以下、本発明の実施の形態について図面� ��用いて詳細に説明する。図1は、本実施形態 のプレス装置システム1のブロック図である� �本実施形態のプレス装置システムは、CCL(Copp er Clad Laminate、樹脂シートの片面又は両面に 銅箔を形成したもの)、銅箔、プリプレグを� �層した積層体を熱圧締して多層基板を成形� �るものである。本実施形態のプレス装置シ� �テムは、積層体を加熱・加圧して成形を行� �成形ホットプレス装置100と、成型後の積層� �にキュア処理を行うキュアプレス装置200と� �キュア処理によって得られる多層基板を冷� �するコールドプレス装置300と、を有する。� �た、本実施形態のプレス装置システム1は、� ��形ホットプレス装置100にて成形された積層� ��をキュアプレス装置200に搬送するための一� ��搬送装置400と、キュアプレス装置200によっ� ��キュア処理を行った積層体をコールドプレ� ��装置に搬送するための二次搬送装置500とを� ��する。また、本実施形態のプレス装置シス� ��ム1は、システム全体の動作を制御するため の制御装置600を備えている。

 本実施形態の成形ホットプレス装置100の� ��徴につき以下説明する。図2は、成形ホット プレス装置100の側面図であり、図3は図2にお� ��るA-A矢視図である。成形ホットプレス装置1 00は、下側に配置された固定熱盤110と上側に� ��置された可動熱盤120との間で積層体Sを挟ん で加圧する装置である。固定熱盤110及び可動 熱盤120は、後述するように、積層体Sのプリ� �レグに含まれる熱硬化性樹脂の硬化温度以� �の温度に加熱されるよう構成されている。

 可動熱盤120の上面には、クラウン定盤130� ��取り付けられている。クラウン定盤の上部� ��はボールナット132が設けられており、この� ��ールナット132にはボールねじ142の下端が係� ��している。ボールねじ142の上端にはこのボ� ��ルねじを回転させるモータ144が設けられて� ��り、このモータ144によってボールねじ142を� ��動させることによってクラウン定盤130及び� ��動熱盤120を上下動させることができる。従� ��て、モータ144を駆動させることによって、� ��層体Sを熱盤110、120間でプレスすることがで きる。前述のように、熱盤110、120はプリプレ グに含まれる熱硬化樹脂の硬化温度以上の温 度、すなわち未硬化プリプレグ樹脂のガラス 転移点よりも高い温度に加熱されているので 、熱盤110、120間で積層体Sをプレスすること� �よって、プリプレグの樹脂は一旦軟化して� �リプレグと隣接する銅箔またはCCLと密着す� �。そして、プリプレグの硬化が一定程度ま� �進行し、可動熱盤120を上昇させた後でも積� �体Sの形状は維持される。

 本実施形態においては、成形ホットプレ� ��装置100による積層体Sのプレスは、真空容器 150の内部で行われるようになっている。真空 容器150には、真空ポンプ156及び弁158が設けら れている。弁158を閉じ、次いで真空ポンプ156 を駆動することによって真空容器150の内部を 真空にすることができる。また、この状態か ら弁158を開放することによって、真空容器150 の内部を大気圧に戻すことができる。

 本実施形態においては、積層体Sは搬送部 160によって真空容器150の内部に搬入されると 共に、そこから搬出されるようになっている 。搬送部160は、キャリアフィルム162と、真空 容器150の搬送方向(図中右から左方向)の下流� ��(図中左)に配置されたリーリング164と、搬� �方向上流側(図中右)に配置されたアンリーリ ング166とを有する。キャリアフィルム162は、 搬送方向上流側をアンリーリング166に、搬送 方向下流側をリーリング164に巻き取られてお り、リーリング164を巻き上げ、且つアンリー リング166を巻き解くように駆動することによ って、キャリアフィルム162を搬送方向に移動 させることができる。成形ホットプレス装置 100によってプレスされる前の積層体Sは、プ� �ス装置100より上流側でキャリアフィルム162� �上に載置され、次いでリーリング164、アン� �ーリング166を作動させてキャリアフィルム16 2を移動させることによって、真空容器内に� �送される。また、成形ホットプレス装置100� �よるプレスを行った後の積層体Sは、キャリ� ��フィルム162を移動させることによって真空� ��器150の中から搬送方向下流側に搬出される� ��なお、積層体によってキャリアフィルム162� ��撓まないように、リーリング164及びアンリ� ��リング166によってキャリアフィルム162には� ��ンションが付与されている。

