Drucksensorsystem mit Schutz vor einfrierendem Medium Die Erfindung betrifft ein Drucksensorsystem, das vor einer Zerstörung durch ein einfrierendes Medium geschützt ist.

Zum Messen von Drücken in einer wässrigen Lösung, beispielsweise in Wasser oder einer Harnstofflösung, kann ein Druck- sensorsystem mit einem piezoresistiven Drucksensorelement eingesetzt werden. Ein derartiges Drucksensorelement umfasst eine Membran in Form einer biegsamen Platte. Das Drucksensorelement ist derart an einen Strömungskanal angekoppelt, dass ein Medium, zum Beispiel die oben genannten wässrigen Lösun- gen, die Membran/biegsame Platte anströmen. In Abhängigkeit von dem Druck des Mediums wird die biegsame Platte ausge ^¬ lenkt. An Anschlusskontakten des Drucksensorelements kann in Abhängigkeit von dem Druck des Mediums beziehungweise der Verbiegung der biegsamen Platte eine Widerstandsänderung ge- messen werden.

Bei dem oben beschriebenen piezoresistiven Drucksensorsystem kann die biegsame Platte beziehungsweise Membran als eine dünne Schicht ausgebildet sein. Wenn sich das Drucksensorsys- tem in einer kalten Umgebung befindet, besteht die Gefahr, dass das Medium in dem Strömungskanal, der an die biegsame Platte/Membran gekoppelt ist, einfriert. Dabei muss verhin ^¬ dert werden, dass das einfrierende Medium die dünne Membran ^¬ schicht absprengt beziehungsweise beschädigt, sodass das Drucksensorsystem zerstört würde.

Ein Anliegen der vorliegenden Erfindung ist es, ein Drucksensorsystem anzugeben, bei dem ein Drucksensorelement des Drucksensorsystems vor einer Zerstörung durch ein einfrierendes Medium geschützt ist.

Eine Ausführungsform eines Drucksensorsystems mit Schutz vor einem einfrierenden Medium ist im Patentanspruch 1 angegeben.

Das Drucksensorsystem umfasst ein Drucksensorelement mit ei ^¬ ner biegsamen Platte, wobei das Drucksensorelement als ein piezoresistives Sensorelement ausgebildet ist. Das Druck- sensorsystem umfasst des Weiteren ein Trägerelement, auf dem das Drucksensorelement angeordnet ist. In dem Trägerelement verläuft ein Strömungskanal zur Zuführung des Mediums zu der biegsamen Platte des Drucksensorelements. Der Strömungskanal weist mindestens einen Teilabschnitt auf, dessen Längsrich- tung senkrecht unter der biegsamen Platte des Drucksensorele ^¬ ments verläuft. Das Medium strömt die biegsame Platte daher aus dem unmittelbar unter der biegsamen Platte angeordneten Teilabschnitt des Strömungskanals senkrecht an. Der Kanal ^¬ querschnitt dieses mindestens einen Teilabschnitts des Strö- mungskanals ist an keiner Stelle innerhalb des Teilabschnitts des Strömungskanals kleiner als die Fläche der biegsamen Platte des Drucksensorelements.

Dies bedeutet, dass der mindestens eine Teilabschnitt des Strömungskanals an keiner Stelle innerhalb des Teilabschnitts des Strömungskanals eine Hinterschneidung aufweist. An keiner Stelle des mindestens einen Teilabschnitts des Kanals ragt eine Engstelle, beispielsweise in Form eines Materialvor ^¬ sprungs, der innerhalb des Strömungskanals in einer Projekti- onsfläche der biegsamen Platte des Drucksensorelements liegt, in den Strömungskanal hinein. Insbesondere gibt es in dem Strömungskanal kein Gegenlager, an dem sich ein Medium, das sich beim Einfrieren ausdehnt, abstützen könnte. Der Strömungskanal weist daher keinen Hinterschnitt auf.

Im Falle des Einfrierens des Mediums können sich somit in dem Strömungskanal keine Drücke aufbauen, mit denen das Medium gegen die biegsame Platte drückt. Der Strömungskanal ist stattdessen derart geformt, dass in dem Strömungskanal infol ^¬ ge des Einfrierens des Mediums aufbauende Drücke in entgegen ^¬ gesetzter Richtung zu dem Drucksensorelement, das heißt von dem Drucksensorelement weg, abgeleitet werden.

Der unter dem Drucksensorelement angeordnete mindestens eine Teilabschnitt des Strömungskanals kann sich beispielsweise in Längsrichtung entgegengesetzt zur Richtung der biegsamen Platte des Drucksensorelements verbreitern aber keinesfalls verengen. Entscheidend ist, dass in dem unter der biegsamen Platte liegenden Teilabschnitt des Strömungskanals kein Mate ^¬ rialvorsprung vorhanden ist, der in einer Ebene des mindestens einen Teilabschnitts des Strömungskanals parallel zu der Fläche der biegsamen Platte/Membran des Drucksensorelements liegt .

