Pockelszellentreiberschaltung und Verfahren zum Betrieb einer Pockelszelle

Die Erfindung betrifft eine Pockelszellentreiberschaltung mit einem ersten Schaltungsknoten, der mit einem ersten Anschluss einer Pockelszelle verbindbar ist, und einem zweiten Schaltungsknoten, der mit einem zweiten Anschluss einer Pockelszelle verbindbar ist, wobei der erste

Schaltungsknoten über einen ersten Schalter mit einem positiven Potential verbunden ist und ein zweiter Schalter an den zweiten Schaltungsknoten angeschlossen ist.

Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betrieb einer

Pockelszelle mit einer erfindungsgemäßen Pockelszellentreiberschaltung.

Eine Pockelszelle besteht aus einem elektrooptischen Kristall, durch welche elektromagnetische Strahlung (z.B. Laserlicht mit λ= 0,2-2 μιτι) propagieren kann. Die Phasenverschiebung; die die elektromagnetische Strahlung im Kristall erfährt, kann durch Anlegen einer variierenden elektrischen Spannung verändert werden (Pockelseffekt). Die Pockelszelle wirkt als spannungsabhängige Wellenplatte. Pockelszellen werden zusammen mit weiteren optischen Komponenten wie Polarisatoren in elektrooptischen Modulatoren verwendet und können damit als Aus- und Einkoppler für elektromagnetische Strahlung in Lasern eingesetzt werden. Um den Modulator in einen Sperr- oder Offen-Zustand zu versetzen wird eine veränderliche Spannung an die Pockelszelle angelegt. Somit können sie in Lasern z.B. zum Erzeugen von Pulsen in regenerativen Verstärkern oder Lasern nach dem„Cavity dump" Prinzip eingesetzt werden. Die Spannung wird mittels einer Pockelszellentreiberschaltung gesteuert. Beim Einsatz des Lasers in der Materialbearbeitung muss der Laser meist ultrakurze Pulse mit hoher Energie liefern. Bei z.B. einem regenerativen Verstärkersystem wird der Laserstrahl hierzu über die Pockelszelle in den optischen Verstärker eingekoppelt durchläuft diesen so oft, bis die benötigte Energie erreicht wird und wird dann wieder ausgekoppelt.

Hierzu muss der Schaltprozess innerhalb einer Umlaufzeit im Resonator des regenerativen Verstärkers erfolgen . Es gilt je kürzer die Schaltdauer (steile Schaltflanke), desto mehr Schaltzyklen können innerhalb einer vorgegebenen Verstärkungsdauer erreicht werden (hohe Taktrate). Die Ansteuerung von Pockelszellen erweist sich jedoch häufig als schwierig. Vor allem bei hohen Laserleistungen werden hohe Spannungen

erforderlich, die in kurzer Zeit angelegt oder abgeschaltet werden muss. Aus dem Stand der Technik sind Pockelszellentreiber beispielsweise gemäß der US3910679 bekannt. Die dort gezeigte Anordnung wird als H- Konfiguration und die Betriebsweise als Push-Pull-Schaltung bezeichnet. Diese Konfiguration hat den Nachteil, dass bei hohen Laserleistungen und schnellen Schaltzeiten die thermische Belastung auf den Bauteilen sehr hoch wird, da viele Komponenten verwendet und angesteuert werden müssen und die extrem schnellen Schaltzeiten können nicht mehr erreicht werden. Des Weiteren wird das Gesamtsystem aufgrund der thermischen Belastung immer anfälliger für Ausfälle.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Treiberschaltung für eine Pockelszelle bereit zu stellen, die den oben genannten Anforderungen genügt.

Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch eine

Pockelszellentreiberschaltung mit einem ersten Schaltungsknoten, der mit einem ersten Anschluss einer Pockelszelle verbindbar ist und einem zweiten Schaltungsknoten, der mit einem zweiten Anschluss einer

Pockelszelle verbindbar ist, wobei der erste Schaltungsknoten über einen ersten Schalter mit einem positiven Potential verbunden ist und ein zweiter Schalter an den zweiten Schaltungsknoten angeschlossen ist, wobei der zweite Schaltungsknoten über den zweiten Schalter mit einem negativen Potential verbunden ist und der erste Schaltungsknoten mit dem zweiten Schaltungsknoten über einen zur Entladung einer

angeschlossenen Pockelszelle angesteuerten Kurzschlussschalter verbunden ist.

Bei dieser Pockelszellentreiberschaltung haben die

Pockelszellenanschlüsse, d.h. die Schaltungsknoten, ein symmetrisch verteiltes positives und negatives Potential gegenüber Masse. Eine

Ansteuerschaltung für die Pockelszellentreiberschaltung kann somit ebenfalls auf Masse liegen. Die Ansteuerschaltung kann mit den Schaltern verbunden sein. Mit der erfindungsgemäßen Pockelszellentreiberschaltung kann eine Pockelszelle sehr schnell geschaltet werden. Außerdem können hohe Spannungen geschaltet werden. Die Pockelszellentreiberschaltung kann mit wenigen Komponenten realisiert werden, so dass die

Ausfallwahrscheinlichkeit reduziert ist. Der Kurzschlussschalter kann so ausgelegt sein, dass eine Spannung zwischen den Schaltungsknoten von > 1000V, insbesondere > 2kV, vorzugsweise > 4kV, besonders vorzugsweise auch >8kV auf < 100V in einer Zeitspanne < 200ns, insbesondere < 100ns, vorzugsweise < 50ns, besonders bevorzugt < 10ns reduziert werden kann .

