragerfläche 74 Halteanker 76Übertragerrad 78Übertragerachse 80 Übertragerrad 82/84Übertragerflächen 86 Übertragerringe 88 Antriebsrad 90 Antriebsriemenelement 100Werkstückträger