Druckdifferenz-Meßumformer

Die Erfindung bezieht sich auf einen Druckdifferenz- Meßumformer mit einem quer zu seiner Längsachse zweige¬ teilten Innengehäuse, zwischen dessen beiden Gehäuseteilen eine einen Drucksensor tragende Mittenmembran eingespannt ist und dessen eines Gehäuseteil in einer Bohrung eine elektrische Durchführung enthält, die mit einem äußeren Ansatz in einer Erweiterung der Bohrung liegt.

Bei einem bekannten Druckdifferenz-Meßumformer

(US 4 135 408) verläuft die die elektrische Durchführung aufnehmende Bohrung quer zur Längsachse des Meßumformers von außen nach innen. Die Bohrung ist nach außen hin erweitert, so daß die elektrische Durchführung mit einem äußeren Ansatz gegen einen inneren Absatz gedrückt werden kann. Zwischen dem äußeren Ansatz und dem Absatz ist ein O-Ring gelegt, damit eine sichere Abdichtung nach außen vorgenommen wird. Da bei dem bekannten Druckdiffe¬ renz-Meßumformer auf die elektrische Durchführung der volle statische Druck im Innern des Meßumformers wirkt, ist gegen den äußeren Ansatz der elektrischen Durchführung eine massive Schraube innerhalb der Bohrung geschraubt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Druckdiffe¬ renz-Meßumformer vorzuschlagen, der sich hinsichtlich der Anordnung der elektrischen Durchführung verhältnismäßig einfach herstellen läßt.

Zur Lösung dieser Aufgabe verläuft bei einem Druckdiffe¬ renz-Meßumformer der eingangs angegebenen Art erfindungs-

gemäß die Bohrung parallel zur Längsachse und weist an ihrem dem anderen Gehäuseteil zugewandten Ende eine Erweiterung auf; an ihrem von dem anderen Gehäuseteil ab¬ gewandten Ende geht die Bohrung in eine nach außen führen- de Querbohrung über.

Der wesentliche Vorteil des erfindungsgemäßen Druckdiffe¬ renz-Meßumformers besteht darin, daß durch die Anordnung der Bohrung und ihre Ausgestaltung die elektrische Durch- führung mit ihrem äußeren Ansatz durch den statischen Innendruck gegen einen von der Erweiterung der Bohrung gebildeten Ansatz gepreßt wird, wodurch die Druckbean¬ spruchung der elektrischen Durchführung durch den stati¬ schen Innendruck von dem einen Gehäuseteil abgefangen wird. Eine massive Verschraubung zum Abfangen des auf die elektrische Durchführung ausgeübten statischen Druckes ist daher bei dem erfindungsgemäßen Druckdifferenz-Meß- umnformer nicht erforderlich.

Die Anordnung der die elektrische Durchführung aufnehmen¬ den Bohrung und die Einbringung der elektrischen Durch¬ führung selbst ermöglichen es bei dem erfindungsgemäßen Druckdifferenz-Meßumformer in vorteilhafter Weise, die elektrische Durchführung im Bereich ihres äußeren Ansatzes mit dem einen Gehäuseteil zu verschweißen. Die Schwei߬ verbindung dient dabei lediglich zur Abdichtung des Innen¬ raumes des erfindungsgemäßen Druckdifferenz-Meßumformers nach außen; Druckbelastungen ist die Schweißstelle nicht ausgesetzt, so daß sie hohen Qualitätsansprüchen nicht ge- πügen muß.

Bei dem erfindungsgemäßen Druckdifferenz-Meßumformer kann die elektrische Verbindung zwischen dem Drucksensor und der elektrischen Durchführung auf unterschiedliche Weise

erfolgen, beispielsweise durch einzelne elektrische

Leitungen. Als besonders vorteilhaft wird es aber im

Hinblick auf eine einfache Montage angesehen, wenn zwischen dem Drucksensor und der elektrischen Durch- führung eine bandförmige Leiterfolie verläuft. Zwar ist es aus der DE 35 00 613 AI bekannt, eine piezo- resistive Druckmeßzelle hinsichtlich ihrer Bonddrähte unmittelbar mit den Zuleitungen auf einem Kunststoff- Folienmaterialabschnitt zu verbinden, jedoch geht es dort nicht darum, einen fertig hergestellten, mit einer Bondplatte und einem Gehäuse versehenen Drucksensor mit einer elektrischen Durchführung auf einfache Art und Weise zu verbinden.