Gemäß einer weitergehenden Ausführungsform kann unter dem mindestens einen Teilabschnitt des Strömungskanals ein kom- pressibles Element in einen Hohlraum des Trägerelements ein ^¬ gebaut sein. Wenn das Medium in dem mindestens einen Teilab ^¬ schnitt senkrecht unter der biegsamen Platte des Drucksenso ^¬ relements einfriert, drückt das sich ausdehnende Medium gegen das kompressible Element. Das kompressible Element kann bei- spielsweise ein geschlossenporiger Schaum, insbesondere ein Silikonschaum, sein. Das kompressible Element wirkt als Ein ^¬ frierschutz und verhindert aufgrund seiner kompressiblen Eigenschaft, dass unterhalb des mindestens einen Teilabschnitts des Strömungskanals ein festes Wiederlager bei der Eisbildung beim Einfrieren des Mediums entsteht.

Um im Falle des Einfrierens des Mediums die Höhe der Eissäu- le, die unterhalb der biegsamen Platte senkrecht auf die biegsame Platte des Drucksensorelements wirkt, zu minimieren, kann die Zuführung des Mediums im Trägerelement über abgewinkelte Strömungskanäle erfolgen. Ein Teil der Medienzuführungskanäle kann gemäß einer Ausführungsvariante des Druck- sensorsystems im Gehäuse des Drucksensors liegen.

Das vorgeschlagene Drucksensorsystem ermöglicht eine Redukti ^¬ on der Bauteile und Prozessschritte, indem bewusst auf ein ölgefülltes System verzichtet wird und das Drucksensorelement dennoch in ein einfrierrobustes Sensorsystem integriert wer ^¬ den kann. Ein weiterer Vorteil ist, dass der Aufbau des

Drucksensorsystems die Integration in ein für automotive An ^¬ wendungen typisches Gehäuse ermöglicht. Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Figuren, die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung zeigen, näher erläutert. Es zeigen:

Figur 1 eine Gesamtansicht eines Drucksensorsystems in ei- ner Querschnittsdarstellung; und

Figur 2 eine vergrößerte Detailansicht eines Ausschnitts des Drucksensorsystems der Figur 1. Die verschiedenen Komponenten eines Drucksensorsystem 1 mit

Schutz vor einem einfrierenden Medium werden anhand der Figuren 1 und 2 näher beschrieben. Das Drucksensorsystem 1 um- fasst ein Drucksensorelement 10 mit einer biegsamen Platte beziehungsweise Membran 11. Das Drucksensorelement 10 ist als ein piezoresistives Sensorelement ausgebildet. Beim Einwirken eines Drucks auf die Biegeplatte 11 tritt eine Verformung der Biegeplatte auf, die eine messbare Widerstandsänderung an den piezoresistiven Widerständen zur Folge hat. Das Drucksensorsystem umfasst des Weiteren ein Trägerelement 20, auf dem das Drucksensorelement 10 angeordnet ist.

In dem Trägerelement 20 verläuft ein Strömungskanal 30 zur Sicherstellung der Medienzuführung zu dem Sensorelement 10 und insbesondere zu der biegsamen Platte 11. Der Strömungska ^¬ nal 30 weist mindestens einen Teilabschnitt 31 auf, dessen Längsrichtung senkrecht unter der biegsamen Platte 11 verläuft. Das in dem mindestens einen Teilabschnitt 31 strömende Medium kann somit die biegsame Platte 11 senkrecht anströmen. Das Drucksensorsystem ist derart aufgebaut, dass ein Kanal ^¬ querschnitt des mindestens einen Teilabschnitts 31 des Strö ^¬ mungskanals 30 an keiner Stelle innerhalb dieses Teilab ^¬ schnitts 31 kleiner als die Fläche der biegsamen Platte 11 ist .

Die Formgebung der Medienzuführung ist im Bereich des drucksensitiven Elements 10 somit derart gewählt, dass in dem Teilabschnitt 31 des Strömungskanals 30 bis zur sensitiven Struktur/Biegeplatte 11 kein Hinterschnitt vorhanden ist. Das heißt, dass an keiner Stelle des mindestens einen Teilab ^¬ schnitts 31 des Strömungskanals 30 ein Materialvorsprung in den Strömungskanal hineinragt, der innerhalb des Strömungska ^¬ nals in einer Projektionsfläche der biegsamen Platte 11 liegt. Wie anhand der Figuren 1 und 2 zu erkennen ist, gibt es zum Beispiel keinen Materialvorsprung in dem mindestens einen Teilabschnitt 31 des Strömungskanals 30, der sich an einer Stelle des Teilabschnitts 31 des Strömungskanals von einer Seitenwand des Strömungskanals ausgehend in einem Ab ^¬ stand zu der biegsamen Platte 11 in den Strömungskanal hinein und zwar in senkrechter Projektion zur biegsamen Platte bis unter die biegsame Platte erstreckt.

