Die Erfindung betrifft einen Druckmessaufnehmer, mit

einem Drucksensor, und

einem dem Drucksensor vorgeschalteten Druckmittler, der eine Trennmembran umfasst, deren Außenseite mit einem Druck beaufschlagbar ist und unter der eine Druckempfangskammer eingeschlossen ist, und

einem an die Druckempfangskammer angeschlossenen, mit einer Druckübertragungsflüssigkeit gefüllten, hydraulischen Druckübertragungspfad, der den auf die Außenseite der Trennmembran einwirkenden Druck auf den Drucksensor überträgt.

Druckmessaufnehmer umfassen als Absolutdruckmessaufnehmer, als Relativdruckmessaufnehmer, sowie als Differenzdruckmessaufnehmer ausgebildete Messaufnehmer und werden zur Messung von Drücken eingesetzt.

Dabei ist es insb. in industriellen Anwendungen von besonderer Wichtigkeit, dass

Druckmessaufnehmer eine gleichbleibend hohe Messgenauigkeit aufweisen und ggfs auftretende Funktionsbeeinträchtigungen des Druckmessaufnehmers, insb. sich auf die Messgenauigkeit und/oder die Betriebssicherheit auswirkende Beeinträchtigungen, möglichst frühzeitig erkannt und behoben werden können. Hauptursachen für derartige Beeinträchtigungen sind Funktionsbeeinträchtigungen des Drucksensors, der Druckübertragungsflüssigkeit und der Trennmembran.

Eine Hauptursache für Funktionsbeeinträchtigungen von eine Messmembran aufweisenden

Drucksensoren besteht darin, dass sich die Druckempfindlichkeit der Messmembran, z.B. durch Alterung oder durch Überbelastungen, mit der Zeit verändert. Diese Funktionsbeeinträchtigungen können z.B. auf die in der DE 10 2007 016 792 A1 oder in der DE 196 01 078 A1 beschriebene Weise erkannt werden, indem im Drucksensor ein Auslenkmittel zur Auslenkung der Messmembran integriert wird und die durch das Auslenkmittel bewirkte Auslenkung der Messmembran mittels eines

elektromechanischen Wandlers erfasst wird. Hierüber lassen sich z.B. sich auf die Messgenauigkeit des Drucksensors auswirkende Veränderungen der Steifigkeit der Messmembran feststellen.

Funktionsbeeinträchtigungen der Druckübertragungsflüssigkeit und der Trennmembran von

Druckmessaufnehmern der eingangs genannten Art können hierüber jedoch nicht erkannt werden. Funktionsbeeinträchtigungen der Trennmembran können z.B. durch Korrosion, Abrasion oder

Versprödung der unter Umständen sehr harschen Prozessbedingungen ausgesetzten Trennmembran oder durch Ansatzbildung auf der Außenseite der Trennmembran verursacht werden. Diese

Funktionsbeeinträchtigungen können z.B. auf die in der DE 10 2005 055 285 A1 beschriebene Weise erkannt werden. Dort ist ein die eingangs genannten Merkmale aufweisender Druckmessaufnehmer beschrieben. Dieser umfasst einen mittels einer Erregerschaltung angetriebenen hydraulischen Erreger, der dazu dient dem hydraulischen Druckübertagungspfad Druckschwankungen aufzuprägen. Zusätzlich umfasst der Messaufnehmer eine Auswertungseinheit, die eine Abhängigkeit des mittels des Drucksensors gemessenen Drucks von den aufgeprägten Druckschwankungen ermittelt und hieraus Rückschlüsse auf den Zustand der Trennmembran ableitet. Dabei wird ausgenutzt, dass sich

Ansatzbildung auf der Außenseite der Trennmembran in unterschiedlicher Weise auf das

Schwingungsverhalten der durch die Druckschwankungen zu erzwungenen Schwingungen angeregten Trennmembran auswirkt als die Steifigkeit der Trennmembran reduzierende Beeinträchtigungen, wie sie z.B. durch Korrosion oder Abrasion der Trennmembran verursacht werden.

Darüber hinaus ist in der DE 10 2005 055 285 A1 beschrieben, den Druckmessaufnehmer mit einen Auslenkungssensor auszustatten, mit dem die frequenzabhängige Auslenkung der Trennmembran gemessen wird. In dem Fall kann die Auswertungseinheit auch anhand der Abhängigkeit der gemessenen Auslenkungen der Trennmembran von den aufgeprägten Druckschwankungen

Rückschlüsse auf den Zustand der Trennmembran ableiten.

Nachteilig ist hierbei jedoch, dass den durch den Erreger bewirkten Druckschwankungen der außen auf die Trennmembran einwirkende Druck entgegen wirkt. Das hat zur Folge, dass dieser Druck und die Eigenschaften des diesen Druck auf die Trennmembran ausübenden Mediums, z.B. dessen Dichte, Kompressibilität oder Zähigkeit, die in der DE 10 2005 055 285 A1 beschriebene Funktionsprüfung der Trennmembran beeinträchtigen und dementsprechend berücksichtigt werden sollten.

Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass die Amplitude der aufgeprägten Druckschwankungen von den Druckübertragungseigenschaften der Druckübertragungsflüssigkeit abhängig ist. Letztere können sich jedoch unter Umständen im laufenden Betrieb verändern. Ursachen hierfür sind z.B. sich in der Flüssigkeit ausbildende Gasblasen, die zu einer erhöhten Kompressibilität der

Druckübertragungsflüssigkeit führen. Gasblasen entstehen z.B. durch eine Zersetzung der

Druckübertragungsflüssigkeit bei hohen Temperaturen oder durch in den Druckübertragungspfad eindringenden Wasserstoff, der z.B. durch Diffusion durch metallische Trennmembranen hindurch gelangt. Veränderungen der Druckübertragungseigenschaften der Druckübertragungsflüssigkeit führen zu einer Beeinträchtigung der mittels des Erregers ausführbaren Funktionsprüfung der Trennmembran, ohne dass sie als Funktionsbeeinträchtigungen der Druckübertragungsflüssigkeit erkennbar sind.

Um eine möglichst gleichbleibend hohe Messgenauigkeit von Druckmessaufnehmern sicher zu stellen, werden Druckmessaufnehmer heute in regelmäßigen Abständen kalibriert. Dabei wird die

Trennmembran des Druckmessaufnehmers mit bekannten Drücken möglichst exakt vorgebbarer Größe beaufschlagt und die Messgenauigkeit des Druckmessaufnehmers anhand der während dieser Druckbeaufschlagungen vom Druckmessaufnehmer gemessenen Drücke überprüft. Die

Druckbeaufschlagung der Trennmembran mit vorgegebenen Drücken exakt bestimmbarer Größe erfordert jedoch regelmäßig die Entfernung des Druckmessaufnehmer vom Einsatzort oder zumindest einen drastischen Eingriff in den am Einsatzort ablaufenden Prozess. Es ist eine Aufgabe der Erfindung einen Druckmessaufnehmer anzugeben, der es ermöglicht

Funktionsbeeinträchtigungen des Druckmessaufnehmers, insb. sich auf die Messgenauigkeit und/oder die Betriebssicherheit auswirkende Beeinträchtigungen, frühzeitig zu erkennen, ohne dass der auf die Außenseite der Trennmembran wirkende Druck verändert und/oder die Eigenschaften des diesen Druck auf die Trennmembran ausübenden Mediums berücksichtigt werden müssen.