Im Hinblick auf die Bauhöhe üblicher, bei dem erfindungs¬ gemäßen Druckdifferenz-Meßumformer verwendbarer Druck¬ sensoren wird es als vorteilhaft angesehen, wenn die band¬ förmige Leiterfolie durch eine Abkröpfung neben dem Drucksensor dicht an der Mittenmembran geführt ist. Auf diese Weise lassen sich auf einfache Art Beeinflussungen der Bewegungsfreiheit der Mittenmembran bzw. des auf ihr angebrachten Drucksensors ausschließen.

Um eine besonders einfache Montage des erfindungsgemäßen Druckdifferenz-Meßumformers im Hinblick auf die elektri¬ sche Verbindung zwischen Drucksensor und elektrischer Durchführung zu ermöglichen, wird es als vorteil¬ haft angesehen, wenn die bandförmige Leiterfolie im Be¬ reich der elektrischen Durchführung eine Schlinge bildet. Durch diese Schlinge läßt sich die bandförmige Leiter¬ folie nach ihrer galvanischen Verbindung mit dem Druck¬ sensor in einfacher Weise auch mit den elektrischen An¬ schlüssen der elektrischen Durchführung verlöten, weil die Zugänglichkeit zu dieser Lötstelle durch ein Öffnen

der Schlinge besonders gut gewährleistet ist.

Zur Erläuterung der Erfindung ist in

Figur 1 ein Längsschnitt durch ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Druckdifferenz-Meßumformers und in

Figur 2 in Form einer Sprengzeichnung der Bereich der Gehäuseteile des Innengehäuses des Druckdifferenz- Meßumformers nach Figur 1 wiedergegeben.

Der in Figur 1 dargestellte Druckdifferenz-Meßumformer weist ein Innengehäuse 1 auf, das ein in der Figur oberes Gehäuseteil 2 und ein anderes (in der Figur unteres) Gehäuseteil 3 enthält. Das eine Gehäuseteil 2 weist eine zentrale Ausnehmung 4 auf; auch das andere Gehäuseteil 3 ist mit einer weiteren zentralen Ausnehmung 5 versehen. In dem von den zentralen Ausnehmungen 4 und 5 gebildeten Hohlraum befindet sich ein Drucksensor 6, der auf einer Mittenmembran 7 befestigt ist. Die Mittenmembran 7 ist zwischen den Gehäuseteilen 2 und 3 des Innengehäuses 1 am äußeren Rand 8 in bekannter Weise durch Schweißen eingespannt.

Der Drucksensor 6 kann z.B. im einzelnen so ausgebildet sein, wie es in der Veröffentlichung von G. Ehrler "Piezo- resistive Silizium-Elmentardrucksensoren" AMA-Seminar Mikro echanik, Heidelberg, 14.-15.03.89, S. 81 - 95 beschrieben ist. Der Drucksensor besteht aus einem insofern bekannten Sensorelemeπt 9, und ist in ebenfalls bekannter Weise auf einer Bondplatte 10 aufgebracht. Seine elektrischen Anschlüsse sind - wie später noch im Zusammen¬ hang mit der Figur 2 ausführlich erläutert wird - über eine bandförmige Leiterfolie 11 mit einer elektrischen Durch¬ führung 12 verbunden.

Die zentrale Ausnehmung 4 des einen Gehäuseteils 2 ist über einen inneren Kanal 13 in bekannter Weise über eine Trennmembran 14 mit einer Vorkammer 15 druckleitend ver¬ bunden, der über eine Öffnung 16 ein Druck zugeführt wird. Die Vorkammer 15 wird von einer Ausnehmung in einer äußeren Gehäusekappe 17 gebildet.

Entsprechend ist die weitere zentrale Ausnehmung 5 des anderen Gehäuseteils 3 über einen weiteren inneren Kanal 18 und eine weitere Trennmembran 19 druckleitend mit einer weiteren Vorkammer 20 verbunden, in die über eine Öffnung 21 ein weiterer Druck eingeleitet wird. Die Vorkammer 20 ist von einer weiteren Gehäusekappe 22 gebildet, die über Spannschrauben 23 und 24 mit der anderen Gehäusekappe 17 unter Zwischenlegung von O-Ringen 25 und 26 verspannt ist.

Innerhalb der inneren Kanäle 13 und 18 der beiden Gehäuse¬ teile 2 und 3 befindet sich in bekannter Weise Öl, das über Kanäle 27 und 28 in bekannter Weise eingefüllt wird; diese Kanäle 27 und 28 werden anschließend durch die nur schematisch dargestellten Verschlußeinrichtungen 29 und 30 dicht verschlossen.

