ZUM PRESSEN EINES SILIKONELEMENTS

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Presswerkzeug zum

Pressen eines Silikonelements, ein System aus einem

Presswerkzeug und einer in das Presswerkzeug eingelegten

Trägerfolie, sowie ein Verfahren zum Pressen eines

Silikonelements .

Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein

Presswerkzeug und ein Verfahren zum Pressen eines

Silikonelements, welches beispielsweise in Form vereinzelter Silikonplättchen als Strahlungskonversionselement in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil verwendet wird.

Ein Beispiel für ein optoelektronisches Halbleiterbauteil weist einen elektrisch kontaktierten Halbleiterchip mit einem Strahlungskonversionselement auf, wobei der Halbleiterchip und das Strahlungskonversionselement in eine Vergussmasse

eingebettet sein können. Der Halbleiterchip sendet im Betrieb eine Primärstrahlung aus und in dem

Strahlungskonversionselement wird ein Teil der Primärstrahlung in eine Sekundärstrahlung anderer Wellenlänge konvertiert. Die resultierende Strahlung des optoelektronischen

Halbleiterbauteils ergibt sich aus der Überlagerung der vom Strahlungskonversionselement transmittierten Primärstrahlung und der erzeugten Sekundärstrahlung. So lassen sich

insbesondere Lichtquellen bereitstellen, die ein weißes Licht abstrahlen .

Das aus dem Silikonelement hergestellte

Strahlungskonversionselement wird hierbei separat von dem Halbleiterchip hergestellt und anschließend mittels geeigneter Verfahren auf den Halbleiterchip aufgebracht und ggf. in ein Gehäuse eingebettet.

Bekanntermaßen wird das Silikonelement, aus welcher das

Strahlungskonversionselement durch entsprechende

Vereinzelungsvorgänge gewonnen wird, durch ein Pressverfahren hergestellt. Hierbei wird Silikongrundmasse in die Kavität eines Presswerkzeugs eingebracht und durch Pressen in Form des Silikonelements gebracht. Hierbei ist es wichtig, dass das Silikonelement entlang seiner gesamten Ausdehnung eine

möglichst konstante Dicke aufweist.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, den bekannten Stand der Technik zu verbessern.

Des Weiteren ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Presswerkzeug zum Pressen eines Silikonelements, ein

System aus einem Presswerkzeug und einer in das Presswerkzeug eingelegten Trägerfolie sowie ein Verfahren zum Pressen eines Silikonelements anzugeben, so dass die Herstellung des

Silikonelements verbessert wird.

Diese Aufgabe wird durch ein Presswerkzeug gemäß dem

unabhängigen Patentanspruch 1 gelöst.

Des Weiteren wird diese Aufgabe durch ein System aus einem Presswerkzeug und einer in das Presswerkzeug eingelegten

Trägerfolie gemäß dem unabhängigen Anspruch 11 gelöst. Des Weiteren wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zum

Pressen eines Silikonelements gemäß dem unabhängigen Anspruch 13 gelöst

Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängigen Patentansprüchen angegeben.

BEISPIELHAFTE AUSFÜHRUNGSFORMEN

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Presswerkzeug zum

Pressen eines Silikonelements, aufweisend ein oberes

Presswerkzeugteil und ein unteres Presswerkzeugteil, welche in geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs eine Kavität zum Pressen eines Silikonelements bilden, wobei das obere

Presswerkzeugteil und das untere Presswerkzeugteil derart zusammenwirken, dass in geschlossenem Zustand des

Presswerkzeugs eine Spannkraft auf eine zwischen die

Presswerkzeugteile eingelegte Trägerfolie für das

Silikonelement wirkt.

Durch die spezielle Ausgestaltung des Presswerkzeugs wird es ermöglicht, die Trägerfolie während des Pressvorgangs mittels der Presswerkzeugteile zu spannen. Hierdurch liegt die

Trägerfolie dicht und eben an dem Presswerkzeugteil an und die Zahl der Lufteinschlüsse zwischen Presswerkzeugteil und

Trägerfolie wird reduziert. Hierdurch können durch

Lufteinschlüsse erzeugte Dickenschwankungen im hergestellten Silikonelement signifikant reduziert werden und es kann ein Silikonelement mit annähernd konstanter Dicke hergestellt werden . Dickenschwankungen des Silikonelements führen je nach Verwendung des Silikonelements zu unterschiedlichen Problemen. Falls das Silikonelement beispielsweise in Form von

Silikonplättchen in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil verwendet wird, können die optischen Eigenschaften des

optoelektronischen Halbleiterbauteils mit der Dicke der verwendeten Silikonplättchen variieren, somit sind keine konstanten und reproduzierbaren optischen Eigenschaften des optoelektronischen Halbleiterbauteils gewährleistet.

Insbesondere bei der Verwendung des Silikonelements als

Strahlungskonversionselement in einem optoelektronischen

Halbleiterbauteil können Dickenschwankungen zu einer Streuung im Farbort des Strahlungskonversionselements führen. All diese Probleme werden vermieden oder zumindest deutlich reduziert durch einen Spannmechanismus für die Trägerfolie während des Pressvorgangs .

In einer Ausführungsform wirkt die Spannkraft zumindest im Bereich der Kavität auf die Trägerfolie. Da das Silikonelement während des Pressvorgangs im Wesentlichen die Form der Kavität annimmt, wird durch ein Spannen der Trägerfolie im Bereich der Kavität erreicht, dass die Trägerfolie auch entlang des

Silikonelements gespannt ist und somit entlang des gesamten Silikonelements die Dickenschwankungen minimiert werden.

In einer bevorzugten Ausführungsform weist eines der

Presswerkzeugteile zumindest einen Vorsprung auf und das andere der Presswerkzeugteile weist zumindest eine Vertiefung auf, in welche der zumindest eine Vorsprung beim Schließen des Presswerkzeugs eingreift. Durch einen in eine Vertiefung des gegenüberliegenden Presswerkzeugteils eingreifenden Vorsprung wird die Oberfläche der Presswerkzeugteile vergrößert, so dass die Oberfläche der Trägerfolie, welche an der Oberfläche der Presswerkzeugteil anliegt, ebenfalls im Pressvorgang vergrößert wird, was in einer Ausdehnung und damit Spannung der Trägerfolie resultiert. Durch das Eingreifen des

Vorsprungs in die Vertiefung erst im geschlossenen Zustand wird das Einlegen einer Trägerfolie auf einfache Art

ermöglicht und gleichzeitig das Spannen der Trägerfolie während des Pressvorgangs sichergestellt.

Vorzugsweise sind der zumindest eine Vorsprung und die

zumindest eine Vertiefung zueinander deckungsgleich.

