Die Erfindung betrifft das Herrichten eines Verdampferkörpers, insbesondere eines keramischen Verdampferkörpers, und dessen Betreiben in einer PVD-Metallisierungsanlage, insbesondere eine Metallisierungsanlage zum kontinuierlichen Beschichten eines flexiblen Substrats . Auf der Oberseite des Verdampferkörpers ist eine von der Metallschmelze benetzbare Schichtstruktur angeordnet, die sich entlang des Verdampferkörpers im Abstand von dessen Enden zur Ausbildung der Verdampferfläche des Verdampferkörpers erstreckt.

Das gebräuchliche Verfahren zum Beschichten von flexiblen Substraten mit Metallen ist das sog. Vakuum-Bandmetallisieren gemäß der PVD (physical vapor deposition) -Technik. Als flexible Substrate kommen z.B. Papier, Kunststoffolien und Textilien in Frage und als Metall wird überwiegend Aluminium eingesetzt. So beschichtete Substrate finden breite Anwendung für Verpackung-, Dekorationszwecke, bei der Kondensator¬ herstellung und in der Umwelttechnik (Isolation) .

Die Beschichtung der flexiblen Substrate erfolgt in sog. Metallisierungsanlagen. In der Metallisierungsanlage wird das zu beschichtende Substrat über eine gekühlte Walze geführt und dabei einem Metalldampf ausgesetzt, der sich auf der Substratoberfläche als dünne Metallschicht niederschlägt. Zur Erzeugung des erforderlichen konstanten Dampfstromes werden widerstandsbeheizte Verdampferkörper insbesondere in Form sogenannter Verdampferschiffchen eingesetzt, die im direkten Stromdurchgang auf etwa 1450-16000C erhitzt werden. Metall¬ draht wird kontinuierlich zugeführt, auf der Oberfläche der Verdampferschiffchen verflüssigt und im Vakuum bei ca. 10"4 mbar verdampft. Als Metall wird hauptsächlich Aluminium eingesetzt. Derartige Verdampferkörper bestehen in der Regel aus heißgepreßtem keramischem Material, das als Hauptkomponente Titandiborid und Bornitrid und/oder Aluminiumnitrid enthält. Titandiborid ist dabei die elektrisch leitfähige Komponente, Bornitrid und/oder Aluminiumnitrid die elektrisch isolierende Komponente, die miteinander gemischt zu spezifischen Heiß- Widerständen von 600-6000 μθhm*cm führen, wobei ein Mischungsverhältnis von leitfähiger zu nichtleitfähiger Komponente von je 50 Gew% (+/- 10 Gew%) vorliegt.

Flüssiges Aluminium verursacht während des Metallisierungs¬ prozesses auf dem Verdampferschiffchen Korrosion und Erosion, wodurch die nutzbare Lebensdauer des Verdampferschiffchens begrenzt wird. Auswaschungen von tiefen Gräben in der Umgebung des Aluminium-Drahtauftreffpunktes und Schwierigkeiten bei der Kontrolle der optimalen Temperaturverteilung über die Verdampferoberfläche während des Metallisierens sind typische Ausfallgründe. Weiterhin stellt die Benetzung, vor allem die Erstbenetzung, der Verdampferschiffchen mit dem zu bedampfenden Metall ein Problem dar. Von der Benetzungs- fähigkeit des zu verdampfenden Metalls wird auch die maximale Abdampfrate (kg Metall pro Zeiteinheit) beeinflußt.

Die Benetzung mit Kupfer oder Silber bereitet aufgrund der ungünstigen Benetzungseigenschaften der beiden Metalle auf der Titandiborid-Bornitrid-Mischkeramik große Schwierigkeiten.

Daher wird im Stand der Technik auf den Verdampferkörper eine ein- oder mehrschichtige Schichtstruktur aufgebracht, auf welche das Metall zugeführt wird, um Korrosion und Erosion des Verdampferkörpers weitgehend zu vermeiden und dadurch die Lebensdauer des Verdampferkörpers zu erhöhen und die Benetzbarkeit je nach dem verwendeten Metall zu fördern. Die bekannten Schichtstrukturen sind als Dauerbeschichtung ausgelegt.

Beispielsweise ist es aus der DE 195 16 233 Cl bekannt, die Abriebsfestigkeit der Beschichtung eines keramischen oder metallischen Verdampfungskörpers für den Einsatz in der PVD- Beschichtungstechnik zu erhöhen durch Aufbringen mindestens einer Schicht aus einem hochschmelzenden Borid oder Carbid oder Nitrid oder Silicid der IV., V. und VI. Nebengruppe des Periodensystems der Elemente, oder einer stabilen Mischphase dieser Verbindungen oder einer stabilen Mischphase dieser Verbindungen mit Aluminiumnitrid, und wahlweise einer elektrisch isolierenden Schicht aus einem hochschmelzenden Oxid. Diese Beschichtung wird durch CVD-Verfahren, Zerstäubungsprozesse (Sputterprozesse) oder Ionenplattieren aufgebracht und hat eine Gesamtdicke bei einem dreischichtigen Aufbau von 12 μm bis 45 μm.