Weiterhin kann der Kurzschlussschalter so ausgelegt sein, dass eine

Pockelszelle mit einer Kapazität zwischen lpF und 20pF, die auf eine Spannung > 1000V, insbesondere > 2kV, vorzugsweise > 4kV, besonders vorzugsweise auch >8kV in einer Zeitspanne < 200ns, insbesondere < 100ns, vorzugsweise < 50ns, besonders bevorzugt < 10ns auf

Spannung < 100V entladen werden kann. Dafür sind spezielle sehr schnell schaltende Transistoren notwendig. Derzeit vorteilhaft haben sich n-Kanal- MOS-FET herausgestellt. Jedoch werden hier stetig neue Technologien entwickelt, so dass die Erfindung nicht auf MOS-FETs beschränkt sein soll .

Weiterhin kann der Kurzschlussschalter so ausgelegt sein, dass beim

Einschalten eine Ladung > 100nC, insbesondere >200nC, vorzugsweise >400nC, besonders vorzugsweise auch >800nC innerhalb einer

Zeitspanne < 100ns, insbesondere < 10ns aus der Pockelszelle entladen werden kann.

Um die hohen Spannungen schalten zu können, ist es vorteilhaft, wenn der Kurzschlussschalter eine Reihenschaltung mehrerer Einzelschalter umfasst. Die Einzelschalter können dabei elektronisch ansteuerbare

Halbleiterelemente sein, insbesondere MOSFETs. Weiterhin können der erste und zweite Schalter jeweils eine Reihenschaltung mehrerer Einzelschalter umfassen. Auch dies ist

vorteilhaft, um hohe Spannungen schalten zu können.

Dabei können der erste und der zweite Schalter jeweils eine gleiche

Anzahl von Einzelschaltern umfassen . Die Reihenschaltung der

Einzelschalter des Kurzschlussschalters kann mehr, insbesondere doppelt so viele Einzelschalter umfassen als die Reihenschaltung der Einzelschalter des ersten Schalters. Umgekehrt gesehen können also der erste und der zweite Schalter weniger, insbesondere halb so viele Einzelschalter aufweisen wie der Kurzschlussschalter. Das spart Bauteile und erhöht die Sicherheit.

Die Reihenschaltung der Einzelschalter des Kurzschlussschalters bildet mit der Reihenschaltung der Einzelschalter des ersten und des zweiten

Schalters eine Reihenschaltung aller Einzelschalter. In dieser

Reihenschaltung können ein oder mehrere Widerstände angeordnet sein. Damit lassen sich unerwünschte Schwingungen bedampfen . Insbesondere können je ein Widerstand zwischen dem ersten Schaltungsknoten und dem positiven Potential und zwischen dem zweiten Schaltungsknoten und dem negativen Potential angeordnet sein. Insbesondere können je ein Widerstand unmittelbar am Anschluss des positiven Potentials und des negativen Potentials angeordnet sein. Das ergibt eine besonders

wirkungsvolle Bedämpfung der Schwingungen und erhält die

symmetrische Struktur, was wiederum die synchrone Ansteuerung verbessert. Die Widerstände können Werte zwischen 1 und 200 Ohm haben.

An den Schaltungsknoten kann eine Pockelszelle angeschlossen werden. Insbesondere können je ein Widerstand zwischen dem ersten Schaltungsknoten und einem ersten Pockelszellenanschluss, sowie dem zweiten Schaltungsknoten und einem zweiten Pockelszellenanschluss angeordnet sein. Auch diese Widerstände helfen unerwünschte

Schwingungen zu bedämpfen. Die Widerstände können Werte zwischen 0,1 und 20 Ohm haben.

Jeder Einzelschalter kann eine Einschaltansteuerschaltung aufweisen, die ausgelegt ist, den Einzelschalter in einen leitenden Zustand zu versetzen. Insbesondere kann jedem Einzelschalter eine entsprechende

Einschaltansteuerschaltung zugeordnet sein. Jeder Einzelschalter kann so individuell für sein Einschaltverhalten abgeglichen werden und die

Schaltzeiten der Einzelschalter aufeinander synchronisiert werden.

Weiterhin kann jeder Einzelschalter eine Ausschaltansteuerschaltung aufweisen, die ausgelegt ist, den Einzelschalter in einen nicht leitenden Zustand zu versetzen. Insbesondere kann jedem Einzelschalter eine entsprechende Ausschaltansteuerschaltung zugeordnet sein. Jeder

Einzelschalter kann so individuell für sein Ausschaltverhalten abgeglichen werden und die Schaltzeiten der Einzelschalter aufeinander synchronisiert werden. Insbesondere können mit einer Anordnung die je eine separate Ausschaltansteuerschaltung und Einschaltansteuerschaltung aufweisen, Einschaltzeiten und Ausschaltzeiten unabhängig voneinander abgeglichen werden. Damit können die Schalter verlustarm geschaltet werden.

