Die Erfindung betrifft eine Druckmesseinrichtung mit einem Träger, einem auf dem Träger angeordneten Stützkörper, einem auf dem Stützkörper angeordneten Drucksensor, einer den Stützkörper mit dem Drucksensor verbindenden, ein Fügematerial umfassenden ersten Fügung und einer den Stützkörper mit dem Träger verbindenden, ein Fügematerial umfassenden zweiten Fügung.

Druckmesseinrichtungen dienen zur messtechnischen Erfassung von Drücken, insb. von Absolutdrücken, Relativdrücken und Differenzdrücken, und werden in der industriellen Messtechnik verwendet.

In der Druckmesstechnik werden häufig so genannte Halbleiter-Drucksensoren eingesetzt. Halbleiter-Sensoren werden heute regelmäßig auf Siliziumbasis, z.B. unter Verwendung von Silicon-on-lnsulator (SOI) Technologie hergestellt. Sie sind z.B. als Drucksensor-Chips ausgebildet, die typischer Weise einen Grundkörper und eine auf dem Grundkörper angeordnete Messmembran aufweisen.

Diese Drucksensoren sind sehr empfindlich und werden deshalb in ein in der Regel metallisches Gehäuse eingesetzt und über vorgeschaltete mit einer Druck übertragenden Flüssigkeit gefüllte Druckmittler mit dem zu messenden Druck beaufschlagt. Gehäuse und Drucksensor bestehen somit aus Materialien, die sehr unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten aufweisen. Aufgrund der für die Sensormontage erforderlichen mechanischen Verbindung zwischen Gehäuse und Drucksensor können daher

thermomechanische Spannungen auftreten, die sich auf das Übertragungsverhalten der Messmembran auswirken und damit die erzielbare Messgenauigkeit und deren

Reproduzierbarkeit verschlechtern. Dies gilt insb. für eine temperaturabhängige Hysterese der Messergebnisse.

Zur Reduktion temperaturabhängiger auf den Drucksensor einwirkender Spannungen ist in der DE 10 2007 052 364 A1 beschrieben, den Drucksensor-Chip auf einer keramischen Zwischenschicht anzuordnen, die einen an den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials des Drucksensors angepassten thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist. Die Zwischenschicht ist über eine mit einem elastischen Kleber ausgeführte Klebung unmittelbar auf einen metallischen Träger des Gehäuse aufgeklebt Als Material für den Träger ist Kovar angegeben. Kovar weist einen thermischen

Ausdehnungskoeffizienten von 6 ppm/K auf und liegt damit deutlich näher am thermischen Ausdehnungskoeffizienten von für Drucksensoren verwendetem Silizium von 2, 6 ppm/K als gängigere und deutlich kostengünstigere Gehäusematerialien, wie z.B. Edelstahl mit einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von 16 ppm/K, Bei den beschriebenen Druckmesseinrichtungen weist die keramische Zwischenschicht eine Grundfläche auf, die größer als die Grundfläche des darauf angeordneten

Drucksensors ist. Letzteres hat zur Folge, dass trotz des vergleichsweise gut angepassten thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Zwischenschicht entstehende

thermomechanische Spannungen über die gesamte Grundfläche des Drucksensors auf den Drucksensor einwirken.

Als Alternative hierzu sind aus dem Stand der Technik hierzu komplementäre

Lösungsansätze bekannt, bei denen eine Reduktion temperaturabhängiger auf den Drucksensor einwirkender Spannungen dadurch erzielt wird, dass der Drucksensor auf einem frei stehenden Ende eines Sockels angeordnet wird, dessen Grundfläche deutlich kleiner als die Grundfläche des darauf montierten Drucksensors ist.

So ist z.B. in der DE 10 2014 119396 A1 eine Druckmesseinrichtung mit einem Träger, einem auf dem Träger angeordneten Sockel, einem auf dem Sockel angeordneten

Drucksensor, einer den Sockel mit dem Drucksensor verbindenden ersten Klebung und einer den Sockel mit dem Träger verbindenden zweiten Klebung beschrieben. Bei dieser Druckmesseinrichtung ist der Sockel als separates stab- oder rohrförmiges Bauteil ausgebildet, dessen Grundfläche kleiner als die Grundfläche des darauf montierten Drucksensors ist, und das in eine im Träger vorgesehene Ausnehmung eingeklebt ist.

Je kleiner die Grundfläche des stab- oder rohrförmigen Sockels ist, umso schwieriger ist es jedoch, den Kleber in ausreichend genauer Dosierung in die entsprechend kleine

Ausnehmung einzubringen. Darüber hinaus erfordert die präzise Ausrichtung stab- oder rohrförmiger Sockel sowohl beim Einsetzen in die Ausnehmung, als auch während der Ausführung der Klebung umso mehr Sorgfalt, je kleiner die Grundfläche des Sockels im Verhältnis zu dessen Länge ist.

Diesem Problem kann z.B, auf die in der DE 10 2015 11 77 37 A1 beschriebene Weise dadurch begegnet werden, dass der Drucksensor auf einem speziell geformten Sockel montiert wird. Dieser Sockel umfasst eine auf dem Träger montierte Basis mit

vergleichsweise großer Grundfläche, an die ein Fortsatz mit deutlich geringerer

Grundfläche anschließt, auf dem der Drucksensor angeordnet wird. Dabei kann die Basis z.B, auf deren dem Träger zugewandten Stirnseite eine außenseitlich umlaufende

Aussparung aufweisen,

die überschüssigen Kleber aufnimmt.

