Leistungscombiner

Die Erfindung betrifft einen Leistungscombiner zur Kopplung von

Hochfrequenzsignalen mit einer Frequenz von mehr als 1 MHz zu einer Ausgangsleistung von mehr als 100 W. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Leistungscombineranordnung mit einem solchen Leistungscombiner.

Leistungscombiner sind beispielsweise aus den folgenden Schriften bekannt: EP 0 210 606 A2, DE 27 33 888 AI, US 2014/0292441 AI, EP 1 347 532 AI .

Die Ausgangsleistung von Hochfrequenzsignalquellen, insbesondere von HF-Transistorverstärkern, ist auf einige 100 W bis wenige kW beschränkt. Um eine höhere Ausgangsleistung zu erzielen, müssen daher mehrere Hochfrequenzsignalquellen mittels eines Leistungscombiners

zusammengeschaltet werden. Die Leistungscombiner sollen bei großer Bandbreite möglichst kleine Verluste aufweisen. Gleichzeitig sollen jedoch die Eingänge des Leistungscombiners, an denen die Hochfrequenzsignalquellen anschließbar sind, möglichst gut

voneinander isoliert sein, um eine Querspeisung der

Hochfrequenzsignalquellen und eine ungleichmäßige Verteilung

reflektierter Ausgangsleistung zu vermeiden. Bei ungleichen Amplituden, Phasen oder Innenimpedanzen der an den Leistungscombiner

angeschlossenen Hochfrequenzsignalquellen entsteht nämlich ein für die Hochfrequenzsignalquellen schädliches Gegentaktsignal. Zusätzlich oder alternativ dazu können sich bei ungleicher Aufteilung der reflektierten Leistung die Phasen und/oder Amplitude sowie die Lastimpedanz der Einzelverstärker ändern. Das kann zu übermäßiger Beanspruchung des am stärksten belasteten Verstärker führen.

Aus dem Stand der Technik ist es bekannt geworden, die an den

Eingängen eines Leistungscombiners angeschlossenen

Hochfrequenzsignalquellen bei gleich bleibenden Frequenzen der

Hochfrequenzsignalquellen zu schützen. Zur Anpassung an eine Last, die an einen Ausgang des Leistungscombiners anschließbar ist, sollten die an den Eingängen des Leistungscombiners angeschlossenen

Hochfrequenzsignalquellen jedoch mit variabler Frequenz (sogenannter Frequency-Tuning-Betrieb) betrieben werden. Es ist daher

wünschenswert, einen Leistungscombiner bereit zu stellen, dessen

Eingänge auch bei Frequenzänderungen, für den Fall von ungleichen Amplituden, Phasen oder Innenimpedanzen von an den Eingängen angeschlossenen Hochfrequenzsignalquellen, signifikant besser angepasst und isoliert sind.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen

Leistungscombiner und eine Leistungscombineranordnung mit einem solchen Leistungscombiner zu schaffen, die sicher und stabil im Frequency-Tuning-Betrieb arbeiten.

Diese Aufgabe wird durch einen Leistungscombiner mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und einer Leistungscombineranordnung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 14 gelöst. Die abhängigen

Patentansprüche geben bevorzugte Weiterbildungen an.

Die erfindungsgemäße Aufgabe wird somit gelöst durch Leistungscombiner zur Kopplung von Hochfrequenzsignalen mit einer Frequenz von mehr als 1 MHz zu einer Ausgangsleistung von mehr als 100 W, wobei der

Leistungscombiner Folgendes aufweist:

a) einen ersten Eingang für ein erstes Hochfrequenzsignal;

b) einen zweiten Eingang für ein zweites Hochfrequenzsignal;

c) einen Ausgang zum Anschluss eines Verbrauchers;

d) einen Erdungsanschluss;

e) eine erste Induktivität, die den ersten Eingang mit dem Ausgang verbindet;

f) eine zweite Induktivität, die den zweiten Eingang mit dem Ausgang verbindet;

g) einen Combinerkondensator, der den Ausgang mit dem

Erdungsanschluss verbindet;

wobei die erste Induktivität magnetisch von der zweiten Induktivität entkoppelt ist und wobei der erste Eingang über ein RC-Anpassungsglied des Leistungscombiners mit dem zweiten Eingang verbunden ist.