Wie die Figur 1 ferner erkennen läßt, weist das eine Gehäuseteil 2 eine Bohrung 31 parallel zur Längsachse 32 des Druckdifferenz-Meßumformers auf. Diese Bohrung 31 ist an ihrem dem anderen Gehäuseteil 3 zugewandten Ende mit einer Erweiterung 33 versehen. Die elektrische Durch¬ führung 12 weist einen entsprechenden Ansatz 34 an einem äußeren Metalizylinder 35 der elektrischen Durchführung

12 auf. Mit dem äußeren Ansatz 34 ist die elektrische Durchführung 12 gegen einen Absatz 36 gedrückt, der von der Erweiterung 33 gebildet ist.

Die elektrische Durchführung 12 enthält in einem Glaskörper 37 eingebettet elektrische Kontaktstifte 38, die auf beiden Seiten aus der elektrischen Durchführung 12 hervorstehen. Deshalb besteht die Möglichkeit, die in der Figur 1 unteren Enden 39 der Kontaktstifte 38 mit der bandförmigen Leiterfolie 11 zu verbinden, die nach Ab- kröpfung in einer Ebene parallel zur Mittenmembran 7 verläuft und um einen Keramikkörper 40 eine Schlinge 41 bildet, um mit ihrem in Richtung auf den Drucksensor 6 zurückgeführten Ende mit den Kontaktstiften 38 verlötet zu werden. Ein weiteres Keramikstück 42 ist übrigens vorher über die Enden 39 der Kontaktstifte 38 geschoben. An ihrem in der Figur 1 oberen Ende sind die Kontaktstifte 38 ebenfalls mit den Leiterbahnen auf einer weiteren bandförmigen Leiterfolie 43 durch Löten verbunden. Diese weitere bandförmige Leiterfolie ist durch eine Querbohrung 44 nach außen geführt, die sich bis zur Bohrung 31 erstreckt.

Bei dem in Figur 1 dargestellten Druckdifferenz- Meßumformer ist der Raum unterhalb der elektrischen Durch¬ führung 12 mit dem statischen Druck beaufschlagt, der dem¬ zufolge auch auf die elektrische Durchführung 12 einwirkt. Die dadurch auf die elektrische Durchführung 12 ausge- übte Belastung wird über den äußeren Ansatz 34 auf das eine Gehäuseteil 2 übertragen, so daß eine einfache Schweißnaht im Bereich des äußeren Ansatzes ausreichend ist, um hier lediglich eine Abdichtung des Innenraumes des Druckdifferenz-Meßumformers nach außen zu bewirken. Weitere Maßnahmen zum Abfangen des statischen Druckes im Bereich der elektrischen Durchführung sind nicht er¬ forderlich .

Der Figur 2, in der mit der Figur 1 übereinstimmende

Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen sind, ist zu entnehmen, daß mit der Mittenmembran 7 der Drucksensor 6 verbunden ist, nachdem er bereits mit einer Bondplatte 10 versehen ist. Zur Isolation des in der Regel mit einem Metallgehäuse versehenen Drucksensors 6 von der bandförmi¬ gen Leiterfolie 11 dient eine Keramikplatte 50, die Aus¬ nehmungen entsprechend der Anordnung der elektrischen Anschlußstifte 51 des Drucksensors 6 aufweist.

Nach dem Verlöten der bandförmigen Leiterfolie 11 in ihrem Bereich 52 mit den Anschlußstiften 51 des Drucksensors 6 wird eine keramische Abdeckplatte 53 aufgebracht, um eine Isolierung des Drucksensors 6 bei starken Auslenkun¬ gen der Mittenmembran 7 gegenüber dem einen Gehäuseteil 2 zu erreichen.

Andererseits wird vor einem weiteren Zusammenfügen der Gehäuseteile 2 und 3 des Innengehäuses 1 in die Bohrung 31 des einen Gehäuseteils 2 die elektrische Durchführung 12 eingesetzt, und es werden mit dem Ende 54 der weiteren Leiterfolie 43 die Kontaktstifte 38 verlötet. An¬ schließend wird das weitere Keramikstück 42 auf die in Figur 2 nicht erkennbaren Enden 39 der Kontaktstifte 38 der elektrischen Durchführung 12 aufgeschoben und danach ein Verlöten des anderen Endes 55 der einen bandförmigen Leiterfolie 11 vorgenommen. Dabei ist die Anbringung so vorgenommen, daß um die Keramikscheibe 40 die Schlinge 41 der bandförmigen Leiterfolie 11 gebildet ist; die Scheibe 40 dient dabei dazu, ein Knicken der bandförmigen Leiter- folie 11 im Bereich der Schlinge zu verhindern.

Ist die Montage so weit fortgeschritten, dann können die Gehäuseteile 2 und 3 des Innengehäuses unter Einspannen

der Mittenmembran 7 mit dem Drucksensor 6 durch Schweißen verbunden werden.