Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung des Drucks am Prüfgaseinlass eines massenspektrometrischen Lecksuchers.

Bei der massenspektrometrischen Lecksuche werden die auf Dichtheit zu prüfenden Objekte unter Vakuumbedingungen unter Einsatz von Prüfgas getestet. Zum Betrieb des Massenspektrometers muss ein Druck von weniger als 10 ^"4 mbar erreicht werden.

Grundsätzlich wird bei den Dichtheitsprüfverfahren mit einem Vakuumlecksucher zwischen der Vakuummethode und der Überdruckmethode unterschieden. Bei der Vakuummethode wird der Prüfling evakuiert und einer Prüfgasatmosphäre ausgesetzt. Das aus dem Prüfling abgezogene Gas wird auf Vorhandensein von Prüfgas untersucht. Bei der Überdruckmethode wird der Prüfling mit Prüfgas mit einem Druck beaufschlagt, der größer als der Druck der den Prüfling umgebenden Atmosphäre ist. Die den Prüfling umgebende Atmosphäre wird sodann auf Vorhandensein von Prüfgas untersucht.

Bei der Vakuummethode und bei der Überdruckmethode kann die Prüfung entweder integral oder lokalisierend erfolgen. Bei der integralen Dichtheitsprüfung ist der Prüfling in eine Vakuum- beziehungsweise Druckkammer eingebracht und das aus dem Prüfling beziehungsweise der Prüfkammer abgezogene Gas wird auf Vorhandensein von Prüfgas untersucht. Bei der integralen Prüfung wird untersucht, ob der Prüfling mindestens ein Leck aufweist und welche Gesamtleckrate diese Lecks aufweisen.

Bei der lokalisierenden Prüfung soll der Ort eines Lecks ermittelt werden. Bei der lokalisierenden Vakuummethode wird der evakuierte und an den massenspektrometrischen Lecksucher angeschlossene Prüfling von außen mit Hilfe einer Sprühpistole mit dem Prüfgas besprüht. Bei der lokalisierenden Überdruckmethode wird der mit Prüfgas druckbeaufschlagte Prüfling von außen mit einer handgeführten Schnüffelsonde abgeschnüffelt.

Bei sämtlichen der oben beschriebenen Verfahren kommt ein massenspektrometrischer Lecksucher zum Einsatz, der einen Prüfgaseinlass aufweist, durch den der zu untersuchende Prüfgasstrom angesaugt wird und dem Massenspektrometer zur Ermittlung des Prüfgaspartialdrucks zugeführt wird. Da eine Untersuchung mit Hilfe des Massenspektrometers nur möglich ist, wenn im Massenspektrometer ein Vakuumdruck herrscht, muss vor dem Öffnen des Prüfgaseinlasses der Totaldruck am Einlass ausreichend abgesenkt sein. Das Massenspektrometer wird von einer Hochvakuumpumpe, meist einer Turbomolekularpumpe, und einer an den Auslass der Hochvakuumpumpe angeschlossenen Vorvakuumpumpe evakuiert. Ein Zwischengaseinlass der Hochvakuumpumpe ist mit dem Prüfgaseinlass des Lecksuchsystems verbunden.

Ein Groblecknachweis ist möglich, wenn der Druck am Prüfgaseinlass unterhalb des für die Hochvakuumpumpe zulässigen Vordrucks von typischerweise 15 mbar abgesenkt ist. Insbesondere bei großen Volumen (Prüfkammervolumen), die über das Vakuumsystem des Lecksuchers, beispielsweise die Vorvakuumpumpe, evakuiert werden müssen, dauert es lange, bis der für die Hochvakuumpumpe zulässige Vordruck am Prüfgaseinlass unterschritten ist und mit der Prüfung begonnen werden kann.