Auch ist es aus der DE 25 03 374 bekannt, ein Kohlenstoff- Schiffchen für die Aluminiumverdampfung ganz oder teilweise mit einer Schutzschicht aus refraktionären Metallen und/oder aus deren Nitriden zu überziehen, so daß sich das Ausdehnungs¬ verhalten der Schutzschicht mit demjenigen des Kohlen- stoffmaterials verträgt und die Gefahr eines Abplatzens der Schutzschicht während des Verdampfungsvorgangs verringert wird. Hierzu wird die Schutzschicht in einem Flamm- oder Plasmaspritzverfahren oder durch chemische Gasphasenab- scheidung aufgebracht, wobei eine möglichst enge Haftung der Schutzschicht an dem Kohlenstoffsubstrat durch vorheriges Aufrauhen der Substratoberfläche angestrebt wird.

Nach der DE 31 14 467 A wird ebenfalls angestrebt, besonders gut haftende Schichten zu erzielen, indem Verdampferschiffchen aus feuerfester Oxidkeramik für die Verdampfung von Metallen wie Kupfer, Eisen, Nickel oder Legierungen dieser Metalle mit einer Beschichtung aus Wolfram und/oder Molybdän versehen werden. Diese Beschichtung wird im Flammspritz- oder Plasmaspritzverfahren aufgebracht, um ein örtliches Abplatzen wie bei Schichten zu vermeiden, die aus aufgesintertem Wolfram- und/oder Molybdän-Pulver hergestellt worden sind.

Durch die Erfindung wird erreicht, bei der PVD-Metallisierung durch verbesserte Benetzung der Verdampferfläche mit dem jeweiligen zu verdampfenden Metall eine hohe Abdampfrate zu erzielen, die Standzeit des Verdampferkörpers oder Verdampferschiffchens zu erhöhen und dessen elektrische Kontrolle zu verbessern, so daß die Qualität des aufgedampften Metallfilms auf dem insbesondere flexiblen Substrat erhöht ist.

Gegenstand der Erfindung ist insbesondere ein Verfahren zum Herrichten eines Verdampferkörpers und dessen Betreiben in einer PVD-Metallisierungsanlage, wobei zur Ausbildung der Verdampferfläche für das Abdampfen des Metalls auf den Verdampferkörper eine Schichtstruktur aus mindestens einer Schicht aufgebracht wird und ein Metallisierungszyklus durchgeführt wird, in welchem der Verdampferkörper mit elektrischem Strom betrieben wird und kontinuierlich mit Metall beschickt wird, so daß der Verdampferkörper aufgrund seines elektrischen Widerstands erwärmt wird und das auf die Schichtstruktur zugeführte Metall verflüssigt und verdampft wird. Gemäß der Erfindung wird als Schichtstruktur eine durch den Betrieb des Verdampferkörpers verbrauchbare Schicht¬ struktur verwendet, die auf den Verdampferkörper vor dem Metallisierungszyklus als Rohschichtstruktur aus sinterfähigem Pulvermaterial in im wesentlichen unversintertem Zustand aufgebracht wird und in dem Metallisierungszyklus durch die Erwärmung des Verdampferkörpers auf diesen aufgesintert wird. In einer Verfahrensvariante weist die Rohschichtstruktur ein sinterfähiges Pulvermaterial im im wesentlichen unversinterten Zustand in einem niedrigschmelzenden Bindermaterial auf, in dem das sinterfähige Pulvermaterial verteilt vorliegt.

Als sinterfähiges Pulvermaterial kann dabei ein geeignetes körniges Material aus Einzelkörnchen und/oder Korn- Agglomeraten und/oder einer körnigen Fraktion aus vorgesintertem Material verwendet werden. Das Aufsintern des Pulvermaterials auf den Verdampferkörper erfolgt insbesondere dadurch, daß Schmelzbrücken zwischen der Materialstruktur des Verdampferkörpers- und der Kornstruktur des Pulvermaterials entstehen, um für einen ausreichend guten Wärmeübergang zwischen Verdampferkörper und Schicht zu sorgen, wobei die •Schmelzbrücken gegebenenfalls aus Sinterhilfsstoffen und/oder aus Reaktionsprodukten mit dem zu verdampfenden Metall sein können.

Anders als bei den bekannten Verfahren wird gemäß der Erfindung die als Schutz des Verdampferkörpers gegen Erosion aufgebrachte Schichtstruktur aus einer oder mehreren Schichten nicht für eine möglichst hohe Abriebsfestigkeit und dauerhafte Haftung auf dem Material des Verdampferkörpers, sondern als ein sogenannter OpferÜberzug ausgelegt, der sich zwar während des Metallisierungsvorgangs durch erosionsbedingten Abrieb und erosionsbedingte Ausschwemmung verbraucht, jedoch bis dahin eine gute Benetzbarkeit durch das verflüssigte und zu verdampfende Metall aufweist und daher für eine hohe und gut regelbare Abdampfrate bei gleichmäßiger Abdampfdichte sorgt.