Sowohl die Einschaltansteuerschaltung als auch die

Ausschaltansteuerschaltung kann je einen ersten und zweiten

Eingangsanschluss und je einen ersten und zweiten Ausgangsanschluss aufweisen. Dadurch ist es möglich, die Einzelschalter mittels

Signalübertragern anzusteuern. Es ist daher vorteilhaft, wenn die Einschaltansteuerschaltungen bzw. die Ausschaltansteuerschaltungen je einen, insbesondere je einen baugleichen Signalübertrager aufweisen.

Die Signalübertrager können Primärseitenanschlüsse aufweisen, die jeweils mit einem Eingangsanschluss verbunden sind.

Die Signalübertrager können mit je einem ersten Anschluss einer

Sekundärseite mit einem Leistungsanschluss des zugeordneten

Einzelschalters, insbesondere direkt, verbunden sein. Durch die

Signalübertrager kann eine Potentialtrennung realisiert werden, die Verwendung von Signalübertragern hat weiterhin den Vorteil, dass eine symmetrische und absolut gleichzeitige Ansteuerung der Einzelschalter möglich ist.

Die Signalübertrager können mit je einem zweiten Anschluss der

Sekundärseite mit einem Ansteueranschluss des zugeordneten

Einzelschalters verbunden sein.

Die Signalübertrager können mit je einem zweiten Anschluss der

Sekundärseite über eine Zwischenschaltung, insbesondere aufweisend ein Bauelement mit nicht linearer Strom- Spannungskennlinie, vorzugsweise aufweisend eine Diode oder eine Reihenschaltung einer Diode mit einer Zenerdiode, mit einem Ansteueranschluss des zugeordneten

Einzelschalters verbunden sein. So wird die Ladung dem Steueranschluss vorteilhaft zugeführt und hält die Schalter, insbesondere Transistoren, ausreichend lange eingeschaltet. Bei einer Reihenschaltung aus Diode und Zenerdiode können Diode und Zenerdiode gegensinnig miteinander verbunden sein. So kann die Spannung an dem Steueranschluss

eingestellt werden und die Schaltgeschwindigkeit erhöht werden. Die Zenerdiode geht in den leitenden Betrieb, wenn die Spannungsänderung am Ausgang des Übertragers sehr hoch ist. Es kann so sehr sicher geschaltet werden und Schwingungen können vermieden werden.

Die Einschaltansteuerschaltungen des ersten und zweiten Schalters und die Ausschaltansteuerschaltung des Kurzschlussschalters können an ihren Eingangsanschlüssen in einer ersten Serienschaltung geschaltet sein.

Dadurch kann sichergestellt werden, dass, immer wenn die ersten und zweiten Schalter einschalten, der Kurzschlussschalter aktiv gesperrt wird. Durch die Serienschaltung kann ein synchronisiertes, insbesondere gleichzeitiges, Schalten erzielt werden.

Die Ausschaltansteuerschaltungen des ersten und zweiten Schalters und die Einschaltansteuerschaltung des Kurzschlussschalters können an ihren Eingangsanschlüssen in einer zweiten Serienschaltung geschaltet sein. Dadurch kann sichergestellt werden, dass der erste und zweite Schalter synchronisiert, insbesondere gleichzeitig, mit dem Einschalten des

Kurzschlussschalters- ausgeschaltet werden.

Die Serienschaltung der Ausschaltansteuerschaltungen des ersten und des zweiten Schalters und die Einschaltansteuerschaltung des

Kurzschlussschalters können über einen ersten Treiberschalter an eine Treiberspannung anschließbar sein. Die Treiberspannung kann etwa 350V betragen, insbesondere kann sie im Bereich 100 bis 500V liegen.

Die Serienschaltung der Einschaltansteuerschaltungen des ersten und zweiten Schalters und die Ausschaltansteuerschaltungen des

Kurzschlussschalters können über einen zweiten Treiberschalter an eine gesonderte oder an die gleiche Treiberspannung anschließbar sein. Die Schaltungsknoten können bei geschlossenem ersten und zweiten Schalter betragsmäßig auf demselben Potential liegen . Damit ist gemeint , dass sie im Wesentlichen auf dem gleichem Absolutbetrag des Potentials bei unterschiedlicher Polarität liegen. Dadurch haben die

Pockelszellenanschlüsse ein symmetrisch verteiltes positives und

negatives Potential gegenüber Masse (Massepotential).

Eine oder mehrere, insbesondere alle Einschaltansteuerschaltungen und eine oder mehrere insbesondere alle Ausschaltansteuerschaltungen für die Pockelszellentreiberschaltung können auf einem Potential liegen, das weniger als 50 V Potentialabstand zu der Masse aufweist oder mit Masse verbunden ist.

Das Massepotential kann insbesondere mit einer Gehäusemasse

verbunden sein bzw. auf demselben oder zumindest nahe bei dem

Potential des Massegehäuses liegen . Mit„nahe" ist gemeint, dass die Potentialdifferenz zwischen Gehäusemasse und Mittenpotential kleiner ist als 100 mal der Betrag des ersten oder zweiten Potentials.