Daher ist es grundsätzlich wünschenswert, bereits bei einem Einlassdruck von mehr als 15 mbar eine Lecksuche betreiben zu können. Hierzu ist es bekannt, einen geringen Teilgasstrom aus dem Einlassbereich des Lecksuchers dem Nachweissystem zuzuführen. Beispielsweise wird bei dem INFICON- Lecksuchgerät UL400 ein Teilstrom des durch den Prüfgaseinlass angesogenen Gasstroms direkt dem Massenspektrometer zugeführt. Beim direkten Gaseinlass in das Massenspektrometer (Hauptstromverfahren) muss üblicherweise mit einer Flüssigstickstoff-Kühlfalle der Einfluss des Wasserdampfes aus der Atmosphäre auf das Messsignal reduziert oder vermieden werden. Die Drosselung des direkt in das Massenspektrometer eingelassenen Teilstroms ist derart ausgebildet, dass der Teilstrom durch Öffnen eines entsprechenden Ventils ab einem Druck von weniger als 100 mbar dem Massenspektrometer zugeführt werden kann.

Bei dem INFICON-Lecksucher UL500 ist es zu einem frühzeitigen Nachweis eines Leckagesignals (Grobleckmessung) möglich, den Prüfgaseinlass über eine Drossel mit dem Vorvakuum der Turbomolekularpumpe am Massenspektrometer zu verbinden. Die Drossel ist eine Blende, über die bereits direkt nach dem Öffnen des Prüfgaseinlasses bei einem Druck von weniger als 1000 mbar zum Vorevakuieren ein kleiner Heliumanteil im Gegenstrom über die Turbomolekularpumpe in das Nachweissystem (Massenspektrometer) gelangt. Diese Anordnung ist beispielsweise beschreiben in EP 283543 AI und EP 0 615 615 Bl.

Zur Detektion von Massivlecks eignet sich im ersten Schritt die Bewertung des Totaldruckabfalls zwischen 1000 und 100 mbar. Bei den bekannten Verfahren wird zur Messung des Totaldrucks am Einlassbereich des Lecksuchers ein Drucksensor nach dem Pirani-Messprinzip eingesetzt. Derartige Sensoren sind preiswert und in der Lage, Arbeitsdrücke im Bereich zwischen 10 ^"3 und 100 mbar präzise zu messen. Der Totaldruck im Bereich zwischen 100 mbar und 1000 mbar kann jedoch nur unzureichend detektiert werden.

Im zweiten Schritt, wenn der Druck aufgrund eines vorhandenen Massivlecks zu langsam fällt oder sich über das Saugvermögen der Vorpumpe und das durch das Massivleck einströmende Gas ein Gleichgewichtsdruck oberhalb von 15mbar einstellt, soll das Massivleck über das Ansprühen mit einem Prüfgas lokalisiert werden.

Während der Abpumpphase ist das Nachweissystem des Lecksuchers blind geschaltet oder die Empfindlichkeit des Lecksuchers derart reduziert, dass nur bei großen Lecks ein Signal nachweisbar ist. Bei besonders groben Leckagen am Prüfling kann sich die Dauer des Abpumpens noch weiter verlängern oder der erforderliche Arbeitsdruck zum Erreichen der Messbereitschaft mit dem Vakuumsystem gar nicht erreicht werden. In diesem Fall ist die Lokalisierung eines Groblecks mit dem eigentlich für diese Aufgabe vorgesehenen Lecksucher unmöglich.

Der Totaldruck am Einlassflansch des Prüfgaseinlasses kann mit einem typischen Pirani-Drucksensor im Druckbereich zwischen 100 mbar und 1000 mbar nicht gemessen werden. Es soll vermieden werden, für diesen Druckbereich einen eigenen Totaldrucksensor zu verwenden. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, bereits bei deutlich höherem Druck als 15 mbar einen undichten Prüfling anhand einer verbesserten Messung des Totaldrucks am Prüfgaseinlass eines massenspektrometrischen Lecksuchers festzustellen und die Leckage zu lokalisieren.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird definiert durch die Merkmale von Anspruch 1. Das erfindungsgemäße Verfahren ist definiert durch die Merkmale von Anspruch 6.