Dabei kann der Leistungscombiner zumindest teilweise planar durch eine Multilayerleiterkarte ausgebildet sein. Ferner kann der Leistungscombiner eine erste Leiterplatte mit einer ersten elektrisch leitfähigen Lage und einer ersten elektrisch isolierenden Schicht aufweisen.

Ferner kann die erste Leiterplatte ein RC-Anpassungsglied aufweisen.

Der erfindungsgemäße Leistungscombiner weist somit einen LC- Kombinierer aus Induktivitäten und einem gemeinsamen

Combinerkondensator auf, wobei die Induktivitäten magnetisch

voneinander entkoppelt sind.

Die Entkopplung der beiden Induktivitäten schließt eine nur geringfügige parasitäre Kopplung nicht aus. Ziel ist jedoch eine möglichst geringe Kopplung. Dazu können die Induktivitäten als planare Induktivitäten in parallelen oder in einer gleichen Ebene beabstandet voneinander angeordnet sein. Die äußersten Windungen solcher beabstandeter planarer Induktivitäten können einen Abstand von wenigstens 1 cm aufweisen.

Erfindungsgemäß ist dabei ein Anpassungsnetzwerk zwischen den

Eingängen des Leistungscombiners vorgesehen, das eine resistiv- kapazitive Schaltungsanordnung, nämlich das RC-Anpassungsglied, aufweist. Die Dimensionierung des RC-Anpassungsglieds erfolgt auf Grundlage einer Grundfrequenz, mit der der Leistungscombiner betrieben wird. Der Leistungscombiner ermöglicht im Ergebnis geringe Verluste bei kleiner Baugröße und hohen Bandbreiten.

Der Leistungscombiner ist bevorzugt zur Kopplung von

Hochfrequenzsignalen zwischen 1 MHz und 200 MHz ausgebildet. Besonders bevorzugt ist der Leistungscombiner zur Ausgabe von

Leistungen über 2 kW ausgebildet.

In besonders bevorzugter Ausgestaltung des Leistungscombiners ist der Leistungscombiner zu einer Durchgangsdämpfung von weniger als 0,5 dB, insbesondere von weniger als 0,1 dB, weiter bevorzugt von weniger als 0,05 dB ausgebildet. Dies insbesondere beim Betrieb bei einer Frequenz von ± 10 % der Grundfrequenz.

Der Leistungscombiner kann als Leistungssplitter betrieben werden.

Der Leistungscombiner weist vorzugsweise einen dritten Eingang für ein drittes Hochfrequenzsignal auf, wobei der dritte Eingang über eine dritte Induktivität des Leistungscombiners mit dem Ausgang verbunden ist, wobei die dritte Induktivität magnetisch von der ersten Induktivität und der zweiten Induktivität entkoppelt ist, wobei ein erstes RC- Anpassungsglied einenends mit dem ersten Eingang verbunden ist, wobei ein zweites RC-Anpassungsglied einenends mit dem zweiten Eingang verbunden ist und wobei ein drittes RC-Anpassungsglied einenends mit dem dritten Eingang verbunden ist, wobei das erste RC-Anpassungsglied, das zweite RC-Anpassungsglied und das dritte RC-Anpassungsglied anderenends miteinander verbunden sind.

In dieser Ausgestaltung der Erfindung sind drei Hochfrequenzsignalquellen an jeweils einem Eingang des Leistungscombiners anschließbar. Der erste Eingang ist über das erste RC-Anpassungsglied und das zweite RC- Anpassungsglied mit dem zweiten Eingang verbunden. Der zweite Eingang ist über das zweite RC-Anpassungsglied und das dritte RC- Anpassungsglied mit dem dritten Eingang verbunden. Der dritte Eingang ist über das dritte RC-Anpassungsglied und das erste RC-Anpassungsglied mit dem ersten Eingang verbunden.

Weiter bevorzugt kann der Leistungscombiner einen weiteren Eingang für ein weiteres Hochfrequenzsignal aufweisen, wobei der weitere Eingang über eine weitere Induktivität des Leistungscombiners mit dem Ausgang verbunden ist, wobei die weitere Induktivität magnetisch von der ersten Induktivität, der zweiten Induktivität und der dritten Induktivität entkoppelt ist und wobei ein weiteres RC-Anpassungsglied einenends mit dem weiteren Eingang und anderenends mit dem ersten RC- Anpassungsglied, dem zweiten RC-Anpassungsglied und dem dritten RC- Anpassungsglied verbunden ist.

