PULVERBETTVORRICHTUNG ZUR GENERATIVEN FERTIGUNG

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur insbesondere laserbasierten generati- ven Fertigung und insbesondere ein Konzept für die Nivellierung einer Bauplattform für die Bereitstellung einer entsprechend nivellierten Pulverfläche für einen nachfolgenden Fertigungsvorgang. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Erzeugen eines Steuersignals zur Positionierung eines in der Höhe verfahrbaren Trägers einer Fertigungsvorrichtung. Die laserbasierte generative Fertigung von, insbesondere metallischen oder keramischen,

Werkstücken basiert auf einem Verfestigen eines auf einer Bauplattform, z.B. in Pulverform vorliegenden, Ausgangsmaterials durch die Bestrahlung mit Laserlicht. Dieses Konzept - auch als selektives Laserschmelzen (SLM) oder als Pulverbettfusion bekannt - wird unter anderem in Maschinen für den (metallischen) 3D-Druck eingesetzt. Eine beispielhafte Ma- schine zur generativen Fertigung von dreidimensionalen Produkten mittels sogenanntem selektiven Laserschmelzen (SLM: selective laser melting) ist in der europäischen Patentanmeldung EP 2 732 890 A2 der Sisma S.p.A. offenbart. Die Vorteile der generativen Fertigung sind allgemein eine einfache Herstellung von komplexen und individuell erstellbaren Teilen. Dabei können insbesondere definierte Strukturen im Innenraum und/oder kraftflussoptimierte Strukturen realisiert werden.

Bei der laserbasierten generativen Fertigung wird die Bauplattform (auch als Substratplatte bezeichnet) üblicherweise parallel zur Arbeitsoberfläche, d.h. im Wesentlichen horizontal, ausgerichtet. Die Ausrichtung und Nulllage kann manuell z.B. durch Auflegen eines Lineals/ Haarwinkels im kalten Zustand ermittelt und entsprechend eingestellt werden. Bei aufgeheizter Bauplattform steht dieses Vorgehen im Konflikt zu Aspekten der Arbeitssicherheit.

Ferner ist aus DE 10 2014 014888 AI ein Verfahren zum Erkennen einer Dejustage einer auf einem höhenverfahrbaren Träger positionierten Platte bekannt. Das Verfahren basiert auf ei- nem optischen strukturellen Muster, das auf der Platte vorgesehen ist. Das Muster wird mit einer Kameravorrichtung bei einem wiederholten Abziehen von Pulverschichten erfasst und mit Referenzmustern verglichen, um Informationen zur Nachjustage der Ausrichtung des höhenverfahrbaren Trägers zu gewinnen. Einem Aspekt dieser Offenbarung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Detektion von

Verkippung und/oder Nullposition einer Bauplattform einer SLM-Maschine bereitzustellen, insbesondere auch bei Betriebsparametern wie z.B. bei aufgeheizter Bauplattform. Zumindest eine dieser Aufgaben wird gelöst durch ein Verfahren nach Anspruch 1 zum Erzeugen eines Steuersignals zur Positionierung eines in der Höhe bezüglich einer Arbeitsfläche verfahrbaren Trägers einer Fertigungsvorrichtung und durch eine Fertigungsvorrichtung zur generativen Fertigung eines dreidimensionalen Bauteils aus einem Pulver nach Anspruch 13. Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen angegeben.

In einem Aspekt weist ein Verfahren zum Erzeugen eines Steuersignals zur Positionierung eines in der Höhe bezüglich einer Arbeitsfläche verfahrbaren Trägers einer Fertigungsvorrichtung zur generativen Fertigung eines dreidimensionalen Bauteils aus einem Pulver die folgenden Schritte auf: Anordnen der Bauplattform auf dem Träger, Erfassen einer Mehrzahl von Bildern der Arbeitsfläche im Bereich des Trägers, wobei vor dem Erfassen eines der Mehrzahl von Bildern eine bildspezifische Höhe des Trägers eingestellt und je nach Änderungsrichtung in der Höhe eine Pulverschicht aufgetragen oder abgetragen wird, Bestimmen eines Pulvergrenzverlaufs zwischen einem von Pulver befreiten Bereich und einem von Pulver bedeckten Bereich der Bauplattform für mindestens zwei der Mehrzahl von Bildern, die für unterschied- lieh eingestellte bildspezifische Höhen des Trägers erfasst wurden, und Erzeugen eines Steuersignals zur Positionierung des Trägers basierend auf den mindestens zwei Pulvergrenzverläufen.