Hierzu umfasst die Erfindung einen Druckmessaufnehmer, mit

einem Drucksensor,

einem dem Drucksensor vorgeschalteten Druckmittler, der eine Trennmembran umfasst, deren Außenseite mit einem Druck beaufschlagbar ist und unter der eine Druckempfangskammer eingeschlossen ist, und

einem an die Druckempfangskammer angeschlossenen, mit einer Druckübertragungsflüssigkeit gefüllten, hydraulischen Druckübertragungspfad, der den auf die Außenseite der Trennmembran einwirkenden Druck auf den Drucksensor überträgt,

der sich dadurch auszeichnet, dass der Druckmittler eine elektronisch aktivierbare

Auslenkeinrichtung umfasst, die derart ausgebildet ist, dass sie im aktivierten Zustand eine konstante, die Trennmembran auslenkende Kraft auf die Trennmembran oder ein mit der Trennmembran verbundenes Element ausübt.

Erfindungsgemäße Druckmessaufnehmer bieten den Vorteil, dass die mittels der Auslenkeinrichtung auf die Trennmembran oder das Element ausgeübte Kraft auf definierte und kontrollierbare Weise zugeschaltet werden kann und sich auf den gesamten Druckmessaufnehmer wie eine der

vorgegebenen, konstanten Kraft entsprechende Druckänderung des auf die Außenseite der

Trennmembran einwirkenden Drucks auswirkt. Da der gemessene Druck von den Eigenschaften der Trennmembran, der Druckübertragungsflüssigkeit und des Drucksensors abhängig ist, wirken sich Funktionsbeeinträchtigungen all dieser Komponenten unmittelbar auf die durch die Kraft bewirkte Veränderung des mittels des Drucksensors gemessenen Drucks aus und können somit anhand des gemessenen Drucks frühzeitig erkannt werden.

Da die Kraft unmittelbar auf die Trennmembran oder das damit verbundene Element ausgeübt wird, kann die Kraft auch dann noch in kontrollierter und definierter Weise vorgeben und ausgeübt werden, wenn sich die Druckübertragungseigenschaften der Druckübertragungsflüssigkeit in unbekannter Weise verändern. Im Unterschied zu den Amplituden von mittels eines Erregers auf den hydraulischen Druckübertragungspfad aufgeprägten Druckschwankungen ist die von der Auslenkeinrichtung auf die Trennmembran ausgeübte Kraft nicht von den Eigenschaften der Druckübertragungsflüssigkeit abhängig.

Da die durch die aktivierte Auslenkeinrichtung auf die Trennmembran ausgeübte Kraft konstant ist, ist die Wirkung dieser Kraft auf den gemessenen Druck weder von dem von außen auf die Trennmembran einwirkenden Druck noch von den Eigenschaften des diesen Druck auf die Außenseite der Trennmembran ausübenden Mediums abhängig. Entsprechend kann die Funktionsfähigkeit des Druckmessaufnehmers jederzeit überprüft werden, ohne dass der währenddessen auf die Außenseite der Trennmembran einwirkende Druck bekannt sein muss oder verändert werden muss, und ohne dass die Eigenschaften des Mediums die Überprüfung beeinträchtigen.

Eine erste Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

die Trennmembran magnetisch oder ferromagnetisch ist oder mit einem magnetischen oder ferromagnetischen Element verbunden ist, und

die Auslenkeinrichtung einen elektronisch aktivierbaren Elektromagnet umfasst, der im aktivierten Zustand die die T rennmembran auslenkende Kraft auf die T rennmembran oder das damit verbundene Element ausübt.

Eine Weiterbildung der ersten Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass der Druckmessaufnehmer eine an den Elektromagneten anschließbare oder angeschlossene Auslenkungsmessschaltung umfasst, die derart ausgebildet ist, dass sie eine von dem auf die Trennmembran einwirkenden Druck abhängige Auslenkung der Trennmembran bei deaktivierter Auslenkeinrichtung anhand einer von der Auslenkung der Trennmembran abhängigen Eigenschaft des Elektromagneten, anhand einer

Induktivität des Elektromagneten oder anhand einer von der Induktivität des Elektromagneten abhängigen Größe bestimmt, und

eine Prüfeinrichtung umfasst, die derart ausgebildet ist, dass sie die Funktionsfähigkeit und/oder die Messgenauigkeit des Druckmessaufnehmer bei deaktivierter Auslenkeinrichtung anhand des mittels des Drucksensors gemessenen Druck und der parallel hierzu mittels der Auslenkungsmessschaltung ermittelten Auslenkung der Trennmembran überprüft.

Eine zweite Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass die Trennmembran zumindest

abschnittweise oder insgesamt aus einem magnetischen Material, aus einem ferromagnetischen Material, aus einem ferromagnetischen Stahl, aus einem ferritischen Stahl, aus einem Duplex-Stahl oder aus einem Superduplex-Stahl besteht.

Eine dritte Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass das mit der Trennmembran verbundene magnetische oder ferromagnetische Element eine auf einer in die Druckempfangskammer hinein weisenden Innenseite der Trennmembran angeordnete angeordnete Scheibe umfasst, wobei die Scheibe

a) aus einem magnetischen oder ferromagnetischen Material, aus einer magnetischen oder

ferromagnetischen metallischen Legierung, aus einem ferromagnetischen Stahl, aus einem ferritischen Stahl, aus einem Duplex-Stahl, aus einem Superduplex-Stahl, aus Eisen, aus

Gusseisen, aus einer magnetischen oder ferromagnetischen Keramik, aus einer ferritischen Keramik oder aus einem Eisenoxid besteht,

b) als Beschichtung oder als galvanische Beschichtung auf die Trennmembran aufgebracht oder durch eine Fügung oder eine Lötung mit der Trennmembran verbunden ist, c) bei einer Materialstärke der Trennmembran von 25 miti bis 200 miti eine Scheibendicke von 0,1 miti bis 500 miti aufweist, bei einer Materialstärke der Trennmembran von

25 miti bis 100 miti eine Scheibendicke von 0,1 miti bis 300 miti aufweist oder bei einer Materialstärke der Trennmembran von 50 miti bis 200 miti eine Scheibendicke von

10 miti bis 500 miti aufweist, und/oder

d) einen Durchmesser aufweist, der geringer als ein Durchmesser der T rennmembran ist und/oder bei einem Durchmesser der Trennmembran von 20 mm bis 90 mm einen Durchmesser von 2 mm bis 15 mm aufweist, wobei die Scheibe konzentrisch zur Trennmembran angeordnet ist.

Eine vierte Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass das mit der Trennmembran verbundene Element einen auf einer in die Druckempfangskammer hinein weisenden Innenseite der Trennmembran montierten Permanentmagnet umfasst.

Eine Weiterbildung der vierten Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass sich der

Permanentmagnet in einen an die Druckempfangskammer angrenzenden Endbereich des

Druckübertragungspfades hinein erstreckt, der außenseitlich zumindest abschnittweise von einer Spule des Elektromagneten umgeben ist.

Weiterbildungen der ersten Weiterbildung zeichnen sich dadurch aus, dass

der Elektromagnet im Druckmittler integriert ist,

der Elektromagnet eine über eine elektronisch steuerbare Schalteinrichtung an eine

Gleichstromquelle anschließbare Spule umfasst,

die Spule derart ausgerichtet ist, dass eine Verlängerung von deren Längsachse parallel zur Flächennormale auf die Trennmembran durch die Mitte der Trennmembran hindurch verläuft,

die Spule derart angeordnet ist, dass sie einen Abschnitt des von der Druckempfangskammer zum Drucksensor verlaufenden Druckübertragungspfads außenseitlich allseitig umgibt, und/oder

der Elektromagnet einen zumindest abschnittweise von der Spule umgebenen hohlzylindrischen Kern umfasst, durch den ein in der Druckempfangskammer mündender Endbereich des hydraulischen Druckübertragungspfad hindurch verläuft.