Da das die Rohschichtstruktur bildende Pulvermaterial erst durch das Aufheizen des Verdampferkörpers und/oder während des Metallisierungsvorgangs auf den Verdampferkörper aufsintert und dabei auch selbst versintert wird, entsteht bei gleichzeitig hoher Benetzungs- und Aufnahmefähigkeit für das zu verdampfende Metall eine für den Metallisierungszyklus ausreichend gute temporäre Haftung der Schichtstruktur zum Verdampferkörper und unter den Teilchen der Schichtstruktur bei hinreichend gutem Wärmeübergang zwischen Verdampferkörper und Schichtstruktur. Nach der Beendigung des Metallisierungs¬ zyklus, dessen Dauer von dem Verbrauchsgrad der Schicht¬ struktur bestimmt wird, läßt sich die verbrauchte Schicht¬ struktur relativ leicht wieder von dem abgekühlten Verdampfer¬ körper wenigstens teilweise entfernen und durch eine frische Rohschichtstruktur wenigstens an denjenigen Stellen ersetzen, an denen sich die verbrauchte Schichtstruktur von dem Verdampferkörper durch dessen Abkühlen abgelöst hat, wonach ein weiterer Metallisierungszyklus eingeleitet werden kann. Das Entfernen der verbrauchten Schichtstruktur und deren Ersetzen wird vorzugsweise in der Metallisierungsanlage ohne Demontage des Verdampfungskörpers durchgeführt. Der Verdampferkörper als solcher kann daher für eine lange Standzeit in wiederholten Metallisierungszyklen wieder¬ verwendet werden.

Aus DE 25 35 569 A ist es an sich bekannt, die mit dem geschmolzenen Metall in Berührung kommende Verdampferfläche eines keramischen Verdampferkörpers mit einem Karbid oder mit Wolframmetall, Tantalmetall oder Molybdänmetall zu beschichten, um eine gute Benetzbarkeit der Beschichtung durch das geschmolzene Metall zu erreichen. Hierbei kann die Beschichtung durch Aufspritzen aus der Schmelze, in einem Verdampfungsbeschichtungsverfahren oder auch in einer Beschichtungs-Trocknungsmethode aufgebracht werden. Bei letzterer wird eine Suspension von Pulver aus dem jeweiligen Karbid oder Metall in einem verdampfbaren Medium z.B. mit einer Bürste aufgebracht und anschließend getrocknet und gesintert. Die Trocknung soll vorzugsweise bei 60 0C bis 200 C0 durchgeführt werden und die Sinterung bei 200 0C bis 1000 0C erfolgen. Jedoch wird nicht über Zeitpunkt, Ort und Qualität der Sinterung berichtet. Nach den Beispielen handelt es sich außerdem nicht um einen Verdampferkörper für eine Beschichtung, bei welcher die Zuführung des zu verdampfenden Metalls kontinuierlich erfolgt, zumal von relativ kurzen 5 Verdampfungszyklen von 25 bis 322 s ausgegangen wird, bei welchen eine gute Korrosionsfestigkeit des Keramikmaterials des Verdampferkörpers besteht.

Demgegenüber wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren das zu 10 verdampfende Metall in Form eines Drahtes kontinuierlich zugeführt, wobei der Metallisierungszyklus je nach Material der Schichtstruktur und Höhe der Abdampfrate 30 bis 90 min dauern kann.

15. Wenngleich die erfindungsgemäße Rohschichtstruktur auf einen Verdampferkörper ohne Kavität aufgebracht werden kann, ist der Verdampferkörper in weiterer Ausgestaltung der Erfindung mit einer Kavität ausgestattet, in welche das die Rohschichtstruktur bildende ungesinterte Pulvermaterial 0 eingebracht wird. Vorzugsweise hat die Kavität einen flachen hohlen Rechteσkquerschnitt, der mit dem Pulvermaterial bis auf eine Restkavität mit einer Tiefe von 0,3 bis 3 mm, vorzugsweise von 0,5 bis 0,8 mm ausgefüllt wird, damit ein Ausbreiten der Schmelze begrenzt wird. 5 Die Rohschichtstruktur kann durch Zumischung einer verdampfbaren Flüssigkeit wie Wasser oder Ethanol zu dem Pulvermaterial im feuchten Zustand und gegebenenfalls in mehreren Schichten aus unterschiedlichen Pulverstoffen 0 aufgetragen werden. Eine derartige Schichtstruktur wird dann vorzugsweise unter dem Vakuum- und Temperatureinfluß der Metallisierungsanlage vor der Erwärmung des Verdampferkörpers und/oder zu Beginn der durch direkten Stromfluß durch den Verdampferkörper erreichten Erwärmung getrocknet. In einer 5 bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist es jedoch auch möglich, die Rohschichtstruktur auf den Verdampferkörper in Form einer ein- oder mehrschichtigen vorgefertigten, z.B. verpreßten oder auch leicht vorgesinterten Platte aus dem Pulvermaterial aufzubringen. Auch hierbei kann der Verdampferkörper mit einer Kavität ausgestattet sein, in welche die Platte eingelegt wird.