In einem weiteren Aspekt weist eine Fertigungsvorrichtung zur generativen Fertigung eines dreidimensionalen Bauteils aus einem Pulver einen eine Arbeitsfläche bereitstellenden Fertigungsraum, der einen Plattformbereich umfasst, einen Bauzylinder, der einen in der Höhe verfahrbaren Träger aufweist, auf dem das dreidimensionale Bauteil auf einer Oberfläche einer Bauplattform schichtweise hergestellt werden soll, eine Ausrichtvorrichtung zum Positionieren des Trägers bezüglich der Arbeitsfläche, eine Schiebevorrichtung zum Be- und/oder Entschichten von Pulver im Plattformbereich, eine Bilderzeugungsvorrichtung zur Gewinnung von Bilddaten des Plattformbereichs und eine Steuerungseinheit, die zum Empfangen der Bilddaten mit der Bilderzeugungsvorrichtung und zum Einstellen der Höhe und der Ausrichtung des Trägers mit der Ausrichtvorrichtung verbunden ist, auf, wobei die Steuerungseinheit ferner zum Auswerten der Bilddaten nach dem zuvor zusammengefassten Verfahren und ins- besondere zum Erzeugen und Ausgeben eines Steuersignals zur Positionierung des Trägers basierend auf den mindestens zwei Pulvergrenzverläufen ausgebildet ist.

In einem weiteren Aspekt weist ein Verfahren zum Ausrichten einer Oberfläche einer auf ei- nem verfahrbaren Träger angeordneten Bauplattform einer wie z.B. zuvor zusammengefassten Fertigungsvorrichtung zur generativen Fertigung eines dreidimensionalen Bauteils aus einem Pulver die folgenden Schritte auf: Empfangen eines gemäß dem zuvor zusammengefassten Verfahren erzeugten Steuersignals zur Positionierung des Trägers und Ausrichten des Trägers gemäß dem Steuersignal.

Die hierin offenbarten Konzepte basieren allgemein auf einem iterativen Be-/ oder

Entschichten der Bauplattform, insbesondere um eine zu erwartende Nulllage (in Z-Richtung), mit Pulver und einem Aufnehmen von Bildern der Pulverschicht mit einer Kamera. Zur Bestimmung der Verkippung und der Nulllage (Offset) der Bauplattform werden die Bilder mit- tels einer Bildverarbeitung ausgewertet, bei der z.B. eine Pulverabrisslinie für die aufgenommenen Bilder bestimmt (insbesondere errechnet) wird.

Die hierin offenbarten Konzepte sind unabhängig von strukturellen Mustern, da allein das Auf- und/oder Abtragverhalten des Pulvers mit einem Beschichter ausgewertet wird. Insbe- sondere kann so lange Pulver ab getragen oder aufgetragen werden, bis ein Teil der Bauplattform komplett von Pulver befreit ist. Dabei bildet sich eine z.B. linienförmige Übergangszone zwischen pulverbedeckter Bauplattform und pulverfreier Bauplattform aus, die es erlaubt, die Richtung einer Verkippung der Substratplatte zu ermitteln. Je nachdem unter welchem Winkel die Bauplattform schräg steht, wandert bei einer Höhenänderung der Bauplattform eine erneut erzeugte linienförmige Übergangszone mehr oder weniger weit in der Ebene der Bauplattform. Mit wiederholten Höhenänderungen und Be- bzw. Entschichtungsvorgängen (d.h. Auf- und/oder Abtragsvorgängen von Pulver, bei denen jeweils eine neue Pulverschicht aufgetragen oder eine obere Pulverschicht entfernt wird), wandert die Übergangslinie zwischen„pulverbedeckt" und„pulverfrei" über die Plattform. Entsprechend kann zusätzlich zur Kipprich- tung der Plattform auch ein Kippwinkel der Plattform aus der Höhenänderung und der gewanderten Entfernung ermittelt werden. Die Parameter Kipprichtung und Kippwinkel erlauben unter anderem eine automatisierte Ansteuerung einer den Träger/die Bauplattform tragenden Ausrichtvorrichtung, so dass die Bauplattform insbesondere parallel zur Arbeitsoberfläche eingestellt werden kann. Zur Durchführung der hierin offenbarten Konzepte sind insbesondere Beschichter geeignet, die die Ausbildung der linienförmigen Übergangszone möglichst wenig beeinflussen. Dies sind z.B. Bürstenbeschichter oder Beschichter mit weichen Beschichterlippen.

Vorteile der hierin offenbarten Konzepte umfassen eine Unabhängigkeit von speziellen (zur Sensorik kalibrierten) Mustern auf Substratplatten. Ferner können z.B. linienförmige Übergangszonen meist deutlich einfacher ermittelt werden, als ein durch eine Pulverschicht teilweise abgedecktes Muster. Des Weiteren ist eine Erkennung und eine Differenzierung zwi- sehen einer Pulveroberfläche bzw. einer blanken (pulverfreien) Bauplattform relativ unabhängig von optischen Bedingungen wie einer vorliegenden Ausleuchtung.

Allgemein sind die hier offenbarten Konzepte mit einer kostengünstigen und bauraumsparenden Ausführung von Sensorik umsetzbar und sind auch bei hohen Bauplattformtemperaturen einsetzbar. So benötigen die hierin offenbarten Konzepte keine zusätzlichen konventionellen Abstandssensoren, vermeiden damit Kosten und schränken den Bauraum nicht unnötig ein.

Ferner lassen sich die hierin offenbarten Konzepte leicht bei SLM -Maschinen mit Kamerabasierter Pulverbettüberwachung nachrüsten, da bis auf eine angepasste Steuerungseinheit mit entsprechend ergänzter Bildverarbeitungssoftware keine zusätzlichen Komponenten benötigt werden.