Darüber hinaus ist in der DE 10 2016 107856 A1 beschrieben, die thermomechanische Kopplung zwischen einem Stützkörper und einem mittels einer Fügung auf dem

Stützkörper montierten Drucksensor dadurch zu reduzieren, dass ein unmitelbar an die Fügung angrenzender Schichtbereich des Stützkörper eine dreidimensionale Oberflächentopographie aufweist, die derart ausgebildet ist, dass die dem Drucksensor zugewandte Fügefläche des Schichtbereichs über den Schichtbereich verteilt angeordnete in einer Ebene liegende Teilflächen umfasst, deren durch die Summe der Teilflächen gebildete Gesamtfläche kleiner als die Grundfläche der Fügung ist. Die Teilflächen können beispielsweise durch in den Schichtbereich mittels Laserbestrahlung oder mitels eines Ätzverfahrens eingebrachte Gräben voneinander getrennt sein, die eine Grabentiefe von 300 pm bis 700 pm und eine Grabenbreite von 10 pm bis 100 pm aufweisen.

Beide Lösungen weisen jedoch den Nachteil auf, dass die Sockel bzw, die Stützkörper als Einzelteile hergestellte Komponenten sind, die eine vergleichsweise komplizierte

Formgebung auftveisen und dementsprechend aufwendig, zeitintensiv und teuer in der Herstellung sind.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung eine Druckmesseinrichtung mit einem vor

thermomechanischen Spannungen geschützten Drucksensor anzugeben, die

kostengünstiger hergestellt werden kann.

Hierzu umfasst die Erfindung eine Druckmesseinrichtung, mit

einem Träger,

einem auf dem Träger angeordneten Stützkörper,

einem auf dem Stützkörper angeordneten Drucksensor,

einer den Stützkörper mit dem Drucksensor verbindenden, ein Fügematerial

umfassenden ersten Fügung, und

einer den Stützkörper mit dem Träger verbindenden, ein Fügematerial umfassenden zweiten Fügung,

die sich dadurch auszeichnet, dass der Stützkörper auf dessen dem Drucksensor zugewandten Stirnseite einen ersten Graben aufweist,

der derart ausgebildet ist, dass

der erste Graben eine dem Drucksensor zugewandten Fügefläche des Stützkörpers außenseitlich, allseitig umgibt,

die Fügefläche des Stützkörpers und eine Grundfläche der ersten Fügung im

Wesentlichen gleich groß und echt kleiner als eine der ersten Fügung zugewandte Grundfläche des Drucksensors sind,

der erste Graben eine Breite aufweist, die größer gleich einer Mindestbreite von 150 pm bis 1 mm ist, und

der erste Graben eine Tiefe aufweist, die größer gleich einer Mindesttiefe von 0,3 mm bis 2 mm ist. Die Erfindung bietet den Vorteil, dass der Drucksensor durch die vergleichsweise kleine, durch den ersten Graben außenseitlich begrenzte Grundfläche der ersten Fügung vor darauf übertragbaren thermomechanischen Spannungen geschützt ist. Zugleich bietet sie den Vorteil, dass der Stützkörper aufgrund der durch den Graben sichergestellten Begrenzung der Grundfläche der ersten Fügung auf die Größe der von dem Graben umgebenen Fügefläche insgesamt eine Grundfläche aufweisen kann, die deutlich größer als die Grundfläche der ersten Fügung ist. Zusätzlich bietet der Graben den Vorteil, dass er während des zur Erzeugung der ersten Fügung eingesetzten Fügeverfahrens ggfs aus einem zwischen der Fügefläche des Stützkörpers und einer dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Drucksensors bestehenden Spalt außenseitlich austretendes, überschüssiges Fügematerial aufnimmt. Der im Vergleich zu im Stand der Technik verwendeten Sockeln große, eine

vergleichsweise einfache Formgebung aufweisende Stützkörper bietet den Vorteil, dass er auf einfache, kostengünstige Weise hergestellt und aufgrund seiner Größe und Form sehr viel einfacher auf dem Träger montiert werden kann, als lange Sockel mit geringer

Grundfläche.

Erste Weiterbildungen zeichnen sich dadurch aus, dass

ein zwischen einer den ersten Graben außenseitlich umgebenden Oberfläche des Stützkörpers und der dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Drucksensors

angeordneter Zwischenraum einen Hohlraum bildet, der frei von Fügematerial ist,

dass der Stützkörper eine Grundfläche aufweist, die größer gleich einer Grundfläche einer der ersten Fügung zugewandten Stirnseite des Drucksensors ist, und/oder

die erste Fügung und/oder die zweite Fügung jeweils als Glaslötung, als Weichlötung oder als Klebung ausgebildet sind. Zweite Weiterbildungen zeichnen sich dadurch aus, dass

der Drucksensor eine Grundfläche in der Größenordnung von 1 mm ² bis 50 mm ² aufweist,

die dem Drucksensor zugewandte Fügefläche des Stützkörper eine Größe von 0,2 mm ² bis 20 mm ² aufweist,

der Träger aus einem Metall oder aus einem Edelstahl besteht,

der Stützkörpers aus einem Metall, aus einem Edelstahl, aus Kovar, aus Invar, aus einer Keramik, aus Aluminiumoxid (AI2O ₃ ), aus Siliziumcarbid (SiC), aus Siliziumnitrid (S13N4), aus Aluminiumnitrid (AIN), aus Glas, aus Borosilikatglas oder aus einem Silizium umfassende Material besteht, der Stützkörper als ein im Wesentlichen scheibenförmiger Körper mit kreisförmiger, rechteckiger oder quadratischer Grundfläche ausgebildet ist, und/oder

der Stützkörper als freistehendes Element unmittelbar auf dem Träger angeordnet ist oder als freistehendes Element in eine Ausnehmung im Träger eingesetzt ist, und/oder der Stützkörper eine Bauhöhe von größer gleich 1 mm aufweist, wobei die Bauhöhe zugleich größer gleich einem zweifachen der Tiefe des ersten Grabens ist.