Die erfindungsgemäße Schichtstruktur kann einschichtig oder aus mehreren übereinanderliegenden Schichten zusammengesetzt sein. In der einschichtigen Struktur kann das sinterfähige Pulvermaterial ohne oder mit zusätzlichem Bindermaterial vorliegen. Auch bei Verwendung von mehreren übereinander liegenden Schichten können in beiden Schichten sinterfähige Pulvermaterialien jeweils zusammen mit dem niedrigschmelzenden Bindermaterial oder ohne das niedrigschmelzende Bindermaterial vorliegen, oder das Bindermaterial ist in nur einer der Schichten, bevorzugt nur in der oberen Schicht enthalten.

Durch die Erfindung ist es auch möglich, eine relativ dicke ein- oder mehrschichtige Schichtstruktur vorzusehen, um deren Aufnahmevermögen für das flüssige Metall zu steigern und dadurch hohe Abdampfraten erzielen zu können. So kann die erfindungsgemäße Schichtstruktur eine Gesamtdicke von 0,2 bis 1,5 mm, vorzugsweise von 0,6 bis 1,0 aufweisen.

Während im Stand der Technik für eine möglichst gute Haft¬ fähigkeit angestrebt wird, das Wärmeausdehnungsverhalten einer auf den Verdampfungskörper aufgebrachten Schichtstruktur an das Substratmaterial des Verdampferkörpers möglichst eng anzupassen, kann es gemäß der Erfindung vorteilhaft sein, eine Schichtstruktur mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten insbesondere an der mit dem Substratmaterial des Verdampfungskörpers in Kontakt stehenden Schicht zu verwenden, die von dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Verdampferkörpers verschieden ist, so daß ein Ablösen und Abplatzen der im Metallisierungszyklus verbrauchten Schichtstruktur durch das Abkühlen des Verdampferkörpers am Ende des Metallisierungszyklus begünstigt wird. Nicht durch das Abkühlen abgelöste Reste der Schichtstruktur lassen sich im allgemeinen mühelos durch Abbürsten oder Abschaben entfernen, was auch in der Metallisierungsanlage selbst durchgeführt werden kann.

Als Grundmaterial des elektrisch beheizten Verdampferkörpers, insbesondere Verdampferschiffchens, wird gemäß der Erfindung bevorzugt eine Mischkeramik mit den Hauptkomponenten TiB2, BN und/oder AlN oder eine Keramik-Metall-Mischung mit den Hauptkomponenten ZrO2 und Mo oder ein Material mit Kohlenstoff als Hauptkomponente verwendet.

Vorzugsweise weist eine erfindungsgemäße Schichtstruktur im einschichtigen Aufbau oder mehrschichtigen Aufbau eine an der Oberseite der Schichtstruktur freiliegende, in Anpassung an das zu verdampfende Metall benetzungsfördernde Schicht auf aus einem hochschmelzenden Borid oder Carbid oder Nitrid oder Silicid der IV, V und VI Nebengruppe, insbesondere Titandiborid, oder einer stabilen Mischphase wenigstens zweier dieser Verbindungen oder einer stabilen Mischphase wenigstens einer dieser Verbindungen mit Aluminiumnitrid oder Molybdän oder Wolfram oder Titan oder Zirkonoxid (Zrθ2) • Bei einem mehrschichtigen Aufbau der Schichtstruktur wird vorzugsweise als unterste, mit dem Verdampferkörper in Kontakt stehende Schicht, oder als eine Zwischenschicht, eine benetzungshemmende und/oder elektrisch isolierende Schicht aus der Gruppe aus Bornitrid, Aluminiumnitrid, hochschmelzende Oxide wie Aluminiumoxid (Al2O3) und Yttriumoxid, Siliziumnitrid, Aluminiumtitanat, Zirkonsilikat oder Mischphasen zweier oder mehr dieser Verbindungen aufgetragen. Zum Verdampfen von Aluminium kann auf den Verdampferkörper ein Einschichtaufbau oder ein Mehrschichtaufbau mit einem benetzungsfähigen Überzug vorzugsweise aus einem hochschmel¬ zenden Borid oder Carbid oder Nitrid oder Silicid der IV, V und VI Nebengruppe des Periodensystems, insbesondere Titandiborid, oder einer stabilen Mischphase wenigstens zweier dieser Verbindungen oder einer stabilen Mischphase wenigstens einer dieser Verbindungen mit Aluminiumnitrid oder Zirkonoxid (ZrO2) verwendet werden. Bei einem Mehrschichtaufbau mit einer benetzungshemmenden oder isolierenden untersten Schicht ist diese vorzugsweise aus der Gruppe aus Bornitrid, Alurαiniumnitrid, Siliziumnitrid, hochschmelzende Oxide (wie Aluminiumoxid (AI2O3) oder Yttriumoxid) , Aluminiumtitanat, Zirkonsilikat oder aus einer Mischphase wenigstens zweier dieser Verbindungen.