Hierin werden Konzepte offenbart, die es erlauben, zumindest teilweise Aspekte aus dem Stand der Technik zu verbessern. Insbesondere ergeben sich weitere Merkmale und deren Zweckmäßigkeiten aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsformen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:

Fig.l eine schematische räumliche Darstellung einer beispielhaften genera- tiven Fertigungsvorrichtung,

Fig. 2 eine schematische Schnittansicht der generativen Fertigungsvorrichtung aus Fig. 1 parallel zur XY-Ebene durch den Fertigungsraum,

Fig. 3 eine schematische Schnittansicht der generativen Fertigungsvorrichtung aus Fig. 1 parallel zur XZ-Ebene durch den Fertigungsraum wie in Fig. 2 angedeutet, Figuren 4A bis 4C eine Sequenz von drei Höhenstellungen eines Detektionsvorgangs, Fig. 5A bis 5F Bilder des Plattformbereichs 17A bei sechs Höhenstellungen, Fig. 6 eine schematische Nachzeichnung des Bildes der Fig. 5D und

Fig. 7 ein Flussdiagramm zum Verdeutlichen der hierin offenbarten Verfah- ren.

Hierin beschriebene Aspekte basieren zum Teil auf der Erkenntnis, dass eine Detektion der Nulllage und der Ausrichtung einer Bauplattform als zwingende Voraussetzung für eine weitere Automatisierung von LMF -Anlagen notwendig sein kann, um beispielsweise einen auto- matischen Start einer generativen Fertigung (Baujobstart) auszulösen. Insbesondere wurde erkannt, dass sich die Ausrichtung einer Bauplattform (insbesondere deren Verkippung zur Horizontalen) im Erscheinungsbild einer teilweise mit Pulver bedeckten Bauplattform widerspiegelt und insbesondere zu einer definierten und Bauplattform-abhängigen, z.B. für plane Bauplattformoberflächen linienförmigen, Übergangszone zwischen pulverbedeckten und pul- verfreien Bereichen führt.

Die Figuren 1 bis 3 zeigen eine beispielhafte generative Fertigungsvorrichtung 1 zur additiven Erzeugung eines dreidimensionalen Bauteils 3 aus einem pulverförmigen Material (allgemein Pulver 5) in einer perspektivischen Ansicht sowie in schematischen Schnittansichten von oben bzw. von vorne. Zum Fertigungsvorgang wird auf die eingangs erwähnte EP 2 732 890 A2 verwiesen.

Die Fertigungsvorrichtung 1 umfasst ein Gehäuse 7, das einen Fertigungsraum 9 bereitstellt. Über eine Tür 11 A in einer Vorderwand 11 besteht Zugang zum Fertigungsraum 9. Das Gehäuse 7 umfasst ferner ein Schutzgasabsaugsystem mit z.B. Auslassöffnungen 13A zum Fluten des Fertigungsraums 9 mit inertem Gas sowie Absaugöffnungen 13B. Ein Strömungsverlauf ist beispielhaft mit Pfeilen 13 angedeutet. Ein beispielsweise oberhalb des Gehäuses angebrachtes Bestrahlungssystem 15 ist zur Erzeugung von Laserlicht, welches das Pulver 5 zu Materialschichten eines 3D-Bauteils 3 verschmilzt, ausgebildet.

Der Fertigungsvorgang findet auf einer Arbeitsfläche 27 statt, die den Boden des Fertigungsraums 9 bildet und einen Plattformbereich 17A, einen Vorratsbereich 25 A und einen Pulversammelbereich 29A aufweist. Der Fertigungsvorgang erfolgt auf einer Bauplattform 17, die im Plattformbereich 17A z.B. zentral vor der Tür 15A angeordnet ist. Die Bauplattform 17 liegt auf einem Träger 19 auf, der in einem Bauzylinder 21 in der Höhe (in Fig. 3 in ±Z- Richtung) verfahren werden kann. Der Vorratsbereich 25A dient der Bereitstellung von frischem Pulver 5A, das zur lagenweisen Herstellung des 3D-Bauteils 3 in den Bauplattformbereich 23 A mit einem Beschichter 23 übertragen wird.

Auf der Bauplattform 17 wird ein mit beispielsweise metallischem oder keramischem Pulver gefülltes Pulverbett zur Bestrahlung mit dem Laserlicht von oben vorbereitet. Wie in den Figuren 1 bis 3 gezeigt wird, dient der Beschichter 23 (oft auch Schieber oder Wischer genannt) zum Verteilen des Pulvers 5 in X-Richtung während des Herstellungsprozesses. Während des Beschichtens streicht ein unterer Bereich des Beschichters 23 über die Arbeitsfläche 27, nimmt Pulver mit und befüllt dadurch z.B. bzgl. der Arbeitsfläche abgesenkte Bereiche. In diesen Bereichen definiert der untere Bereich des Beschichters 23 das Niveau der Pulveroberfläche. Z.B. wird frisches Pulver 5, das in einem im Vorratsbereich 25A vorgesehenen Vorratszylinder 25 bereitgestellt wird, mit dem Beschichter 23 über die Arbeitsfläche 27 in den Plattformbereich 17A verschoben, wo es sich im Bereich der abgesenkten Bauplattform 17 sammelt und dieser entsprechend beschichtet wird. Nicht benötigtes Pulver wird beispielsweise in einen im Pulversammelbereich 29A vorgesehenen Sammelzylinder 29 gebracht. Beim Entschichten kann der Beschichter 23 eine Schicht Pulver von der zuvor angehobenen Bauplattform durch Darüberstreichen entfernen.