Es können Widerstände, insbesondere zwei Widerstände, insbesondere in Serie geschaltet, zwischen den Leistungsanschlüssen eines Einzelschalters vorgesehen sein. Dies bedeutet, dass die Leistungsanschlüsse eines

Einzelschalters über Widerstände miteinander verbunden sein können. Diese Widerstände wirken symmetrierend. Insbesondere bei nicht leitend geschalteten Schaltern kann so sichergestellt werden, dass der

Spannungsabfall an den einzelnen Einzelschalter sich möglichst

gleichmäßig auf die Einzelschalter aufteilt und nicht ein Einzelschalter die ganze Spannung sperren muss. Außerdem kann dadurch ein gleichzeitiges Ein- und Ausschalten der Einzelschalter sichergestellt werden. Durch die Widerstände können die Gate-Kapazitäten entladen werden. Vorzugsweise weisen die Widerstände einen Widerstands wert > 100 kOhm auf.

Es können kapazitive Elemente, insbesondere Kondensatoren, zwischen den Leistungsanschlüssen eines Einzelschalters vorgesehen sein. Das bedeutet, dass die Leistungsanschlüsse eines Einzelschalters über kapazitive Elemente, insbesondere mindestens zwei kapazitive Elemente, insbesondere in Serie geschaltete kapazitive Elemente, miteinander verbunden sein können. Auch die kapazitiven Elemente sorgen für eine Symmetrierung. Insbesondere sorgen sie dafür, ungleiche Kapazitäten der Einzelschalter auszugleichen, die aufgrund des Spannungsabstands der Einzelschalter zur Bezugsmasse entstehen. Bei Einzelschaltern, die von der Pockelszelle aus gesehen das am weitest entfernte Potential

aufweisen, können diese Kapazitäten am kleinsten ausfallen.

Insbesondere können sie sogar entfallen, d.h. gar nicht vorhanden sein. Die Kapazitätswerte der kapazitiven Elemente liegen vorzugsweise im Bereich zwischen 4pF und lOOpF. Die Werte der Widerstände liegen vorzugsweise zwischen lOOkOhm und lOOMOhm, insbesondere zwischen 400kOhm und 40MOhm. Durch die kapazitiven Elemente können auch Schwingungen vermieden werden.

Weiterhin können Widerstände in der ersten und insbesondere auch in der zweiten Serienschaltung vorgesehen sein. Insbesondere können

baugleiche Widerstände mit gleichgroßen Werten, insbesondere im

Bereich zwischen 1 Ohm und 50 Ohm, insbesondere zwischen 10 Ohm und 50 Ohm, verwendet werden. Diese Widerstände dienen zur Dämpfung von möglichen Schwingungen. Solche Schwingungen können auftreten, wenn Schalter sehr schnell geschaltet werden. Solche Schwingungen können einzelne Einzelschalter im Ausschaltvorgang wieder einschalten, was unerwünscht wäre, weil dann die Spannung des positiven bzw. negativen Potenzials die verbleibenden ausgeschalteten Einzelschalter über ihre Durchbruchspannung belasten könnte.

Einzelschalter können als Transistoren ausgebildet und auf einem Substrat angeordnet sein und die Leistungsanschlüsse können mit Bonddrähten verbunden sein.

Zur Ansteuerung zumindest des ersten oder zweiten Schalters kann ein Planartransformator vorgesehen sein. Insbesondere kann zur Ansteuerung jedes Einzelschalters des ersten oder zweiten Schalters ein eigener

Planartransformator vorgesehen sein. Planartransformatoren können eine gute Kühlanbindung haben und daher gut gekühlt werden.

Die Pockelszellentreiberschaltung kann auf einem Substrat angeordnet sein und das Substrat kann auf einem Keramikkühlkörper angeordnet sein. Eine Kühlung ist vorteilhaft, da eine Temperaturänderung

Auswirkung auf die Schaltflanke der Pockelszelle haben kann . Der

Keramikkühlkörper kann als planarer Keramikkühlkörper mit Vertiefungen ausgebildet sein, sodass alle relevanten Bauteile, wie die Leiterplatte bzw. ein Substrat, Planartransformatoren und alle (Einzel-)Schalter eine optimale Kühlanbindung haben.

In den Rahmen der Erfindung fällt außerdem ein Verfahren zum Betrieb einer Pockelszelle mit einer erfindungsgemäßen

Pockelszellentreiberschaltung, wobei zum Entladen der Pockelszelle der erste und zweite Schalter geöffnet und der Kurzschlussschalter

geschlossen werden und zum Laden der Pockelszelle der erste und zweite Schalter geschlossen und der Kurzschlussschalter geöffnet werden.

Dadurch lassen sich sehr steile Schaltflanken erzeugen. Außerdem können hohe Spannungen geschaltet werden. Vorteile ergeben sich, wenn der Kurzschlussschalter nur geschlossen wird, wenn der erste und zweite Schalter geöffnet sind. So können Verluste, Strom- und Spannungsspitzen vermieden werden, die sowohl die Schalter als auch die Pockelszelle schädigen würden.

Es werden Schaltzustände vermieden, in denen der erste und zweite Schalter und der Kurzschlussschalter gleichzeitig geschlossen sind.

Die Einzelschalter des ersten und zweiten Schalters können jeweils durch jeweils eine eigene Einschaltansteuerschaltung und jeweils eine eigene Ausschaltansteuerschaltung angesteuert werden . Das erhöht die

Zuverlässigkeit und die Schaltgeschwindigkeit. Außerdem können die Einzelschalter so besser synchronisiert werden .

Die Einzelschalter des Kurzschlussschalters können ebenfalls jeweils durch solch eine eigene Einschaltansteuerschaltung und eine eigene

Ausschaltansteuerschaltung angesteuert werden.