 真空容器150は、上側部分152と下側部分154� ��を有し、上側部分152は図示しない駆動機構� ��よって上下動可能に構成されている。また� ��図示されるように、キャリアフィルム162は� ��真空容器150の上側部分152と下側部分154との� ��、及び固定熱盤110と可動熱盤120の間を通過� ��るよう構成されている。上側部分152を降下� ��せると、キャリアフィルム162の上面及び下� ��が上側部分152と下側部分154にそれぞれ密着� ��、熱盤110、120及びその間に配置された積層� ��Sは真空容器150内に密閉されるようになって いる。成形ホットプレス装置100によって積層 体Sをプレスする際は、積層体を固定熱盤110� �上に載置し、真空容器150を閉じ、真空ポン� �156によって真空容器内を真空にし、次いで� �動熱盤120を駆動して真空下で積層体Sをプレ� ��する。なお、クラウン定盤130の外周側面と� ��空容器150の上側部分152の内周側面との間に� ��ガスケット155が設けられており、両者の隙� ��からのエア漏れを防止している。

 熱盤110及び120には図示しないヒータが設� ��られており、このヒータによってプリプレ� ��の硬化温度以上の一定温度に加熱される。� ��た、可動熱盤110の表面には日本国特許第3847 633号に記載されている熱盤ジャケットと同様 の機構が設けられている。すなわち、比較的 に薄くしなやかな金属板からなる熱盤表面の 裏側全面に内部空間が設けられており、その 内部空間に充填した流体を加圧することによ って、均一な流体の静水圧と熱盤表面のしな やかさのために、積層体Sの全面をむら無く� �一な温度及び圧力でプレスできるようにな� �ている。なお、本実施形態のキュアプレス� �置においては、プレス圧が比較的小さいた� �、油圧ではなくガス圧を利用して上述の機� �を実現している。圧力媒体ガスとしては、� �熱したドライエア又はスチームを使用する� �また、プレス中に熱盤表面の温度を一定に� �つため、熱盤の内部空間を圧力媒体ガスが� �に一定の流量で流れるようにしてもよい。� �の熱盤ジャケットによって、銅箔をエッチ� �グして形成された微細かつ複雑な回路パタ� �ンの周囲を隅々まで樹脂で充填することが� �能になり、製造された積層基板は極めて安� �した特性を得る。

 次いで、キュアプレス装置200の構成に付� ��説明する。図4は、キュアプレス装置200及び コールドプレス装置300の側面図であり、図5A� ��図4のB-B矢視図である。図示されているよう に、キュアプレス装置は、上部熱盤211、第1� �間熱盤221、第2中間熱盤222、第3中間熱盤223、 第4中間熱盤224、下部熱盤212が上下方向に配� �されており、熱盤間に積層体Sを最大5枚配置 することができる。上部熱盤211の上にはクラ ウン定盤231が、下部熱盤212の下にはテーブル 定盤232が夫々配置されている。また、テーブ ル定盤232の下面にはモータ242が取り付けられ ている。モータ242の回転軸には下方に伸びる ボールねじ244が同軸に固定されており、モー タ242によってボールねじ244を回転させること ができる。ボールねじ244の下端にはナット246 が取り付けられている。ナット246はキュアプ レス装置の装置フレーム202に固定されている 。従ってモータ242を駆動することによって、 テーブル定盤232を上下動させることができる 。キュアプレス装置200によって積層体Sをプ� �スする際はテーブル定盤232を上昇させる。� �ーブル定盤232及びその上の下部熱盤212が上� �すると、下部熱盤212によって第4中間熱盤224� ��第3中間熱盤223、第2中間熱盤222、第1中間熱� ��221、上部熱盤211が順次持ち上げられ、最終� ��には上部熱盤211の上面がクラウン定盤231の� ��面に当接する。この状態から更にテーブル� ��盤232を上昇させる方向にモータを作動させ� ��と、クラウン定盤231とテーブル定盤232との� ��で、熱盤211、212、221~224を介して積層体Sが� �レスされる。