Der Leistungscombiner kann beliebig viele weitere Eingänge aufweisen, die über jeweils eine weitere Induktivität mit dem Ausgang verbunden sind, wobei die weiteren Induktivitäten magnetisch von den übrigen Induktivitäten entkoppelt sind, wobei die weiteren Eingänge jeweils mit einem weiteren RC-Anpassungsglied verbunden sind, wobei die weiteren RC-Anpassungsglieder jeweils einenends mit dem weiteren Eingang und anderenends mit den anderen RC-Anpassungsgliedern verbunden sind.

Die Induktivitäten sind vorzugsweise gleich dimensioniert. Besonders bevorzugt sind das erste RC-Anpassungsglied, das zweite RC- Anpassungsglied, das dritte RC-Anpassungsglied und/oder jedes weitere RC-Anpassungsglied gleich dimensioniert.

Weiter bevorzugt sind die RC-Anpassungsglieder so gewählt, dass die Gesamtimpedanz zwischen jeweils zwei Eingängen 100 Ω beträgt.

Hierdurch können handelsübliche, einen Ausgangswiderstand von 50 Ω aufweisende Hochfrequenzsignalquellen mit dem Leistungscombiner effektiv und sicher zusammengeschaltet werden.

Die RC-Anpassungsglieder sind zur Vereinfachung der Schaltung und Erleichterung der Fertigung des Leistungscombiners an einem Ende in einem Kreuzungspunkt verschaltet. Der Kreuzungspunkt ist vorzugsweise sternförmig ausgebildet.

Ein RC-Anpassungsglied kann eine Reihenschaltung aus einem

Anpassungswiderstand und einem Anpassungskondensator aufweisen. Eine solche Reihenschaltung ist konstruktiv besonders einfach ausgebildet, leicht berechen- und dimensionierbar sowie kostengünstig fertigbar.

Das RC-Anpassungsglied ist vorzugsweise in Form einer Reihenschaltung aus einem Anpassungswiderstand und einem Anpassungskondensator ausgebildet.

Vorzugsweise weisen mehrere RC-Anpassungsglieder jeweils eine

Reihenschaltung aus einem Anpassungswiderstand und einem

Anpassungskondensator auf oder sind jeweils aus einer Reihenschaltung aus einem Anpassungswiderstand und einem Anpassungskondensator ausgebildet.

In weiter bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung weisen alle RC- Anpassungsglieder eine Reihenschaltung aus einem

Anpassungswiderstand und einem Anpassungskondensator auf oder sind - weiter bevorzugt - jeweils in Form einer Reihenschaltung aus einem

Anpassungswiderstand und einem Anpassungskondensator ausgebildet. Die Fertigung des Leistungscombiners wird weiter vereinfacht und der für den Leistungscombiner benötigte Bauraum weiter reduziert, wenn der Leistungscombiner zumindest teilweise planar in Form einer

Mehrlagenleiterkarte (Multilayerleiterkarte) ausgebildet ist, wobei der Leistungscombiner eine erste Leiterplatte aufweist. Die erste Leiterplatte weist eine erste elektrisch leitfähige Lage und eine erste elektrisch isolierende Schicht auf. Die erste elektrisch leitfähige Lage ist an der ersten elektrisch isolierenden Schicht angeordnet. Die Multilayerleiterkarte weist mehrere elektrisch leitfähige Lagen auf, die zueinander insbesondere parallel angeordnet sind.

Vorzugsweise sind mehrere, insbesondere alle, elektrisch leitfähigen Lagen der Multilayerleiterkarte nicht durch Luft, sondern durch ein Dielektrikum, insbesondere eine elektrisch isolierende Schicht, von der jeweils

benachbarten elektrisch leitfähigen Lage getrennt, um Bauraum zu sparen und die Durchschlagsfestigkeit des Leistungscombiners zu erhöhen.

Der Leistungscombiner kann dadurch gekennzeichnet sein, dass die erste Leiterplatte ein RC-Anpassungsglied aufweist. Die erste Leiterplatte ist dabei vorzugsweise von außen zugänglich am Leistungscombiner

angeordnet. Hierdurch kann das RC-Anpassungsglied leicht eingestellt werden.