„Deckungsgleich" im Sinne der vorliegenden Erfindung bedeutet hierbei gleich bzw. spiegelsymmetrisch in Position und

Ausrichtung. Hierunter soll nicht eine in der Ausdehnung un den Ausmaßen gleich Form verstanden werden. Hierdurch wird ein sicherer Halt der Trägerfolie beim Spannen und während des Pressvorgangs gewährleistet.

Vorzugsweise ist die zumindest eine Vertiefung im oberen

Presswerkzeugteil und der zumindest eine Vorsprung im unteren Presswerkzeugteil vorgesehen. Da die Trägerfolie auf das obere Presswerkzeugteil aufgelegt bzw. an das obere

Presswerkzeugteil angelegt wird, wird durch das Vorsehen der Vertiefung im oberen Presswerkzeugteil das Risiko von

Lufteinschlüssen weiter vermindert, da die Trägerfolie vor dem Schließen des Presswerkzeugs plan und eben an dem

Presswerkzeugteil anliegen kann.

Vorzugsweise sind der zumindest eine Vorsprung und die

zumindest eine Vertiefung von der Kavität beabstandet

angeordnet und haben jeweils den gleichen Abstand zum Rand der Kavität. Hierdurch wird gewährleistet, dass eine konstante und gleichmäßig verteilte Spannung auf die Trägerfolie im gesamten Bereich der Kavität und damit auch im gesamten Bereich des Silikonelements wirkt. In einer Ausführungsform ist der zumindest eine Vorsprung eine um die Kavität umlaufende Feder und die zumindest eine

Vertiefung eine um die Kavität umlaufende Nut. Durch das Vorsehen von Vorsprung und Vertiefung als um die Kavität umlaufende Elemente, wirkt eine Spannkraft auf die Trägerfolie entlang des gesamten Bereichs der Kavität und damit auch entlang der gesamten Auflagefläche des Silikonelements.

Vorzugsweise weisen die Feder und die Nut jeweils einen halbkreisförmigen oder halbellipsenförmigen Querschnitt auf. Durch das Vorsehen eines solchen Querschnitts, liegt die

Trägerfolie und jede andere während des Pressvorgangs

verwendete Folie auf einer runden oder gewölbten Oberfläche auf, wodurch eine Beschädigung der Folie beispielsweise durch Ecken und Kanten vermieden wird.

Vorzugsweise ist eine Querschnittsfläche der Feder um 5% bis 25%, vorzugsweise 7% bis 23%, insbesondere vorzugsweise 10% bis 20%, besonders bevorzugt 12% bis 18% kleiner als eine Querschnittsfläche der Nut. Hierdurch ist ein vollständiges Eingreifen der Feder in die Nut möglich und die

Presswerkzeugteile können schlüssig zusammengeführt werden. Auch bleibt hierdurch ein Raum für die in die Nut gedrückte Trägerfolie, so dass die Trägerfolie einerseits sicher gehalten und gespannt, andererseits aber nicht beschädigt wird .

Vorzugsweise hat die Nut eine Tiefe von 3 mm bis 16 mm und eine Breite von 3 mm bis 21 mm, und die Feder eine Höhe von 2 mm bis 15 und eine Breite von 2 mm bis 20 mm . Die vorliegende Erfindung betrifft des weiteren ein System aus einem erfindungsgemäßen Presswerkzeug und einer zwischen die Presswerkzeugteile eingelegten Trägerfolie zur Aufnahme des gepressten Silikonelements, wobei in geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs eine Spannkraft auf die Trägerfolie für das Silikonelement wirkt.

Durch die spezielle Ausgestaltung des Presswerkzeugs wird es ermöglicht, die Trägerfolie während des Pressvorgangs mittels der Presswerkzeugteile zu spannen. Hierdurch liegt die

Trägerfolie dicht und eben an dem Presswerkzeugteil an und die Zahl der Lufteinschlüsse zwischen Presswerkzeugteil und

Trägerfolie wird reduziert. Hierdurch können durch

Lufteinschlüsse erzeugte Dickenschwankungen im hergestellten Silikonelement signifikant reduziert werden und es kann ein Silikonelement mit annähernd konstanter Dicke hergestellt werden .

Dickenschwankungen des Silikonelements führen je nach

Verwendung des Silikonelements zu unterschiedlichen Problemen. Falls das Silikonelement beispielsweise in Form von

Silikonplättchen in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil verwendet wird, können die optischen Eigenschaften des

optoelektronischen Halbleiterbauteils mit der Dicke der verwendeten Silikonplättchen variieren, somit sind keine konstanten und reproduzierbaren optischen Eigenschaften des optoelektronischen Halbleiterbauteils gewährleistet.

Insbesondere bei der Verwendung des Silikonelements als

Strahlungskonversionselement in einem optoelektronischen

Halbleiterbauteil können Dickenschwankungen zu einer Streuung im Farbort des Strahlungskonversionselements führen. All diese Probleme werden vermieden oder zumindest deutlich reduziert durch einen Spannmechanismus für die Trägerfolie während des Pressvorgangs .

Vorzugsweise ist die Trägerfolie vorgespannt ist und die

Spannung der Trägerfolie wird durch die mittels des

Presswerkzeugs wirkende Spannkraft erhöht. Durch das Aufteilen des Spannens der Trägerfolie auf zwei Schritte wird die

Trägerfolie jeweils einer geringeren Spannkraft unterworfen und somit kann das Spannen schonender für die Trägerfolie erfolgen, was das Risiko einer Beschädigung der Trägerfolie reduziert .

Die vorliegende Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zum Pressen eines Silikonelements, aufweisend die Schritte Vorsehen eines Presswerkzeug mit einem oberen

Presswerkzeugteil und einem unteren Presswerkzeugteil, welche in geschlossenem Zustand eine Kavität zum Pressen eines

Silikonelements bilden, Einbringen einer Trägerfolie zwischen die Presswerkzeugteile, Einbringen einer Silikongrundmasse in die Kavität, Schließen des Presswerkzeug und Pressen des

Silikonelements auf die Trägerfolie, wobei das obere und das untere Presswerkzeugteil derart zusammenwirkten, dass durch das Schließen des Presswerkzeugs eine Spannkraft auf die

Trägerfolie wirkt.

Durch das Spannen der Trägerfolie während des Pressvorgangs liegt die Trägerfolie dicht und eben an dem Presswerkzeugteil an und die Zahl der Lufteinschlüsse zwischen Presswerkzeugteil und Trägerfolie wird reduziert. Hierdurch können durch

Lufteinschlüsse erzeugte Dickenschwankungen im hergestellten Silikonelement signifikant reduziert werden und es kann ein Silikonelement mit annähernd konstanter Dicke hergestellt werden .