Zum Verdampfen von Kupfer, Zinn, Silber oder Gold wird auf den Verdampferkörper ein Einschichtaufbau oder ein Mehrschichtaufbau vorzugsweise mit einer benetzungsfähigen Schicht aus Wolfram, Molybdän oder vorzugsweise Titan oder einer Mischung dieser Komponenten aufgetragen, wobei bei einem Mehrschichtaufbau eine benetzungshemmende oder isolierenden unterste oder mittlere Schicht vorzugsweise aus Bornitrid, Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid, hochschmelzende Oxide (wie Aluminiumoxid (AI2O3) oder Yttriumoxid) , Aluminiumtitanat oder Zirkonsilikat, oder Mischphasen dieser Verbindungen aufgetragen ist.

Bei der bereits erwähnten Verfahrensvariante, bei welcher die Rohschichtstruktur aus einem sinterfähigen Pulvermaterial im im wesentlichen unversinterten Zustand in einem niedrigschmelzenden Bindermaterial vorliegt, in dem das sinterfähige Pulvermaterial verteilt ist, kann das Bindermaterial selbst als Pulvermaterial im Gemisch mit dem sinterfähigen Pulvermaterial vorliegen. Ein solches Gemisch kann verpreßt, insbesondere warmverpreßt sein. Das Bindermaterial kann jedoch auch mit dem Bindermaterial verschmolzen sein, so dass von dem Bindermaterial eine Gußstruktur gebildet wird, in welche das sinterfähige Pulvermaterial in gleichmäßiger oder ungleichmäßiger Verteilung eingebettet ist.

Vorzugsweise ist das niedrigschmelzende Bindermaterial ein Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit und derart ausgewählt, dass es auch im geschmolzenen Zustand nicht mit dem sinterfähigen Pulvermaterial reagiert und daher im wesentlichen keine Reaktionsprodukte bildet.

Bei dieser Verfahrensvariante ist die das niedrigschmelzende Bindermaterial enthaltende Schicht bevorzugt als vorgefertigte Platte ausgebildet.

Bei der Erwärmung des Verdampferkörpers schmilzt das Bindermaterial, so dass das darin verteilte sinterfähige Pulvermaterial darin suspendiert wird und sedimentiert, so daß ein guter Wärmekontakt des sinterförmigen Pulvermaterials mit dem Verdampferkörper entsteht. Mit zunehmender Erwärmung verdampft das Bindermaterial vollständig, ohne an dem Sinterprozeß aktiv teilzunehmen.

Mit Vorteil wird als Bindermaterial Zinn oder gebundenes Zinn oder eine Zinnlegierung beigemischt, wobei Verunreinigungen vorliegen können. Hierbei wird insbesondere Zinn als Bindermaterial vorgezogen, weil das Intervall zwischen seinem Schmelzpunkt bei 230 Celsiusgrad und seiner Verdampfungstempe¬ ratur bei 1200 bis 1400 Celsiusgrad groß ist und daher die gute Wärmeleitfähigkeit des geschmolzenen Zinns für eine rasche und gleichmäßige Erwärmung des sinterfähigen Pulvermaterials für dessen Versinterung ausgenutzt wird. Die Erfindung betrifft in einer zweiten Verfahrensvariante auch ein Verfahren zum Herrichten eines Verdampferkörpers, insbesondere eines keramischen Verdampferkörpers, und dessen Betreiben in einer PVD-Metallisierungsanlage, bei welchem auf den Verdampferkörper eine Schichtstruktur aus mindestens zwei Schichten aufgebracht wird und ein Metallisierungszyklus durchgeführt wird, in welchem der Verdampfungskörper mit elektrischem Strom betrieben wird und kontinuierlich mit Metall beschickt wird, so daß der Verdampfungskörper aufgrund seines elektrischen Widerstands erwärmt wird und das auf die Schichtstruktur zugeführte Metall verflüssigt und verdampft wird. Auch bei dieser zweiten Verfahrensvariante wird als Schichtstruktur eine durch den Betrieb des Verdampferkörpers verbrauchbare Schichtstruktur verwendet, die auf den Verdampferkörper vor dem Metallisierungszyklus als Rohschichtstruktur aufgebracht wird, die eine obere Schicht aus einem benetzungsfördernden Plattenmaterial und eine untere elektrische isolierende und/oder benetzungshemmende Schicht aus sinterfähigem Pulvermaterial im im wesentlichen unver- sinterten Zustand aufweist, und in dem Metallisierungszyklus durch die Erwärmung des Verdampfungskörpers auf diesen aufgesintert wird.

Bei dieser zweiten Verfahrensvariante kann als die obere Schicht eine weitgehend homogene Platte verwendet werden, die insbesondere aus einem der benetzungsfördernden Materialien ist, die für die anderen weiter oben beschriebenen Verfahrensvarianten angegeben sind, wohingegen die untere Schicht aus einem benetzungshemmenden und/oder elektrisch isolierenden Pulvermaterial der für die erste Verfahrens¬ variante angegeben Zusammensetzung ist.