Vorzugsweise weist die erste Leiterplatte mehrere, insbesondere alle, RC- Anpassungsglieder auf.

Die RC-Anpassungsglieder sind auf der ersten Leiterplatte vorzugsweise in dem Kreuzungspunkt verbunden. Besonders bevorzugt ist die erste

Leiterplatte axialsymmetrisch zu einer Achse ausgebildet, die senkrecht zu der Hauptebene der ersten Leiterplatte verläuft und den Kreuzungspunkt schneidet.

Ein Anpassungswiderstand und ein Anpassungskondensator eines RC- Anpassungsgliedes können jeweils in Bauteilform auf die erste Leiterplatte bestückt sein. Das RC-Anpassungsglied kann dadurch nachträglich geändert, beispielsweise ausgetauscht oder anders dimensioniert werden.

Vorzugsweise sind alle Anpassungswiderstände und alle

Anpassungskondensatoren der RC-Anpassungsglieder jeweils in

Bauteilform auf die erste Leiterplatte bestückt.

Weiter bevorzugt weist die erste Leiterplatte den ersten Eingang und den zweiten Eingang, insbesondere alle Eingänge, auf. Ist die erste Leiterplatte von außen zugänglich, können die Hochfrequenzsignalquellen hierdurch leicht an den Leistungscombiner angeschlossen werden. Die erste

Leiterplatte kann den Ausgang und/oder den Erdungsanschluss aufweisen.

Bauraum wird eingespart und die Fertigung des Leistungscombiners vereinfacht, wenn der Combinerkondensator in Form eines

Plattenkondensators ausgebildet ist, wobei eine erste Platte des

Plattenkondensators auf einer zweiten elektrisch leitfähigen Lage der Multilayerleiterkarte und eine zweite Platte des Plattenkondensators auf einer dritten elektrisch leitfähigen Lage der Multilayerleiterkarte

ausgebildet sind.

Der Plattenkondensator kann eine dritte Platte aufweisen, die mit der ersten Platte leitend verbunden ist und auf einer vierten elektrisch leitfähigen Lage der Multilayerleiterkarte ausgebildet ist. Die Kapazität des Combinerkondensators kann dadurch ohne wesentliche

Bauraumvergrößerung signifikant erhöht werden.

Besonders bevorzugt ist die zweite Platte des Plattenkondensators zwischen der ersten Platte und der dritten Platte angeordnet.

Weiter bevorzugt ist die zweite Platte mit dem Erdungsanschluss leitend verbunden.

In weiter bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung ist der

Erdungsanschluss mit einer Kühlplatte des Leistungscombiners verbunden.

Die zweite elektrisch leitfähige Lage weist zur weiteren Einsparung von Bauraum vorzugsweise die erste Induktivität in Form einer planar ausgebildeten Induktivität auf.

Die zweite elektrisch leitfähige Lage kann weiterhin die zweite Induktivität in Form einer planar ausgebildeten Induktivität, die dritte Induktivität in Form einer planar ausgebildeten Induktivität und/oder die vierte

Induktivität in Form einer planar ausgebildeten Induktivität aufweisen. Vorzugsweise weist die zweite elektrisch leitfähige Lage alle Induktivitäten auf, wobei die Induktivitäten jeweils in Form planar ausgebildeter

Induktivitäten ausgebildet sind.

Die erfindungsgemäße Aufgabe wird weiterhin gelöst durch eine

Leistungscombineranordnung mit einem zuvor beschriebenen

Leistungscombiner, wobei die Leistungscombineranordnung eine erste Hochfrequenzsignalquelle, die an den ersten Eingang angeschlossen ist, und eine zweite Hochfrequenzsignalquelle, die an den zweiten Eingang angeschlossen ist, sowie insbesondere einen Verbraucher aufweist, der an den Ausgang angeschlossen ist.

Die Leistungscombineranordnung kann eine dritte

Hochfrequenzsignalquelle, die an den dritten Eingang angeschlossen ist, und/oder eine vierte Hochfrequenzsignalquelle, die an den vierten Eingang angeschlossen ist, aufweisen. Weiterhin kann die

Leistungscombineranordnung weitere Hochfrequenzsignalquellen

aufweisen, die an weitere Eingänge angeschlossen sind.