 なお、キュアプレスは大きなプレス圧を� ��要としないため、上部熱盤211が一定の重量� ��有していれば、上部熱盤211の重さだけで十� ��なプレス圧が得られる。この場合、上述の� ��うに上部熱盤211の上面をクラウウン定盤231� ��下面に当接させて、モータの駆動力によっ� ��テーブル定盤とクラウン定盤との間でプレ� ��を行う必要はない。従って、下部熱盤212、� ��間熱盤221~224、及び上部熱盤211が全て積み重 なった時点でテーブル定盤の上昇を停止して 、その状態でキュアプレスを行う構成にして もよい。このような構成にすれば、テーブル 定盤の移動時間が短縮され、更にキュアプレ スに必要なモータの消費電力が軽減される。

 また、熱盤211、212、221~224は、各熱盤内に 設けられた図示されないヒータによって加熱 されるようになっている。従って、キュアプ レス装置200の熱盤間に配置された積層体Sは� �熱盤間でプレスされることによって加熱さ� �る。

 次いで、キュアプレス装置200の熱盤間に� ��層体Sを配置し、更に熱盤間から積層体Sを� �り出すための構成に付き説明する。本実施� �態においては、キュア処理を行う前の積層� �Sがキュアプレス装置200の熱盤に対して搬送� ��向(図4中右から左方向)上流側(図中右側)に� �置されたテーブル262の上に載せられるよう� �なっている。より具体的には、テーブル262� �上には搬送用プレートPが置かれており、積� ��体Sは一次搬送装置400(図1)によって、キャリ アフィルム162の上からテーブル262上の搬送用 プレートPの上に移送されるようになってい� �。

 テーブル262にはプッシャ252が設けられて� ��る。プッシャ252は、図示しないモータによ� ��てテーブル262の天板の幅方向中央部に埋め� ��まれたレール252に沿って搬送方向(図5A中右� ��ら左方向)に駆動されるようになっている。 このプッシャ252によって搬送用プレートP及� �その上の積層体Sは熱盤間に向かって押し出� ��れる。すなわち、プッシャ252は、テーブル2 62の上流側手前に定められた待機位置(図中実 線部)と熱盤の上流側手前に定められた作用� �置(図中破線部)との間に移動可能であり、待 機位置から作用位置に向って移動することに よって、搬送用プレートPをテーブル262から� �し出すことができる。

 本実施形態においては、搬送用プレートP 及びその上の積層体Sを、中間熱盤221~224と下� ��熱盤212のうちの所望のものの上に移動させ� ��ことが出来るようになっている。このため� ��中間熱盤221~224と下部熱盤212のうちの任意の ものの上面をテーブル262の上面と同じ高さに 移動させることが出来るようになっている。 また、上部熱盤211及び中間熱盤221~224のいず� �かの下面の高さを、テーブル上面の高さよ� �充分に高い所定高さに保持することが出来� �ようになっている。このため、所望の熱盤(� ��部熱盤212又は中間熱盤221~224)の上面の高さ� �テーブル262の上面の高さとし、更にこの熱� �の上に位置する熱盤(上部熱盤211又は中間熱� ��221~224)の下面を所定高さに保持することに� �って、搬送用プレートP及び積層体Sを挿入で きるだけのスペースが、所望の熱盤の上面と その上の熱盤の下面との間にできる。この状 態で、プッシャ252を駆動させることによって 搬送用プレートP及びその上の積層体Sを、所� ��の熱盤の上に移動させることができる。ま� ��、この時、所望の熱盤間に他の(キュア処理 が完了した)積層体S及び搬送用プレートP’が ある場合は、この搬送用プレートP’は、プ� �シャ252によって上流側から移動する搬送用� �レートPによって、下流側(図中左側)に押し� �される。すなわち、プッシャ252を駆動する� �とによって、キュア処理前の積層体Sを熱盤� ��に搬入すると共に、キュア処理後の積層体S を熱盤間から取り出すことができる。なお、 搬送用プレートPの搬送方向下流側端部は、� �方に折り曲げられており、プッシャ252で熱� �間に押し込まれる搬送用プレートPと熱盤間� ��搬送用プレートP’とが接触しやすい(すな� �ち、確実に搬送用プレートP’が押し出され� ��)ようになっている。