Eine drite Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

der Stützkörper auf dessen dem Träger zugewandten Stirnseite einen zweiten Graben aufweist, der eine dem Träger zugewandten Fügefläche des Stützkörpers außenseitlich, allseitig umgibt,

die zweite Fügung eine Grundfläche aufweist, die im Wesentlichen gleich der von dem zweiten Graben umgebenen Fügefläche ist,

der zweite Graben eine Breite aufweist, die größer gleich einer Mindestbreite von 150 pm bis 1 mm ist, und

der zweite Graben eine Tiefe aufweist, die größer gleich einer Mindestiefe von 0,3 mm bis 2 mm ist.

Eine vierte Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

der Stützkörper auf dessen dem T räger zugewandten Stirnseite eine außenseitlich umlaufende, zu einer äußeren Mantelfläche und zu der dem Träger zugewandten Stirnseite des Stützkörpers hin offene Aussparung aufweist,

die die dem Träger zugewandte Fügefläche des Stützkörpers außenseitlich allseitig umgibt, und

deren Höhe größer gleich einer Mindesthöhe von 0,3 mm bis 2 mm ist, und/oder deren

Breite größer gleich einer Mindestbreite von 150 pm bis 1 mm ist

Eine fünfte Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass der auf der dem Drucksensor zugewandten Stirnseite des Stützkörpers angeordnete Graben und/oder der auf der dem Träger zugewandten Stirnseite des Stützkörpers angeordnete zweite Graben jeweils als ein zu einem Ring geschlossener Graben ausgebildet ist

Eine sechste Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass die auf der dem Träger zugewandten Stirnseite des Stützkörpers angeordnete Fügefläche größer gleich der auf der dem Drucksensor zugewandten Stirnseite des Stützkörpers angeordneten Fügefläche ist.

Eine bevorzugte Ausgestaltung zeichnet sich dadurch aus, dass die erste Fügung und/oder die zweite Fügung jeweils als Klebung ausgebildet ist. Eine siebte Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

der Stützkörper auf dessen dem Drucksensor zugewandten Stirnseite vier in den Stützkörper eingebrachte, jeweils in gerader Linie von einer Außenseite des Stützkörper zu einer dieser Außenseite gegenüberiiegenden Außenseite des Stützkörpers verlaufende Gräben aufweist, die jeweils ein parallel zu einer der Außenkanten der Fügefläche verlaufendes, unmittelbar an die jeweilige Außenkante angrenzendes Grabensegment aufweisen und derart angeordnet sind, dass die vier an die Außenkanten der Fügefläche angrenzenden Grabensegmente den die Fügefläche außenseitlich allseitig umgebenden ersten Graben bilden, und/oder

der Stützkörper auf dessen dem T räger zugewandten Stirnseite vier in den Stützkörper eingebrachte, jeweils in gerader Linie von einer Außenseite des Stützkörper zu einer dieser Außenseite gegenüberliegenden Außenseite des Stützkörpers verlaufende Gräben aufweist, die jeweils ein parallel zu einer der Außenkanten der Fügefläche verlaufendes, unmittelbar an die jeweilige Außenkante angrenzendes Grabensegment aufweisen und derart angeordnet sind, dass die vier an die Außenkanten der Fügefläche angrenzenden Grabensegmente den die Fügefläche außenseitiich allseitig umgebenden zweiten Graben bilden.

Darüber hinaus umfasst die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von

erfindungsgemäßen Druckmesseinrichtungen, das sich dadurch auszeichnet, dass deren Träger, deren Stützkörper und deren Drucksensor vorgefertigt werden, wobei mehrere Stützkörper parallel zueinander aus einem als Folie oder als Scheibe vorliegenden Ausgangswerkstoff der Stützkörper gefertigt werden, indem die Gräben, die zweiten Gräben und/oder die Aussparungen in den einzelnen Stützkörpern jeweils mittels eines Bearbeitungsverfahrens erzeugt und die Stützkörper anschließend mitels eines Vereinzelungsverfahrens vereinzelt werden, und

aus den vorgefertigten Komponenten Druckmesseinrichtungen gefertigt werden, indem deren Stützkörper mitels eines mittels eines Fügematerials ausgeführten Fügeverfahrens auf deren Träger und deren Drucksensor mittels eines mitels eines Fügematerials ausgeführten Fügeverfahrens auf deren Stützkörper montiert wird.

Eine Weiterbildung des Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, dass mindestens ein Bearbeitungsverfahren und/oder das Vereinzelungsverfahrens ein mittels eines mit Laser oder Ultraschall arbeitenden Schneidwerkzeugs oder mitels einer Säge ausgeführtes Verfahren ist.

Eine Weiterbildung des Verfahrens zur Herstellung von Druckmesseinrichtungen gemäß der siebten Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass die die auf der dem

Drucksensor zugewandten Stirnseite der Stützkörper angeordneten ersten Gräben bildenden Grabensegmente enthaltenden Gräben und/oder die die auf der dem Träger zugewandten Stirnseite der Stützkörper angeordneten zweiten Gräben bildenden

Grabensegmente enthaltenden Gräben jeweils durch mittels einer Säge in den

Ausgangswerkstoff eingebrachte Sägeschnitte erzeugt werden, die sich von einer Außenseite des Ausgangswerkstoffs bis zu einer dieser gegenüberliegenden Außenseite des Ausgangswerkstoffs erstrecken.