Es ist jedoch auch möglich, dieses Plattenmaterial ebenfalls als Rohschichtstruktur aus sinterfähigem, jedoch unversinterten Pulvermaterial zu gestalten, das bevorzugt in Zinn als Bindermaterial vorliegen kann.

Die weiter oben geschilderten Merkmale können entsprechend auch für die zweite Verfahrensvariante in Anpassung an die Verwendung einer weitestgehend homogenen Platte als obere Schicht der Schichtstruktur verwendet werden.

Bei allen Verfahrensvarianten kann das Auftragen einer mehrschichtigen Rohschichtstruktur durch Einbringen der unteren Schicht in wannenförmiger Gestalt in eine Kavität des Verdampfungskörpers und durch Einbringen der oberen Schicht in die wannenförmige untere Schicht erfolgen, so daß die obere Schicht an der Unterseite. und entlang ihres Umfangs von der unteren Schicht umgeben ist. Hierdurch wird weitgehend verhindert, daß die Schichtstruktur ebenfalls von dem den Verdampferkörper erwärmenden Strom durchflössen wird.

Die Erfindung betrifft auch einen Verdampferkörper zum Betreiben in einer PVD-Metallisierungsanlage, wobei auf den Verdampferkörper eine erfindungsgemäße Rohschichtstruktur aufgetragen ist. Ein derartiger, mit der Rohschichtstruktur vorbeschichteter Verdampferkörper ist insbesondere für die Erstbenetzung desselben vorteilhaft und kann im vorbeschichteten, getrockneten und ggf. leicht vorgesinterten Zustand an Abnehmer geliefert werden.

Weiter betrifft die Erfindung eine sinterfähige Rohschichtstruktur in Form einer vorgefertigten Platte zum Aufbringen auf einen elektrisch betreibbaren, insbesondere keramischen Verdampferkörper für eine PVD- Metallisierungsanlage. Von dieser vorgefertigten Platte (im folgenden auch "Rohpulverplatte") wird eine erfindungsgemäße ein- oder mehrschichtige Rohschichtstruktur aus sinterfähigem Pulvermaterial im im wesentlichen unversinterten Zustand oder aus sinterfähigem Pulvermaterial im im wesentlichen unversinterten Zustand in einem niedrigschmelzenden Bindermaterial ausgebildet, in dem das sinterfähige Pulvermaterial verteilt ist.

In bevorzugter Ausführungsform liegt die vorgefertigte Platte als Schichtstruktur mit sinterfähigem Pulvermaterial in im wesentlichen unversinterten Zustand in einem Bindermaterial vor, wie dies im Zusammenhang mit der ersten Verfahrensvariante weiter oben bereits beschrieben wurde. Auch hierbei wird als Bindermaterial vorzugsweise Zinn hergenommen, welches als Pulverkomponente im Gemisch mit dem Sinterpulver vorliegen kann und mit diesem unter Ausbildung der vorgefertigten Platte verpreßt, insbesondere warmverpreßt sein kann. Mit Vorteil kann das Zinn statt als Pulverkomponente als Gußkomponente ausgebildet sein, in welcher das Sinterpulver in mehr oder weniger gleichmäßiger Verteilung vergossen ist.

Die vorgefertigte Platte ist vorzugsweise als Einschichtplatte ausgebildet, wobei das sinterfähige Pulvermaterial ein für das zu verdampfende Metall benetzungsförderndes Material oder Materialgemisch ist, das eine der weiter oben für das Verfahren beschriebenen Zusammensetzungen hat. Die vorgefertigte Platte kann aber auch eine Zweischichtstruktur haben, in welcher die untere Schicht benetzungshemmend und/oder elektrisch isolierend ausgebildet ist und als dünne Beschichtung auf die Unterseite der oberen Schicht oder auf die Unterseite und die Seitenflächen der Rohpulver-Zinn- Platte, insbesondere in Form einer Suspension aufgestrichen, aufgetragen ist.

Die Platte kann insbesondere in Anpassung an den jeweiligen Verdampferkörper, der ohne oder bevorzugt mit Kavität ausgebildet ist, geformt oder zugeschnitten sein, so daß sie für den Erstbetrieb des Verdampfungskörpers unmittelbar, oder für dessen Wiederholungsbetrieb nach Ablösung der im vorangegangenen Betrieb verbrauchten Schichtstruktur auf den Verdampferkörper aufgelegt werden kann.

Ein besonderer Vorteil in der Verwendung des Zinns als Bindermateζial zum Formen der Rohpulver-Platte liegt darin begründet,, dass das Zinn ein sehr großes Schmelz-Verdampfungs- Intervall aufweist, d.h. Zinn weist einen niedrigen Schmelzpunkt und eine relativ hohe Siedetemperatur auf. Da die Siedetemperatur des Zinns oberhalb der Sintertemperatur des Rohpulvers liegt, liegt das Rohpulver vor Beginn und zu Beginn des Sinterprozesses in der Zinnschmelze suspendiert vor. Dadurch wird ein Haften/Festhalten der Rohpulverpartikel auf der Verdampferoberfläche bzw. in der Kavität des Verdampferschiffchens sichergestellt und verhindert, dass die Rohpulverpartikel von der Verdampferoberfläche vorzeitig abgetragen werden. Ferner weist die Zinnschmelze sehr gute Eigenschaften hinsichtlich der Wärmeübertragung und Wärmeverteilung auf.