 熱盤間から押し出された搬送用プレートP ’と その上の積層体Sは、キュアプレス装置 200の搬送方向下流側に設けられたベルトコン ベア機構の二次搬送装置500によって、コール ドプレス装置300の上部冷却盤322と下部冷却盤 324との間に搬送される。次いで、上部冷却盤 322が降下して、両冷却盤の間で積層体Sが搬� �用プレートごとプレスされる。なお、冷却� �322、324の中には、冷媒(冷却水など)が循環す る管路が設けられており、冷却盤322、324の温 度は略常温に保たれている。このため、冷却 盤322、324間で積層体Sをプレスすると、積層� �Sが冷却される。コールドプレス装置300によ� ��プレスが完了した後、搬送用プレートPは二 次搬送装置500によって下流側に搬送される。 次いで、搬送用プレートPから積層体Sが取り� ��され、積層体Sは次の工程(表面の銅箔に配� �を形成する工程など)に移動する。また、積� ��体Sが取り外された後の搬送用プレートPは� �例えば、図5Bに示すような搬送方向下流側か ら上流側に搬送用プレートPを搬送するベル� �コンベア等の還流手段280によって、テーブ� �262(図4、図5A)の上に戻される。

 上部熱盤211及び中間熱盤221~224を所定高さ に保持するための熱盤保持機構につき、以下 説明する。図6は、キュアプレス装置200の正� �図(図4中、右側から見たもの)である。なお� �図6においては、熱盤保持機構を明確にする� ��め、テーブル262及びプッシャ252は図示して� ��ない。

 図6に示されるように、熱盤の幅方向(図� �水平方向)両側には、シリンダ272と、このシ� ��ンダ272から幅方向内側に突出するロッド274� ��を備えた熱盤保持部材270が設けられている� ��図4~6に示されるように、上部熱盤211及び中� ��熱盤221~224夫々の幅方向両側面には搬送方向 (図中紙面垂直方向)に並ぶ2対の穴Hが形成さ� �ている(すなわち、一つの熱盤に穴Hが4つ形� �されている)ので、熱盤保持部材270は4つ設け られている。

 熱盤保持部材270のシリンダ272は、固定支� ��276によって、フレーム202に固定されている� ��また、ロッド274は、シリンダ272から幅方向� ��側に突出するよう構成されている。ロッド2 74は、熱盤の穴Hに差し込まれる程度にシリン ダ272から突出する固定位置(図6の状態)と、熱 盤の穴Hに差し込まれないよう幅方向外側に� �避する退避位置との間で進退可能となって� �る。ロッド274は熱盤保持部材270の図示しな� �駆動手段によって、固定位置と退避位置と� �間を移動するよう駆動される。なお、駆動� �段は、油圧、空圧、或いはソレノイドを用� �てロッド274を駆動するようになっている。

 前述のように、熱盤保持部材のシリンダ2 72は移動しないよう固定されているので、テ� ��ブル定盤232を駆動してロッド274と熱盤の高� ��を揃え、次いでロッド274を退避位置から固� ��位置に駆動すると、ロッド274が熱盤の穴Hに 差し込まれる。この結果、ロッド274が差し込 まれた熱盤、及びこの熱盤の上にある他の熱 盤や積層体Sは、熱盤保持部材270に支持され� �。この状態からテーブル定盤232を降下させ� �と、ロッド274が差し込まれている熱盤から� �その下の熱盤が離れ、両熱盤の間にスペー� �ができる。

 次いで、一次搬送装置400につき説明する� ��図7は、一次搬送装置400、及びその搬送方向 の前後にあるキャリアフィルム162とテーブル 262の側面図である。一次搬送装置400は、搬送 方向に渡されたレール410と、このレール410か ら吊り下げられ、キャリアフィルム162の上と テーブル262の上との間で移動可能な可動フレ ーム420と、可動フレーム420から吊り下げられ ている複数の真空パッド430を有する。

 真空パッド430は、図示しない真空ポンプ� ��接続されており、この真空ポンプを駆動さ� ��ることにより、真空パッド430の吸引口の周� ��にある物を吸引することができる。従って� ��可動フレーム420をキャリアフィルム162上の� ��層体Sの上に移動させ、次いで真空ポンプを 駆動させると、積層体Sは真空パッド430に吸� �されて持ち上げられる。次いで、この状態� �可動フレーム420を下流側のテーブル162の上� �で移動してこの位置で真空ポンプを停止す� �と、真空パッド430から積層体Sが離れて、テ� ��ブル162上の搬送用プレートPの上に移る。か くして、積層体Sは、成形ホットプレス装置10 0上からキュアプレス装置200上に移動する。