Eine Weiterbildung des Verfahrens zur Herstellung von Druckmesseinrichtungen gemäß der vierten Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass die Aussparungen durch mittels einer Säge in den Ausgangswerkstoff eingebrachte Sägeschnitte erzeugt werden, die sich von einer Außenseite des Ausgangswerkstoffs bis zu einer dieser gegenüberliegenden

Außenseite des Ausgangswerkstoffs erstrecken.

Eine weitere Weiterbildung des Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, dass jede

Druckmesseinrichtung jeweils derart hergestellt wird, dass während des zur Erzeugung der ersten Fügung eingesetzten Fügeverfahrens ggfs, aus einem zwischen der Fügefläche des Stützkörpers und einer dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Drucksensors bestehenden Spalt außenseitlich austretendes, überschüssiges Fügematerial von dem die Fügefläche umgebenden ersten Graben aufgenommen wird. Eine Weiterbildung des Verfahrens zur Herstellung von Druckmesseinrichtungen, deren Stützkörper auf deren dem Träger zugewandten Stirnseite den zweiten Graben oder die Aussparung aufweisen, zeichnet sich dadurch aus, dass jede Druckmesseinrichtung jeweils derart hergestellt wird, dass während des zur Erzeugung der zweiten Fügung eingesetzten Fügeverfahrens ggfs, aus einem zwischen der Fügefläche des Stützkörpers und einer dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Trägers bestehenden Spalt außenseitlich austretendes, überschüssiges Fügematerial von dem die Fügefläche umgebenden zweiten Graben bzw. der die Fügefläche umgebende Aussparung aufgenommen wird. Die Erfindung und deren Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung, in denen drei Ausführungsbeispiele dargestellt sind, näher erläutert. Gleiche Elemente sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Um Bauteile sehr unterschiedlicher Abmessungen darstellen zu können wurde in den Figuren eine nicht immer

maßstabsgetreue Darstellung gewählt.

Fig. 1, 3 und 5 zeigen: jeweils ein Beispiel einer Druckmesseinrichtung;

Fig. 2 zeigt: den Stützkörper der Druckmesseinrichtung von Fig. 1 ;

Fig. 4 zeigt: den Stützkörper der Druckmesseinrichtung von Fig. 3;

Fig. 8 zeigt: den Stützkörper der Druckmesseinrichtung von Fig. 5; und Flg, 7 zeigt; eine Draufsicht auf eine dem Drucksensor zugewandte Stirnseite eines der Stützkörper von Fig, 1 bis 6.

Fig. 1 zeigt ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Druckmesseinrichtung. Die

Druckmesseinrichtung umfasst einen Träger 1 , einen auf dem Träger 1 angeordneten Stützkörper 3 und einen auf dem Stützkörper 3 angeordneten Drucksensor 5. Fig. 2 zeigt eine vergrößerte Darstellung des Stützkörpers 3 von Fig. 1 ,

Der Drucksensor 5 ist z.B, ein Halbleiter-Drucksensor, wie z.B. ein auf Siliziumbasis hergestellter Drucksensor-Chip. Dieser umfasst einen in dem dargestellten Beispiel als Membranträger ausgebildeten Grundkörper 7 und eine auf dem Grundkörper 7

angeordnete Messmembran 9, unter der eine Druckkammer 11 eingeschlossen ist.

Alternativ kann anstelle des hier dargestellten Drucksensors 5 natürlich auch ein

Drucksensor mit einem hiervon abweichenden Aufbau eingesetzt werden.

Die Druckmesseinrichtung kann als Differenzdruck-, als Relativdruck- oder als

Absolutdruckmesseinrichtung ausgestaltet sein.

Zur Erfassung von Differenzdrücken wird eine erste Seite der Messmembran 9 mit einem ersten Druck pi beaufschlagt und deren zweite Seite über eine durch den Träger 1 , den Stützkörper 3 und den Grundkörper 7 hindurch verlaufende, in der Druckkammer 11 mündende - in Fig. 1 gestrichelt dargestellte - Druckübertragungsleitung 13 mit einem zweiten Druck p ₂ beaufschlagt. Bei dieser Ausführungsform bewirkt die auf die

Messmembran 9 einwirkende Druckdifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Druck p-i, p ₂ eine vom zu messenden Differenzdruck Dr abhängige Auslenkung der

Messmembran 9.

Zur Erfassung von Relativdrücken wird die erste Seite der Messmembran 9 mit dem zu messenden Druck p beaufschlagt und der zweiten Seite der Messmembran 9 wird anstelle des zweiten Drucks p ₂ ein Referenzdruck p _ref , z.B. ein Umgebungsdruck, zugeführt, bezogen auf den der auf die erste Seite einwirkende Druck p gemessen werden soll. Bei dieser Ausführungsform bewirkt die auf die Messmembran 9 einwirkende Druckdifferenz zwischen dem Druck p und dem Referenzdruck p _ref eine vom zu messenden Relativdruck abhängige Auslenkung der Messmembran 9.

Zur Erfassung von Absolutdrücken ist die unter der Messmembran 9 eingeschlossene Druckkammer 11 evakuiert. In dem Fall entfällt die Druckübertragungsleitung 13 und der auf die erste Seite der Messmembran 9 einwirkende Druck p bewirkt eine vom zu messenden Absolutdruck abhängige Auslenkung der Messmembran 9. Die resultierende Auslenkung der Messmembran 9 wird in allen drei Fällen mittels eines elektromechanischen Wandlers erfasst und in ein elektrisches Ausgangssigna! umgewandelt, das dann für eine weitere Verarbeitung und/oder Auswertung zur Verfügung steht. Als Wandler kann z.B. ein piezoresistiver Wandler eingesetzt werden, der auf oder in der Messmembran 9 angeordnete Sensorelemente 15, z.B zu einer

Widerstandsmessbrücke zusammengeschaltete piezoresistive Elemente, umfasst.