Die erste Hochfrequenzsignalquelle, die zweite Hochfrequenzsignalquelle, die dritte Hochfrequenzsignalquelle, die vierte Hochfrequenzsignalquelle und/oder weitere Hochfrequenzsignalquellen sind vorzugsweise in Form von HF-Transistorverstärkern, insbesondere von frequenzagilen HF- Transistorverstärkern, ausgebildet. Besonders bevorzugt sind alle

Hochfrequenzsignalquellen identisch ausgebildet.

Der Verbraucher ist vorzugsweise in Form einer Plasmaanlage ausgebildet.

Die Impedanz der RC-Anpassungsglieder ist vorzugsweise so gewählt, dass die Gesamtimpedanz zwischen zwei Eingängen des

Leistungscombiners der Summe der Ausgangsimpedanzen der

Hochfrequenzsignalquellen entspricht, die an diesen beiden Eingängen angeschlossen sind. Die Hochfrequenzsignalquellen werden dadurch voneinander isoliert und besonders effektiv vor einem Gegentaktsignal geschützt.

Vorzugsweise weisen die Hochfrequenzsignalquellen jeweils eine

Ausgangsimpedanz von 50 Ω auf, wobei die RC-Anpassungsglieder so gewählt sind, dass die Gesamtimpedanz zwischen zwei Eingängen, an denen die Hochfrequenzsignalquellen angeschlossen sind, 100 Ω beträgt. Die Leistungscombineranordnung ermöglicht hierdurch den Einsatz handelsüblicher Hochfrequenzsignalquellen.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die

erfindungswesentliche Einzelheiten zeigt, sowie aus den

Patentansprüchen.

Die in der Zeichnung dargestellten Merkmale sind derart dargestellt, dass die erfindungsgemäßen Besonderheiten deutlich sichtbar gemacht werden können. Die verschiedenen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen bei Varianten der Erfindung verwirklicht sein.

Es zeigen :

Fig. 1 Ein Schaltbild einer ersten erfindungsgemäßen

Leistungscombineranordnung mit einem Leistungscombiner und zwei an dem Leistungscombiner angeschlossenen

Hochfrequenzsignalquellen;

Fig. 2 ein Diagramm zum Vergleich der erfindungsgemäßen

Leistungscombineranordnung mit einem Wilkinson-Schaltkreis gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 3 ein Schaltbild einer zweiten erfindungsgemäßen

Leistungscombineranordnung mit einem weiteren Leistungscombiner und vier an dem Leistungscombiner angeschlossenen Hochfrequenzsignalquellen; und

Fig. 4 eine schematische teilweise Darstellung eines Aufbaus eines weiteren Leistungscombiners.

Fig. 1 zeigt eine Leistungscombineranordnung 10 mit einem

Leistungscombiner 12. Der Leistungscombiner 12 weist einen ersten Eingang 14a und einen zweiten Eingang 14b auf, an denen jeweils eine Hochfrequenzsignalquelle 16a, 16b angeschlossen ist. Die

Hochfrequenzsignalquellen 16a-b dienen der Versorgung eines

Verbrauchers 18 in Form einer Plasmaanlage. Der Verbraucher 18 ist an einen Ausgang 20 des Leistungscombiners 12 angeschlossen. Der

Leistungscombiner weist weiterhin einen Erdungsanschluss 22 auf.

Die Kopplung der Hochfrequenzsignale der Hochfrequenzsignalquellen 16a-b erfolgt durch Induktivitäten 24a, 24b und einen

Combinerkondensator 26.

Zur Isolation der beiden Eingänge 14a-b und zum Schutz der beiden Hochfrequenzsignalquellen 16a-b vor ungleichmäßig aufgeteilten

reflektierten Gegentaktsignalen ist zwischen den Eingängen 14a-b ein RC- Anpassungsglied 28 geschaltet, das in Fig. 1 gestrichelt gerahmt ist. Das RC-Anpassungsglied 28 weist einen Anpassungswiderstand 30 und einen Anpassungskondensator 32 auf.