Wie in den Figuren beispielhaft gezeigt wird, sind der Vorratsbereich 25 A, der Plattformbereich 17A und der Pulversammelbereich 29A nebeneinander in X-Richtung versetzt angeordnet und der Beschichter 23 ist in X-Richtung verschiebbar. Der Fertigungsvorgang umfasst zusammenfassend ein wiederholtes Absenken der Bauplattform 17 im Bauzylinder 21, ein Aufbauen einer frischen Pulverschicht auf der Bauplattform 17 und ein Verschmelzen der Pulverschicht in dem Bereich, in dem das 3D-Bauteil 3 entstehen soll. Fig. 3 zeigt das teilweise fertiggestellte 3D-Bauteil 3, das in nicht verschmolzenem Pulver 5 eingebettet ist.

Ferner umfasst die Fertigungsvorrichtung 1 eine Kamera 31 , die insbesondere auf den Plattformbereich 17A ausgerichtet ist und Bilddaten der Oberfläche des Pulverbetts (z.B. während der Fertigung des Laserbearbeitung) bereitstellen kann. Ferner kann die Fertigungsvorrichtung 1 ein Beleuchtungssystem 33 umfassen, das insbesondere eine ausreichende Ausleuchtung des Plattformbereichs 17A für kontraststarke Aufnahmen der Kamera 31 bereitstellt.

Wie eingangs erwähnt wurde, ist eine Ausrichtung der Bauplattform 17 zum Bereitstellen ei- ner bzgl. der Bauplattform ausgerichteten Oberfläche des Pulverbetts gewünscht (beispielsweise eine horizontale Ausrichtung einer planen Bauplattform). Jedoch kann zu Beginn des Fertigungsvorgangs eine Verkippung der Bauplattform 17 z.B. durch Aufheizen der Plattform auf hohe Temperaturen, durch mechanische Einbautoleranzen oder auch durch Keilfehler, die beim Aufarbeiten der wiederverwendbaren Bauplattformen entstehen, vorliegen. Ferner wird üblicherweise die Position der Nulllage für jede Bauplattform 17 angepasst, da die Dicke der Bauplattform 17 z.B. durch mechanische Toleranzen und/oder durch Abtragen des Materials bei der bereits angesprochenen Wiederaufbereitung von Bauplattformen schwankt.

Eine Verkippung und/oder eine Nulllagenfehlpositionierung der Bauplattform 17 können zu einem Keilfehler bzw. einem Höhen-Offsetfehler in der Pulverstartschicht führen. Werden derartige Fehler z.B. wesentlich größer als eine Schichtdicke des SLM -Prozesses (typischerweise 20-50 μιη), können Anbindungsfehler der Startschicht auftreten. Dies kann wiederum zum Ablösen oder zu Verformungen des Bauteils führen, mit entsprechendem Ausschuss durch unbrauchbare Bauteile, einer möglichen Beschädigung der Bauplattform 17 und/oder einer Beschädigung des gesamten Baujobs.

Hierin wird nun ein Konzept zur Detektion der Bauplattformverkippung und deren Nulllage vorgeschlagen, welches beispielsweise in ein Sensoriksystem integriert werden kann, das auf eigenen oder bereits vorhandenen Kamerasystemen aufbauen kann. Das Sensoriksystem ist dabei bevorzugt derart ausgebildet, dass es ferner einen Einstellvorgang der mechanischen

Nivellierung der Bauplattform 17 und/oder ein Anfahren der bauplattformspezifischen Nulllage ermöglicht. Entsprechend umfasst die Fertigungsvorrichtung 1 eine Ausrichtvorrichtung 35 zum Positionieren des Trägers 19 bezüglich der Arbeitsfläche 27. Die Ausrichtvorrichtung 35 ist zum Einstellen einer Verkippung des Trägers 19 bezüglich der Arbeitsfläche 27 und optio- nal zum Verschieben des Trägers 19 in seiner Höhe bezüglich der Arbeitsfläche 27 ausgebildet.

Das Sensoriksystem umfasst beispielsweise die Kamera 31, die Beleuchtungsvorrichtung 33 (optional), die Ausrichtvorrichtung 35 und eine Steuerungseinheit 37. Die Steuerungseinheit 37 kann Teil des Steuerungssystems der Fertigungsvorrichtung 1 sein oder als unabhängige Einheit spezifisch für ein Nivellieren und/oder ein Einstellen der Höhe des Trägers für eine spezifische auf diesem aufliegende Bauplattform 17 bezüglich der Arbeitsfläche 27 vorgesehen werden. In den Figuren 1 und 3 ist die Steuerungseinheit 37 schematisch gestrichelt ange- deutet und über strichpunktierte Datenverbindungen 39 mit der Kamera 31 , der Beleuchtungsvorrichtung 33 und der Ausrichtvorrichtung 35 verbunden.

