図1.Aは本発明の具体的な一実施例に係る� ��ラズマ発生装置100の構成を示す断面図であ� ��。図1.Bは、図1.Aのプラズマ発生装置100の電� ��2a及び2bの形状の詳細を示す図である。

 図1.Aのプラズマ発生装置100は、アルミナ(Al ₂ O ₃ )を原料とする焼結体から成る筒状の筐体部10 を有し、その両端の開口が、ガス導入口10i及 びガス噴出口10oである。筐体部10内部のガス� ��入口10iの近傍に電極2a、筐体部10内部のガス 噴出口10oの近傍に電極2bが配置されている。� ��極2a及び2bの互いに対向する面は、図1.Bに示 すように、深さ0.5mm程度の凹部(ホロー)Hを多� ��有した凹凸面となっている。筐体部10は、� �径2~5mm、厚さ0.2~0.3mm、長さ25cmの管状であり� �電極2a及び2bの筐体10の長手方向に垂直な断� �は、直径1mm程度である。電源は、商用交流� �圧である60Hz、100Vを約9kVに昇圧した電源を用 い、電極2a、2b間に90kVの電圧が印加される。� ��極2a、2b間を流れる電流は、20mAである。、� �ルゴンをガス導入口10iから導入すると、電� �2a及び2bを、筐体部10の長手方向に、最大24cm� ��で離間してもプラズマ(図1.Aで符号Pを付し� �斜線領域)が発生した。
 電極2a及び2b間を長さ24cmとして、筒状の筐� �部10の内径を変化させたところ、内径3mm以下 で安定して放電した。また、筒状の筐体部10� ��内径を3mmとして、電極2a及び2b間の長さを変 化させたところ、距離24cm以下で安定して放� �した。

 図1.Aのプラズマ発生装置100において、酸素( O ₂ )を導入しプラズマ化することで、例えば煤� �分解可能である。即ち、プラズマ発生装置10 0をディーゼル排気ガスの浄化に用いうるこ� �がわかる。即ち、図1.Aのプラズマ発生装置10 0において、酸素(O ₂ )及び処理前排気ガス(S)をガス導入口10iから� �入し、電極2a、2b間に交流電圧を印加するこ� ��で、ガス噴出口10oからは酸素(O ₂ )と、二酸化炭素(CO ₂ )及び水(H ₂ O)を含んだ処理済み排気ガス(S’)が得られる� ��

 図2.Aは本発明の具体的な他の実施例に係� ��プラズマ発生装置110の構成を示す断面図で� ��る。図2.Bは、図2.Aのプラズマ発生装置110の� ��ラズマ化領域Pの長手方向に垂直な断面図(� �分図)である。

 図2.Aのプラズマ発生装置110は、アルミナ(Al ₂ O ₃ )を原料とする焼結体から成る筐体部11を有す る。筐体部11は、直方体形状で構成している� ��筐体部11の上部には、図2.Aに示すように、� �ラズマ化領域Pの長さ方向に伸びたスリット� ��のガス導入口11iが形成されている。また、� ��体部11の下部には、ガスを流れの方向に沿� �て噴射する噴出口11oが、複数、筐体部11の長 手方向に沿って配列されている。ガス噴出口 11oのガス流に垂直な断面は、内径1~2mmの円形� ��ある。したがって、噴射口11oは、プラズマ� ��領域Pから、プラズマを外部に噴射する口ま での部分を意味し、多数の円筒状に形成され ている。

 ガス導入口11iからプラズマ化領域Pの直上 まで、スリット状のガス案内通路13が形成さ� ��ている。ガス案内通路13のガス流及びプラ� �マ化領域Pの長手方向に垂直な方向の幅は(図 2.A紙面に対して前後方向、図2Bの左右方向)は 、1mmである。内径1~2mmの筒状から成るガス噴� ��口11oはプラズマ化領域Pの長手方向に沿って 一直線状に形成されている。

 プラズマ化領域Pは、筐体部11の内部に形� ��された、直方体の内部空間であり、その直� ��体の両端部に、電極2a、2bが配設されている 。プラズマ化領域Pは、長手方向に垂直な断� �の一辺を2~5mmの正方形とし、長さを4cmとした 。しかし、ガス流及びプラズマ化領域Pの長� �方向に垂直な幅を2~5mmとする断面長方形に、 プラズマ化領域Pを形成しても良い。

 電極2a及び2bは実施例1で用いたものと同� �形状のものを用いた。電源は、商用交流電� �である60Hz、100Vを約9kVに昇圧し、通電電流を 20mAとした。電極2a、2b間に、この電圧を印加� ��て、電極2a、2b間に20mAの電流を供給した。� �して、アルゴンをガス導入口11iから導入し� �ところ、電極2a及び2b間において、線状の安� ��した放電が観測され、プラズマが発生して� ��ることが確認された。電極2a及び2bを、4cm迄 離間しても、安定した線状のプラズマが確認 された。

 プラズマ発生装置110は、液晶表示器のガラ� ��基板において、異方性導電フィルム(ACF)を� �付する部分を、ACFを貼付する前に洗浄する� �とで、ACFの基板に対する接着度を向上させ� �ことができる。
 また、電極2a及び2bの間隔を4cmとして、プラ ズマ化領域Pの長手方向に垂直な正方形の断� �の一辺の長さを変化させたところ、一辺が5m m以下において、安定した線状のプラズマが� �成された。また、プラズマ化領域Pの正方形� ��面の一辺の長さを5mmとして、電極2a及び2bの 間隔を変化させたところ、距離4cm以下におい て、安定した直線状のプラズマが生成された 。

 このように、本実施例によると、電極2a� �2b間で、安定して線状の放電が実現でき、こ の線状放電に垂直な方向からガスを流すこと により、線状に発生したプラズマを板状の層 流として、連続てき供給することができる。 したがって、プラズマ化領域Pの長手方向に� �って、多数配列された噴射口11oからは、線� �のプラズマが連続して供給されることにな� �。このプラズマ発生装置を、被処理物体に� �して、相対的に、ガス流及び長手方向に垂� �に移動させることで、被処理物体を広範囲� �渡って、プラズマ処理することが可能とな� �。

 噴射口11oのガス流に垂直な断面形状は、� ��形の他、スリット形状、長方形、多角形、� ��円など任意である。また、プラズマ化領域P の長手方向に伸びた単一のスリットで構成し ても良い。また、プラズマ化領域Pからガス� �噴射する口までの長さ、すなわち、噴射口11 oの経路長は、噴射口11oの壁面で電子を捕獲� �るのに必要な長さとすることができる。こ� �により、被処理物体に対して電子が照射さ� �ることが防止される。