Die erfindungsgemäße Totaldruckmessung betrifft massenspektrometrische Lecksucher, bei denen das Messvolumen eines Massenspektrometers mit dem Einlass einer Hochvakuumpumpe, zum Beispiel einer Turbomolekularpumpe, verbunden ist und der Auslass der Hochvakuumpumpe mit dem Einlass einer Vorvakuumpumpe verbunden ist. Die zweistufige Vakuumpumpe dient zur Evakuierung des Messvolumens des Massenspektrometers. Der Einlass der Vorvakuumpumpe ist zudem mit dem Prüfgaseinlass verbunden, um das Testgas anzusaugen beziehungsweise die Prüfkammer oder den Prüfling zu evakuieren.

Erfindungsgemäß wird mit Hilfe einer gasführenden Verbindungsleitung der Einlass der Vorvakuumpumpe mit mindestens einem Zwischengaseinlass der Hochvakuumpumpe verbunden. In der Verbindungsleitung wird der Gasstrom mit Hilfe einer Flussdrossel gedrosselt. Die Verbindungsleitung kann beispielsweise von der Vorvakuum-Einlassleitung, die den Prüfgaseinlass mit dem Einlass der Vorvakuumpumpe verbindet, abzweigen. Die Verbindungsleitung kann in eine Hochvakuum-Einlassleitung münden, die den Zwischengaseinlass mit dem Prüfgaseinlass verbindet. Hierbei ist vorteilhafterweise jeweils in der Vorvakuum- Einlassleitung, in der Hochvakuum-Einlassleitung und in der die beiden Vakuumpumpen verbindenden Vakuumleitung jeweils ein Ventil zum separaten Öffnen und Schließen der Leitung vorgesehen. Beim Evakuieren einer an den Prüfgaseinlass angeschlossenen Prüfkammer oder eines an den Prüfgaseinlass angeschlossenen Prüflings mit Hilfe der Vorvakuumpumpe wird Gas durch die Vorvakuum-Einlassleitung aus dem Prüfgaseinlass angesaugt. Über die Verbindungsleitung wird ein Teilstrom aus der Vorvakuum-Verbindungsleitung abgezweigt und dem Zwischeneinlass der Hochvakuumpumpe zugeführt. Über den Zwischengaseinlass gelangt der Teilstrom in das Messvolumen des Massenspektrometers. Alternativ kann der Teilstrom auch direkt ins Massenspektrometer eingelassen werden. Dort kann der Partialdruck des jeweils verwendeten Prüfgases, zum Beispiel Helium, bestimmt werden. Anhand des Prüfgaspartialdrucks kann der am Prüfgaseinlass vorliegende Totaldruck ermittelt werden. Hierbei wird angenommen, dass der zu evakuierende Prüfling oder die zu evakuierende Prüfkammer Luft oder ein anderes Gas mit einer Prüfgaskonzentration (Heliumkonzentration) enthält. So wird vom Massenspektrometer zum Beispiel anhand des Luft-Helium-Anteils ein proportionales Signal geliefert, um den Totaldruck am Einlassflansch des Prüfgaseinlasses mit dem Massenspektrometer über den Heliumpartialdruck zu messen.

Die Verbindungsleitung mündet in die Hochvakuum-Einlassleitung zwischen dem Zwischengaseinlass der Hochvakuumpumpe und dem Prüfgaseinlass. Falls ein Ventil zum separaten Öffnen und Schließen der Hochvakuum-Einlassleitung vorgesehen ist, mündet die Verbindungsleitung zwischen dem Ventil und dem Zwischengaseinlass in die Hochvakuum-Einlassleitung.