 以上説明したプレス装置システム1による 積層体Sの成形手順につき、以下説明する。� �8は、キュアプレス装置200(図4)にて行われる� ��ュア処理の手順を示すフローチャートであ� ��。なお、このフローによる処理は、プレス� ��置システム1の制御装置600(図1)が、モータ242 (図4)及び熱盤保持手段270(図5A、6)を制御する� ��とによって実行される。また、本実施形態� ��おいては、成形ホットプレス装置100(図2)に� ��る積層体Sのプレス時間は5分であり、5分お� ��に一次搬送装置400によって成形済の積層体S がキュアプレス装置200のテーブル262(図4)に送 られるようになっている。

 本フローが開始すると最初にステップS1� �実行される。ステップS1では、キュアプレス 装置200のテーブル定盤232が降下して第4中間� �盤224と熱盤保持部材270(図6)の高さを揃える� �次いで、熱盤保持部材270のロッド274を固定� �置に移動させて第4中間熱盤224の穴Hにはめ込 む。次いで、テーブル定盤232を更に降下させ て下部熱盤211の上面とテーブル262の上面の高 さを揃える。この時、下部熱盤211の上面と第 4中間熱盤224の下面との間にスペースができ� �。そして、プッシャ252を駆動してテーブル26 2上の積層体Sをこのスペースに移動させる。� ��いで、ステップS2に進む。

 ステップS2では、テーブル定盤232を上昇� �せて、下部熱盤211上の積層体Sを第4中間熱盤 224に当接させ、次いで、熱盤保持部材270のロ ッド274を退避位置に移動させて第4中間熱盤22 4の穴Hから取り出す。次いで、テーブル定盤2 32を更に上昇させ、クラウン定盤231とテーブ� ��定盤232によって、熱盤を介して積層体Sを約 5分プレスする。次いで、ステップS3に進む。

 ステップS3では、キュアプレス装置200の� �ーブル定盤232が降下して第3中間熱盤223と熱� ��保持部材270(図6)の高さを揃える。次いで、� ��盤保持部材270のロッド274を固定位置に移動� ��せて第3中間熱盤223の穴Hにはめ込む。次い� �、テーブル定盤232を更に降下させて第4中間� ��盤224の上面とテーブル262の上面の高さを揃� ��る。この時、第4中間熱盤224の上面と第3中� �熱盤223の下面との間にスペースができる。� �して、プッシャ252を駆動してテーブル262上� �積層体Sをこのスペースに移動させる。次い� ��、ステップS4に進む。

 ステップS4では、テーブル定盤232を上昇� �せて、第4中間熱盤224上の積層体Sを第3中間� �盤223に当接させ、次いで、熱盤保持部材270� �ロッド274を退避位置に移動させて第3中間熱� ��223の穴Hから取り出す。次いで、テーブル定 盤232を更に上昇させ、クラウン定盤231とテー ブル定盤232によって、熱盤を介して積層体S� �約5分プレスする。次いで、ステップS5に進� �。

 ステップS5では、キュアプレス装置200の� �ーブル定盤232が降下して第2中間熱盤222と熱� ��保持部材270(図6)の高さを揃える。次いで、� ��盤保持部材270のロッド274を固定位置に移動� ��せて第2中間熱盤222の穴Hにはめ込む。次い� �、テーブル定盤232を更に降下させて第3中間� ��盤223の上面とテーブル262の上面の高さを揃� ��る。この時、第3中間熱盤223の上面と第2中� �熱盤222の下面との間にスペースができる。� �して、プッシャ252を駆動してテーブル262上� �積層体Sをこのスペースに移動させる。次い� ��、ステップS6に進む。

 ステップS6では、テーブル定盤232を上昇� �せて、第3中間熱盤224上の積層体Sを第2中間� �盤222に当接させ、次いで、熱盤保持部材270� �ロッド274を退避位置に移動させて第2中間熱� ��222の穴Hから取り出す。次いで、テーブル定 盤232を更に上昇させ、クラウン定盤231とテー ブル定盤232によって、熱盤を介して積層体S� �約5分プレスする。次いで、ステップS7に進� �。