Das RC-Anpassungsglied 28 ist in Form einer Reihenschaltung aus dem Anpassungswiderstand 30 und dem Anpassungskondensator 32

ausgebildet. Das RC-Anpassungsglied 28 ist so dimensioniert, dass die Impedanz zwischen den Eingängen 14a-b der Summe aus den Ausgangsimpedanzen der Hochfrequenzsignalquellen 16a-b entspricht. Im vorliegenden Fall weisen die beiden Hochfrequenzsignalquellen 16a-b jeweils eine Ausgangsimpedanz von 50 Ω auf. Das RC-Anpassungsglied 28 ist somit derart dimensioniert, dass die Impedanz zwischen den Eingängen 14a-b 100 Ω entspricht.

Die Impedanz zwischen den Eingängen 14a-b wird dabei durch das RC- Anpassungsglied 28 und die beiden Indu ktivitäten 24a-b bestimmt und berechnet sich - basierend auf einer Grundfrequenz - wie folgt:

Dabei ist Z die Impedanz zwischen den Eingängen 14a-b, U die

Indu ktivität der ersten Indu ktivität 24a, L ₂ die Induktivität der zweiten Indu ktivität 24b, Ri der Widerstand des Anpassungswiderstands 30 und C die Kapazität des Anpassungskondensators 32.

Im Ergebnis weist der Anpassungswiderstand 30 einen Widerstand von 50 Ω, der Anpassungskondensator 32 eine Kapazität von 78 pF, die Indu ktivitäten 24a-b jeweils eine Indu ktivität von 195 nH und der

Combinerkondensator eine Kapazität von 78 pF auf. Die zuvor genannte Berechnung liefert eine optimale Balance des Leistungscombiners 12 bei Abweichungen von der Grundfrequenz der Hochfrequenzsignalquellen 16a- b.

Fig . 2 zeigt einen Vergleich der Bandbreiten eines erfindungsgemäßen ausbalancierten Leistungscombiners (durchgezogene Linie, A) mit einem CLC-Wilkinson-Leistungscombiner gemäß dem Stand der

Technik (strichpunktierte Linie, B). Aus Fig. 2 ist ersichtlich, dass der erfindungsgemäße Leistungscombiner bei Abweichen von einer

Grundfrequenz, auf die der Leistungscombiner dimensioniert ist, eine signifikant bessere Übertragungscharakteristik aufweist.

Fig. 3 zeigt eine weitere Leistungscombineranordnung 10 mit einem

Leistungscombiner 12. Der Leistungscombiner 12 weist einen ersten Eingang 14a, einen zweiten Eingang 14b, einen dritten Eingang 14c und einen vierten Eingang 14d auf. Eine erste Hochfrequenzsignalquelle 16a ist an den ersten Eingang 14a, eine zweite Hochfrequenzsignalquelle 16b an den zweiten Eingang 14b, eine dritte Hochfrequenzsignalquelle 16c an den dritten Eingang 14c und eine vierte Hochfrequenzsignalquelle 16d an den vierten Eingang 14d angeschlossen.

Eine erste Induktivität 24a ist einenends mit dem ersten Eingang 14a, eine zweite Induktivität 24b ist einenends mit dem zweiten Eingang 14b, eine dritte Induktivität 24c ist einenends mit dem dritten Eingang 14c und eine vierte Induktivität 24d ist einenends mit dem vierten Eingang 14d verbunden. Die Induktivitäten 24a-d sind anderenends mit einem Ausgang 20 verbunden, an den ein Verbraucher 18 angeschlossen ist. Weiterhin sind die Induktivitäten 24a-d anderenends mit einem

Combinerkondensator 26 verbunden. Der Combinerkondensator 26 ist mit einem Erdungsanschluss 22 verbunden.

Ein erstes RC-Anpassungsglied 28a ist einenends mit dem ersten

Eingang 14a, ein zweites RC-Anpassungsglied 28b ist einenends mit dem zweiten Eingang 14b, ein drittes RC-Anpassungsglied 28c ist einenends mit dem dritten Eingang 14c und ein viertes RC-Anpassungsglied 28d ist einenends mit dem vierten Eingang 14d verbunden. Die RC- Anpassungsglieder 28a-d sind anderenends an einem Kreuzungspunkt 34 miteinander verbunden.