Ein gleichzeitiges Schalten kann bewirkt werden, wenn ein erster

Treiberschalter geschlossen wird, um den ersten und zweiten Schalter zu öffnen und den Kurzschlussschalter synchronisiert zu schließen.

Weiterhin kann ein zweiter Treiberschalter geschlossen werden, um den ersten und zweiten Schalter zu schließen und den Kurzschlussschalter synchronisiert zu öffnen.

Die Spannung über den Leistungsanschlüssen von Einzelschaltern des ersten und zweiten Schalters und/oder des Kurzschlussschalters können symmetriert werden. Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung schematisch dargestellt und wird nachfolgend mit Bezug zu den Figuren der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen :

Fig. 1 eine stark schematisierte Darstellung einer Pockelszelle mit einer Pockelszellentreiberschaltung;

Fig. 2 eine Darstellung einer Pockelszelle mit einer

Pockelszellentreiberschaltung, wobei im Vergleich zur Figur 1 zusätzlich Einzelschalter bezeichnet sind.

Fig. 3 eine Pockelszelle mit einer Pockelszellentreiberschaltung,

wobei zusätzlich Ansteuerschaltungen gezeigt sind;

Fig. 4 eine Pockelszelle mit einer Pockelszellentreiberschaltung,

wobei die Verschaltung der Ansteuerschaltungen dargestellt ist;

Fig. 5 Pockelszelle mit einer Pockelszellentreiberschaltung;

Fig. 6 Zeitdiagramme zur Darstellung des Ein- und Ausschaltens der

Pockelszelle. Die Figur 1 zeigt eine Pockelszellentreiberschaltung 1, an die eine

Pockelszelle 30 angeschlossen ist. Insbesondere ist die Pockelszelle 30 an einem ersten Schaltungsknoten 41 und einem zweiten Schaltungsknoten 42 der Pockelszellentreiberschaltung 1 angeschlossen. Der erste

Schaltungsknoten 41 ist über einen ersten Schalter 11 mit einem positiven Potential 21 verbunden. Der zweite Schaltungsknoten 42 ist über einen zweiten Schalter 12 an ein negatives Potential 22 angeschlossen. Die Schaltungsknoten 41, 42 sind über einen Kurzschlussschalter 13

miteinander verbunden.

In der in der Figur 2 gezeigten Ausführungsform ist weiterhin dargestellt, dass der erste Schalter 11 eine Reihenschaltung von mehreren

Einzelschaltern 61 aufweist, wobei in der Figur 2 lediglich ein

Einzelschalter 61 dargestellt ist. Der zweite Schalter 12 weist ebenfalls eine Reihenschaltung mehrerer Einzelschalter 62 auf, wobei nur ein

Einzelschalter 62 dargestellt ist. Der Kurzschlussschalter 13 weist eine Reihenschaltung mehrerer Einzelschalter 63, 64 auf.

Wie sich der Figur 3 entnehmen lässt, ist den Einzelschaltern 61, 62 der ersten und zweiten Schalter 11, 12 jeweils eine

Einschaltansteuerschaltung 71a, 71b zugeordnet, die dazu ausgelegt sind, die Einzelschalter 61, 62 in einen leitenden Zustand zu versetzen.

Weiterhin sind den Einzelschaltern 61, 62 Ausschaltansteuerschaltungen 72a, 72b zugeordnet, die dazu ausgelegt sind, die Einzelschalter 61, 62 in einen nicht leitenden Zustand zu versetzen.

Den Einzelschaltern 63, 64 des Kurzschlussschalters 13 sind

Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b und Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b zugeordnet. Die Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b sind dazu ausgelegt, die Einzelschalter 63, 64 zu schließen, während die Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b dazu ausgelegt sind, die

Einzelschalter 63, 64 zu öffnen.

Der Darstellung der Figur 4 ist zu entnehmen, dass die

Einschaltansteuerschaltungen 71a, 71b sowie die

Ausschaltansteueranordnungen 73a, 73b in einer Serienschaltung verschaltet sind. Diese Serienschaltung ist an eine Treiberspannung 24 sowie ein Massepotential 23 angeschlossen . Aktiviert werden kann die Serienschaltung durch einen ebenfalls in der Serienschaltung enthaltenen Treiberschalter 91. Wird der Treiberschalter 91 geschlossen, führt dies dazu, dass die Einzelschalter 61, 62 und somit die ersten und zweiten Schalter 11, 12 als Folge der Aktivierung der

Einschaltansteuerschaltungen 71a, 71b eingeschaltet werden (und eingeschaltet bleiben) . Dadurch wird die Pockelszelle 30 aufgeladen. Das Einschalten des Treiberschalters 91 führt weiterhin dazu, dass die

Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b aktiviert werden und die

Einzelschalter 63, 64 geöffnet werden und geöffnet gehalten werden.

Eine weitere Serienschaltung umfasst die Treiberspannung 24, die

Ausschaltansteuerschaltungen 72a, 72b sowie die

Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b sowie den Treiberschalter 92, der an das Massepotential 23 angeschlossen ist. Wird der Treiberschalter 92 kurzzeitig eingeschaltet, führt dies dazu, dass die

Ausschaltansteuerschaltungen 72a, 72b aktiv werden, was dazu führt, dass die Einzelschalter 61, 62 geöffnet werden und geöffnet bleiben und somit der erste Schalter 11 und der zweite Schalter 12 geöffnet werden. Gleichzeitig werden die Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b der Einzelschalter 63, 64 aktiviert, was dazu führt, dass die Einzelschalter 63, 64 geschlossen und somit der Kurzschlussschalter 13 geschlossen wird. Dadurch wird die Pockelszelle 30 entladen.

