Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Messzelle angrenzenden Mediums gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Solche Druckmesszellen sind bekannt und werden in vielen Bereichen der Prozesstechnik zur Prozessbeobachtung eingesetzt. Zur Druckmessung eines an die Messzelle angrenzenden Mediums weist die Messzelle eine elastische Messmembran auf, die in Abhängigkeit von dem innerhalb des Mediums herrschenden Druck ausgelenkt wird, wobei die Auslenkung bzw. reversible Deforma tion der Membran in ein korrespondierendes elektrisches Messsignal elektromechanisch gewandelt wird. Als kapazitiver e- lektromechanischer Wandler bildet eine auf der dem Medium abgewandten Seite der Messmembran angeordnete Messelektrode zusammen mit einer auf einem Grundkörper gegenüberliegend angeordneten Gegenelektrode einen Messkondensator, dessen Kapazität sich in Abhängigkeit der druckbedingten Auslenkung der Messmembran ändert. Die Messmembran bildet zusammen mit dem Grundkörper eine gegenüber dem Medium druckdichte Messkammer.

Bei diesen kapazitiven Druckmesszellen besteht das Problem, dass bei einem Medium mit schnell wechselnden Temperaturen Messfehler bei der Messung des Druckes auftreten, da die Messemembran in direktem Kontakt mit dem Medium steht und daher von dessen Temperaturschwankungen beeinflusst wird.

Es ist bekannt, dass die Temperatur bzw. langsame Temperaturänderungen des Grundkörpers durch Messung von dessen Umge- bungstemperatur ermittelt werden und mit diesen Temperatur ^¬ messwerten der Druckmesswert entsprechend korrigiert wird. Bei einem großen Temperaturunterschied zwischen der Messemembran und dem Grundkörper der Druckmesszelle, insbesondere wenn sich die Temperatur des Mediums schnell bzw. schlagartig ändert, führt diese Korrekturmethode trotzdem zu einem fehlerhaften Sprung des berechneten Druckmesswertes, der erst mit dem langsamen Durchwärmen der gesamten Druckmesszelle langsam auf den richtigen Messwert zurückgeht.

Des Weiteren ist es zur Bestimmung eines temperaturkompensierten Druckmesswertes bekannt, sowohl die Temperatur des Grundkörpers der Druckmesszelle als auch die Temperatur von deren Messmembran zu messen und mittels dieser beiden Temperaturmesswerte den Druckmesswert zu kompensieren.

So ist beispielsweise aus der DE 40 11 901 AI eine kapazitive Druckmesszelle bekannt, bei welcher auf der Messmembran eine Widerstandsbahn aus einem Werkstoff mit temperaturabhängigem Widerstand angeordnet ist, wobei diese WiderStandsbahn kreisförmig um die eine Kondensatorplatte des Messkondensators bildende kreisförmige Messelektrode gelegt ist. Die Herstellung einer solchen, eine Widerstandsbahn aufweisenden Messmembran ist aufwändig und führt daher zu hohen Herstellungskosten.

Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Druckmesszelle der eingangs genannten Art anzugeben, welche eine einfache und genaue Temperaturmessung der Messmembran einer Druckmesszelle erlaubt.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Druckmesszelle mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1. Eine solche Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Druckmesszelle angrenzenden Mediums, welche eine elastische Messmembran, deren erste Seite zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren zweite Seite von dem Medium abgewandt ist, und einen der zweiten Seite der Messmembran gegenüberliegend angeordneten Grundkörper aufweist, zeichnet sich dadurch aus, dass zur Temperaturmessung der Messmembran durch Erfassung der von deren zweiten Seite abgestrahlten Infrarot-Strahlung der Grundkörper mit einem Infrarot-Sensor ausgebildet ist .