Die Figuren 4A bis 4C zeigen schematisch einen Messablauf, der auf einem Detektionssystem mit einem System zur optischen Abbildung der Bauplattform 17 (z.B. Kamera 31 mit Objek- tiv) und optional einer Beleuchtungseinheit 33 basiert. Im Rahmen des Messablaufs nimmt das Detektionssystem in einem iterativen Detektionsvorgang einen Bilderstapel des Bauplattformbereichs 17A auf. Allgemein umfasst der Messablauf mehrere Be- oder

Entschichtungsvorgänge der Bauplattform 17, wobei die Bauplattform 17 zumindest teilweise in der Pulverschicht erkennbar wird. Zwischen einzelnen Be- oder Entschichtungsvorgängen wird die Höhe der Bauplattform 17 verfahren. Eine Bildverarbeitung des Bilderstapels wertet, wie nachfolgend erläutert, Verkippung und/oder Nullposition der Bauplattform 17 aus.

In den Figuren 4A bis 4C wird beispielhaft eine verkippte Bauplattform 17 in drei ansteigenden Höhenstellungen für drei Bilder des Bilderstapels gezeigt. Vor jeder Bildaufnahme wurde mit dem Beschichter 23 über den Plattformbereich 17A Pulver 5 verteilt, so dass die Oberflächen der Pulverschichten im Wesentlichen horizontal ausgebildet werden (eine entsprechende horizontale Ausrichtung der Bewegungsrichtung und der Unterkante des Beschichters 23 vorausgesetzt). Allerdings wirkt sich eine Verkippung auf das Ausmaß der Pulverschicht aus. Die Sequenz der drei Höhenstellungen der Figuren 4A bis 4C ist beispielsweise Teil einer Ausführungsform eines iterativen Detektionsvorgangs, der auf einem iterativen Entschichten der Bauplattform 17 basiert.

Fig. 4A zeigt die Bauplattform 17 in einer Ausgangshöhenstellung, in der die Bauplattform 17 deutlich tiefer als die geschätzte untere Grenze des Beschichters 23 abgesenkt wurde. Wird nun Pulver mit dem Beschichter 23 aufgetragen, ergibt sich eine vollständig geschlossene Pulverdecke über der Bauplattform 17, mit einer horizontalen Oberfläche 41 des Pulverbetts im Bereich des Sichtfelds der Kamera. Eventuell muss mehrmals beschichtet werden, um das gesamte Volumen oberhalb der Bauplattform 17 mit Pulver 5 zu befüllen. Erstreckt sich die Pulverdecke noch nicht vollständig über die Bauplattform, ist diese weiter abzusenken und nachzubeschichten. Fig. 5A zeigt ein entsprechendes Kamerabild des Pulverbetts. Man erkennt im Wesentlichen eine konturfreie und gleichmäßig erscheinende Oberseite 41 des Pulverbetts (ohne Durchscheinen der Bauplattform 17). Die dunklen Ecken der in den Figuren 5A bis 5F gezeigten Kamerabilder sind durch Vignetteneffekte der Kamera 31 bedingt. Die Bauplattform 17 ist in den Figuren 5A bis 5F mit einem gestrichelten Kreis angedeutet.

Nun wird die Bauplattform 17 mit einer Schrittweite von z.B. 50 μιη angehoben und die entsprechende Pulverschichtdickendifferenz durch Verfahren des Beschichters 23 entfernt. Fig. 5B zeigt ein Kamerabild des Pulverbetts, bei dem in einem Bereich 43 erste Unregelmäßigkeiten im Erscheinungsbild der Oberseite 41 des Pulverbetts zu erkennen sind. Jedoch ist die Oberseite 41 des Pulverbetts im Wesentlichen noch gleichmäßig.

Wird die Bauplattform weiter angehoben ergibt sich z.B. die Situation der Fig. 4B, bei der ein kleiner Teil 45 der Bauplattform 17 oberhalb der durch den Beschichter 23 vorgegebenen

Oberseite 41 des Pulverbetts liegt. Die Abziehbewegung des Beschichters 23 legt somit diesen kleinen Teil 45 frei. Fig. 5C zeigt ein Kamerabild des Pulverbetts, bei dem ein dem kleinen Teil 45 entsprechender Oberflächenbereich 45' heller ist als Pulver, da z.B. die Bauplattform 17 eingestrahltes Licht stärker reflektiert als das Pulver. Man erkennt somit eine größere Un- regelmäßigkeit im Erscheinungsbild der Oberseite 41 des Pulverbetts.

Wird die Bauplattform 17 weiter angehoben (siehe die Kamerabilder 5D bis 5F), vergrößert sich der freigelegte Bereich solange bis die Bauplattform 17 vollständig entschichtet wurde. In Fig. 4C ist z.B. ein Großteil 47 der Bauplattform 17 freigelegt, entsprechend z.B. dem Kamerabild der Fig. 5E mit einem vergrößerten Oberflächenbereich 47'. Wie nachfolgend erläutert, kann eine Bildverarbeitung die Verkippung auf den freigelegten Bereichen 48A und den von Pulver bedeckten Bereichen 48B (schematisch angedeutet in Fig. 4B sowie der nachfolgend beschriebenen Fig. 6) bestimmen.