Vorzugsweise umfasst das Vorsehen eines Presswerkzeugs das Vorsehen zumindest eines Vorsprungs in einem der

Presswerkzeugteile und Vorsehen zumindest einer Vertiefung in dem anderen der Presswerkzeugteile, in welche der zumindest eine Vorsprung beim Schließen des Presswerkzeugs eingreift. Durch einen in eine Vertiefung des gegenüberliegenden

Presswerkzeugteils eingreifenden Vorsprung wird die Oberfläche der Presswerkzeugteile vergrößert, so dass die Oberfläche der Trägerfolie, welche an der Oberfläche der Presswerkzeugteil anliegt, ebenfalls im Pressvorgang vergrößert wird, was in einer Ausdehnung und damit Spannung der Trägerfolie

resultiert. Durch das Eingreifen des Vorsprungs in die

Vertiefung erst im geschlossenen Zustand wird das Einlegen einer Trägerfolie auf einfache Art ermöglicht und gleichzeitig das Spannen der Trägerfolie während des Pressvorgangs

sichergestellt .

Vorzugsweise umfasst der Schritt des Einbringens der

Trägerfolie den Schritt des Auflegens der Trägerfolie auf das Presswerkzeugteil mit der zumindest einen Vertiefung. Da die Trägerfolie auf das Presswerkzeugteil mit der Vertiefung aufgelegt bzw. an das Presswerkzeugteil mit der Vertiefung angelegt wird, wird das Risiko von Lufteinschlüssen weiter vermindert, da die Trägerfolie vor dem Schließen des

Presswerkzeug plan und eben an dem Presswerkzeugteil anliegen kann . KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Verschiedene Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Lösung werden im Folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. In den Figuren geben die erste (n) Ziffer (n) eines Bezugszeichens die Figur an, in denen das Bezugzeichen zuerst verwendet wird. Die gleichen Bezugszeichen werden für gleichartige oder gleich wirkende Elemente bzw. Eigenschaften in allen Figuren

verwendet .

Es zeigen

Fig.l eine schematische Darstellung eines Querschnitts

eines offenen Presswerkzeugs gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels der Erfindung,

Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Querschnitts des

Presswerkzeugs aus Fig. 1 in geschlossenem Zustand,

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer ersten

Trägerfolie mit aufgebrachtem Silikonelement,

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Querschnitts

eines offenen Presswerkzeugs gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels der Erfindung,

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines Querschnitts des

Presswerkzeugs aus Fig. 4 in geschlossenem Zustand, Fig. 6 eine schematische zweite Darstellung einer zweiten

Trägerfolie mit aufgebrachten Silikonelement,

Fig. 7 eine schematische perspektivische Ansicht eines

erfindungsgemäßen unteren Presswerkzeugteils,

Fig. 8 eine schematische perspektivische Ansicht eines

erfindungsgemäßen oberen Presswerkzeugteils, und Fig. 9 ein Flussdiagramm mit den Verfahrensschritten zum

Pressen eines Silikonelements gemäß der vorliegenden Erfindung .

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung eines Querschnitts eines Presswerkzeugs 100 gemäß eines ersten

Ausführungsbeispiels der Erfindung in geöffnetem Zustand. Das Presswerkzeug 100 besteht aus mehreren Presswerkzeugteilen 101, 102, 103, wobei zwischen einem oberen Presswerkzeugteil 101 (englisch top mold) und den unteren Presswerkzeugteilen 102, 103 (englisch bottom mold) in geschlossenem Zustand eine Kavität 109 gebildet wird. Im vorliegenden Fall wird die

Kavität 109 durch das obere Presswerkzeugteil 101 und das untere, innere Presswerkzeugteil 103 gebildet. Im unteren, inneren Presswerkzeugteil 103 wird die Kavität 109 mittels einer Vertiefung gebildet, welche randseitig durch eine umlaufende Nase 104 begrenzt ist. Die Kavität 109 ist in

Draufsicht, senkrecht zu der Zeichenebene der Fig. 1, zum Beispiel kreisförmig ausgestaltet. Das untere, äußere

Presswerkzeugteil 102 ist im vorliegenden Beispiel mittels einer Federung 105 federn gelagert.

Das dargestellte Presswerkzeug 100 ist hierbei nur

exemplarisch und die vorliegende Erfindung kann in jeder Art von Presswerkzeug 100 mit einer unterschiedlichen Anzahl und Art von Presswerkzeugteilen Anwendung finden. Insbesondere kann die Kavität 109 auch durch mehr als zwei

Presswerkzeugteile begrenzt werden. Insbesondere kann die umlaufende Nase 104 auch weggelassen werden, so dass die

Kavität 109 seitlich durch das untere, äußere

Presswerkzeugteil 102 begrenzt wird, d.h. der Rand 108 der Kavität kann durch die umlaufende Nase 104 oder durch das untere äußere Presswerkzeugteil 102 gebildet werden. Bevorzugt ist das Pressverfahren ein Formpressverfahren (englisch

Compression Molding) , es kann allerdings auch ein

Spritzpressverfahren (englisch Transfer Molding) verwendet werden. Die dargestellten Vorrichtungen und Verfahren werden anhand eines Formpressverfahrens exemplarisch erläutert, jedoch sind jegliche Modifikationen an Vorrichtungen oder Verfahrensschritten zur Durchführung eines

Spritzpressverfahrens von der vorliegenden Erfindung mit umfasst .

Auf die unteren Presswerkzeugteile 102, 103 wird eine

Werkzeugfolie 110 (englisch Mold Release Foil) aufgebracht, die die Kavität 109 seitlich überragt. Die Werkzeugfolie 110 kann eine Form eines Teils der Kavität 109 und/oder eines die Kavität 109 definierenden unteren Presswerkzeugteils 102, 103 nachahmen. Während des Pressens kann die Werkzeugfolie 110 insbesondere auch eine durch den Pressvorgang sich ändernde Form der Kavität 109 nachbilden.

Auf das obere Presswerkzeugteil 101 wird eine Trägerfolie 200 (englisch Carrier Foil) aufgebracht bwz . es wird eine

Trägerfolie 200 an das obere Presswerkzeugteil 101 angelegt. Hierbei handelt es sich um eine von der Werkzeugfolie 110 verschiedene Folie. Die Trägerfolie 200 ist insbesondere dazu eingerichtet, das mit dem Pressverfahren hergestellte

Silikonelement nach dem Pressen zu tragen. Beispielsweise ist die Trägerfolie 200 eben und planar ausgebildet. Es liegt die Trägerfolie 200 bevorzugt zumindest mittelbar an einer ebenen Fläche des oberen Werkzeugteils 101 an. Die Trägerfolie 200 formt insbesondere die Kavität 109 nicht nach. Bei dem in Fig. 1 dargestellten Presswerkzeug 100 ist die Trägerfolie 200 dazu eingereichtet, in einem Rollenprozess (englisch Roll-to-Roll-Process ) gehandhabt zu werden. Die Trägerfolie 200 wird von einer oder mehreren in Fig. 1

schematisch dargestellten ersten Rollen 300 abgerollt und in das Presswerkzeug 100 eingeführt. Anschließend kann die

Trägerfolie 200 an einer oder mehreren zweiten Rollen 301 wieder aufgerollt werden. Es ist möglich, dass auch die

Werkzeugfolie 110 durch einen entsprechenden in Fig. 1 nicht dargstellten Rollenprozess gehandhabt wird. Hierdurch können auf einfach Weise eine oder alle im Pressvorgang verwendeten Folien zwischen zwei aufeinanderfolgenden Pressvorgängen vollständig oder teilweise ausgetauscht werden.