Der Vorteil einer solchen erfindungsgemäßen Druckmesszelle liegt in dem einfachen Aufbau, da die Messmembran nicht verän dert werden muss, insbesondere keine weiteren Schichten zur Herstellung von beispielsweise WiderStandsbahnen und deren Kontaktierungen erforderlich sind.

Ferner hat sich mit dieser erfindungsgemäßen Druckmesszelle gezeigt, dass eine schnelle bzw. abrupte Temperaturänderung des Mediums ebenso schnell und unmittelbar detektierbar ist.

Schließlich kann eine solche erfindungsgemäße Druckmess zelle mit wenigen zusätzlichen Kosten hergestellt werden, da als Infrarot-Sensoren marktübliche und daher kostengünstige, e- lektronische Bauelemente, wie beispielsweise Infrarot ( IR) - detektierende Dioden oder Transistoren zur Verfügung stehen.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist der Grundkörper zur Aufnahme des Infrarot-Sensors eine der äu ßeren Kontur des Infrarot-Sensors angepasste Aufnahmeöffnung auf. Ein solcher Grundkörper lässt sich einfach realisieren, so dass die infrarotempfindliche Detektionsfläche des Infrarot-Sensors auf die Messmembran ausgerichtet ist. Alternativ ist es gemäß einer anderen bevorzugten Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, auf der der zweiten Seite der Messmembran gegenüberliegenden Seite des Grundkörpers den Infrarot-Sensor anzuordnen. Bei einer solchen Anordnung auf dem Grundkörper sind lediglich Durchkontaktierungen für die Anschlussleitungen des Infrarot-Sensors erforderlich.

Wird die erfindungsgemäße Druckmesszelle weiterbildungsgemäß als kapazitive Messzelle aufgebaut, bildet die Messmembran zu sammen mit dem Grundkörper eine druckdichte Messkammer, wobei zur Bildung einer Messkapazität auf der zweiten Seite der Messmembran eine Messelektrode und auf Grundkörper eine Gegen elektrode angeordnet ist.

Ist bei einer solchen Druckmesszelle der Infrarot-Sensor in einer durchgehenden Aufnahmeeröffnung des Grundkörpers angeordnet, muss natürlich der Infrarot-Sensor gegenüber dem Grundkörper entsprechend abgedichtet werden, um die Druckdich tigkeit der Messkammer aufrechtzuerhalten. Wird dagegen der Infrarot-Sensor auf dem Grundkörper angeordnet, sind lediglic die durch den Grundkörper geführten Anschlussleitungen des Infrarot-Sensors gegenüber dem Grundkörper abzudichten.

Schließlich ist es vorteilhaft, wenn die Messmembran und/oder der Grundköper aus einem Keramikmaterial hergestellt sind/ist

Die erfindungsgemäße Druckmess zelle kann mit Vorteil zum Aufbau von Druckmessumformer verwendet werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren ausführlich beschrieben. Es zeigen: Figur 1 eine schematische Schnittdarstellung ^' einer Druckmesszelle als erstes Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung, und

Figur 2 eine schematische Schnittdarstellung einer Druckmesszelle als zweites Ausführungsbeispiel gemäß der Erfindung .

Figur 1 zeigt eine kapazitive Messzelle 1 mit einer aus einem Grundkörper 3 aus Keramik und einer ebenso aus Keramik hergestellten Messmembran 2 gebildeten Messkammer 6. Die Messmembran 2 und der Grundkörper 3 sind zur Herstellung der druckdichten Messkammer 6 randseitig über einen bspw. aus Glas oder einer Glaslegierung hergestellten Abstandshalter 3a auf Abstand gehalten.