Eine fünfte Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass der Druckmessumformer eine

Prüfeinrichtung umfasst, die dazu ausgebildet ist Funktionsprüfungen des Druckmessaufnehmers durchzuführen, bei denen die Auslenkeinrichtung jeweils für die Dauer eines vorgegeben Zeitraums aktiviert wird und die Prüfeinrichtung den Druckmessaufnehmer anhand des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors gemessenen Drucks überprüft.

Eine Weiterbildung der fünften Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

die Prüfeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie anhand des während der jeweiligen

Funktionsprüfung mittels des Drucksensors gemessenen Drucks eine auf die Aktvierung der WO 2020/126278 PCT/EP2019/082029

Auslenkeinrichtung zurückzuführende, sprunghafte Druckänderung des gemessenen Drucks bestimmt, und

die Prüfeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie

a) eine Funktionsbeeinträchtigung des Druckmessaufnehmers feststellt, wenn die Druckänderung von einem hierfür vorgegebenen Referenzwert um mehr als eine vorgegebene Toleranz abweicht, und/oder

b) anhand der Differenz zwischen der Druckänderung und dem Referenzwert eine Messgenauigkeit des Druckmessaufnehmers überprüft, eine Beeinträchtigung der Messgenauigkeit ausgibt, wenn der Betrag der Differenz einen vorgegebenen Grenzwert überschreitet, und/oder anhand des Betrags der Differenz einen Grad der Beeinträchtigung der Messgenauigkeit bestimmt und ausgibt.

Eine weitere Weiterbildung der fünften Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

die Auslenkeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie im aktivierten Zustand eine die

Trennmembran in Richtung deren Membranbett auslenkende, konstante Kraft ausübt,

die Prüfeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie anhand des während der jeweiligen

Funktionsprüfung mittels des Drucksensors gemessenen Drucks eine als Druckanstieg ausgebildete, auf die Aktvierung der Auslenkeinrichtung zurückzuführende Druckänderung des gemessenen Druck bestimmt, und

die Prüfeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie:

a) eine reduzierte Steifigkeit der Trennmembran als eine mögliche Ursache einer

Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert überschreitet,

b) eine erhöhte Steifigkeit der Trennmembran als eine mögliche Ursache einer

Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert unterschreitet,

c) eine erhöhte Druckempfindlichkeit des Drucksensors und/oder eine reduzierte Steifigkeit einer Messmembran des Drucksensors als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert überschreitet, und/oder

d) eine reduzierte Kompressibilität der Druckübertragungsflüssigkeit als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert unterschreitet.

Eine weitere Weiterbildung der fünften Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass die

Prüfeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie einen zeitlichen Verlauf des während der

Funktionsprüfung gemessenen Drucks mit einem hierfür vorgegebenen Referenzverlauf vergleicht und/oder anhand des zeitlichen Verlaufs mindestens eine vom zeitlichen Verlauf abhängige Kenngröße ableitet und mit einem hierfür vorgegebenen Referenzwert vergleicht und eine

Funktionsbeeinträchtigung erkennt, wenn der Verlauf von dem Referenzverlauf um mehr als ein vorgegebenes Maß abweicht und/oder die Kenngröße von dem Referenzwert um mehr als ein vorgegebenes Maß abweicht. WO 2020/126278 PCT/EP2019/082029

Eine weitere Weiterbildung der fünften Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

die Auslenkeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie im aktivierten Zustand eine die

Trennmembran in Richtung deren Membranbett auslenkende, konstante Kraft ausübt, und

die Prüfeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie eine Undichtigkeit des Druckmessaufnehmers erkennt und ausgibt, wenn der gemessene Druck während des Zeitraums ausgehend von einem Maximaldruck um mehr als einen vorgegebenen Wert absinkt.

Des Weiteren umfasst die Erfindung ein Verfahren zur Funktionsprüfung eines erfindungsgemäßen Druckmessaufnehmers das sich dadurch auszeichnet, dass mindestens eine Funktionsprüfung durchgeführt wird, bei der

die Auslenkeinrichtung für die Dauer eines vorgegeben Zeitraums aktiviert wird, und

die Funktion des Druckmessaufnehmers anhand des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors gemessenen Drucks, anhand einer auf die Aktivierung der

Auslenkeinrichtung zurückzuführenden sprunghaften Druckänderung des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors gemessenen Drucks und/oder anhand eines zeitlichen Verlaufs des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors gemessenen Drucks überprüft wird.

Eine Weiterbildung des Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, dass bei mindestens einer

Funktionsprüfung derart verfahren wird, dass

die Auslenkeinrichtung während des Zeitraums eine die Trennmembran in Richtung deren

Membranbett auslenkende, konstante Kraft ausübt, und

bei dieser Funktionsprüfung:

a) die als Druckanstieg ausgebildete auf die Aktvierung der Auslenkeinrichtung zurückzuführende Druckänderung des gemessenen Drucks bestimmt wird, und

a1 ) eine reduzierte Steifigkeit der Trennmembran als eine mögliche Ursache einer

Funktionsbeeinträchtigung bestimmt wird, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen

Grenzwert überschreitet,

a2) eine erhöhte Steifigkeit der Trennmembran als eine mögliche Ursache einer

Funktionsbeeinträchtigung bestimmt wird, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen

Grenzwert unterschreitet,

a3) eine erhöhte Druckempfindlichkeit des Drucksensors und/oder eine reduzierte Steifigkeit einer Messmembran des Drucksensors als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung bestimmt wird, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert überschreitet,

a4) eine reduzierte Kompressibilität der Druckübertragungsflüssigkeit als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung bestimmt wird, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert unterschreitet, und/oder

b) eine Undichtigkeit des Druckmessaufnehmers erkannt wird, wenn der gemessene Druck während des Zeitraums ausgehend von einem Maximaldruck um mehr als einen vorgegebenen Wert absinkt. Des Weiteren umfasst die Erfindung einen erfindungsgemäßen Druckmessaufnehmer der sich dadurch auszeichnet, dass

der Drucksensor ein Differenzdrucksensor ist, dem ein zweiter Druckmittler vorgeschaltet ist, der eine Trennmembran umfasst, deren Außenseite mit einem zweiten Druck beaufschlagbar ist und unter der eine Druckempfangskammer eingeschlossen ist, die an einen mit einer

Druckübertragungsflüssigkeit gefüllten, hydraulischen Druckübertragungspfad angeschlossen ist, der den auf die Außenseite der Trennmembran einwirkenden zweiten Druck auf den Drucksensor überträgt,

der zweite Druckmittler eine elektronisch aktivierbare Auslenkeinrichtung umfasst, die derart ausgebildet ist, dass sie im aktivierten Zustand eine konstante, die Trennmembran des zweiten Druckmittlers auslenkende Kraft auf die Trennmembran oder ein mit der Trennmembran verbundenes Element ausübt, und

der Druckmessaufnehmer eine Prüfeinrichtung umfasst, die dazu ausgebildet ist

Funktionsprüfungen des Druckmessaufnehmers durchzuführen, bei denen jeweils eine der beiden Auslenkeinrichtungen für die Dauer eines vorgegeben Zeitraums aktiviert wird und die Prüfeinrichtung den Druckmessaufnehmer anhand des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des

Drucksensors gemessenen Differenzdrucks, anhand einer auf die Aktivierung der jeweiligen

Auslenkeinrichtung zurückzuführenden sprunghaften Druckänderung des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors gemessenen Differenzdrucks und/oder anhand eines zeitlichen Verlaufs des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors

gemessenen Differenzdrucks überprüft.