Anschließend wird eine Silikongrundmasse 400 auf die

Werkzeugfolie 110 und/oder die Trägerfolie 200 aufgebracht. Vorzugsweise wird die Silikongrundmasse 400 innerhalb der Kavität 109 aufgebracht. Bei der Silikongrundmasse 400 handelt es sich zum Beispiel um mindestens ein Polysilan, Siloxan und/oder Polysiloxan. Die Silikongrundmasse 400 stellt ein

Ausgangsmaterial für das herzustellende Silikonelement dar. Es liegt die Silikongrundmasse 400 bei dem Aufbringen nicht vollständig ausgehärtet und/oder nicht vollständig vernetzt vor. Des Weiteren weist die Silikongrundmasse 400 beim

Einbringen in das Presswerkzeug 100 eine vergleichsweise hohe Viskosität auf und zerläuft nicht oder nicht signifikant. Das heisst, die Silikongrundmasse 400 zerläuft nicht von selbst auf der Werkzeugfolie 110 oder der Trägerfolie 200.

Insbesondere kann die Viskosität der Silikongrundmasse beim Aufbringen mindestens 10 Pa-s oder mindestens 20 Pa-s

betragen .

Der Silikongrundmasse 400 kann, bevorzugt homogen verteilt, ein Konversionsmittel beispielsweise in Form von Konversionsmittelpartikeln beigegeben sein, in den Figuren nicht gezeichnet. Das konversionsmittel ist dazu geeignet, elektromagnetische Strahlung in einem ersten

Wellenlängenbereich wenigstens teilweise zu absorbieren und eine Strahlung in einem zweiten Wellenlängenbereich, der von dem ersten Wellenlängenbereich verschieden ist, umzuwandeln. Beispielsweise kann das Konversionsmittel dazu eingerichtet sein, Strahlung in einem Wellenlängenbereich zwischen

einschließlich 420 nm und 490 nm zu absorbieren und in eine langwelligere Strahlung umzuwandeln.

Die Konversionsmittelpartikel weisen zum Beispiel einen

Seltenerden-dotierten Granat wie YAG:Ce, ein Seltenerden- dotiertes Orthosilikat wie (Ba, Sr^SiOziiEu oder ein

Seltenerden-dotiertes Siliziumoxinitrid oder Siliziumnitrid wie (Ba, Sr)2Si5Ng:Eu auf. Ein mittlerer Durchmesser der

Konversionsmittelpartikel liegt zum Beispiel zwischen

einschließlich 2 ym und 20 ym, insbesondere zwischen

einschließlich 3 ym und 15 ym. Ein Gewichtsanteil der

Konversionsmittelpartikel an dem gesamten aus der

Silikongrundmasse 400 geformten Silikonlement liegt

insbesondere zwischen einschließlich 5 Gewichtsprozent und 80 Gewichtsprozent, bevorzugt zwischen einschließlich

10 Gewichtsprozent und 25 Gewichtsprozent oder zwischen einschließlich 60 Gewichtsprozent und 80 Gewichtsprozent.

Optional können der Silikongrundmasse 400 weitere bevorzugt partikelförmige Stoffe, beispielsweise zu einer Steigerung der Wärmeleitfähigkeit des Silikonelement oder als

Diffusorpartikel , beigegeben sein, bevorzugt mit einem

Gewichtsanteil zwischen 0 Gewichtsprozent und einschließlich 50 Gewichtsprozent. Derartige Partikel beinhalten oder

bestehen insbesondere aus Oxiden oder Metallfluoriden wie Aluminiumoxid, Siliziumoxid oder Calciumfluorid. Mittlere Durchmesser der Partikel liegen bevorzugt zwischen

einschließlich 2 ym und 20 ym.

Das Presswerkzeug 100 wird anschließend geschlossen, indem beispielsweise wie in Fig. 1 durch den Pfeil B gezeigt, die unteren Presswerkzeugteile 102, 103 auf das obere

Presswerkzeugteil 101 zubewegt werden. Die Bewegung kann natürlich auch in anderer Richtung oder beidseitig erfolgen.

In Fig. 2 ist das Presswerkzeug 100 in geschlossenem Zustand gezeigt. Beim Schließen des Presswerkzeugs 100 drückt das obere Presswerkzeugteil 101 auf die Nase 104 des unteren, inneren Presswerkzeugteils 103, wodurch die Kavität 109 geschlossen wird. In einer alternativen Ausgestaltung des Presswerkzeugs 100, bei welcher das untere, innere

Presswerkzeugteil 103 planar und ohne Nase 104 ausgebildet ist, wird der Rand der Kavität 109 durch das untere, äußere Presswerkzeugteil 102 gebildet. In diesem Fall drückt beim Schließen das obere Presswerkzeugteil 101 auf das federnd gelagerte untere, äußere Presswerkzeugteil 102, das hierdurch nachgibt, wodurch sich die Kavität 109 schließt. Das Schließen des Presswerkzeugs 100 kann unter Vakuum erfolgen. Ebenso ist es möglich, dass das Presswerkzeug 100 in den Figuren nicht gezeichnete Luftauslässe aufweist.

Beim Schließen des Presswerkzeugs 100 werden die Werkzeugfolie 110 sowie die Trägerfolie 200 unmittelbar aufeinander

gepresst, wodurch die Kavität 109 abgedichtet wird. Durch den Pressvorgang wird die Silikongrundmasse 400 in die Form der Kavität 109 und damit in Form des Silikonelements 410

gepresst. Die das Silikonelement 410 ausbildende

Silikongrundmasse befindet sich im Wesentlichen zwischen der Trägerfolie 200 und der Werkzeugfolie 110 und steht in

unmittelbarem Kontakt zu diesen.

In geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs 100 wird das geformte Silikonelement 410 zum Beispiel thermisch oder fotochemisch vorgehärtet oder vollständig ausgehärtet. Bei einer fotochemischen Vorhärtung oder Aushärtung kann

ultraviolette Strahlung zum Beispiel durch das obere

Presswerkzeugteil 101 sowie durch die Trägerfolie 200 hindurch in das Silikonelement 410 eingestrahlt werden. Es kann das in Form gepresste Silikonelement 410 noch bei geschlossenen

Presswerkzeug 100 vorgehärtet und erst nach dem Öffnen des Presswerkzeugs 100 vollständig ausgehärtet werden. An die Werkzeugfolie werden spezifische Anforderungen an insbesondere die Dehnbarkeit, die Reißfestigkeit, die

Abformbarkeit sowie die Oberflächenbeschaffenheit gestellt. Hierdurch ist eine Wahl von Materialien für die Werkzeugfolie stark eingeschränkt. Insbesondere kann es der Fall sein, dass die herzustellende Silikonfolie an der Werkzeugfolie eine vergleichsweise starke Haftung nach dem Pressen aufweist, was unerwünscht ist, da das Silikonelement 410 für die

Weiterverarbeitung ausschließlich an der Trägerfolie 200 haften soll. Bevorzugte Materialien für die Werkzeugfolie 110 sind daher beispielsweise Ethylen-Tetrafluorethylen (ETFE) , Perfluorethylenpropylen (FEP) , Polyetherimid (PEI) oder

Polytetrafluorethylen (PTFE) . Das Entfernen der Werkzeugfolie 210 kann vor oder nach dem vollständigen Aushärten des

Silikonelements 410 erfolgen.

In Fig. 3 ist das aus dem Presswerkzeug 100 entnommene und auf der Trägerfolie 200 aufliegende Silikonelement 410 zu sehen. Die Werkzeugfolie 110 ist bereits von dem Silikonelement 410 entfernt. Optional kann in einem nachfolgenden Schritt das hergestellte Silikonelement 410 noch zu einzelnen

Silikonplättchen vereinzelt werden, zum Beispiel durch

Stanzen, Schneiden, Wasserstrahlschneiden, Lasern. Eine Größe der Silikonplättchen liegt, in Draufsicht gesehen, zum

Beispiel zwischen einschließlich 0,25 mm^ und 4 mm^,

insbesondere zwischen einschließlich 1 mm^ und 2 mm^ . Von dem Vereinzeln kann auch die Trägerfolie betroffen sein. Die

Silikonplättchen können dann beispielsweise als

Konverterelement in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil Anwendung finden. Das Halbleiterbauteil umfasst mindestens einen optoelektronischen Halbleiterchip, bevorzugt eine

Leuchtdiode, kurz LED, die eine maximale Intensität

insbesondere im Wellenlängenbereich zwischen einschließlich 420 nm und 490 nm emittiert.

Eine mittlere Dicke T des Silikonelements 410 liegt bevorzugt zwischen einschließlich 10 μιη und 1 mm oder zwischen

einschließlich 50 μιη und 150 μιη. Eine Härte des vollständig ausgehärteten Silikonelements 410 beträgt insbesondere

zwischen Shore A30 und Shore A90. Eine laterale Ausdehnung der Kavität 109 und damit auch eine laterale Ausdehnung des

Silikonelements 410 beträgt beispielsweise zwischen

einschließlich 50 mm und 500 mm, insbesondere zwischen

einschließlich 60 mm und 200 mm, zum Beispiel ungefähr 100 mm.

Es ist wichtig, dass das hergestellte Silikonelement 410 eine möglichst konstante Dicke aufweist. Dickenschwankungen des Silikonelements 410 führen je nach Verwendung des

Silikonelements 410 zu unterschiedlichen Problemen. Falls das Silikonelement 410 beispielsweise in Form von Silikonplättchen in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil verwendet wird, können die optischen Eigenschaften des optoelektronischen Halbleiterbauteils mit der Dicke der verwendeten

Silikonplättchen variieren, somit sind keine konstanten und reproduzierbaren optischen Eigenschaften des

optoelektronischen Halbleiterbauteils gewährleistet.

Insbesondere bei der Verwendung des Silikonelements 410 als Strahlungskonversionselements in einem optoelektronischen Halbleiterbauteil können Dickenschwankungen zu einer Streuung im Farbort des Strahlungskonversionselements führen.

Eine Ursache für Dickenschwankungen im Silikonelement 410 sind Lufteinschlüsse zwischen der Trägerfolie und dem

Presswerkzeugteil 101, auf welches die Trägerfolie 200

aufgelegt wird bzw. an welchem die Trägerfolie 200 anliegt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird dieses Problem dadurch vermindert, dass die Trägerfolie 200 so gespannt wird, dass das Risiko von Lufteinschlüssen zwischen der Trägerfolie 200 und dem Presswerkzeugteil reduziert wird.

Erfindungsgemäß wirken hierbei das obere Presswerkzeugteil 101 und das untere Presswerkzeugteil 102, 103 derart zusammen, dass in geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs 100 eine Spannkraft auf die zwischen die Presswerkzeugteile 101, 102, 103 eingelegte Trägerfolie 200 wirkt.

Anders ausgedrückt, wirken das obere Presswerkzeugteil 101 und das untere Presswerkzeugteil 102, 103 derart zusammen, dass in geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs 100 die zwischen die Presswerkzeugteile 101, 102, 103 eingelegte Trägerfolie 200 unter Spannung steht.

Mit anderen Worten wird auf Grund der speziellen Konfiguration des erfindungsgemäßen Presswerkzeugs 100 durch Schließen des Presswerkzeugs 100 ein Spannmechanismus aktiviert, durch welchen die Trägerfolie 200 unter Spannung gesetzt wird bzw. gespannt wird.

Durch eine erfindungsgemäße Ausgestaltung des Presswerkzeugs ist es somit nicht nötig, zusätzliche Spannmechanismen zum Spannen der Trägerfolie vorzusehen, vielmehr wird durch

Schließen des Presswerkzeugs die Trägerfolie gespannt.

Insbesondere wirkt hierbei eine Zugspannung auf die

Trägerfolie, so dass die Trägerfolie gedehnt und damit

gespannt wird.

Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel wird das Spannen der eingelegten Trägerfolie 200 durch eine entsprechende

Ausgestaltung der Presswerkzeugteile 101, 102, 103 erreicht. Das obere Presswerkzeugteil 101 weist erfindungsgemäß

zumindest eine Vertiefung 171 auf und das äußere, untere

Presswerkzeugteil 102 weist zumindest einen Vorsprung 172 auf, welcher in die zumindest eine Vertiefung 171 eingreift.

Insbesondere sind der zumindest eine Vorsprung 172 und die zumindest eine Vertiefung 171 deckungsgleich. Es kann ein Paar aus Vorsprung 172 und Vertiefung 171 vorgesehen sein oder mehrere solcher Paare. Die Paare können beliebig an den

Presswerkzeugteilen angeordnet sein. Es ist auch möglich, an einem Presswerkzeugteil eine Mischung aus Vorsprüngen 172 und Vertiefungen 171 vorzusehen und entsprechend die zugehörigen Vertiefungen 171 und Vorsprünge 172 auf dem anderen

Presswerkzeugteil .