Der Stützkörper 3 ist mittels einer ein Fügematerial umfassenden ersten Fügung 17 mit dem Drucksensor 5 und mitels einer ein Fügematerial umfassenden zweiten Fügung 19 mit dem Träger 1 verbunden. Dabei können die erste Fügung 17 und/oder die zweite Fügung 19 je nach Wahl des Fügemateriais jeweils z.B. als Glaslötung, als Weichlötung oder als Klebung ausgebildet sein. Vorzugsweise ist mindestens eine der beiden Fügungen 17, 19 eine Klebung. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind beide

Fügungen 17, 19 Klebungen. Zur Herstellung der Klebungen eignen sich insb. Kleber auf Epoxidharzbasis, thermoplastische Kleber oder Silikon-Kleber, wie zum Beispiel Silikon- Kautschuk,

Klebungen bieten den Vorteil, dass sie deutlich elastischer sind als alternativ ersetzbare Fügungen, wie zum Beispiel Glaslötungen oder Weichlötungen. Sie sind somit besser in der Lage aufgrund unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten von Träger 1 und Stützkörper 3 bzw. von Stützkörper 3 und Drucksensor 5 entstehende Spannungen auszugleichen bzw. abzubauen, die andernfalls auf den Drucksensor 5, insb. dessen

Messmembran 9 übertragen werden könnten. Darüber hinaus kann durch Klebungen eine große Bandbreite unterschiedlicher Werkstoffe von Träger 1 und Stützkörper 3 bzw. von Stützkörper 3 und Drucksensor 5 miteinander verbunden werden.

Unabhängig von der Wahl der zur Herstellung der Fügungen 17, 19 verwendeten

Fügeverfahren besteht der Träger 1 im Hinblick auf dessen Druckfestigkeit vorzugsweise aus einem Werkstoff mit hohem Elastizitätsmodul, und im Hinblick auf dessen

vergleichsweise großes Volumen vorzugsweise aus einem kostengünstigen Werkstoff. Hierzu eignen sich insb. Metalle, wie z.B. Edelstahl.

Der Werkstoff des Stützkörpers 3 kann im Hinblick auf die speziellen Anforderungen an die Druckmesseinrichtung aus einer Vielzahl unterschiedlicher Werkstoffe ausgewählt werden, Hierzu zählen Metalle, insb. Edelstahl, Kovar oder Invar, Keramiken, insb. Aluminiumoxid (AI ₂ O ₃ ), Siliziumcarbid (SiC), Siliziumnitrid (S1 ₃ N ₄ ) oder Aluminiumnitrid (AIN), Gläser, insb. Borosilikatglas, und Silizium umfassende Materiale. Dabei sind jedoch durch die Wahl der Fügeverfahren ggfs, vorhandene Einschränkungen bei der Auswahl des Werkstoffs zu berücksichtigen. Erfindungsgemäß weist der Stützkörper 3 auf dessen dem Drueksensor 5 zugewandten Stirnseite einen Graben 21 auf, der eine dem Drucksensor 5 zugewandten Fügefläche 23 des Stützkörpers 3 außenseitlich allseitig umgibt. Dieser Graben 21 ist derart ausgebildet, dass die Fügefläche 23 des Stützkörpers 3 und eine Grundfläche der ersten Fügung 17 im Wesentlichen gleich groß und echt kleiner als eine der ersten Fügung 17 zugewandte Grundfläche des Drucksensors 5 sind. Hierzu weist der Graben 21 eine Breite b auf, die größer gleich einer Mindestbreite von 150 pm bis 1 mm ist, und eine Tiefe t auf, die größer gleich einer Mindesttiefe von 0,3 mm bis 2 mm ist.

Durch diese Bemessung von Breite b und Tiefe t des Grabens 21 wird erreicht, dass der Graben 21 die Grundfläche der ersten Fügung 17 während des gesamten zur Herstellung der ersten Fügung 17 eingesetzten Fügeverfahrens auf die Größe der Fügefläche 23 derart begrenzt, dass ein zwischen einer den Graben 21 außenseitlich umgebenden Oberfläche des Stützkörpers 3 und der dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Drucksensors 5 angeordneter Zwischenraum 25 einen Hohlraum bildet, der frei von Fügematerial ist.

Dabei verhindert der Graben 21 , dass zur Herstellung der ersten Fügung 17 in einen zwischen der Fügefläche 23 des Stützkörpers 3 und der dieser gegenüberliegenden Oberfläche des Drucksensors 5 befindlichen Spalt eingebrachtes, während des

Fügeverfahrens flüssig oder zähflüssig gewordenes Fügematerial sich bis in den

Zwischenraum 25 hinein ausbreiten kann. Zugleich ist durch die Bemessung von Breite b und Tiefe t des Grabens 21 sichergestellt, dass der Graben 21 groß genug ist, um ggfs während des Fügeverfahrens außenseitlich aus dem Spalt austretendes, überschüssiges Fügematerial aufzunehmen. Der Graben 21 bildet somit während des gesamten

Fügeverfahrens eine Barriere, die von dem Fügematerial nicht überwunden werden kann.