In einer weiteren Ausführungsform kann ein iterativer Detektionsvorgang z.B. auf iterativem Beschichten basieren. Dabei wird die Bauplattform 17 zunächst deutlich höher als die geschätzte untere Grenze des Beschichters 23 angehoben. Falls die Bauplattform 17 zunächst noch teil- oder vollbeschichtet wird, ist sie weiter anzuheben, wobei eine Kollision mit der Beschichter 23 auszuschließen ist, um z.B. weitere Dejustagen zu verhindern. Anschließend wird die Bauplattform 17 mit einer Schrittweite von z.B. einigen zehn μιη abgesenkt und Pulver durch den Beschichter 23 nach und nach aufgetragen. Die Bauplattform 17 wird dabei zunächst zu einem kleinen Teil und dann zu immer größeren Teilen beschichtet. Die Entwick- lung der nicht beschichteten Bereiche kann auch hier mit entsprechenden Kamerabildern aufgenommen und ausgewertet werden.

Bei beiden Ausführungsformen entstehen - als Beispiel eines Pulvergrenzverlaufs bei einer planen Bauplatte - Pulverabrisslinien 49, wenn sich Teilbereiche der Bauplattform 17 auf Höhe des Beschichters 23 befinden. Die Pulverabrisslinien 49 sind in den Figuren 4B und 4C mit Pfeilspitzen und in den Figuren 5C bis 5E mit strichpunktierten Linien angedeutet. Die Pulverabrisslinien 49 lassen sich basierend auf den erfassten Bilddaten gewinnen. Durch eine automatisierte Auswertung (Bildverarbeitung) der verschiedenen Pulverabrisslinien 49 lassen sich z.B. die Richtung und der Gradient der Verkippung der Bauplattform 17 detektieren. Die Stärke des Gradienten ergibt sich aus dem bekannten Verfahrweg (Hub) zwischen zwei Bildern. Die Nulllage lässt sich ferner z.B. durch eine Detektion einer vollständig entschichteten Bauplattform (z.B. nach mechanischer Nivellierung) oder durch Berechnung der Mittenlage aus dem Gradienten bestimmen. Ferner sind die iterativen Detektionsvorgänge des iterativem Beschichtens und des iterativen Entschichtens auf jedwede Kipprichtung anwendbar, d.h., sie sind unabhängig davon, ob die Bauplattform in der, entgegen der oder schräg zur Bewegungsrichtung (Be-/Entschichtungs- richtung) verkippt ist. Fig. 6 zeigt beispielhaft in einer Skizze den Informationsgehalt des Bildes 40D. Man erkennt einen kreisförmigen Bereich, der in seinen Außenmaßen durch das Sichtfeld der Kamera bestimmt wird. Pulver 5 ist im äußeren aufgenommenen Bereich und teilweise oberhalb des Bauzylinders 21 zu erkennen. Auch in der Skizze der Fig. 6 ist die Bauplattform 17 mit einem gestrichelten Kreis angedeutet. Der Durchmesser der Bauplattform 17 entspricht in dieser bei- spielhaften Ausführungsform nahezu dem des Bauzylinders 21. Der gestrichelte Kreis stellt somit die Abgrenzung der Baukammer 17/des Trägers 19 zur statischen Arbeitsfläche 27 (Prozesskammerboden) dar. Das Niveau der Pulveroberfläche insbesondere innerhalb des Bauzylinders 21 entspricht der Oberfläche des Pulverbettes im Fertigungsprozess und der zuletzt aufgetragenen oder abgetragenen Schicht während des hierin offenbarten Bilderfassungsvorgangs. Das Niveau wird durch die untere Begrenzung des Schiebers 23 definiert und liegt üblicherweise im Wesentli- chen auf der Höhe der Arbeitsfläche 27.

Analog zum Bild 40D der Fig. 5D erhebt sich ein Teil der Bauplattform 17 über das so definierte Niveau bzw. die Arbeitsfläche 27 aufgrund einer vorliegenden Verkippung der Oberfläche bzgl. der Arbeitsfläche 27, sei es durch eine Verkippung des Trägers 19, eine schräge Auflage der Bauplattform 17 auf dem Träger 19 oder eine asymmetrischen Form der Bauplattform 17.