Die Trägerfolie 200, welche in dem erfindungsgemäßen

Presswerkzeug 100, 150 verwendet werden kann, ist daher insbesondere dehnbar bzw. verformbar. Des Weiteren ist die Trägerfolie aus einem Material, bei welchem die plastische Verformung bleibt, d.h. nicht reversibel ist. Vorzugsweise wird als Material für die Trägerfolie 200

Polytetrafluorethylen (PTFE) verwendet. Die Trägerfolie 200 hat hierbei eine Dicke von 50 μιη bis 1000 μιτι, vorzugsweise von 300 μπι.

Im Folgenden wird der Einfachheit halber von einem Vorsprung 172 und einer Vertiefung 171 gesprochen, dies schließt jedoch das Vorhandensein von weiteren Vorsprüngen 172 und weiteren Vertiefungen 171 nicht aus. Der Vorsprung 172 und die

Vertiefung sind deckungsgleich, d . h . die Vertiefung 171 ist zum gegenüberliegendem Vorsprung 172 gleich in Position und

Ausrichtung. In geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs 100 greift somit der Vorsprung 172 in die Vertiefung 171 ein. Je nach Konfiguration der Presswerkzeugteile kann der Vorsprung 172 natürlich auch am unteren, inneren Presswerkzeugteil 103 vorgesehen sein. Alternativ können auch die Position von

Vorsprung 172 und Vertiefung 171 vertauscht werden, d.h. der Vorsprung 172 kann im oberen Presswerkzeugteil 101 vorgesehen sein und die Vertiefung 171 in einem der unteren

Presswerkzeugteile 102, 103. In jedem Fall sind der Vorsprung 172 und die Vertiefung 171 aber derart ausgestaltet, dass in geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs 100 der Vorsprung 172 in die Vertiefung 171 eingreift.

Wie in Fig. 1 gezeigt liegt in geöffnetem Zustand des

Presswerkzeugs 100 die Trägerfolie 200 plan auf der dem unteren Presswerkzeugteil 102, 103 zugewandten Seite des oberen Presswerkzeugteils 101 auf. Vorzugsweise ist die

Trägerfolie 200 vor dem Schließen des Presswerkzeugs 100 schon leicht vorgespannt, d.h. der Spannmechanismus des

Presswerkzeugs 100 stellt eine zusätzlich Spannung der

Trägerfolie 200 dar. Dies kann beispielsweise durch eine entsprechende Steuerung des Rollenprozesses erreicht werden. Da die Lufteinschlüsse insbesondere im Bereich des

Silikonelements 410 vermieden werden sollen, wirkt die

Spannkraft des Presswerkzeugs 100 zumindest im Bereich der Kavität 109, d.h. entlang der lateralen Ausdehnung der Kavität 109.

Bei geöffnetem Presswerkzeug 100 ist die Trägerfolie 200 planar. Durch das Schließen des Presswerkzeugs 100 und das Eingreifen des Vorsprungs 172 in die Vertiefung 171 wird wie in Fig. 2 gezeigt auch die Trägerfolie 200 in die Vertiefung 171 gedrückt und hierdurch in dem Bereich innerhalb der

Vertiefung 171 gedehnt. Durch diese Dehnung wirkt bei

geschlossenem Presswerkzeug 100 eine Spannkraft auf die

Trägerfolie 200, so dass die Spannung der Trägerfolie erhöht und damit das Risiko von Lufteinschlüssen zwischen Trägerfolie 200 und oberem Presswerkzeugteil 101 vermindert wird.

Bei dem in den Fig. 1 und Fig. 2 dargestellten

Ausführungsbeispiel eines Presswerkzeugs 100 wird die

Trägerfolie 200 als fortlaufende Bahn bereitgestellt und mittels des beschriebenen Rollenprozesses gehandhabt. Im

Gegensatz hierzu ist in Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Presswerkzeugs 150 dargestellt, bei welchem die

Trägerfolie 200 auf einen Klemmring 310 aufgebracht ist. Der Klemmring 310 kann für den Pressvorgang in eine entsprechende Klemmringnut 161 im oberen Presswerkzeugteil 151 eingesetzt werden. Für jeden Pressvorgang wird dann der Klemmring 310 mit der Trägerfolie 200 in das Presswerkzeug 100 manuell oder automatisiert eingesetzt, nach dem Pressvorgang entnommen und durch einen neuen Klemmring 310 mit Trägerfolie 200 ersetzt. Abgesehen von der geänderten Handhabung der Trägerfolie 200 und der entsprechenden Modifikation durch die Klemmringnut 161 im oberen Presswerkzeugteil 151 entspricht im Übrigen das in den Fig. 4 und Fig. 5 beschriebene zweite Ausführungsbeispiel dem in Fig. 1 und Fig. 2 beschriebenen ersten

Ausführungsbeispiel eines Presswerkzeugs.

Gemäß der vorliegenden Erfindung weist das Presswerkzeug 150 gemäß des zweiten Ausführungsbeispiels die gleichen Arten von Vertiefung 171 und Vorsprung 172 in den Presswerkzeugteilen 102, 103, 151 auf wie das Presswerkzeug 100 gemäß des ersten Ausführungsbeispiels. Alle Ausführungen im Bezug auf den

Spannmechanismus des ersten Ausführungsbeispiels finden daher ebenso Anwendung auf das zweite Ausführungsbeispiel.

Die Besonderheit beim Presswerkzeug 150 gemäß des zweiten Ausführungsbeispiels besteht darin, dass der Vorsprung 172 und die Vertiefung 171 radial gesehen weiter innen angeordnet sein müssen als die Klemmringnut 161. Mit anderen Worten sind die Vertiefung 171 und der Vorsprung 172 näher an der Kavität 109 als die Klemmringnut 161.

In Fig. 5 ist der Klemmring 310 mit Trägerfolie 200 nach dem Pressvorgang mit aufgebrachtem Silikonelement 410 gezeigt. Die anschließende Handhabung des Silikonelements 410 entspricht der bereits beschriebenen Handhabung für den Fall, dass die Trägerfolie 200 als fortlaufende Bahn in einem Rollenprozess bereitgestellt wird.

Der zumindest eine Vorsprung 172 und die zumindest eine

Vertiefung 171 sind gemäß eines Ausführungsbeispiels von der Kavität 109 beabstandet angeordnet. Insbesondere im Falle von mehreren Vorsprüngen 172 und Vertiefungen 171 haben alle Elemente den gleichen Abstand zum Rand 108 der Kavität 109. Ebenso sind im Falle von mehreren Vorsprüngen 172 und

Vertiefungen 171 die Paare von Vorsprung/Vertiefung

äquidistant zueinander um die Kavität 109 angeordnet.

Ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel einer Konfiguration des Vorsprungs und der Vertiefung wird nun genauer an Hand von Fig. 7 und Fig. 8 erläutert. In Fig. 7 ist schematisch ein unteres Presswerkzeugteil dargestellt, in Fig. 8 ist

schematisch ein oberes Presswerkzeug dargestellt. In den Fig. 7 und Fig. 8 ist die Vertiefung eine Nut und der Vorsprung eine Feder, welche in die Nut eingreift. Hierbei ist unter „Nut" im Sinne der vorliegenden Erfindung eine langgestreckte Vertiefung mit einer gleichbleibenden Querschnittsfläche zu verstehen. Ebenso ist unter „Feder" im Sinne der vorliegenden Erfindung ein langgestreckter Vorsprung mit einer

gleichbleibenden Querschnittsfläche zu verstehen.

Fig. 7 zeigt ein unteres Presswerkzeugteil in einer schrägen Draufsicht umfassend ein unteres inneres Presswerkzeugteil 183 und ein unteres äußeres Presswerkzeugteil 102. Das

dargestellte untere, innere Presswerkzeugteil 183 weist in der Figur zum Zwecke der klaren Darstellung keine um die Kavität 109 umlaufende Nase 104 auf, die folgenden Ausführungen sind jedoch sowohl auf ein in Fig. 1 und Fig. 4 dargestelltes unteres, inneres Presswerkzeugteil 103 mit umlaufender Nase 104 als auch auf ein in Fig. 7 dargestelltes unteres, inneres Presswerkzeugteil 183 ohne Nase anwendbar.

In dem Ausführungsbeispiel in Fig. 7 sind das untere, innere Presswerkzeugteil 183 als Zylinder und das untere, äußere Presswerkzeugteil 102 als Hohlzylinder ausgestaltet, wobei der Hohlzylinder den Zylinder im Wesentlichen formschlüssig umgreift und die beiden Teile gegeneinander entlang ihrer Längsachsen verschiebbar sind. Die Erfindung ist jedoch nicht auf Presswerkzeugteile mit dieser Form beschränkt, vielmehr können die Presswerkzeugteile in Draufsicht jede Form haben, beispielsweise rechteckig, quadratisch oder dergleichen.

Die planare Oberseite des unteren, inneren Presswerkzeugteils 183 bildet den Boden der Kavität 109. Der Rand der Kavität 109 wird durch das untere, äußere Presswerkzeugteil 102 gebildet.

Der Vorsprung ist eine um die Kavität 109 umlaufende Feder 182, im Falle einer in Draufsicht kreisförmigen Kavität 109 ist die Feder 182 kreisringförmig. Die Feder 182 ist nur zur Hälfte in Fig . 7 dargestellt, d.h. in Fig . 7 ist die Feder 182 nur halbkreisringförmig und angeschnitten dargestellt, so dass die Querschnittsfläche 192 der Feder 182 sichtbar wird. Der Anschnitt dient jedoch nur zur besseren Darstellung in der Figur und die Feder 182 läuft als Kreisring um die gesamte Kavität 109 um.

Um insbesondere im Bereich der Kavität 109 und damit in dem Bereich, in dem das Silikonelement 410 auf die Trägerfolie 200 aufgepresst wird, eine möglichst gleichmäßige Spannkraft auf die Trägerfolie 200 zu erhalten, weist die Feder 182

vorzugsweise einen konstanten umlaufenden Abstand A zum Rand 108 der Kavität 109 auf. Hierbei wird der Abstand A gemessen von dem der Kavität 109 zugewandten Rand der Feder 182 bis zum Rand 108 der Kavität 109. Der Abstand A variiert mit der Größe des Presswerkzeugs 100, allerdings wird vorzugsweise ein minimaler Abstand A von 5 mm eingehalten. Durch diesen Abstand ist eine besonders gleichmäßige Spannung der Trägerfolie 200 im Bereich der Kavität 109 möglich. In Fig. 8 ist ein zugehöriges oberes Presswerkzeugteil 101 darstellt, welches als Vertiefung eine um die Kavität 109 umlaufende Nut 181 aufweist. Die Nut 181 ist so angeordnet, dass beim Zusammenführen der Presswerkzeugteile die Feder 182 in die Nut 181 eingreift. Die Nut 181 ist somit

deckungsgleich, d.h. gleich in Position und Ausrichtung, zur Feder 182 angeordnet. In Fig. 8 ist mit einer gestrichelten Linie dargestellt, wo der Rand 108 der Kavität 109 in

geschlossenem Zustand des Presswerkzeugs positioniert wird. Die Nut 182 ist ebenfalls um die Kavität 109 umlaufend

ausgebildet und hat einen konstanten, umlaufenden Abstand A zum Rand 108 der Kavität 109. Hierbei wird der Abstand A gemessen von dem der Kavität 109 zugewandten inneren Rand der Nut 181 bis zu der Position, wo der Rand 108 der Kavität 109 in geschlossenem Zustand zu liegen kommt. Der Abstand A variiert mit der Größe des Presswerkzeugs 100, allerdings wird vorzugsweise ein minimaler Abstand A von 5 mm eingehalten.

In Fig. 8 ist schematisch ebenfalls die Querschnittsfläche 191 der Nut 181 dargestellt so wie in Fig. 7 die

Querschnittsfläche 192 der Feder 182. Die Nut 181 und die Feder 182 haben hierbei die gleiche Querschnittsform, die Querschnittsfläche 192 der Feder 182 ist jedoch etwas kleiner gewählt als die Querschnittsfläche 191 der Nut 181, so dass ein vollständiges Eingreifen der Feder 182 in die Nut 181 möglich wird und gleichzeitig noch Platz für die zwischen Feder 182 und Nut 181 zu liegen kommende Trägerfolie 200 bleibt. Vorzugsweise ist die Querschnittsfläche 192 der Feder 182 um 5"6 bis 25%, vorzugsweise 7% bis 23%, insbesondere vorzugsweise 10% bis 20%, besonders bevorzugt 12% bis 18% kleiner als die Querschnittsfläche 191 der Nut 181.

Vorzugsweise hat die Feder 182 eine konstante umlaufende

Breite D2 von 2 mm bis 20 mm. Die Höhe H der Feder, d.h. der Abstand zwischen der Fläche des äußeren, unteren Presswerkzeugteils 102 und dem am weitesten von dieser Fläche entfernten Punkt der Feder 182 beträgt vorzugsweise 2 mm bis 20 mm. Da, wie bereits erläutert, die Nut 181 etwas größer gewählt ist als die Feder 182, hat die Nut 181 ebenfalls eine konstante Breite Dl, vorzugsweise im Bereich von 3 mm bis 21 mm und eine konstante Tiefe T vorzugsweise im Bereich von 3 mm bis 16mm. Die Größe von Feder 182 und Nut 181 steht dabei in direkt proportionalem Verhältnis zur Größe der Kavität 109, d.h. im Falle einer kreisförmigen Kavität 109 zum Durchmesser der Kavität 109. Je größer die Kavität 109, umso größer müssen Nut 181 und Feder 182 gewählt werden, damit die Trägerfolie 200 ausreichend gespannt wird.