 ステップS7では、キュアプレス装置200の� �ーブル定盤232が降下して第1中間熱盤221と熱� ��保持部材270(図6)の高さを揃える。次いで、� ��盤保持部材270のロッド274を固定位置に移動� ��せて第1中間熱盤221の穴Hにはめ込む。次い� �、テーブル定盤232を更に降下させて第2中間� ��盤222の上面とテーブル262の上面の高さを揃� ��る。この時、第2中間熱盤222の上面と第1中� �熱盤221の下面との間にスペースができる。� �して、プッシャ252を駆動してテーブル262上� �積層体Sをこのスペースに移動させる。次い� ��、ステップS8に進む。

 ステップS8では、テーブル定盤232を上昇� �せて、第2中間熱盤222上の積層体Sを第1中間� �盤221に当接させ、次いで、熱盤保持部材270� �ロッド274を退避位置に移動させて第1中間熱� ��221の穴Hから取り出す。次いで、テーブル定 盤232を更に上昇させ、クラウン定盤231とテー ブル定盤232によって、熱盤を介して積層体S� �約5分プレスする。次いで、ステップS9に進� �。

 ステップS9では、キュアプレス装置200の� �ーブル定盤232が降下して上部熱盤211と熱盤� �持部材270(図6)の高さを揃える。次いで、熱� �保持部材270のロッド274を固定位置に移動さ� �て上部熱盤211の穴Hにはめ込む。次いで、テ� ��ブル定盤232を更に降下させて第1中間熱盤221 の上面とテーブル262の上面の高さを揃える。 この時、第1中間熱盤221の上面と上部熱盤2211� ��下面との間にスペースができる。そして、� ��ッシャ252を駆動してテーブル262上の積層体S をこのスペースに移動させる。次いで、ステ ップS10に進む。

 ステップS10では、テーブル定盤232を上昇� ��せて、第1中間熱盤221上の積層体Sを上部熱� �211に当接させ、次いで、熱盤保持部材270の� �ッド274を退避位置に移動させて上部熱盤211� �穴Hから取り出す。次いで、テーブル定盤232� ��更に上昇させ、クラウン定盤231とテーブル� ��盤232によって、熱盤を介して積層体Sを約5� �プレスする。次いで、ステップS11に進む。

 ステップS11では、上述のステップS1~S10の� ��作を繰り返して実行するかどうかを判断す� ��。繰り返して動作を実行するかどうかの判� ��は、図示しない入力手段による作業者の指� ��に基づいて行ってもよいし、カウンタで記� ��した繰り返し回数が予め設定された回数に� ��達したかどうかを判断することによって行� ��てもよい。動作を繰り返す場合(ステップS11 :YES)はステップS1へ戻り、動作を繰り返さな� �場合(ステップS11:NO)はフローを終了する。

 動作を繰り返す場合、再び実行されるス� ��ップS1にて、下部熱盤212と第4中間熱盤224の� ��のスペースに新しい積層体Sを導入すると、 それまでこのスペースにあった積層体Sはス� �ースから押し出されて、二次搬送装置500に� �ってコールドプレス装置300に移送される。

 以上のルーチンによって、一枚の積層体S は5回、すなわち約25分キュアプレス装置200に よってプレスされる。一方、キュアプレス装 置200は、新しい積層体Sを導入するとともに� �ュア処理が終了した積層体Sを取り出すとい� ��処理を、約5分おきに実施することができる 。そのため、本実施形態においては、一枚の 積層体Sに対して充分な時間キュア処理を行� �ことができ、且つ、約5分おきに積層体をコ� ��ルドプレス装置300に送り出すことができる� ��

 なお、本実施形態においてはキュアプレ� ��装置200の中間熱盤の数を4とし、5枚の積層� �に対して同時にキュア処理を行うことが出� �るようになっている。しかしながら、本発� �はこの構成に限定されるものではない。例� �ば、キュア処理に掛かる時間がより長くな� �ような場合は、より多くの中間熱盤を備え� �キュアプレス装置を使用する。

 また、本実施形態においては、キュアプ� ��ス装置200の熱盤211、212、221~224、及び成形プ レス装置100の熱盤110、129は、各熱盤内に設け られた電熱ヒータによって加熱されるように なっているが、熱盤内に加熱された熱媒(オ� �ル等)を循環させる構成としてもよい。なお� ��本実施形態の電熱ヒータ方式は、オイルミ� ��トを発生する恐れが無いため、クリーンル� ��ム内で使用することができる。