Die durch den Graben 21 bewirkte bzw. sichergestellte Begrenzung der Grundfläche der Fügung 17 auf die Größe der von dem Graben 21 umgebenen Fügefläche 23 bietet den Vorteil, dass der Stützkörper 3 insgesamt eine Grundfläche aulweisen kann, die deutlich größer als die Fügefläche 23 ist, ohne dass sich hierdurch die Grundfläche der Fügung 17 vergrößert. Insoweit kann der Stützkörper 3 ohne Weiteres eine Grundfläche aufweisen, die größer gleich der Grundfläche der der ersten Fügung 17 zugewandten Stirnseite des Drucksensors 5 ist. Der im Vergleich zu im Stand der Technik verwendeten Sockeln große, eine vergleichsweise einfache Formgebung aufweisende Stützkörper 3 bietet den Vorteil, dass er auf einfache, kostengünstige Weise hergestellt und auf einfache, kostengünstige Weise auf dem Träger 1 montiert werden kann.

H al bl eite r- D ru cksensoren weisen regelmäßig eine Grundfläche auf, deren Größe je nach Messbereich und Messempfindiichkeit in der Größenordnung von 1 mm ² bis 50 mm ² liegt. Bei Drucksensoren 5 mit quadratische Grundfläche entspricht das einer Seitenlange von 1 mm bis ca. 7 mm. In Verbindung mit einem Drucksensor 5 dieser Größe kann die

Fügefläche 23 des Stützkörper 3 je nach Größe der Grundfläche des Drucksensors 5 beispielsweise eine Größe von 0,2 mm ² bis 20 mm ² aufweisen. Ist die Fügefläche 23 quadratische, so entspricht das einer Seitenlange von 0,5 mm bis ca. 4,5 mm.

Sowohl bei der als Differenzdruckmesseinrichtung als auch bei der als

Relativdruckmesseinrichtung ausgebildeten Druckmesseinrichtung reduziert sich die Fügefläche 23 um die Querschnittsfläche der durch die erste Fügung 17 hindurch verlaufenden Druckübertragungsleitung 13.

Durch die im Vergleich zur Grundfläche des Drucksensors 5 kleine Grundfläche der ersten Fügung 17 wird eine vergleichsweise hochwertige thermomechanische Entkopplung zwischen Drucksensor 5 und Stützkörper 3 erzielt. Dabei sind über die erste Fügung 17 auf den Drucksensor 5 übertragbare thermomechanische Spannungen umso geringer, je kleiner die Fügefläche 23 des Stützkörpers 3 und damit auch die Grundfläche der ersten Fügung 17 ist

Darüber hinaus sind über die erste Fügung 17 auf den Drucksensor 5 übertragbare thermomechanische Spannungen umso geringer, je größer eine Schichtdicke der ersten Fügung 17 ist und je elastischer die erste Fügung 17 ist. Je größer die Schichtdicke der ersten Fügung 17 ist, umso größer sind natürlich auch Breite b und Tiefe t des Grabens 21 zu bemessen, um sicher zu stellen, dass der Graben 21 ggfs aus dem Spalt austretendes, überschüssiges Fügematerial vollständig aufnehmen kann, Optional kann der Stützkörper 3 auf dessen dem Träger 1 zugewandten Stirnseite einen zweiten Graben 27 aufweisen, der eine dem Träger 1 zugewandte Fügefläche 29 des Stützkörpers 3 außenseitlich allseitig umgibt. Fig. 3 zeigt ein Beispiel einer mit einem solchen Stützkörper 3 ausgestattet Druckmesseinrichtung und Fig. 4 zeigt den Stotzkörper 3 von Fig. 3. Für den zweiten Graben 27 gelten die obigen Ausführungen zur Breite b und zur Tiefe t des in der dem Drucksensor 5 zugewandten Stirnseite angeordneten Grabens 21 entsprechend.

Der zweite Graben 27 bewirkt ein Begrenzung der Grundfläche der den Stützkörper 3 mit dem Träger 1 verbindenden zweiten Fügung 19 auf eine Fläche die echt kleiner als die Grundfläche des Stützkörpers 3 ist. Hierdurch wird eine Reduktion der

thermomechanischen Kopplung zwischen Träger 1 und Stützkörper 3 erzielt, die wiederum eine Verbesserung des Schutzes des Drucksensors 5 vor darauf ausgeübten

thermomechanischen Spannungen bewirkt. Da die den Träger 1 mit dem Stützkörper 3 verbindende zweite Fügung 19 vom

Drucksensor 5 durch die Bauhöhe H des Stützkörpers 3 beabstandet ist und somit nur in deutlich geringem Maße für auf den Drucksensor 5 ausgeübte thermomechanische Spannungen mitverantwortlich ist, kann die auf der dem Träger 1 zugewandten Stirnseite des Stützkörpers 3 angeordnete, von dem zweiten Graben 27 umgebene Fügefläche 29 ohne weiteres eine Größe, aufweisen, die größer gleich der auf der dem Drucksensor 5 zugewandten Stirnseite des Stützkörpers 3 angeordneten Fügefläche 23 ist.

Alternativ kann die Grundfläche der den Stützkörper 3 mit dem Träger 1 verbindenden zweiten Fügung 19 optional auch dadurch begrenzt werden, dass der Stützkörper 3 auf dessen dem Träger 3 zugewandten Stirnseite eine außenseitlich umlaufende, zu einer äußeren Mantelfläche und zu der dem Träger 1 zugewandten Stirnseite des Stützkörpers 3 hin offene Aussparung 31 aufweist, die die dem Träger 1 zugewandte Fügefläche 33 des Stützkörpers 3 außenseitlich allseitig umgibt. Fig. 5 zeigt ein Beispiel einer mit einem solchen Stützkörper 3 ausgestattet Druckmesseinrichtung und Fig. 6 zeigt den Stützkörper 3 von Fig. 5.