Eine Weiterbildung des letztgenannten Druckmessaufnehmers zeichnet sich dadurch aus, dass die Trennmembranen magnetisch oder ferromagnetisch sind oder mit einem magnetischen oder ferromagnetischen Element verbunden sind,

jede Auslenkeinrichtung jeweils einen elektronisch aktivierbaren Elektromagnet umfasst, der im aktivierten Zustand die die jeweilige Trennmembran auslenkende Kraft auf die Trennmembran oder das damit verbundene Element ausübt,

der Druckmessaufnehmer für jeden Elektromagnet jeweils eine an den Elektromagneten anschließbare oder angeschlossene Auslenkungsmessschaltung umfasst, die derart ausgebildet ist, dass sie eine von dem auf die Trennmembran einwirkenden Druck abhängige Auslenkung der Trennmembran bei deaktivierter Auslenkeinrichtung anhand einer von der Auslenkung der

Trennmembran abhängigen Eigenschaft des Elektromagneten, anhand der Induktivität des

Elektromagneten oder anhand einer von der Induktivität des Elektromagneten abhängigen Größe bestimmt, und

die Prüfeinrichtung derart ausgebildet ist, dass sie die Funktionsfähigkeit und/oder die

Messgenauigkeit des Druckmessaufnehmers anhand des gemessenen Differenzdrucks und der Differenz der mittels der beiden Auslenkungsmessschaltungen gemessenen Auslenkungen der beiden Trennmembranen überprüft, während beide Auslenkeinrichtungen deaktiviert sind. Die Erfindung und deren Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung, in denen vier Ausführungsbeispiele dargestellt sind, näher erläutert. Gleiche Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen. Um Bauteile von zum Teil sehr unterschiedlicher Größe darstellen zu können, wurde eine nicht immer maßstabsgetreue Darstellung gewählt.

Fig. 1 zeigt: einen Druckmessaufnehmer mit einem Druckmittler mit einer magnetischen oder

ferromagnetischen Trennmembran;

Fig. 2 zeigt: einen Druckmittler auf dessen Trennmembran eine magnetische oder ferromagnetische

Scheibe angeordnet ist;

Fig. 3 zeigt: einen Druckmittler mit einer mit einem Permanentmagnet verbundenen Trennmembran; Fig. 4 zeigt: eine im Rahmen einer Funktionsprüfung die Trennmembran auslenkende Kraft als

Funktion der Zeit;

Fig. 5 zeigt: einen im Rahmen einer Funktionsprüfung mit einem einwandfrei arbeitenden

Druckmessaufnehmer gemessenen Druck als Funktion der Zeit;

Fig. 6 zeigt: einen im Rahmen einer Funktionsprüfung mit einem eine Undichtigkeit aufweisenden

Druckmessaufnehmer gemessenen Druck als Funktion der zeit; und

Fig. 7 zeigt: einen Differenzdruckmessaufnehmer.

Fig. 1 zeigt ein Beispiel eines erfindungsgemäßen Druckmessaufnehmers, der einen Drucksensor 1 und einen dem Drucksensor 1 vorgeschalteten Druckmittler 3 umfasst. Der Druckmittler 3 umfasst eine Trennmembran 5, deren Außenseite mit einem vom Druckmessaufnehmer zu messenden Druck p beaufschlagbar ist. Unter der Trennmembran 5 ist eine Druckempfangskammer 7 eingeschlossen. An die Druckempfangskammer 7 ist ein mit einer Druckübertragungsflüssigkeit gefüllter, hydraulischer Druckübertagungspfad 9 angeschlossen, der den auf die Außenseite der Trennmembran 5

einwirkenden Druck p auf den Drucksensor 1 überträgt.

Erfindungsgemäße Druckmessaufnehmer zeichnen sich dadurch aus, dass deren Druckmittler 3 eine elektronisch aktivierbare Auslenkeinrichtung 1 1 umfasst, die derart ausgebildet ist, dass sie im aktivierten Zustand eine konstante, die Trennmembran 5 auslenkende Kraft K auf die Trennmembran 5 oder ein mit der Trennmembran 5 verbundenes Element ausübt.

Erfindungsgemäße Druckmessaufnehmer weisen die eingangs genannten Vorteile auf. Dabei können einzelne Komponenten unterschiedliche für sich genommen oder auch in Kombination miteinander einsetzbare Ausgestaltungen aufweisen.

Fig. 1 zeigt ein Beispiel bei dem die Trennmembran 5 magnetisch oder ferromagnetisch ist und die Auslenkeinrichtung 1 1 einen elektronisch aktivierbaren Elektromagneten 13 umfasst, der im aktivierten Zustand die die Trennmembran 5 auslenkende Kraft K auf die Trennmembran 5 ausübt. Bei dieser Ausführungsform besteht die Trennmembran 5 zumindest abschnittweise, vorzugsweise jedoch insgesamt aus einem magnetischen oder ferromagnetischen Material. Insoweit kann die Trennmembran 5 z.B. aus einer magnetischen Legierung, aus einer ferromagnetischen Legierung, aus einem ferromagnetischen Stahl, aus einem ferritischen Stahl, aus einem Duplex-Stahl oder aus einem Superduplex-Stahl bestehen.

Diese Ausführungsform bietet den Vorteil, dass zur Erzeugung der Kraft keine Komponenten erforderlich sind, die die Druckübertragungseigenschaften der Trennmembran 5 verändern, und dass die durch den aktivierten Elektromagneten 13 ausgeübte magnetische Anziehungs- oder

Abstoßungskraft unmittelbar auf die T rennmembran 5 wirkt. Sie ist daher insb. für

Druckmessaufnehmer besonders gut geeignet, mit denen vergleichsweise geringe, auf die Außenseite der T rennmembran 5 einwirkende Drücke p, wie z.B. Drücke von kleiner gleich 5 bar, gemessen werden und/oder die eine vergleichsweise hohe Messgenauigkeit aufweisen.

Alternativ kann die Trennmembran 5 mit einem magnetischen oder ferromagnetischen Element verbunden sein und die Auslenkeinrichtung 1 1 den elektronisch aktivierbaren Elektromagneten 13 umfassen, der im aktivierten Zustand die die Trennmembran 5 auslenkende Kraft K auf das mit der Trennmembran 5 verbundene Element ausübt.

Fig. 2 zeigt als ein Beispiel hierzu einen anstelle des in Fig. 1 dargestellten Druckmittlers 3

einsetzbaren Druckmittler, bei dem auf einer in die Druckempfangskammer 7 hinein weisenden Innenseite der Trennmembran 5 eine mit der Trennmembran 5 verbundene magnetische oder ferromagnetische Scheibe 15 angeordnet ist. Diese Ausführungsform bietet den Vorteil, dass das Material der Trennmembran 5 innerhalb weiterer Grenzen frei wählbar ist und die Trennmembran 5 optional auch aus einem nicht magnetischen Material, wie z.B. einem Edelstahl, insb. einem austenitischen Edelstahl, bestehen kann.