Die Figur 5 zeigt eine Pockelszellentreiberschaltung 1, an die eine

Pockelszelle 30 angeschlossen ist. Insbesondere ist die Pockelszelle 30 über Widerstände 103, 104 an einen ersten Schaltungsknoten 41 und einen zweiten Schaltungsknoten 42 der Pockelszellentreiberschaltung 1 angeschlossen. Der erste Schaltungsknoten 41 ist über einen ersten Schalter 11 und einen Widerstand 101 mit einem positiven Potential 21, insbesondere +2000V, verbunden. Der zweite Schaltungsknoten 42 ist über einen zweiten Schalter 12 und einen Widerstand 102 an ein negatives Potential 22, insbesondere -2000V, angeschlossen. Die

Schaltungsknoten 41, 42 sind über einen Kurzschlussschalter 13 miteinander verbunden. Der erste Schalter 11 weist eine Reihenschaltung von mehreren Einzelschaltern 61 auf, wobei in der Figur 5 lediglich ein Einzelschalter 61 dargestellt ist. Der zweite Schalter 12 weist ebenfalls eine Reihenschaltung mehrerer Einzelschalter 62 auf, wobei nur ein Einzelschalter 62 dargestellt ist.

Der Kurzschlussschalter 13 weist eine Reihenschaltung mehrerer

Einzelschalter 63, 64 auf.

Den Einzelschaltern 61, 62 der ersten und zweiten Schalter 11, 12 ist jeweils eine Einschaltansteuerschaltung 71a, 71b zugeordnet, die dazu ausgelegt sind, die Einzelschalter 61, 62 in einen leitenden Zustand zu versetzen. Die Einschaltansteuerschaltungen 71a, 71b weisen jeweils einen Signalübertrager 81a, 81b auf. Die Primärseiten 81a.1, 81b.1 sind mit Eingangsanschlüssen 71a.1, 71a.2 und 71b.1, 71b.2 verbunden. Die Sekundärseiten bzw. Sekundärwicklungen 81a.2 und 81b.2 sind mit Ausgangsanschlüssen 71a.3, 71a.4, 71b.3, 71b.4 verbunden. Weiterhin sind den Einzelschaltern 61, 62 Ausschaltansteuerschaltungen 72a, 72b zugeordnet, die jeweils einen Signalübertrager 82a, 82b aufweisen . Die Signalübertrager 82a, 82b weisen jeweils eine Primärseite 82a.1, 82b.1 sowie eine Sekundärseite 82a.2, 82b.2 auf. Die Primärseite 82a.1, 82b.1 bzw. Primärwicklung der Signalübertrager 82a, 82b ist mit Eingangsanschlüssen 72a.1, 72a.2 bzw. 72b.1, 72b. 2 verbunden.

Entsprechend sind die Sekundärseiten bzw. Sekundärwicklungen 82a.2, 82b.2 mit Ausgangsanschlüssen 72a.3, 72a.4 bzw. 72b.3, 72b.4

verbunden.

Den Einzelschaltern 63, 64 des Kurzschlussschalters 13 sind

Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b und Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b zugeordnet. Die Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b weisen jeweils Signalübertrager 84a, 84b auf. Die Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b weisen Signalübertrager 83a, 83b auf. Die Primärseiten bzw. Primärwicklungen 84a.1, 84b.1 sind mit Eingangsanschlüssen 74a.1, 74a.2 bzw. 74b.1, 74b.2 verbunden . Die Sekundärseiten bzw.

Sekundärwicklungen 84a.2, 84a.2 sind mit Ausgangsanschlüssen 74a.3, 74a.4 bzw. 74b.3, 74b.4 verbunden.

Die Primärseiten bzw. Primärwicklungen 83a.1, 83b.2 sind mit

Eingangsanschlüssen 73a.1, 73a.2 bzw. 73b.1, 73b.2 verbunden.

Entsprechend sind die Sekundärseiten bzw. Sekundärwicklungen 83a.2, 83b.2 mit Ausgangsanschlüssen 73a.3, 73a.4 bzw. 73b.3, 73b.4

verbunden.

Die Eingangsanschlüsse 71a.1, 71a.2, 73a.1, 73a.2, 73b.1, 73b.2, 71b.1, 71b.2 sind in Serie miteinander verbunden. Dies bedeutet, dass die Eingangsanschlüsse 71a.1, 71a.2, 71b.1, 71b.2 der Einschaltansteuerschaltungen 71a, 71b der ersten und zweiten Schalter 11, 12 sowie die Eingangsanschlüsse 73a.1, 73a.2, 73b.1, 73b.2 der Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b des Kurzschlussschalters 13 in Serie miteinander verbunden sind. In dieser Serienschaltung befindet sich weiterhin ein Treiberschalter 91, über den die Primärseiten 81a.1, 83a.1, 83b.1, 81b.1 der Signalübertrager 81a, 83a, 83b, 81b der

Einschaltansteuerschaltungen 71a, 71b und der

Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b mit der Treiberspannung 24 verbunden werden können. Die Treiberspannung kann etwa 350V

betragen, insbesondere kann sie im Bereich 100 bis 500V liegen. In dieser Serienschaltung befinden sich weiterhin ein Widerstand 93 und ein

Widerstand 95. Diese Widerstände dienen der Dämpfung von

Schwingungen, die beim Schaltvorgang auftreten können.