Zudem verhält sich das Zinn gegenüber dem sinterfähigen Rohpulver neutral, d.h. es geht keine Reaktion mit diesem ein.

Aus der Zeichnung sind bevorzugte Ausführungsformen eines Verdampferkörpers 1 in Form eines typischen Verdampferschiff¬ chens mit einer flachen Kavität 2 mit hohlem Rechteckquer¬ schnitt schematisch ersichtlich. Bei der Ausführungsform aus Fig. 1 sind die Begrenzungsflächen der Kavität 2 an beiden Seiten derselben und an deren Vorder- und Rückseite eben und senkrecht zum Boden der Kavität ausgebildet. Bei der Ausführungsform aus Fig. 2 hingegen entsprechen die seitlichen Begrenzungsflächen der Kavität denen aus Fig. 1, wohingegen die vordere und die hintere Begrenzungsfläche schräg nach außen zum Boden geneigt verlaufen und am Übergang zum Boden ausgerundet sind. Hierdurch wird insbesondere ein Herausschaben oder Herausbürsten des verbrauchten Überzuges aus der Kavität 2 begünstigt.

Aus den Figuren 3 und 4 sind die Ausführungsformen aus Fig. 1 bzw. 2 mit in die Kavität eingebrachter Rohschichtstruktur 3 ersichtlich. Die Tiefe der jeweiligen Kavität 2 ist an die Dicke der jeweiligen Schichtstruktur 3 derart angepaßt, das über der Schichtstruktur eine Restkavität 4 verbleibt.

Bei der Ausführungsform aus Fig. 5 ist in die Kavität des Verdampferkörpers 1 eine einschichtige Schichtstruktur 3, und bei der Ausführungsform aus Fig. 6 und 6a eine Mehrschichtstruktur 3 mit einer oberen benetzungsfördernden Schicht a und einer unteren benetzungshemmenden und/oder elektrisch isolierenden Schicht b eingebracht.

Beispiel 1: Die 1 mm tiefe, 100 mm lange und 22 mm breite Mulde = Kavität eines aus Titandiborid-Bornitrid bestehenden Verdampferschiff- chens mit den Abmessungen 150 x 30 x 10 mm (Figur 1) wurde mit folgender Mehrfachschichtstruktur (Figur 6) versehen: a) Untere Schicht b: Die untere Schicht b wurde auf den Boden der Mulde (= Kavität) des Verdampferschiffchens mit einem Pinsel in Form eines dünnen (ca. 0,1 mm), den Boden der Kavität vollflächig bedeckenden Films aus einer wässrigen Suspension von Bornitridpulver aufgetragen und dann an Luft kurz vorgetrocknet. b) Obere Schicht a: Die zweite Schicht a wurde als eine wässrige Suspension von Titandiboridpulver vollflächig und gleichmäßig in einer Dicke von 0,5 mm auf den ersten Bornitridüberzug b aufgetragen und an Luft und/oder später unter dem Vakuum- und Temperatureinfluss der Metallisierunganlage getrocknet. Anschließend wurde das präparierte Verdampferschiffchen in der Metallisierungsanlage unter Hochvakuum auf eine Temperatur von ca. 1450 bis 1600 0C gebracht. Hierzu wurde das Verdampfer- Schiffchen mit der aufgebrachten Schichtstruktur durch Hindurchleiten von Strom durch das Verdampferschiffchen beheizt.

Auf die aufgeheizte Schichtstruktur wurde nun kontinuierlich Aluminiumdraht zugeführt.

Ergebnis: Die Erstbenetzung des Aluminiums auf der Schichtstruktur ist gleichmäßig und vollflächig, so daß die Abdampfrate auf mehr als das 1,5-fache eines vergleichbaren, eingefahrenen, aber nicht beschichteten Verdampferschiffchens erhöht werden konnte. Das Aluminium verdampfte gleichmäßig ohne lokale Aluminiumseebildung, d.h. ohne Spritzerbildung, und mit relativ geringem Aufwand zur elektrischen Kontrolle. Die Schichtstruktur hielt dem korrosiven und erosiven Angriff der Aluminiumschmelze je nach Abdampfrate 30 bis 60 Minuten stand.

Nach vollendeter Metallisierung des flexiblen Substrats wurde die kontinuierliche Drahtzufuhr gestoppt und die Leistungsaufnahme des Verdampferschiffchens inklusive Schichtstruktur wurde zum vollständigen Abdampfen des Aluminiums noch für ca. 2 Minuten aufrechterhalten. Nun wurde die Leistung bis auf 0 kW zurückgestellt, was zur schnellen Abkühlung des Verdampferschiffchens inklusive Schichtstruktur führte. Dabei lockerte sich die Schichtstruktur vom Verdampferschiffchen meist vollständig. Sich nicht durch die Abkühlung selbst ablösende Bestandteile des Überzugs ließen sich mit geringer mechanischer Kraft mühelos entfernen, worauf das Verdampferschiffchen erneut beschichtet und mit vergleichbar gutem Erfolg betrieben werden konnte.