Die RC-Anpassungsglieder 28a-d sind identisch ausgebildet. Nachstehend wird daher zur Vermeidung von Wiederholungen nur auf das erste RC- Anpassungsglied 28a näher eingegangen. Das erste RC- Anpassungsglied 28a weist eine Parallelschaltung aus einem

Anpassungswiderstand 30 und einem ersten Anpassungskondensator 32a auf, wobei diese Parallelschaltung mit einem zweiten

Anpassungskondensator 32b in Reihe geschaltet ist. Das erste RC- Anpassungsglied 28a ist derart dimensioniert, dass zwischen den

Eingängen 14a-b - unter Berücksichtigung des zweiten RC- Anpassungsgliedes 28b und den Induktivitäten 24a-b - eine Impedanz vorliegt, die der Summe der Ausgangsimpedanzen der

Hochfrequenzsignalquellen 16a-b entspricht. Hierdurch weist der

Kreuzungspunkt 34 virtuell Erdungspotential auf. Im vorliegenden Fall weist das erste RC-Anpassungsglied 28a einen Widerstand von 50 Ω auf, wobei die Induktivitäten 24a-b jeweils eine Induktivität von 300 nH bis 400 nH, insbesondere 339 nH, aufweisen.

Fig. 4 zeigt einen schematischen Aufbau eines weiteren

Leistungscombiners 12. Der Leistungscombiner 12 weist eine

Multilayerleiterkarte 36 auf. Die Multilayerleiterkarte 36 weist mehrere elektrisch leitfähige Lagen auf. Im vorliegenden Fall weist die

Multilayerleiterkarte 36 eine erste elektrisch leitfähige Lage 38a, eine zweite elektrisch leitfähige Lage 38b, eine dritte elektrisch leitfähige Lage 38c und eine vierte elektrisch leitfähige Lage 38d auf.

Die elektrisch leitfähigen Lagen 38a-d sind aus Gründen der

Übersichtlichkeit überproportional weit voneinander entfernt dargestellt. In Fig. 4 sind weiterhin aus Gründen der Übersichtlichkeit nicht die elektrisch leitfähigen Strukturen der elektrisch leitfähigen Lagen 38a-d mit einem Bezugszeichen versehen, sondern Ebenen, in denen sich die elektrisch leitfähigen Strukturen der elektrisch leitfähigen Lagen 38a-d befinden. Zwischen den elektrisch leitfähigen Lagen 38a-d weist die

Multilayerleiterkarte 36 elektrisch isolierende Schichten auf, die aus

Gründen der Übersichtlichkeit in Fig. 4 nicht dargestellt sind.

Eingänge 14a-d befinden sich in der obersten, von außen zugänglichen ersten elektrisch leitfähigen Lage 38a. Die Eingänge 14a-d sind jeweils mit gestrichelt eingerahmten RC-Anpassungsgliedern 28a-d verbunden. Die RC-Anpassungsglieder 28a-d weisen jeweils Aufnahmen für

Anpassungswiderstände und Anpassungskondensatoren auf, die in Fig. 4 aus Gründen der Darstellbarkeit lediglich angedeutet sind.

Die den Eingängen 14a-d abgewandten Enden der RC- Anpassungsglieder 28a-d sind an einem Kreuzungspunkt 34

zusammengeführt. Durch die punktförmige Ausbildung der

Zusammenführung am Kreuzungspunkt 34 weist der Kreuzungspunkt 34 vorteilhafterweise eine gute Symmetrie auf. Die kapazitive Wirkung kann durch eine geringe Oberfläche der Struktur weiter reduziert werden.

Die Eingänge 14a-d sind jeweils mit einer Induktivität 24a-d verbunden. Die Enden der Induktivitäten 24a-d sind über Brücken 40a-d mit einer ersten Platte 42 verbunden. Ein Ausgang 20 ist mit der ersten Platte 42 verbunden.

Die Multilayerleiterkarte 36 weist in der dritten elektrisch leitfähigen Lage 38c eine zweite Platte 44 auf, die der ersten Platte 42

gegenüberliegt. Die zweite Platte 44 ist mit einem Erdungsanschluss 22 verbunden. Die zweite Platte 44 steht nicht in Kontakt mit den Brücken 40a-d.