Als Scheibe 15 eignet sich eine Scheibe 15 aus einem magnetischen oder ferromagnetischen Material. Insoweit kann die Scheibe 15 z.B. aus einer magnetischen oder ferromagnetischen metallischen Legierung, aus einem ferromagnetischen Stahl, aus einem ferritischen Stahl, aus einem Duplex-Stahl, aus einem Superduplex-Stahl, aus Eisen oder aus Gusseisen bestehen. Alternativ kann die Scheibe 15 aber auch aus einer magnetischen oder ferromagnetischen Keramik oder aus einer ferritischen Keramik, wie z.B. einem Eisenoxid, bestehen.

Die Scheibe 15 kann je nach Scheibendicke und Material der Scheibe 15, z.B. als Beschichtung, z.B. als galvanische Beschichtung, auf die T rennmembran 5 aufgebracht oder durch eine Fügung, wie z.B. eine Lötung, mit der Trennmembran 5 verbunden sein.

Alternativ oder zusätzlich hierzu weist die Scheibe 15 vorzugsweise eine Schichtdicke von 0,1 pm bis 500 pm auf. Im Vergleich dazu kann die Trennmembran 5 z.B. eine Materialstärke im Bereich von 25 pm bis 200 pm aufweisen. Dabei wird die Materialstärke der Trennmembran 5 vorzugsweise umso größer angesetzt, je größer die mittels des Druckmessaufnehmers zu messenden Drücke p sind. Insoweit weist die Scheibe 15 bei einer Materialstärke der T rennmembran 5 von 25 miti bis 100 miti vorzugsweise eine Scheibendicke von 0,1 miti bis 300 miti auf, wohingegen sie bei einer Materialstärke der Trennmembran 5 von 50 gm bis 200 gm vorzugsweise eine Scheibendicke von 10 gm bis 500 gm aufweist.

Grundsätzlich kann die Scheibe 15 bei vergleichsweise geringer Scheibendicke als vollflächige Beschichtung auf die Trennmembran 5 aufgebracht sein. Vorzugsweise weist die konzentrische zur T rennmembran 5 angeordnete Scheibe 15 jedoch einen Durchmesser auf, der geringer als ein Durchmesser der Trennmembran 5 ist. Insoweit weist die Scheibe 15 bei einem Durchmesser der Trennmembran 5 von 20 mm bis 90 mm vorzugsweise einen Durchmesser von 2 mm bis 15 mm auf. Diese Ausführungsform bietet den Vorteil, dass die Druckübertragungseigenschaften der

Trennmembran 5 durch die hier lediglich mit einem mittleren Membranbereich der Trennmembran 5 verbundenen Scheibe 15 auch dann nur in vergleichsweise geringem Maße verändert werden, wenn die Scheibe 15 eine vergleichsweise große Scheibendicke aufweist und/oder die Scheibendicke größer als die Materialstärke der Trennmembran 5 ist.

Fig. 3 zeigt als weiteres Beispiel einen anstelle des in Fig. 1 dargestellten Druckmittlers 3 einsetzbaren Druckmittler, bei dem auf einer in die Druckempfangskammer 7 hinein weisenden Innenseite der Trennmembran 5 ein Permanentmagnet 17 montiert ist. Dieser Permanentmagnet 17 kann z.B. auf einer auf der Innenseite der Trennmembran 5 angeordneten, mit der Trennmembran 5 verbundenen Halterung 19 montiert sein.

Auch diese Ausführungsform bietet den Vorteil, dass die Trennmembran 5 optional aus einem nicht magnetischen Material, wie z.B. einem Edelstahl, insb. einem austenitischen Edelstahl, bestehen kann. Darüber hinaus bietet sie den Vorteil, dass über den mit der Trennmembran 5 verbundenen

Permanentmagneten 17 mittels des Elektromagneten 13 sehr viel größere Kräfte auf die

Trennmembran 5 ausgeübt werden können, als das bei den in Fig. 1 und 2 dargestellten Varianten möglich ist. Diese Ausführungsform ist daher insb. in Verbindung mit Druckmessaufnehmern zur Messung größerer Drücke von Vorteil, die entsprechend steife und/oder eine vergleichsweise große Materialstärke aufweisende Trennmembranen 5 aufweisen.

Unabhängig davon, ob die T rennmembran 5 magnetisch oder ferromagnetisch ist oder mit einem magnetischen oder ferromagnetischen Element, wie z.B. der in Fig. 2 dargestellten Scheibe 15 oder dem in Fig. 3 dargestellten Permanentmagnet 17, verbunden ist, ist der Elektromagnet 13

vorzugsweise im Druckmittler 3 integriert. Das spart Platz und bietet aufgrund des damit verbundenen geringen Abstands zwischen dem Elektromagnet 13 und der magnetischen oder ferromagnetischen Trennmembran 5 bzw. dem mit der Trennmembran 5 verbundenen magnetischen oder

ferromagnetischen Element den Vorteil, dass durch den aktivierten Elektromagnet 13 aufgrund des geringen Abstands eine vergleichsweise große Kraft K auf die Trennmembran 5 ausgeübt werden kann. Fig. 1 bis 3 zeigen hierzu Beispiele, bei denen der Druckmittler 3 einen Träger 21 umfasst, auf dessen Stirnseite die nach außen durch die Trennmembran 5 abgeschlossene Druckempfangskammer 7 angeordnet ist. Dort weist der Träger 21 auf dessen der Stirnseite gegenüberliegenden Rückseite eine Ausnehmung 23 auf, in die der Elektromagnet 13 oder zumindest ein Abschnitt des Elektromagneten 13 eingesetzt ist.

In den dargestellten Ausführungsbeispielen umfasst der Elektromagnet 13 jeweils eine Spule 25, die über eine in Fig. 1 dargestellte elektronisch steuerbare Schalteinrichtung 27 mit einer im

Druckmessaufnehmer integrierten Gleichstromquelle IDC verbindbar ist. Die Aktivierung der

Auslenkeinrichtung 1 1 erfolgt hier also jeweils, indem die Schalteinrichtung 27 derart angesteuert wird, dass die Spule 25 mit der Gleichstromquelle IDC verbunden ist.

Alternativ oder zusätzlich hierzu ist die Spule 25 ist vorzugsweise derart ausgerichtet, dass eine Verlängerung von deren Längsachse parallel zu einer Flächennormale auf die Trennmembran 5 durch die Mitte der Trennmembran 5 hindurch verläuft. Alternativ oder zusätzlich hierzu ist die Spule 25 vorzugsweise derart angeordnet, dass sie einen Abschnitt des von der Druckempfangskammer 7 zum Drucksensor 1 verlaufenden Druckübertragungspfads 9 außenseitlich allseitig umgibt.

Optional kann der Elektromagnet 13 einen die mittels des Elektromagneten 13 ausübbare Kraft erhöhenden, zumindest abschnittweise von der Spule 25 umgebenen Kern 29 umfassen. Bei dieser in Fig. 1 und 2 dargestellten Ausführungsform ist der Kern 29 vorzugsweise hohlzylindrisch und derart angeordnet, dass ein an die Druckempfangskammer 7 angrenzender Endbereich des hydraulischen Druckübertragungspfad 9 durch den Kern 29 hindurch verläuft.

Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Druckmittler 3 vorzugsweise derart ausgebildet, dass sich der Permanentmagnet 17 in einen an die Druckempfangskammer 7

angrenzenden Endbereich des Druckübertragungspfades 9 hinein erstreckt, der außenseitlich zumindest abschnittweise von der Spule 25 des Elektromagneten 13 umgeben ist.