Mit ihrer äußeren ersten Seite 2a steht die Messmembran 2 mit einem Medium in Kontakt, dessen Druck mit der Messzelle 1 gemessen werden soll. Die innere zweite Seite 2b der Messmembran 2 ist mit einer kreisförmigen Messelektrode 7 belegt, die zusammen mit einer auf der gegenüberliegenden Oberfläche des Grundkörpers 3 angeordneten, kreisförmigen Gegenelektrode 8 einen Messkondensator bildet, dessen gemessene Kapazität von der durch den Mediendruck bewirkten Auslenkung der Messmembran 2 abhängt. Die Gegenelektrode 8 wird von einer kreisringförmigen Referenzelektrode 9 umschlossen, die zusammen mit der Messelektrode 7 einen Referenzkondensator bildet, dessen Referenzkapazität aufgrund deren Position am äußeren Rand der Messkammer 6, in dem die Messmembran wesentlichen keine Auslenkung zeigt, nahezu konstant ist. Die Messelektrode 7, die Gegenelektrode 8 sowie die Referenzelektrode 9 werden jeweils über Anschlussleitungen 7a, 8a bzw. 9a mit einer Elektronikeinheit (nicht dargestellt) der Messzelle 1 verbunden.

Ein Infrarot-Sensor 4 wird von einer in dem Grundkörper 13 zentrisch angeordneten Aufnahmeöffnung 5, die auch durch die Gegenelektrode 8 geführt ist, aufgenommen, so dass deren infrarotempfindliche Defektionsflache 4b auf die gegenüberliegende Messmembran 2 gerichtet ist. Damit kann von diesem Infrarot-Sensor 4 die Infrarotstrahlung der Messmembran 2 detek- tiert werden und aus dem an zwei Anschlussleitungen 4a zur Verfügung stehenden Messsignal des Infrarot-Sensors 4 deren Temperatur bestimmt werden. Gegenüber der Druckkammer 6 ist der Infrarot-Sensor 4 druckdicht in dem Grundkörper 3 montiert. Die Anschlussleitungen 4a des Infrarot-Sensors 4 werden auf der Rückseite des Grundkörpers 3 zur Auswertung der Messsignale ebenso mit der Elektronikeinheit verbunden.

Das in Figur 2 dargestellte weitere Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckmess zelle 1 unterscheidet sich von derjenigen nach Figur 1 lediglich durch die Anordnung des Infra ^¬ rot-Sensors 4 in der Messkammer 6. Bei dieser Druckmesszelle 1 wird der Infrarot-Sensor 4 nicht von einer Aufnahmeöffnung des Grundkörpers 3 aufgenommen, sondern ist in einer Aussparung der Gegenelektrode 8 direkt auf dem Grundkörper 3 in einer zentralen Lage angeordnet, so dass . lediglich die Anschlussleitungen 4a des Infrarot-Sensors 4 druckdicht durch den Grundkörper 3 geführt. In dieser zentralen Lage wird die Infrarot ^¬ strahlung der Messmembran 2 von dem Infrarot-Sensor 4 detek- tiert und ein entsprechendes Messsignal erzeugt, welches von der Elektronikeinheit ausgewertet wird.

Bei diesen beiden Ausführungsbeispielen gemäß den Figuren 1 und 2 werden die messfehlerbehafteten Druckmesssignale, die von dem Messkondensator erzeugt werden, mittels der Temperaturmesssignale des Infrarot-Sensors 4 entsprechend eines vor ^¬ gegebenen Algorithmus korrigiert bzw. kompensiert.

Bezugs zeichen

1 Druckmesszelle

2 Messmembran

2a erste Seite der Messmembran 2

2b zweite Seite der Messmembran 2

3 Grundkörper

3a Abstandshalter

4 Infrarot-Sensor

4a Anschlussleitungen des Infrarot-Sensors 4

4b Detektionsfläche des Inf arot-Sensors 4

5 Aufnahmeöffnung des Grundkörpers

6 Messkammer der Druckmesszelle 1

7 Messelektrode

7a Durchkontaktierung der Messelektrode 7

8 Gegenelektrode

8a Durchkontaktierung der Gegenelektrode

9 Referenzelektrode

9a Durchkontaktierung der Referenzelektrode