Beispiel 2: Herstellung und Anwendung einer Platte aus sinterfähigem Pulvermaterial in einem Bindermaterial aus Zinn

Im Turbomischer wurde eine Pulvermischung aus 70 Gew.% Titandiborid (d90 < 50μm) und 30 Gew% Zinn (d90 < 60μm) trocken gemischt. Diese Mischung wurde dann bei 3000C mit einer beheizbaren Presse zu einer Platte der Dimension Höhe x Breite x Länge = 0,5 x 26 x 100 mm warm gepresst und anschließend in der Pressform abgekühlt und entformt.

Bei diesem Pressvorgang schmolz das Zinn und bettete das sinterfähige Pulver ein. Das sinterfähige Pulver blieb unverändert, d.h. es sinterte bei diesen niedrigen Temperaturen nicht zusammen und bildete auch keine Reaktionsprodukte mit dem Zinn. Beim Abkühlen entstand dann die Rohpulver-Zinn-Platte.

Die derart hergestellte Platte aus sinterfähigem, benetzungsfördernden Pulvermaterial (= Rohpulver) und Zinn hat einen Einschichtaufbau.

Diese Platte aus sinterfähigem, benetzungsfördernden Rohpulver und Zinn wurde in die Kavität eines aus Titandiborid-Bornitrid bestehenden Verdampferschiffchens mit den Abmessungen 150 x 30 x 10 mm und dem Kavitätsmaß 100 x 26 x 3 mm (Figur 1) gelegt. Anschließend wurde das derart präparierte Verdampferschiffchen in der Metallisierungsanlage innerhalb von 10 min. auf 1450 bis 1600 0C gebracht. Hierzu wurde das Verdampferschiffchen mit der aufgebrachten Platte aus sinterfähigem, benetzungsfördernden Rohpulver und Zinn durch Hindurchleiten von Strom durch das Verdampferschiffchen beheizt. Beim Aufheizen schmolz das Zinn ab etwa 23O0C und es bildete sich eine Rohpulver-Sn-Suspension, die einen guten thermischen Kontakt zum Verdampferkörper herstellte. Ab etwa 6000C begann dar benetzungsfördernde Pulver in der Umgebung des flüssigen Zinns zu sintern. Das flüssige Zinn nahm nicht aktiv an dem Sinterprozess teil. Der Sinterprozess war bei etwa 1400 0C abgeschlossen. In Abhängigkeit vom Vakuum in der Metalli¬ sierungsanlage verdampfte das Zinn bei etwa 1200 bis 1400 0C vollständig.

Zurück blieb dann die aufgesinterte korrosionsfeste benetzungsfördernde Beschichtung, auf die dann kontinuierlich Aluminiumdraht gegeben wurde.

Konzentrationen/Schichtdicken/Korngrößen etc. : • Konzentration des Zinnpulvers in der Zinn-Rohpulver- Mischung: 10 bis 50 Gew% (vorzugsweise 20 bis 40 Gew.%) • Korngröße des Zinnpulvers: d90 = 20 bis 200 μm (vorzugsweise 40 bis 80 μm) • Plattendicke: 0,2 bis 1,5 mm (vorzugsweise 0,4 bis 1,0 mm)

Bei der in Fig. 7, 9 und 9a gezeigten Ausführungsform ist in die Kavität des Verdampferkörpers 1 eine zweischichtige Schichtstruktur 3 mit, wie insbesondere aus Fig. 7 und 9a ersichtlich, einer wannenförmigen, die Begrenzungsfläche der Kavität allseitig abdeckenden benetzungshemmenden und/oder elektrisch isolierenden Schicht b und einer oberen benetzungsfördernden Schicht a eingebracht, welche in der durch die wannenförmige Schicht b ausgebildeten Wanne aufgenommenen ist. Die Wannenform der Schicht b hat insbesondere bei elektrisch isolierendem Schichtmaterial den Vorteil, dass die benetzungsfördernde Schicht auch umfangseitig von der Begrenzungswand der Kavität des Verdampferkörpers 1 isoliert ist, wodurch besser verhindert wird, dass Strom durch das auf der benetzungsfördernden Schicht a aufgebrachte Verdampfungsmaterial fließt.

Die Figuren 8 und 8a zeigen den Verdampferkörper 1 beim Herrichtvorgang, mit zu diesem Zeitpunkt nur in die Kavität wannenförrαig eingebrachter benetzungshexnmender bzw. elektrisch isolierenden Schicht b, auf welche dann die benetzungs- fördernde Schicht a aufzutragen ist.

Nach dem Aufbringen der Schicht a verbleibt dann wie in den vorigen Beispielen wiederum eine Restkavität 4 mit umfangsseitig von der Schicht b gebildeter Begrenzungsfläche.