Als Drucksensor 1 können aus dem Stand der Technik bekannt Drucksensoren eingesetzt werden, die je nach Art des Druckmessaufnehmers z.B. als Absolut-, Relativ- oder Differenzdrucksensor ausgebildet sind. Diese Drucksensoren umfassen regelmäßig eine mit dem zu messenden Druck zu beaufschlagende Messmembran 31 und einen elektromechanischen Wandler, z.B. einen kapazitiven oder resistiven Wandler, der die druckabhängige Auslenkung der Messmembran 31 in eine elektrische Größe umwandelt. Zusätzlich umfassen sie eine an den Wandler angeschlossene Druckmessschaltung 33, die die druckabhängige Größe messtechnisch erfasst und ein dem gemessenen Druck p _gem entsprechendes Messsignal zur Verfügung stellt.

Fig. 1 zeigt hierzu ein Beispiel bei dem der Drucksensor 1 derart in einer an den

Druckübertragungspfad 9 angeschlossenen, ebenfalls mit der Druckübertragungsflüssigkeit befüllten Druckmesskammer 35 angeordnet ist, dass auf die Außenseite der Messmembran 31 der in der

Druckmesskammer 35 herrschende Druck einwirkt. Der hier als Beispiel dargestellte Drucksensor 1 ist als Absolutdrucksensor ausgebildet, dessen Wandler die in Fig. 1 dargestellten zu einer

Brückenschaltung zusammengeschlossenen piezoresistiven Elemente 37 umfasst.

Erfindungsgemäße Druckmessaufnehmer bieten den Vorteil, dass deren Funktionsfähigkeit jederzeit anhand der Wirkung der durch die Aktivierung der Auslenkeinrichtung 1 1 zuschaltbaren, die

Trennmembran 5 auslenkenden Kraft K auf den mittels des Drucksensors 1 gemessenen Druck p _gem überprüfbar ist. Diese Funktionsprüfungen können zu vorgegebenen oder vorgebbaren Zeiten, z.B. auf Anfrage, ereignisgesteuert oder wiederkehrend, z.B. periodisch, ausgeführt werden.

Dabei ist es zur Durchführung von Funktionsprüfungen von Vorteil, die Auslenkseinrichtung 1 1 derart auszubilden, dass sie im aktivierten Zustand eine die Trennmembran 5 in Richtung deren Membranbett 39 auslenkende konstante Kraft K auf die Trennmembran 5 oder das damit verbundene Element ausübt. Alternativ wäre es aber auch möglich, die Auslenkeinrichtung 1 1 derart zu betreiben, dass die Trennmembran 5 durch die Kraft K in hierzu entgegengesetzter aus dem Membranbett 39

herausweisender Richtung nach außen ausgelenkt wird. Beide Kraftrichtungen können in den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen durch eine dementsprechende Polung und Ausrichtung des Elektromagneten 13 realisiert werden.

Funktionsprüfungen können z.B. vom Anwender ausgeführt werden, indem der Anwender während der jeweiligen Funktionsprüfung die elektronische Aktivierung der Auslenkeinrichtung 1 1 auslöst und den Druckmessaufnehmer anhand des während der Funktionsprüfung gemessenen Drucks p _ge m überprüft.

Alternativ oder zusätzlich hierzu ist der Druckmessaufnehmer vorzugsweise derart ausgebildet, dass er selbsttätig Funktionsprüfungen ausführen kann. Hierzu umfasst der Druckmessaufnehmer eine Prüfeinrichtung 41 die dazu ausgebildet ist Funktionsprüfungen des Druckmessaufnehmers

durchzuführen, bei denen die Auslenkeinrichtung 1 1 jeweils für die Dauer eines vorgegeben Zeitraums T aktiviert wird und die Prüfeinrichtung 41 den Druckmessaufnehmer anhand des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors 1 gemessenen Drucks p _ge überprüft.

Während des Zeitraums T übt die Auslenkeinrichtung 1 1 die konstante Kraft K vorgegebener Größe auf die T rennmembran 5 aus. Fig. 4 zeigt hierzu die von der Auslenkeinrichtung 1 1 auf die T rennmembran 5 ausgeübte Kraft K(t) als Funktion der Zeit t in einem den Zeitraum T umfassenden Prüfungszeitraum. In diesem Prüfungszeitraum ist die Auslenkeinrichtung 1 1 vor und nach dem Zeitraum T deaktiviert, wobei sie im deaktiviertem Zustand keine Kraft auf die Trennmembran 5 ausübt. Während des

Zeitraums T ist sie aktiviert und übt die konstant Kraft K vorgegebener Größe auf die Trennmembran 5 aus. Dieses Vorgehen führt bei einwandfrei arbeitendem Druckmessaufnehmer dazu, dass der gemessene Druck P _gem in dem Prüfungszeitraum den in Fig. 5 dargestellten zeitlichen Verlauf aufweist. Wie aus Fig. 5 ersichtlich weist der gemessene Drucks p _ge m vor und nach dem Zeitraum T jeweils einen dem von außen auf die Trennmembran 5 einwirkenden Druck p entsprechenden Wert po auf und während des Zeitraums T einen von dem Druck p und der konstanten Kraft K abhängigen Wert pi auf.

Zur Funktionsprüfung des Druckmessaufnehmers können unterschiedliche Prüfverfahren eingesetzt werden, die mittels der jeweils dementsprechend ausgebildeten Prüfeinrichtung 41 anhand des gemessenen Drucks p _ge m durchführbar sind.

So kann z.B. ein Prüfverfahren ausgeführt werden, dass darauf basiert, dass das Aktivieren der Auslenkseinrichtung 1 1 eine von der Größe und der Richtung der Kraft K und den Eigenschaften des Druckmessaufnehmers abhängige sprunghafte Druckänderung Ap _gem des gemessenen Drucks p _ge bewirkt.

Diese Druckänderung Ap _gem wird je nach Richtung der Kraft K anhand des maximalen oder des minimalen während es Zeitraums T gemessenen Drucks p _ge bestimmt. Da die Kraft K während des Zeitraums T konstant ist, ist die auf diese Weise bestimmte Druckänderung Ap _gem nicht von den Eigenschaften des auf die Außenseite der Trennmembran 5 einwirkenden Mediums abhängig.

Zusätzlich ist der Zeitraums T vorzugsweise derart bemessen, dass er klein ist im Vergleich zu einer Zeitskala, auf der sich der auf die Außenseite der T rennmembran 5 einwirkende Druck p verändert.

Zur Ausführung dieses Prüfungsverfahrens ist die Prüfeinrichtung 41 derart ausgebildet, dass sie anhand des während der jeweiligen Funktionsprüfung mittels des Drucksensors 1 gemessenen Drucks p _gem eine auf die Aktvierung der Auslenkeinrichtung 1 1 zurückzuführende sprunghafte Druckänderung Apg _em des gemessenen Druck p _gem bestimmt und eine Funktionsbeeinträchtigung des

Druckmessaufnehmers feststellt, wenn die Druckänderung Ap _gem von einem hierfür vorgegebenen Referenzwert R um mehr als eine vorgegebene Toleranz abweicht. Dabei entspricht der Referenzwert R der bei fehlerfrei arbeitendem Druckmessaufnehmer zu erwartenden, in Fig. 5 eingezeichneten, sprunghaften Druckänderung Dr(K) = pi - po, die vorzugsweise vorab bestimmt und in einem der Prüfeinrichtung 41 zugeordneten Speicher 43 abgelegt wird.