Die Multilayerleiterkarte 36 weist optional in der vierten elektrisch leitfähigen Lage 38d eine dritte Platte 46 auf, die - ebenso wie die erste Platte 42 - mit den Brücken 40a-d verbunden ist. Die dritte Platte 46 weist somit das gleiche Potential wie die erste Platte 42 auf. Die erste Platte 42, die zweite Platte 44 und die dritte Platte 46 bilden zusammen einen Combinerkondensator 26. Durch die dritte Platte 46 wird die

Kapazität des Combinerkondensators 26 signifikant erhöht.

Die Durchkontaktierungen zwischen den Lagen der Multilayerleiterkarte 36 können durch alle Lagen gehen und in jeder Lage elektrisch leitfähige Pads aufweisen. Dann sind vier Pads auf der ersten Lage 38a vorhanden, die von der zweiten Ebene vom Potential des Ausgangs 20 bis zur ersten Lage 38a elektrischen Kontakt haben. Diese liegen nun sehr nah an dem Kreuzungspunkt 34. Zur sicheren Isolierung und zur Vermeidung von Kriechströmen kann eine Isolierplatte auf die erste Ebene gepresst oder geklebt werden. Diese Isolierplatte kann die Größe der dritten Platte 46 haben.

Die Anpassungsglieder 28, 28a-28d können jeweils eine Reihenschaltung von einem Kondensator und Widerstand aufweisen. Der Widerstand kann gut gekühlt werden, wenn er in einer Ausnehmung der

Multilayerleiterkarte 36 angeordnet ist, sodass die Kontakte auf der Multilayerleiterkarte 36 angelötet sind und sein sich erwärmender Körper auf einer unter der Multilayerleiterkarte 36 angeordneten Kühlplatte kontaktiert ist. Die Multilayerleiterkarte 36 kann gekühlt werden, wenn sie mittels einer Keramikplatte befestigt ist, die zwischen der Multilayerleiterkarte 36 und einer Kühlplatte an der Kühlplatte befestigt ist. Die Keramikplatte kann 2 mm bis 7 mm dick sein. Die Keramikplatte kann kleinere

Abmessungen in der Fläche aufweisen als die Multilayerleiterkarte 36. Die Multilayerleiterkarte 36 kann demnach über die Keramikplatte überstehen

Die Keramikplatte kann so ausgestaltet sein, dass sie die

Induktivitäten 24a - 24d abdeckt, aber Anschlüsse 25a - d nicht abdeckt. Dann können die Anschlüsse 25a - d mit anderen Leiterkarten,

beispielsweise mit den Ausgängen von den Verstärkerleiter karten, direkt verbunden werden.

Die Keramikplatte kann so ausgestaltet sein, dass sie die

Induktivitäten 24a - d abdeckt, aber die Anschlüsse des Ausgangs 20 und den Erdungsanschluss 22 nicht abdeckt. Dann können diese Anschlüsse mit anderen Leiterkarten oder mit der an die Erdung angeschlossenen Kühlplatte direkt verbunden werden.

Unter Vornahme einer Zusammenschau aller Figuren der Zeichnung betrifft die Erfindung einen Leistungscombiner 12 in Form eines

ausbalancierten LC-Combiners. Eingänge 14a-d des

Leistungscombiners 12 sind jeweils über zumindest ein RC- Anpassungsglied 28, 28a-d voneinander isoliert. Das zumindest eine RC- Anpassungsglied 28, 28a-d ist vorzugsweise so dimensioniert, dass die Verbindung zwischen den Eingängen 14a-d beim Betrieb des

Leistungscombiners 12 an zumindest einer Stelle auf einem stabilen Potential liegt. Der Leistungscombiner 12 ist weiter bevorzugt in planarer Bauweise ausgebildet und weist parallel zueinander verlaufende elektrisch leitfähige Lagen 38a-d auf. In den elektrisch leitfähigen Lagen 38a-d sind vorzugsweise zumindest Induktivitäten 24a-d und ein

Combinerkondensator 26 ausgebildet. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Leistungscombineranordnung 10 mit einem zuvor beschriebenen

Leistungscombiner 12 und an zumindest zwei Eingängen 14a-d

angeschlossenen Hochfrequenzsignalquellen 16a-d, die bevorzugt in Form frequenzagiler Transistorverstärker ausgebildet sind.