Nachdem in Rahmen des hierin offenbarten Bilderfassungsvorgangs der Träger auf die aktuell vorliegende Höhe verschoben wurde, erfolgte ein Auftragen einer Pulverschicht, falls die Höheneinstellung auf einem Absenken des Trägers 19 beruhte, oder es erfolgte ein Abtragen einer Pulverschicht, falls die Höheneinstellung auf einem Anheben des Trägers 19 beruhte. In beiden Fällen bildet sich über der Bauplattform 17 ein von Pulver befreiter Bereich 48 A und ein mit Pulver bedeckter Bereich 48B aus, zwischen denen sich ein im Wesentlichen linearer Pulvergrenzverlauf 48 ergibt. Der Pulvergrenzverlauf 48 ist der abhängig vom Neigungswin- kel der Substratplatte wandernde Grenzverlauf zwischen Pulver auf der Bauplattform 17 und der blanken Arbeitsfläche 27. Dem Pulvergrenzverlauf 48 kann eine linienförmige Übergangszone, insbesondere die Pulverabrisslinie 49 (strichpunktiert), zugeordnet werden. Die Orientierung des Pulvergrenzverlaufs 48 wird durch die Kippachse definiert, der Abstand zwischen Pulvergrenzverläufen bei bekanntem Höhenunterschied definiert den Kippwinkel und der Verlauf der Pulvergrenzverlauf bezüglich des Zentrums lässt auf die angestrebte Nulllage zurückschließen.

Basierend auf der gewonnenen Information (Kippwinkel, Kippachse und/oder Nulllage) kann eine Ausrichtvorrichtung des Trägers der Bauplattform angesteuert werden. Über die Ausrich- tung des Trägers wird entsprechend auch die Bauplattform im Niveau ausgerichtet.

In einer Weiterbildung kann ferner basierend auf der Auswertung des Pul vergrenz Verlaufs, insbesondere der zugeordneten Pulverabrisslinien 49, eine Abweichung der Oberfläche der Bauplattform von einer idealen Ausrichtung/idealen Ebene bestimmt werden. Die Erkennung von derartigen außerhalb eines Toleranzbereichs liegenden Freiformfehlern kann es erlauben z.B. mechanische Bearbeitungsfehler von Bauplattformen zu detektieren und somit den Beginn des Aufbauens eines 3D-Bauteils auf einer fehlerhaften Bauplattform zu vermeiden. Allgemein kann für die Bildaufnahme die üblicherweise bereits vorhandene Pulverbettüber- wachungskamera und die in der Gehäusedecke vorgesehene Beleuchtung verwendet werden.

Allgemein ist es ein Aspekt der Bildverarbeitung, Position und Orientierung der Pulverabrisslinie zur erkennen, wobei möglicherweise auftretende Artefakte, wie z.B. ein "Ausfransen" der Abrisslinie, welche durch variierende Bürstenlängen oder Flecken auf der Substratplatte entstehen können, auszugleichen sind.

Beispielhafte Ausführungsformen des Beschichters 23 umfassen Bürstenbeschichter wie eine Kohlefaserbürste oder Beschichter mit weichen Beschichterlippen. Mit derartigen

Beschichtern kann eine Auflösung der Verkippungsdetektion von kleiner 20% der Bauplattformbreite erreicht werden, wodurch entsprechend eine Höhenaufiösung von ca. 30 μιη möglich wird. So hängt die Auflösung im Wesentlichen von der„Streifenbildung" beim Abriss des Pulverfilms ab, welche wiederum zum Teil vom Zustand des Beschichters 23, insbesondere seiner die Oberfläche des Pulverbetts bestimmenden Unterkante wie dem Zustand der Bürs- tenhaare abhängt.

Allgemein sind die hierin vorgeschlagenen Konzepte auf verschiedene Typen und Zustände von Bauplattformen, wie geschliffene Substratplatten, ältere/mehrfach genutzte Substratplatten und Substratplatten mit strukturellen Markierungen oder benutzungsbedingten Formände- rungen durch z.B. abgescherte Bauteile, einsetzbar.

Ferner kann die Bildverarbeitung insbesondere hinsichtlich des zu detektierenden Kontrasts auf die Oberfläche und das Material der Bauplattform sowie auf das Pulvermaterial angepasst werden. Ferner kann die Bildverarbeitung auf Hell- und Dunkelfeldbeleuchtung angepasst werden.

Hub-Schrittweiten liegen üblicherweise im Bereich der Höhenaufiösung und lassen sich ferner an die verwendeten Plattengrößen anpassen. Beispielhafte Hub-Schrittweiten liegen im Bereich von 10 μιη bis 100 μιη, beispielsweise 30 um oder 50 um. Zusammenfassend wird in Verbindung mit Fig. 7 ein beispielhafter Ablauf des hierin offenbarten Verfahrens zum Erzeugen eines Steuersignals zur Positionierung eines in der Höhe bezüglich einer Arbeitsfläche verfahrbaren Trägers einer Fertigungsvorrichtung zusammenge- fasst.