Die Nut 181 und die Feder 182 können eine quadratische, reckteckförmige, dreieckförmige oder jede andere Form der

Querschnittsfläche aufweisen. Bevorzugt haben wie in Fig . 7 und Fig . 8 dargestellt die Nut 181 und die Feder 182 eine annährend halbkreisförmige Querschnittsfläche 191, 192

beispielsweise eine halbkreisförmige oder halbelliptische Querschnittsfläche 191, 192. Die mit der Trägerfolie 200 und der Werkzeugfolie 110 in Kontakt kommenden Flächen der Nut 181 und der Feder 182 sind somit gebogen oder gekrümmt, wodurch eine Beschädigung der Folien durch Kanten oder Ecken vermieden werden kann.

Im Folgenden wird an Hand der Fig . 9 ein Verfahren zum

Herstellen eines Silikonelements mittels des erfindungsgemäßen Presswerkzeugs genauer erläutert.

Das Verfahren zum Pressen eines Silikonelements 410 beginnt in Schritt SO. In Schritt Sl wird ein erfindungsgemäßes

Presswerkzeug 100, 150 bereitgestellt mit einem oberen

Presswerkzeugteil 101, 151 und einem unteren Presswerkzeugteil 102, 103, 183, welche in geschlossenem Zustand eine Kavität 109 zum Pressen eines Silikonelements 410 bilden. Im Schritt S2, welcher Teil von Schritt Sl sein kann oder dem Schritt Sl nachgeordnet sein kann, wird zumindest ein Vorsprung 172, 182 in einem der Presswerkzeugteile 101, 102, 103, 151, 183 vorgesehen und es wird zumindest eine Vertiefung 171, 181 in dem anderen der Presswerkzeugteile 101, 102, 103, 151, 183 vorgesehen, in welche der zumindest eine Vorsprung 172, 182 beim Schließen des Presswerkzeugs 100, 150 eingreift.

Das Presswerkzeug 100, 150 hat hierbei vorzugsweise eine konstante Betriebstemperatur zwischen 70°C und 170°C

vorzugsweise zwischen 100°C und 110°C, je nach verwendetem Silikontyp sind jedoch auch wesentlich höhere oder niedrigere Temperaturen möglich. Im folgenden Schritt S3 wird eine

Trägerfolie 200 zwischen die Presswerkzeugteile 101, 102, 103, 151, 183 eingebracht. Insbesondere wird die Trägerfolie 200 an das Presswerkzeugteil angelegt oder auf das Presswerkzeugteil aufgelegt, in welchem die Vertiefung vorgesehen ist. Die

Trägerfolie 200 kann in einem optionalen Schritt S4 durch eine entsprechend Saug- oder Vakuumvorrichtung angesaugt werden, so dass sie möglichst dicht an dem Presswerkzeugteil anliegt. Die durch die hohe Temperatur des Presswerkzeugs 100, 150 möglicherweise entstehende Ausdehnung der Trägerfolie 200 beim Einlegen in das Presswerkzeug 100, 150 wird durch die erfindungsgemäß wirkende Spannkraft kompensiert.

Im nächsten Schritt S5 wird die Silikongrundmasse 400 in die Kavität 109 eingebracht und im nachfolgenden Schritt S6 wird das Presswerkzeug 100, 150 geschlossen und das Silikonelement 410 gepresst. Gleichzeitig wird im Schritt S7 durch Schließen des Presswerkzeugs 100, 150 eine Spannkraft auf die

Trägerfolie 200 ausgeübt, so dass die Trägerfolie 200 gespannt ist. Dies wird dadurch erreicht, dass erfindungsgemäß das obere Presswerkzeugteil 101, 151 und das untere

Presswerkzeugteil 102, 103, 183 derart zusammenwirkten, dass durch das Schließen des Presswerkzeugs 100, 150 die besagte Spannkraft auf die Trägerfolie 200 wirkt.

In Schritt S8 wird das Presswerkzeug 100, 150 geöffnet und die Trägerfolie 200 mit dem aufgepressten Silikonelement 410 entnommen. Im Schritt S9 kann das Silikonelement 410 dann verarbeitet werden, beispielsweise durch ein Abtrennen von der Trägerfolie 200 und Vereinzeln in Silikonplättchen . Das verarbeitete Silikonelement 410 kann dann in Schritt S10 einem optoelektronischen Halbeleiterbauelement verwendet werden beispielsweise als CLC Layer oder Remote Phosphor Plättchen. Der Prozess endet in Schritt Sil.

ABSCHLIESSENDE FESTSTELLUNG

Das optoelektronische Halbleiterbauteil und das Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterbauteils wurden zur Veranschaulichung des zugrundeliegenden Gedankens anhand einiger Ausführungsbeispiele beschrieben. Die

Ausführungsbeispiele sind dabei nicht auf bestimmte

Merkmalskombinationen beschränkt. Auch wenn einige Merkmale und Ausgestaltungen nur im Zusammenhang mit einem besonderen Ausführungsbeispiel oder einzelnen Ausführungsbeispielen beschrieben wurden, können sie jeweils mit anderen Merkmalen aus anderen Ausführungsbeispielen kombiniert werden. Es ist ebenso möglich, in Ausführungsbeispielen einzelne dargestellte Merkmale oder besondere Ausgestaltungen wegzulassen oder hinzuzufügen, soweit die allgemeine technische Lehre

realisiert bleibt. Auch wenn die Schritte des Verfahrens zum Herstellen eines optoelektronischen Halbleiterbauteils in einer bestimmten Reihenfolge beschrieben sind, so ist es selbstverständlich, dass jedes der in dieser Offenbarung beschriebenen Verfahren in jeder anderen, sinnvollen Reihenfolge durchgeführt werden kann, wobei auch Verfahrensschritte ausgelassen oder

hinzugefügt werden können, soweit nicht von dem Grundgedanken der beschriebenen technischen Lehre abgewichen wird.

BEZUGSZEICHENLISTE

100 Presswerkzeug gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels

101 oberes Presswerkzeugteil des Presswerkzeugs 100

102 unteres, äußeres Presswerkzeugteil

103 unteres, inneres Presswerkzeugteil

104 umlaufende Nase

105 Federung

108 Rand der Kavität 109

109 Kavität

110 Werkzeugfolie

150 Presswerkzeug gemäß eines zweiten Ausführungsbeispiels

151 oberes Presswerkzeugteil des Presswerkzeugs 150

161 Klemmringnut

171 Vertiefung

172 Vorsprung

181 Nut

182 Feder

182 unteres, inneres Presswerkzeugteil ohne Nase

191 Querschnittsfläche der Nut

192 Querschnittsfläche des Feder

200 Trägerfolie

300 erste Rolle

301 zweite Rolle

310 Klemmring

400 Silikongrundmasse

410 Silikonelement