In dem Fall weist die Aussparung 31 vorzugweise eine Höhe h1 auf, die größer gleich einer Mindesthöhe von 0,3 mm bis 2 mm ist Alternativ oder zusätzlich hierzu weist sie vorzugsweise eine Breite b1 auf, die die größer gleich einer Mindestbreite von 150 pm bis 1 mm ist.

Die in Fig. 1 bis 6 als Beispiel dargestefiten Stützkörper 3 können z.B. als im Wesentlichen scheibenförmige Körper mit kreisförmiger, rechteckiger oder quadratischer Grundfläche ausgebildet sein, in deren dem Drucksensor 5 zugewandten Stirnseite der erste Graben 21 eingebracht ist.

Der erste Graben 21 kann z.B. als ein zu einem Ring geschlossener Graben 21 ausgebildet sein. So kann der erste Graben 21 z.B. als ein in der Draufsicht elliptischer, kreisförmiger, viereckiger, insb. rautenförmiger, rechteckförmiger oder quadratischer Ring ausgebildet sein, der die dementsprechend elliptische, kreisförmige, viereckige, insb, rautenförmige, rechteckförmige oder quadratische Fügefläche 23 außenseitlich allseitig umgibt.

Ist die Fügefläche 23 als viereckige, vier Außenkanten aufweisende Fügefläche 23 ausgebildet, so kann der Stützkörper 3 alternativ auch auf dessen dem Drucksensor 5 zugewandten Stirnseite vier in den Stützkörper 3 eingebrachte, jeweils in gerader Linie von einer Außenseite des Stützkörper 3 zu einer dieser Außenseite gegenüberliegenden Außenseite des Stützkörpers 3 durch den gesamten Stützkörper 3 hindurch verlaufende Gräben 35 aufweisen, die jeweils ein parallel zu einer der Außenkanten der Fügefläche 23 verlaufendes unmitelbar an die jeweilige Außenkante angrenzendes Grabensegment 37 aufweisen. Fig. 7 zeigt eine Draufsicht auf die dem Drucksensor 5 zugewandte Stirnseite eines solchen Stützkörpers 3. Dort bilden die vier an die Außenkanten der Fügefläche 23 angrenzenden Grabensegmente 37 zusammen den die Fügefläche 23 außenseitlich allseitig umgebenden, in Fig. 7 durch eine gestrichelte Linie angezeigten Graben 21.

Analog können natürlich auch der ggfs, vorgesehene zweite Graben 27 und die von diesem außenseitlich umgegebene Fügefläche 29 auf diese Weise ausgebildet sein. Alternativ oder zusätzlich hierzu kann der Stützkörper 3 als freistehendes Element auf dem Träger 1 angeordnet sein. Das bietet den Vorteil, dass auf die unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Träger 1 und Stützkörper 3 zurück zuführende thermomechanische Spannungen über die gesamte Bauhöhe H des Trägers 1 abgebaut werden können. Insoweit weist Stützkörper 3 vorzugsweise eine Bauhöhe H von größer gleich 1 mm auf, wobei die Bauhöhe H zugleich größer gleich einem zweifachen der Tiefe t des ersten Grabens 21 ist

Der Stützkörper 3 kann unmitelbar auf einer planaren äußeren Stirnfläche des Trägers 1 angeordnet werden. Alternativ kann der Träger 1 auf dessen dem Drucksensor 5 zugewandten Seite eine Ausnehmung 39 aufweisen, in die der Stützkörper 3 als frei stehendes Element eingesetzt ist. Diese in Fig. 1 , 3 und 5 als Beispiel dargestellte Variante bietet den Vorteil einer insgesamt kleineren und kompakteren Bauform, durch die unter anderem erreicht wird, dass ein Innenraum eines - hier nicht dargestellten - Gehäuse, in das der auf dem Träger 1 montierte Drucksensor 5 eingebracht wird, deutlich kleiner sein kann. Hierdurch verringert sich das Volumen an Druck übertragender Flüssigkeit, über die die Außenseite der Messmembran 9 im Innenraum des Gehäuses mit dem zu messenden Druck p bzw. dem ersten Druck pi beaufschlagt wird.

Erfindungsgemäße Druckmesseinrichtungen werden vorzugsweise hergestellt, indem zunächst deren Träger 1, deren Stützkörper 3 und deren Drucksensor 5 vorgefertigt werden,

Bei der Herstellung der Stützkörper 3 wird vorzugsweise derart Verfahren, dass mehrere Stützkörper 3 parallel zueinander aus einem als Folie oder Scheibe vorliegenden

Ausgangswerkstoff der Stützkörper 3 gefertigt werden.

Hierzu werden die ersten Gräben 21 , sowie ggfs auch die zweiten Gräber 27 oder die Aussparungen 31, der einzelnen Stützkörper 3 mittels eines Bearbeitungsverfahrens erzeugt und die Stützkörper 3 anschließend mittete eines Vereinzelungsverfahrens vereinzelt. Als Bearbeitungsverfahren und/oder als Vereinzelungsverfahren eignen sich z.B, mittels eines mit Laser oder Ultraschall arbeitenden Schneidwerkzeugs ausgeführte Verfahren. Mit diesen Werkzeugen können die Gräben 21 , sowie die die ggfs, zu erzeugenden zweiten Gräben 27 oder die die ggfs, zu erzeugenden Aussparungen 31 bildende Ausnehmungen mit nahezu beliebiger Formgebung erzeugt und Stützkörper 3 mit nahezu beliebiger

Grundfläche aus dem Ausgangswerkstoff herausgelöst werden. Mit diesen Verfahren kann in Stützkörpern 3 für Relativ- oder Differenzdruckmesseinrichtungen zusätzlich auch die durch den jeweiligen Stützkörper 3 hindurch verlaufende Druckübertragungsleitung 13 eizeugt werden.