Der über die Verbindungsleitung dem Massenspektrometer zugeführte Teilstrom wird gedrosselt, möglichst auf einen Gasdurchsatz von mehr als 10 ^"4 mbar-l/s (bei einer Druckdifferenz über der Drossel von 1000 mbar zu 0 mbar). Die Drosselung erfolgt möglichst nahe an dem Abzweigungspunkt der Verbindungsleitung aus der Vorvakuum-Einlassleitung. Dieser Abzweigungspunkt kann prinzipiell an einer beliebigen Stelle im Vorvakuum sträng zwischen dem Prüfgaseinlass und dem Auslass der Vorvakuumpumpe liegen, d.h. bei Verwendung einer mehrstufigen Vorpumpe auch zwischen den Pumpenstufen. Der Abstand der Drossel zum Abzweigungspunkt der Verbindungsleitung aus der Vorvakuum-Einlassleitung ist also geringer als der Abstand zu der Verbindungsstelle der Verbindungsleitung mit der Hochvakuum-Einlassleitung. Vorzugsweise beträgt der Abstand zu der Abzweigungsstelle mit der Vorvakuum- Einlassleitung etwa ein Drittel und vorzugsweise etwa ein Viertel der Gesamtlänge der Verbindungsleitung. Idealerweise liegt die Abzweigungsstelle direkt im Gasstrom der Vorvakuum-Einlassleitung. Die Drossel ist also möglichst nahe an bzw. gar in der Abzweigung angeordnet, um eine optimale Anströmung der Drossel für einen möglichst guten Gasaustausch zu erreichen, um schnelle Reaktionen zu ermöglichen. Der Volumenbereich innerhalb der Verbindungsleitung zwischen der Abzweigungsstelle aus der Vorvakuum- Einlassleitung und der Drossel ist aufgrund von turbulenter Strömung gut gespült bis zu einer Tiefe, die ungefähr dem Leitungsdurchmesser entspricht.

Die Drossel kann als Blende oder als Kapillare ausgeführt werden. Die ideale Wahl von Länge und Durchmesser ist nach den bekannten Formeln zur Gasströmung durch Blenden und Kapillaren je nach Durchmesser zu wählen, und kann insbesondere bei 25pm Kapillardurchmesser eine Länge von 5cm sein, um einen Gasstrom von 5-10 ^"4 mbar l/s bei 1000 mbar gegen 0 mbar zu erreichen. Bei der Wahl von Durchmesser und Länge ist darauf zu achten, dass sich auch bei einem Gasdruck von 15mbar und entsprechend reduzierter Strömung durch die Drossel bzw. verlängerter Gasaustauschzeit in der Drossel ausreichend kurze Ansprechzeiten von typischerweise ls ergeben.

Die Drossel erlaubt eine präzise Messung des Totaldruck-Verlaufs direkt nach Beginn des Abpumpens mit Hilfe der Vorvakuumpumpe. Das Volumen im Vorvakuumbereich der Turbomolekularpumpe, das heißt am Auslass der Turbomolekularpumpe, wird derart dimensioniert, dass der Betrieb zur Massivlecksuche bei geschlossenen Ventilen in der Vakuumleitung zwischen der Hochvakuumpumpe und der Vorvakuumpumpe, in der Hochvakuum- Einlassleitung und in der Vorvakuum-Einlassleitung ausreichend lange aufrecht erhalten werden kann. Die Dauer, mit der der Betrieb zur Massivlecksuche möglich ist, hängt vom Verhältnis aus dem Fluss durch die Drossel in der Verbindungsleitung und dem Volumen im Vorvakuumbereich der Turbomolekularpumpe ab. Zusammen mit dem zulässigen maximalen Totaldruck an der Vorvakuumseite der Hochvakuum-/Turbomolekularpumpe ergibt sich hieraus die maximale Betriebsdauer im Massivleckbetrieb im ungünstigsten Fall zu

Betriebsdauer = V ^■ p _v ,max / Q

Q: Fluss durch Drossel Dl

V: Volumen Vorvakuumbereich

Pv,ma _X : maximal zulässiger Vorvakuumdruck

Die Auslegung des Volumens muss für die Applikation typische Abpumpzeiten berücksichtigen, da bei fallendem Druck am Prüfgaseinlass auch der Gasstrom Q durch die Drossel kleiner und damit die maximale Betriebsdauer während der Massivlecksuche länger wird. Damit der Betrieb zur Massivlecksuche über eine Stunde ununterbrochen durchgeführt werden kann, ist das Volumen im Vorvakuumbereich vorzugsweise größer als 10 cm ³ und idealerweise 20 cm ³ . Im schlechtesten Fall, d.h. das Leck im Prüfling ist so groß, dass die Vorvakuumpumpe den Druck nicht reduzieren kann, ergibt sich bei V=20cm ³ , Pv,max = 15 mbar und Q=5-10 ^~4 mbar l/s eine schlechtest zu erwartende Betriebsdauer von 600s, nach der der Betrieb der Massivlecksuche für weniger als 10s unterbrochen werden muss, um das Vorvakuumvolumen der Turbomolekularpumpe wieder zum Enddruck zu pumpen, wonach der Betrieb zur Massivlecksuche wieder aufgenommen werden kann.