In einem Schritt 61 wird eine Bauplattform auf dem Träger angeordnet. Die Positionierung des Trägers soll nun spezifisch für diese aufgelegte Bauplattform erfolgen. Dazu wird im Schritt 63 eine Mehrzahl von Bildern der Arbeitsfläche im Bereich des Trägers erfasst, wobei vor dem Erfassen eines der Mehrzahl von Bildern jeweils eine bildspezifische Höhe des Trägers eingestellt wird. Überdies wird je nach Änderungsrichtung in der Höhe eine Pulverschicht aufgetragen oder abgetragen. Die sich dann ergebende Oberfläche wird z.B. mit einer Kamera erfasst. Für mindestens zwei der Mehrzahl von Bildern wird in Schritt 65 ein Pulvergrenzverlauf (beispielsweise durch eine (Differenz-)Bildverarbeitung) bestimmt, der sich zwi- sehen einem von Pulver befreiten und einem von Pulver bedeckten Bereich der Bauplattform ausgebildet hat. Die Bilder werden für unterschiedlich eingestellte bildspezifische Höhen des Trägers erfasst. Ein Steuersignal zur Positionierung des Trägers wird dann basierend auf den mindestens zwei Pulvergrenzverläufen erzeugt (Schritt 67). Das derart erzeugte Steuersignal wird von der Ansteuereinheit empfangen, die dann den Träger gemäß dem Steuersignal aus- richtet (Schritt 69).

Der Pulvergrenzverlauf kann durch Vergleichen der Bilder untereinander und/oder durch Vergleichen mindestens eines der Bilder mit einem Referenzbild von einer vollständig geschlossenen Pulverschicht bestimmt werden (Schritt 63 A). Optional kann in einem Schritt 63B ein Bild mit einer vollständig geschlossenen Pulverschicht als Referenzbild erzeugt werden.

In einem Schritt 65 A wird ein Kippwinkel aus den relativen Lagen mindestens zweier Pulvergrenzverläufe bestimmt. So kann beispielsweise eine Entfernung zwischen zwei Pulvergrenzverläufen in der Ebene der Arbeitsfläche bestimmt werden und daraus und aus der zugehöri- gen Höhenänderung der Kippwinkel berechnet werden. Ferner kann im Schritt 65B eine

Kippachsenrichtung in der Arbeitsfläche aus mindestens einem der mindestens zwei bestimmten Pulvergrenzverläufe bestimmt werden. Ferner kann ergänzend oder alternativ im Schritt 65 C einer Nulllage aus mindestens einem der mindestens zwei bestimmten Pulvergrenzverläufe bestimmt werden, wobei in der Nulllage die Oberseite der Bauplattform in der Ebene der Arbeitsfläche liegen soll. Die Nulllage kann aus mindestens einer bildspezifischen Höhe des Trägers bestimmt wird, bei der der zugehörige mindestens eine Pulvergrenzverlauf zentrumsnah über die Bauplattform verläuft oder bei der - nach erfolgter Ausrichtung und wiederholtem Bilderfassen verschiedener Höhen - kein Pulver mehr auf der Bauplattform liegt.

Als Steuersignal zur Positionierung wird in Schritt 67A z.B. ein Kippwinkelsteuersignal an eine Ausrichteinheit des Trägers ausgegeben, das eine dem berechneten Kippwinkel entgegengesetzte Verkippung des Trägers um die bestimmte Kippachsenrichtung bewirkt. Ferner kann als Schritt 67B ein Nulllageneinstellsignal als Steuersignal zur Positionierung an die Ausrichteinheit des Trägers ausgegeben werden, das ein Verschieben des Trägers in eine der Nulllage zugeordnete Höhe bewirkt.

Alternativ zur Erzeugung der Bilddaten mit einer Kamera können die auszuwertenden Bilder mit einem Punkt-/Zeilensensor oder Scannersystem gewonnen werden. Als Scannersystem kann beispielsweise der Scanner des Arbeitslasers der Fertigungsvorrichtung verwendet werden, wobei Gesamtbilder aus Subbildern/Punkten zusammengesetzt werden. Ferner kann das Bild auch durch mechanisches Verfahren und Zusammensetzen der Daten eines Punkt- ZZeilensensor oder Kamera erzeugt werden, z.B. durch Verfahren des Sensorsystems mit dem Beschichter.

Die hierin offenbarten Konzepte lassen sich des Weiteren auf (z.B. konkav oder konvex) gekrümmte Oberflächen erstrecken, wobei sich die Formgebung des zu erkennenden Pulvergrenzverlaufs dann z.B. nicht-linear erstreckt. Derartige Oberflächenformen können beispielsweise bei einem ergänzenden LMF -Aufbau auf einem bereits teilweise vorgefertigten Bauteil vorliegen. Ferner können derartige Verformungen bei der Nach-/ Überarbeitung von Bauplattformen entstehen. Bei einer Verkippung einer derartigen Oberflächenform verschiebt sich der Pulvergrenzverlauf bei verschiedenen Höheneinstellungen aber ebenfalls über die Bauplattform. Es wird explizit betont, dass alle in der Beschreibung und/oder den Ansprüchen offenbarten Merkmale als getrennt und unabhängig voneinander zum Zweck der ursprünglichen Offenbarung ebenso wie zum Zweck des Einschränkens der beanspruchten Erfindung unabhängig von den Merkmalskombinationen in den Ausführungsformen und/oder den Ansprüchen angesehen werden sollen. Es wird explizit festgehalten, dass alle Bereichsangaben oder Angaben von Gruppen von Einheiten jeden möglichen Zwischenwert oder Untergruppe von Einheiten zum Zweck der ursprünglichen Offenbarung ebenso wie zum Zweck des Einschränkens der beanspruchten Erfindung offenbaren, insbesondere auch als Grenze einer Bereichsangabe.