Weiterhin sind die Eingangsanschlüsse 72a.1, 72a.2, 74a.1, 74a.2, 74b.1, 74b.2, 72b.1, 72b.2 in einer Serienschaltung miteinander verbunden.

Diese Serienschaltung weist ebenfalls einen Treiberschalter 92 auf, über den die zweite Serienschaltung mit der Treiberspannung 24 verbunden werden kann. In dieser Serienschaltung befinden sich weiterhin ein

Widerstand 94 und ein Widerstand 96. Diese Widerstände dienen ebenfalls der Dämpfung von Schwingungen, die beim Schaltvorgang auftreten können. Mit 23 ist ein Mittenpotential angegeben.

Die Ausgangsanschlüsse 71a.3, 72a.3 sind mit einem Ansteueranschluss des Einzelschalters 61 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse 71a.4, 72a.4 sind mit einem Leistungsanschluss des Einzelschalters 61 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse 73a.3, 74a.3 sind mit dem Ansteueranschluss des Einzelschalters 63 und die Ausgangsanschlüsse 73b.3, 74b.3 sind mit dem Ansteueranschluss des Einzelschalters 64 verbunden. Die

Ausgangsanschlüsse 73a.4, 74a.4 sind mit einem Leistungsanschluss des Einzelschalters 63 und die Ausgangsanschlüsse 73b.4, 74b.4 mit einem Leistungsanschluss des Einzelschalters 64 verbunden.

Die Ausgangsanschlüsse 71b.3, 72b.3 sind mit dem Ansteueranschluss des Einzelschalters 62 verbunden. Die Ausgangsanschlüsse 71b.4, 72b.4 sind mit einem Leistungsanschluss des Einzelschalters 62 verbunden.

Wird nun der Treiberschalter 91 eingeschaltet, was in der Figur 2 bei der Bezugsziffer 200 dargestellt ist, führt dies dazu, dass die Einzelschalter 61, 62 und somit die ersten und zweiten Schalter 11, 12 als Folge der Aktivierung der Einschaltansteuerschaltungen 71a, 71b eingeschaltet werden (und eingeschaltet bleiben). Dadurch wird die Pockelszelle 30 aufgeladen, d.h. über der Pockelszelle 30 liegt eine Spannung von etwa im Ausführungsbeispiel 4000V an, was in der Figur 2 mit der Bezugsziffer 201 dargestellt ist. Das Einschalten des Treiberschalters 91 hat dazu geführt, dass die Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b aktiviert wurden und die Einzelschalter 63, 64 geöffnet wurden und geöffnet gehalten werden.

Wird nun der Treiberschalter 92 kurzzeitig eingeschaltet, wie dies bei der Bezugsziffer 202 der Figur 2 gezeigt ist, führt dies dazu, dass die

Ausschaltansteuerschaltungen 72a, 72b aktiv werden, was dazu führt, dass die Einzelschalter 61, 62 geöffnet werden (und geöffnet bleiben) und somit der erste Schalter 11 und der zweite Schalter 12 geöffnet werden. Gleichzeitig werden die Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b der

Einzelschalter 63, 64 aktiviert, was dazu führt, dass die Einzelschalter 63, 64 geschlossen und somit der Kurzschlussschalter 13 geschlossen wird. Dadurch wird die Pockelszelle 30 entladen.

In der Schaltung gemäß Figur 1 ist zu erkennen, dass Widerstände 51 über die Leistungsanschlüsse des Einzelschalters 61, Widerstände 53 über die Leistungsanschlüsse des Einzelschalters 63, Widerstände 54 über die Leistungsanschlüsse des Einzelschalters 64 und Widerstände 52 über die Leistungsanschlüsse des Einzelschalters 62 geschaltet sind. Diese

Widerstände ebenso wie die dazu parallel geschalteten Kondensatoren 56, 57, 58, 59 dienen der Symmetrierung. Insbesondere bei nicht leitend geschalteten Einzelschaltern 61, 62, 63, 64 soll so sichergestellt werden, dass der Spannungsabfall an den einzelnen Einzelschaltern 61, 62, 63, 64 sich möglichst gleichmäßig auf die Einzelschalter 61, 62, 63, 64 verteilt und nicht ein Einzelschalter 61, 62, 63 64 die ganze Spannung sperren muss. Den gleichen Zweck haben auch die Kondensatoren 56, 57, 58, 59.

Die ebenfalls in der Figur 1 dargestellten Widerstände 93, 94, 95, 96 dienen zur Dämpfung von möglichen Schwingungen. Solche

Schwingungen können auftreten, wenn Schalter sehr schnell geschaltet werden. Die Schwingungen können einzelne Einzelschalter 61, 62, 63, 64 im Ausschaltvorgang wieder einschalten, was unerwünscht wäre, weil dann die Spannung des positiven bzw. negativen Potenzials die

verbleibenden ausgeschalteten Einzelschalter 61, 62, 63 64 über ihre Durchbruchspannungen belasten könnte. Die Widerstände 93, 94 sind in der Nähe der Treiberspannung 24 insbesondere für beide

Serienschaltungen symmetrisch angeordnet. Ebenso sind die Widerstände 95, 96 sind in der Nähe des Mittenpotentials 23 bzw. in der Nähe der Treiberschalter 91, 92 insbesondere für beide Serienschaltungen

symmetrisch angeordnet.