Alternativ oder zusätzlich hierzu ist die Prüfeinrichtung 41 optional derart ausgebildet, dass sie anhand der Differenz zwischen der Druckänderung Ap _gem und dem Referenzwert R die Messgenauigkeit des Druckmessaufnehmers überprüft. Insoweit kann sie z.B. derart ausgebildet sein, dass sie eine

Beeinträchtigung der Messgenauigkeit ausgibt, wenn der Betrag der Differenz einen vorgegebenen Grenzwert überschreitet und/oder derart ausgebildet sein, dass sie anhand des Betrags der Differenz einen Grad der Beeinträchtigung der Messgenauigkeit bestimmt und ausgibt. Dabei ist der Grad der Beeinträchtigung umso größer, je größer der Betrag der Differenz ist. Das Aktivieren der Auslenkeinrichtung 1 1 und die daraus resultierende Druckänderung Ap _gem erfolgt sprunghaft und findet somit in einem Zeitraum statt, der kurz ist im Vergleich zu einer Zeitskala, auf der sich der auf die Außenseite der Trennmembran 5 einwirkende Druck p ändert. Außerdem wirkt die Kraft K auf den Druckmessaufnehmer genauso, wie es eine Veränderung des auf die Außenseite der Trennmembran 5 einwirkenden Drucks p tun würde. Entsprechend bildet die sprunghafte

Druckänderung Ap _gem eine von den Eigenschaften des Druckmessaufnehmers und der Kraft K abhängige Größe, anhand der Funktionsbeeinträchtigungen des Druckmessaufnehmer festgestellt und/oder dessen Messgenauigkeit überprüft werden kann, ohne dass der auf die Außenseite der Trennmembran 5 einwirkende Druck p oder dessen zeitliche Veränderungen berücksichtigt werden müssen.

Optional kann anhand der Abweichung der Druckänderung Ap _gem von dem Referenzwert R zusätzlich eine Aussage über mögliche Ursachen der Funktionsbeeinträchtigung abgeleitet werden. Hierzu wird die Auslenkeinrichtung 1 1 vorzugsweise derart betrieben, dass sie die Trennmembran 5 im aktivierten Zustand in Richtung deren Membranbett 39 auslenkt. Entsprechend ist die im Rahmen der

Funktionsprüfung bestimmte Druckänderung Ap _gem ein Druckanstieg, dessen Abweichung von dem hierfür vorgegebenen Referenzwert R bestimmt wird. Bei der Ermittlung möglicher Ursachen der Funktionsbeeinträchtigung wird ausgenutzt, dass sich unterschiedliche Ursachen in unterschiedlicher Weise auf den durch die Aktivierung der Auslenkeinrichtung 1 1 bewirkten Druckanstieg auswirken.

Da der Drucksensor 1 durch den vorgeschalteten Druckmittler 3 geschützt ist, besteht eine

Hauptursache von Funktionsbeeinträchtigungen des Drucksensors 1 darin, dass die

Druckempfindlichkeit des Drucksensors 1 mit der Zeit zunimmt. Ursache hierfür sind insb. durch die fortlaufende Belastung und/oder durch Alterung auftretende Beeinträchtigungen, die dazu führen, dass die Steifigkeit der Messmembran 31 mit der Zeit abnimmt und dementsprechend durch einen darauf einwirkenden Druck in immer stärkerem Maße ausgelenkt wird. Entsprechend kann die Prüfeinrichtung 41 optional derart ausgebildet sein, dass sie eine erhöhte Druckempfindlichkeit des Drucksensors 1 und/oder eine reduzierte Steifigkeit der Messmembran 39 des Drucksensors 1 als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der im Rahmen einer Funktionsprüfung bestimmte Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert überschreitet.

Wie eingangs erwähnt, besteht eine Hauptursache von Funktionsbeeinträchtigungen der

Druckübertragungsflüssigkeit darin, dass sich deren Kompressibilität mit der Zeit, z.B. durch

Gasblasenbildung oder eindringenden Wasserstoff, erhöht. Eine Erhöhung der Kompressibilität der Druckübertragungsflüssigkeit führt dazu, dass der von der Druckübertragungsflüssigkeit auf den Drucksensor 1 übertragene Druck bei einer Aktivierung der Auslenkeinrichtung 1 1 nur in geringerem Maße ansteigt, als das bei einer geringeren Kompressibilität der Fall wäre. Entsprechend kann die Prüfeinrichtung 41 optional derart ausgebildet sein, dass sie eine erhöhte Kompressibilität der

Druckübertragungsflüssigkeit als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der im Rahmen einer Funktionsprüfung bestimmte Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert unterschreitet.

Der mit dem Drucksensor 1 gemessene Druck p _gem ist sowohl im Messbetrieb als auch im Rahmen der Funktionsprüfungen abhängig von dem von außen auf die Trennmembran 5 einwirkenden Druck p und der Steifigkeit C der Trennmembran 5. Diese Abhängigkeit lässt sich näherungsweise durch die folgende Beziehung beschreiben:

^K l ^P

P

1 + K ₂ C

wobei K1 und K2 nicht von den Eigenschaften der Trennmembran 5 abhängige Konstanten sind.

Nimmt die Steifigkeit der T rennmembran 5 ab, so wird sie durch die mittels der Auslenkeinrichtung 1 1 darauf ausgeübten Kraft K stärker ausgelenkt. Das führt dazu, dass der durch die Aktivierung der Auslenkeinrichtung 1 1 bewirkte Druckanstieg des gemessenen Drucks p _ge m entsprechend größer ausfällt. Umgekehrt führt eine Erhöhung der Steifigkeit der T rennmembran 5 dazu, dass der durch die Kraft K bewirkte Druckanstieg des gemessenen Drucks p _ge entsprechend geringer ausfällt.

Entsprechend kann die Prüfeinrichtung 41 optional derart ausgebildet sein, dass sie eine reduzierte Steifigkeit der Trennmembran 5 als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert überschreitet, und/oder eine erhöhte Steifigkeit der Trennmembran 5 als eine mögliche Ursache einer Funktionsbeeinträchtigung ausgibt, wenn der Druckanstieg einen hierfür vorgegebenen Grenzwert unterschreitet.

Alternativ oder zusätzlich zu der auf die Aktivierung der Auslenkeinrichtung 1 1 zurückzuführenden Druckänderung Ap _gem des gemessenen Drucks p _ge , kann auch der zeitliche Verlauf des während der Funktionsprüfung gemessenen Drucks p _ge zur Funktionsprüfung herangezogen werden. Hierzu ist die Prüfeinrichtung 41 optional derart ausgebildet, dass sie den zeitlichen Verlauf des während der Funktionsprüfung gemessenen Drucks p _ge mit einem hierfür vorgegebenen Referenzverlauf vergleicht und/oder anhand des zeitlichen Verlaufs mindestens eine vom zeitlichen Verlauf abhängige Kenngröße ableitet und mit einem hierfür vorgegebenen Referenzwert vergleicht. Zusätzlich ist die Prüfeinrichtung 13 vorzugsweise derart ausgebildet, dass sie eine Funktionsbeeinträchtigung erkennt und ausgibt, wenn der Verlauf von dem Referenzverlauf um mehr als ein vorgegebenes Maß abweicht und/oder die Kenngröße von dem Referenzwert um mehr als ein vorgegebenes Maß abweicht. Hierüber können Funktionsbeeinträchtigungen erkannt werden, die sich auf den zeitlichen Verlauf des gemessenen Drucks p _gem auswirken.