Die Erfindung ermöglicht mit der permanenten Drossel-Verbindung zwischen dem Vorvakuumpumpen-Einlass und dem Zwischengaseinlass der Hochvakuumpumpe eine besonders schnelle Reaktion des Messsignals, eine Messung von Leckraten bei Arbeitsdrücken von mehr als 15 mbar, eine Messung des Totaldrucks am Prüfgaseinlass (Einlassflansch) mit reproduzierbarer Kennlinie und eine präzise Messung des Totaldrucks am Einlassflansch ab 1000 mbar ohne zusätzlichen Drucksensor.

Im Folgenden werden anhand der Figuren Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigen :

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel,

Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel und

Fig. 3 ein drittes Ausführungsbeispiel

Im Folgenden werden zunächst die Gemeinsamkeiten der Ausführungsbeispiele beschrieben. Dies sind im Wesentlichen ein Lecksuchsystem mit einem Massenspektrometer 12, einer Hochvakuumpumpe 14, einer Vorvakuumpumpe 16 und einem Prüfgaseinlass 18.

Das Massenspektrometer 12 ist über eine gasleitende Messleitung 20 mit dem Einlass 22 der Hochvakuumpumpe 14 verbunden. Bei der Hochvakuumpumpe 14 handelt es sich um eine Turbomolekularpumpe. Der Auslass 24 der Hochvakuumpumpe 14 ist mit dem Einlass 26 der Vorvakuumpumpe 16 über eine Vakuumleitung 28 gasleitend verbunden. In der Vakuumleitung 28 ist ein separat schließbares Ventil V2 vorgesehen. Über die beiden Vakuumpumpen 14, 16 wird das Messvolumen des Massenspektrometers 12 evakuiert.

Der Prüfgaseinlass 18 ist über eine Vorvakuum-Einlassleitung 30 mit dem Einlass 26 der Vorvakuumpumpe 16 gasleitend verbunden, um ein an den Prüfgaseinlass 18 angeschlossenes Volumen (Prüfkammer oder Prüfling) mit der Vorvakuumpumpe 16 zu evakuieren. Weiterhin ist der Prüfgaseinlass 18 über eine Hochvakuum-Einlassleitung 32 mit dem Zwischenegasinlass 34 der Hochvakuumpumpe 14 verbunden.

An einer Abzweigstelle 36 zweigt von der Vorvakuum-Einlassleitung 30 eine gasleitende Verbindungsleitung 38 ab und mündet an einer Mündungsstelle 40 in die Hochvakuum-Einlassleitung 32. Die Verbindungsleitung 38 verbindet dadurch den Einlass 26 der Vorvakuumpumpe 16 direkt und permanent mit dem Zwischengaseinlass 34 der Hochvakuumpumpe 14, ohne dass ein Ventil in der Verbindungsleitung 38 vorgesehen ist.

Die Verbindungsleitung 38 weist möglichst nah an der Abzweigungsstelle 36 eine Drossel 42 auf, die bei einer Druckdifferenz von 1000 mbar zu 0 mbar über der Drossel einen Gasdurchlass von mehr als 10 ^~4 mbar-l/s, nämlich circa 2 10 ^"4 mbar-l/s ermöglicht und einen darüber hinausgehenden Gasdurchsatz verhindert.

Die Drossel 42 ist als Blende oder Kapillare ausgebildet.

Der Abstand der Drossel 42 von der Abzweigungsstelle 36 beträgt circa ein Zehntel des Abstands zwischen der Abzweigungsstelle 36 und der Mündungstelle 40, das heißt der Länge der Verbindungsleitung 38.