Zur Herstellung von ersten Gräben 21 und/oder zweiten Gräben 27, die jeweils eine viereckige Fügefläche 23 bzw. 29 umgeben, kann alternativ ein Bearbeitungsverfahren eingesetzt werden, bei dem die die Gräben 21 , 27 bildenden Grabensegmente 37 enthaltenden, parallel zu den Außenkanten der Fügeflächen 23, 29 verlaufenden Gräben 35 durch mittels einer Säge in den Ausgangswerkstoff eingebrachte Sägeschnite erzeugt werden, die sich von einer Außenseite des Ausgangswerkstoffs bis zu einer dieser gegenüberliegenden Außenseite des Ausgangswerkstoffs erstrecken. Dieses

Bearbeitungsverfahren bietet im Vergleich zu alternativ ersetzbaren mittels eines mit Laser oder Ultraschall arbeitenden Schneidwerkzeugs ausgeführten Bearbeitungsverfahren den Vorteil, dass die die Fügeflächen 23, 29 umgebenden Gräben 21 , 27 In einer größeren Anzahl von Stützkörpem 3 sehr viel schneller und kostengünstiger erzeugt werden können.

Analog kann auch zur Herstellung von Aussparungen 31 , die jeweils eine viereckige

Fügefläche 33 umgeben, ein Bearbeitungsverfahren eingesetzt werden, bei dem die Aussparungen 31 durch mitels einer Säge in den Ausgangswerkstoff eingebrachte

Sägeschnitte erzeugt werden, die sich von einer Außenseite des Ausgangswerkstoffs bis zu einer dieser gegenüberliegenden Außenseite des Ausgangswerkstoffs erstrecken. Das bietet den Vorteil, dass die Aussparungen 31 in einer größeren Anzahl von Stützkörpem 3 sehr viel schneller und kostengünstiger erzeugt werden können

Nachfolgend werden die in dem Ausgangswerkstoff erzeugten Stützkörper 3 vereinzelt. Dabei muss bei der Herstellung von die Aussparungen 31 aufweisenden Stützkörpern 3 natürlich nur noch die um die Höhe h1 der Aussparung 31 reduzierte Bauhöhe H der Stützkörper 3 aus dem Ausgangswerkstoff herausgelöst werden.

Zur Vereinzelung von Stützkörpem 3 mit viereckiger Grundfläche, wie z.B, Stützkörper 3 mit rechteckiger oder quadratischer Grundfläche, kann anstelle eines mittels eines mit Laser oder Ultraschall arbeitenden Schneidwerkzeugs ausgeführten

Vereinzelungsverfahrens alternativ ein Vereinzelungsverfahren eingesetzt werden, bei dem die Stützkörper 3 durch Sägen entlang deren Außenkanten vereinzelt werden. Das bietet den Vorteil, dass die Vereinzelung mehrerer Stützkörper 3 schneller und kostengünstiger ausgeführt werden kann, als das bei mittels eines mit Laser oder Ultraschall arbeitenden Schneidwerkzeugs ausgeführten Vereinzelungen der Fall ist, wo jeder Stützkörper 3 einzeln aus dem Ausgangswerkstoff herausgelöst werden muss.

Abschließend werden aus den vorgefertigten Komponenten Druckmesseinrichtungen gefertigt, indem deren Stützkörper 3 mittels eines Fügeverfahrens auf deren Träger 1 und deren Drucksensor 5 mitels eines Fügeverfahrens auf deren Stützkörper 3 montiert wird. Hierzu können aus der Mikrosystemtechnik bekannte mitels eines Fügematerials auszuführende Fügeverfahren, wie z.B. Weichlötverfahren, Glaslötverfahren oder Klebeverfahren, eingesetzt werden.

Dabei wird während des zur Erzeugung der ersten Fügung 17 ausgeführten

Fügeverfahrens ggfs, aus dem Spalt zwischen Drucksensor 5 und Stützkörper 3 außenseitlich austretendes überschüssiges Fügematerial von dem die Fügefläche 23 umgebenden Graben 21 aufgenommen.

Analog wird bei Herstellung von Druckmesseinrichtungen, deren Stützkörper 3 auf dessen dem Träger 1 zugewandten Stirnseite den zweiten Graben 27 oder die Aussparung 31 aufweisen, während des zur Erzeugung der zweiten Fügung 19 ausgeführten

Fügeverfahrens ggfs aus dem zwischen der dem Träger 1 zugewandten Fügefläche 29 des Stützkörpers 3 und dem Träger 1 eingeschlossenen Spalt außenseitlich austretendes, überschüssiges Fügematerial von dem die Fügefläche 23 umgebenden Graben 27 bzw. der die Fügefläche 23 umgebende Aussparung 31 aufgenommen.

Bezugszeichenliste

1 Träger

3 Stützkörper

5 Drucksensor

7 Grundkörper

9 Messmembran

11 Druckkammer

13 Druckübertragungsleitung

15 Sensorelement

17 erste Fügung

19 zweite Fügung

21 Graben

23 Fügefläche

25 Zwischenraum

27 Graben

29 Fügefläche

31 Aussparung

33 Fügefläche

35 Graben

37 Grabensegment

39 Ausnehmung