Hierzu zählen insb. Undichtigkeiten, wie z.B. Undichtigkeiten des Druckübertragungspfads 9, der Messmembran 31 oder der Trennmembran 5, durch die Druckübertragungsflüssigkeit hindurch treten kann. Um eine solche Undichtigkeit erkennen zu können wird die Auslenkeinrichtung 1 1 vorzugsweise jeweils für die Dauer des vorgegebenen Zeitraums T aktiviert und ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass sie im aktivierten Zustand eine die Trennmembran 5 in Richtung deren Membranbett 39 auslenkende Kraft K auf die Trennmembran 5 bzw. das mit der Trennmembran 5 verbundene Element ausübt. Zusätzlich wird der Zeitraum T derart vorgegeben, dass er klein ist, im Vergleich zu einer Zeitskala, auf der sich der auf die Außenseite der Trennmembran 5 einwirkende Druck p ändert. Geht man davon aus, dass der auf die T rennmembran 5 einwirkende Druck p während des Zeitraums T zumindest näherungsweise konstant ist, so ist bei einwandfrei funktionierenden Druckmessaufnehmer davon auszugehen, dass auch der während des Zeitraums T gemessene Drucks p _gem einen im

Wesentlichen konstanten Wert aufweist. Weist der Druckmessaufnehmer eine Undichtigkeit auf, so führt das dazu, dass der während der Funktionsprüfung gemessene Druck p _gem einen sprunghaften auf die Aktivierung der Auslenkeinrichtung 1 1 zurückzuführenden Druckanstieg aufweist und anschließend aufgrund der nach und nach durch die Undichtigkeit hindurchtretenden Druckübertragungsflüssigkeit während Zeitraums T stetig abnimmt. Ein Beispiel eines solchen zeitlichen Verlaufs des gemessenen Drucks p _gem ist in Fig. 6 dargestellt.

Entsprechend kann die Prüfeinrichtung 1 1 optional derart ausgebildet sein, dass sie eine Undichtigkeit des Druckmessaufnehmers erkennt und ausgibt, wenn der gemessene Druck p _gem während des Zeitraums T ausgehend von einem Maximaldruck p _max um mehr als einen hierfür vorgegebenen Wert absinkt. Hierüber können umso kleinere Undichtigkeiten erkannt werden, je länger der Zeitraum T ist, über den hinweg die Auslenkeinrichtung 1 1 aktiviert wird. Entsprechend wird der Zeitraum T

vorzugsweise derart bemessen, dass er einerseits möglichst lang ist, um auch sehr kleine Lecks zuverlässig erkennen zu können, und andererseits klein ist im Vergleich zu einer Zeitskala auf der sich der von außen auf die Trennmembran 5 einwirkende Druck p verändert. Ändert sich der Druck p um weniger als 1 mbar pro Sekunde, so kann z.B. ein Zeitraum T von 5 Sekunden bis 30 Sekunden angesetzt werden.

Optional können den Elektromagneten 13 umfassende erfindungsgemäße Druckmessaufnehmer zusätzlich eine an den Elektromagneten 13 anschließbare oder angeschlossene

Auslenkungsmessschaltung 45 umfassen, die derart ausgebildet ist, dass sie die von dem auf die Trennmembran 5 einwirkenden Druck p abhängige Auslenkung der Trennmembran 5 bei deaktivierter Auslenkeinrichtung 1 1 anhand einer von der Auslenkung der Trennmembran 5 abhängigen Eigenschaft des Elektromagneten 13, wie z.B. dessen Induktivität L oder einer von dessen Induktivität L abhängigen Größe, bestimmt. Fig.1 zeigt hierzu ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Spule 25 über die

elektronisch steuerbare Schalteinrichtung 27 zur Ausführung einer mittels der Auslenkeinrichtung 1 1 auszuführenden Funktionsprüfung an die Gleichstromquelle IDC anschließbar ist und zur Ausführung einer anhand der mittels der Auslenkungsmessschaltung 45 gemessenen Auslenkung der

Trennmembran 5 auszuführenden Prüfung an die Auslenkungsmessschaltung 45 anschließbar ist.

Bei dieser Ausführungsform ist die Prüfeinrichtung 41 vorzugsweise derart ausgebildet, dass sie die Funktionsfähigkeit und/oder die Messgenauigkeit des Druckmessaufnehmer bei deaktivierter

Auslenkeinrichtung 1 1 anhand des mittels des Drucksensors 1 gemessenen Druck p _gem und der parallel hierzu mittels der Auslenkungsmessschaltung 45 ermittelten Auslenkung der Trennmembran 5 überprüft. Die Erfindung ist völlig analog auch in Verbindung mit als Differenzdruckmessaufnehmer ausgebildeten Druckmessaufnehmern einsetzbar. In dem Fall ist der Drucksensor 47 als Differenzdrucksensor ausgebildet, dem zusätzlich ein zweiter Druckmittler 3 vorgeschaltet ist, der eine Trennmembran 5 umfasst, deren Außenseite mit einem zweiten Druck p2 beaufschlagbar ist und unter der eine

Druckempfangskammer 7 eingeschlossen ist. Auch an diese Druckempfangskammer 7 ist ein mit einer Druckübertragungsflüssigkeit gefüllter, hydraulischer Druckübertragungspfad 9 angeschlossen, der den auf die Außenseite der Trennmembran 5 des zweiten Druckmittlers 3 einwirkenden zweiten Druck p2 auf den Drucksensor 47 überträgt. Ein Beispiel hierzu ist in Fig. 7 dargestellt. Dabei umfasst mindestens einer der beiden Druckmittler 3 eine auf die zuvor beschriebene Weise ausgebildete Auslenkeinrichtung 1 1 . Auch die Funktionsprüfung dieser Druckmessaufnehmer kann vom Anwender oder mittels der Prüfeinrichtung 41 auf die oben beschriebene Weise ausgeführt werden, indem jeweils eine der Auslenkeinrichtungen 1 1 aktiviert wird und der Druckmessaufnehmer anhand einer auf die Aktivierung der jeweiligen Auslenkeinrichtung 1 1 zurückzuführenden sprunghaften Druckänderung des während der jeweiligen Funktionsprüfung gemessenen Differenzdrucks und/oder anhand eines zeitlichen Verlaufs des während der jeweiligen Funktionsprüfung gemessenen Differenzdrucks überprüft wird.

Analog zu dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel können auch hier optional zwei jeweils einen an eine zugehörige, auf die oben beschriebene Weise ausgebildete Auslenkungsmessschaltung 45 anschließbare Elektromagneten 13 umfassende Auslenkeinrichtungen 1 1 eingesetzt werden. In dem Fall ist die Prüfeinrichtung 41 vorzugsweise derart ausgebildet, dass sie die Funktion des

Druckmessaufnehmers anhand des gemessenen Differenzdrucks und der Differenz der mittels der beiden Auslenkungsmessschaltungen 45 gemessenen Auslenkungen der beiden Trennmembranen 5 überprüft, während beide Auslenkeinrichtungen 1 1 deaktiviert sind.

Bezugszeichenliste Drucksensor 25 Spule

Druckmittler 27 Schalteinrichtung

Trennmembran 29 Kern

Druckempfangskammer 31 Messmembran

Druckübertragungspfad 33 Druckmessschaltung Auslenkeinrichtung 35 Druckmesskammer Elektromagnet 37 Pieozoresistives Element Scheibe 39 Membranbett

Permanentmagnet 41 Prüfeinrichtung

Halterung 43 Speicher

Träger 45 Auslenkungsmessschaltung Ausnehmung 47 Differenzdrucksensor