Die Vorvakuum-Einlassleitung 30 weist zwischen dem Prüfgaseinlass 18 und der Abzweigungstelle 36 ein separat schließbares Ventil VI auf. Die Hochvakuum- Einlassleitung 32 weist zwischen dem Prüfgaseinlass 18 und der Mündungsstelle 40 ein separat schließbares Ventil V4 auf.

Im Betrieb sind beim zunächst erfolgenden Grobevakuieren eines an den Prüfgaseinlass 18 angeschlossenen Volumens (Prüfkammervolumen oder Prüflingsvolumen) zunächst die Ventile V2 und V4 geschlossen und das Ventil VI geöffnet. Die Vorvakuumpumpe 16 evakuiert dann über den Prüfgaseinlass 18.

Um während dieser Grobevakuierung über den Prüfgaseinlass 18 den Druck am Prüfgaseinlass 18 messen zu können, ohne dass ein zusätzlicher Drucksensor erforderlich ist, wird über die Verbindungsleitung 38 ein Teilstrom aus der Vorvakuum-Einlassleitung 30 abgezweigt und über den Zwischengaseinlass 34 der Hochvakuumpumpe 14 dem Massenspektrometer 12 zugeführt. Mit Hilfe der Drossel 42 wird der Teilgasstrom ausreichend gedrosselt, um von dem Massenspektrometer 12 auswertbar zu sein. Mit Hilfe des Massenspektrometers 12 wird der Partialdruck des in dem abgezweigten Gasstrom enthaltenen Prüfgases ermittelt. Typischerweise wird als Prüfgas Helium eingesetzt, wobei der Heliumpartialdruck gemessen wird. Von dem Helimpartialdruck wird auf den Totaldruck am Einlassflansch des Massenspektrometers geschlossen.

Das Massenspektrometer 12 wird bei geöffnetem Ventil V2 und geschlossenen Ventilen VI und V4 evakuiert. Sobald der Druck im Massenspektrometer 12 und im Vorvakuumbereich 28 für den Betrieb des Massenspektrometers 12 ausreichend gering sind (1E-4 mbar in 12 und < 1 mbar in 28) wird das Ventil V2 geschlossen. Danach wird zum Abpumpen des Prüflings am Prüfgaseinlass das Ventil VI geöffnet. Sobald der Totaldruck am Prüfgaseinlass 18 einen ausreichenden Wert von circa 15 mbar unterschreitet, wird das Ventil V2 geöffnet, um mit der massenspektrometrischen Analyse zur Lecksuche zu beginnen. Bei weiterem Absenken des Totaldrucks auf unter 2mbar wird mit dem Ziel, den klassischen Gegenstrom-Lecksuchbetrieb zu erreichen, das Ventil VI geschlossen und das Ventil V4 geöffnet.

Das zweite Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel durch einen zweiten Zwischengaseinlass 44 der Hochvakuumpumpe 14. Der zweite Zwischengaseinlass 44 ist über eine mit einem separat schließbaren Ventil V3 versehenen gasführenden Leitung 46 mit dem Prüfgaseinlass 18 verbunden.

Das dritte Ausführungsbeispiel nach Figur 3 unterscheidet sich von dem Ausführungsbeispiel nach Figur 1 dadurch, dass der Abzweigungspunkt 36 zwischen den Pumpenstufen 16a, 16b einer mehrstufigen Vorvakuumpumpe 16 liegt. Grundsätzlich kann der Abzweigungspunkt an einer beliebigen Stelle im Vorvakuumstrang zwischen dem Prüfgaseinlass 18 und dem Auslass 24 der Hochvakuumpumpe 14 liegen.

Mit der erfindungsgemäßen Druckmessung ist es möglich, bei einem massenspektrometrischen Lecksucher über eine massenspektrometrische Partialdruckanalyse den Druck am Prüfgaseinlass bereits bei noch hohen Drücken im Vorvakuumbereich während des Evakuierens zu Bestimmen, ohne dass hierfür ein zusätzlicher Drucksensor erforderlich ist.