Die Widerstände 101, 102, 103, 104 haben eine ähnliche Wirkung, d.h. dienen zur Dämpfung von Schwingungen.

Zwischen den Ausgangsanschlüssen 71a.3, 72a.3, 73a.3, 74a.3, 73b.3, 74b.3, 71b.3 und 72b.3 und der Sekundärseite der Signalübertrager 81a, 82a, 83a, 84a, 81b, 82b, 83b, 84b sind Dioden geschaltet. Genauer gesagt ist den Ausgangsanschlüssen 71a.3, 72a.3, 73a.3, 74a.3, 73b.3, 74b.3, 71b.3 und 72b.3 jeweils eine Reihenschaltung aus einer Diode D und einer Zehnerdiode DZ vorgeschaltet. Die Dioden D und Zehnerdioden DZ sind jeweils gegensinnig miteinander verbunden. Dadurch können die Schalter 11, 12, 13 schnell und sicher ein- und ausgeschaltet werden.

Die Polarität der Signalübertrager 81a, 82a, 83a, 84a, 83b, 84b, 81b, 82b und die Stromrichtung der Dioden D, DZ ist beim Kurzschlussschalter 13 umgekehrt zu den ersten und zweiten Schaltern 11, 12. Dadurch wird sichergestellt, dass die ersten und zweiten Schalter 11, 12 und der

Kurzschlussschalter 13 gegensinnig geschaltet werden.

Aus den Fig. 1 bis 5 und der Beschreibung dazu wird klar, dass der

Kurzschlussschalter 13 in seiner Gesamtheit ausschließlich zur

Reduzierung (und nicht zur Erhöhung) eines zwischen dem ersten

Schaltungsknoten 41 und dem zweiten Schaltungsknoten 42 anliegenden Potentials ausgelegt und geeignet angeordnet ist. Insbesondere sind auch nicht Teile von ihm zu Erhöhung dieses Potentials geeignet angeordnet.

Aus den Fig. 1 bis 5 und der Beschreibung dazu wird zudem klar, dass jeder einzelne Einzelschalter 63, 64 des Kurzschlussschalters 13

ausschließlich zur Reduzierung eines zwischen dem ersten

Schaltungsknoten 41 und dem zweiten Schaltungsknoten 42 anliegenden Potentials geeignet angeordnet ist. Insbesondere ist kein einzelner von ihnen zur Erhöhung dieses Potentials geeignet angeordnet.

Aus den Fig. 1 bis 5 und der Beschreibung dazu wird zudem klar, dass der erste Schalter 11 und jeder einzelne Einzelschalter 61 des ersten Schalters 11 ausschließlich zur Verbindung des ersten Schaltungsknotens 41 mit dem ersten positiven Potential 21 geeignet angeordnet ist. Insbesondere ist kein einzelner der Schalter 11, 61 zur Reduzierung eines zwischen dem ersten und dem zweiten Schaltungsknoten 41,42 anliegenden Potentials geeignet angeordnet. Aus den Fig. 1 bis 5 und der Beschreibung dazu wird zudem klar, dass der zweite Schalter 12 und jeder einzelne Einzelschalter 62 des zweiten Schalters 12 ausschließlich zur Verbindung des zweiten Schaltungsknotens 42 mit dem zweiten negativen Potential 22 geeignet angeordnet ist. Insbesondere ist kein einzelner der Schalter 12, 62 zur Reduzierung eines zwischen dem ersten und dem zweiten

Schaltungsknoten 41,42 anliegenden Potentials geeignet angeordnet.

Aus den Fig. 3 bis 5 und der Beschreibung dazu wird zudem klar, dass die Pockelszellentreiberschaltung 1 dazu ausgelegt ist, alle Einzelschalter 63, 64 des Kurzschlussschalters 13 durch Einschalten eines Treiberschalters 92 gleichzeitig zu schließen, und/oder alle Einzelschalter 63, 64 des Kurzschlussschalters 13 durch Einschalten eines Treiberschalters 91

gleichzeitig zu öffnen.

Aus den Fig. 3 bis 5 und der Beschreibung dazu wird zudem klar, dass die Einschaltansteuerschaltungen 74a, 74b dazu ausgelegt sind, alle

Einzelschalter 63, 64 des Kurzschlussschalters 13 gleichzeitig zu

schließen, und/oder die Ausschaltansteuerschaltungen 73a, 73b dazu ausgelegt sind, alle Einzelschalter 63, 64 des Kurzschlussschalters 13 gleichzeitig zu öffnen.

Aus den Fig. 3 bis 5 und der Beschreibung dazu wird zudem klar, dass mehrere insbesondere alle Einzelschalter 63, 64 des Kurzschlussschalters 13 gleichzeitig ein- bzw. ausgeschaltet werden . Außerdem wird klar, dass alle Einzelschalter 61 des ersten Schalters 11 und alle Einzelschalter 62 des zweiten Schalters 12 gleichzeitig ein- bzw. ausgeschaltet werden .