In dem mindestens einen Teilabschnitt 31 des Strömungskanals, der senkrecht unter der biegsamen Platte 11 liegt, gibt es insbesondere kein Konstruktionselement, das als eine Hinter- schneidung in den Strömungskanal hineinragt. Dadurch wird verhindert, dass innerhalb des Teilabschnitts 31 des Strö ^¬ mungskanals senkrecht unterhalb der Biegeplatte 11 ein festes Wiederlager vorhanden wäre, an der sich ein einfrierendes Medium bei einer Volumenausdehnung abstützen könnte und somit gegen die biegsame Platte 11 drücken könnte. Aufgrund der Ausgestaltung des Strömungskanals 30 ohne Hinterschnitt kann somit verhindert werden, dass ein einfrierendes Medium die biegsame Platte 11 beschädigt und gegebenenfalls von ihrem Sockel absprengt. Das Drucksensorsystem weist einen Hohlraum 40 mit einem ersten Bereich 41 und mit einem sich daran anschließenden zweiten Bereich 42 auf. Der erste Bereich 41 und der zweite Bereich 42 des Hohlraums verlaufen innerhalb des Trägerele ^¬ ments. Der Hohlraum 40 ist innerhalb des Trägerelements 20 von einer Innenwand 21 des Trägerelements 20 umgeben. Gemäß der in den Figuren 1 und 2 gezeigten Ausführungsform des Drucksensorsystems verjüngt sich der erste Bereich 41 des Hohlraums trichterförmig in Richtung der biegsamen Platte 11 des Drucksensorelements 10. Der mindestens eine Teilabschnitt 31 des Strömungskanals 30 wird von diesem ersten Bereich 41 des Hohlraums 40 gebildet. Infolgedessen verjüngt sich auch der mindestens eine Teilabschnitt 31 des Strömungskanals 30 trichterförmig in Richtung der biegsamen Platte 11 des Druck- sensorelements. Der zweite Bereich 42 des Hohlraums 40 ist stattdessen zylinderförmig ausgebildet.

Eine Längsrichtung des ersten und zweiten Bereichs 41, 42 des Hohlraums 40 erstreckt sich in dem Trägerelement 20 senkrecht zu der Fläche der biegsamen Platte 11 des Drucksensorelements 10. Wie anhand der Figuren 1 und 2 zu erkennen ist, ist eine Querschnittsfläche des ersten Bereichs 41 des Hohlraums 40 an jeder Position entlang der Längsrichtung des ersten Bereichs 41 des Hohlraums 40 mindestens so groß wie die Fläche der biegsamen Platte 11 des Drucksensorelements 10. Eine Quer ^¬ schnittsfläche des zweiten Bereichs 42 des Hohlraums 40 ist an jeder Position entlang der Längsrichtung des zweiten Bereichs 42 des Hohlraums 40 größer als die Fläche der biegsa- men Platte 11 des Drucksensorelements 10. Der Hohlraum 40 verbreitert sich somit ausgehend von einem Bereich unmittel ^¬ bar unterhalb der Biegeplatte 11 immer weiter in Richtung der entfernter liegenden Bereiche. Gemäß einer möglichen Ausführungsform umfasst das Drucksensorsystem 1 ein kompressibles Element 50, das in dem zwei ^¬ ten Bereich 42 des Hohlraums 40 angeordnet ist. Das kompres- sible Element 50 ist dazu ausgebildet, beim Einfrieren des Mediums von dem Medium komprimiert zu werden. Das kompressib- le Element kann insbesondere als ein geschlossen poriger Schaum, beispielsweise als ein Silikonschaum, ausgebildet sein. Durch Integration des kompressiblen Elements 50 in den Hohlraum 40, insbesondere den zweiten Bereich 42 des Hohlraums 40, kann ein festes Wiederlager im Hohlraum 40 bezie- hungsweise in dem Strömungskanal 30 beim Einfrieren des Medi ^¬ ums verhindert werden. Gemäß der in den Figuren 1 und 2 gezeigten Ausführungsform des Drucksensorsystems 1 ist das kompressible Element 50 zy ^¬ linderförmig ausgebildet. Das kompressible Element 50 ist in dem zweiten Bereich 42 des Hohlraums 40 unter dem ersten Be- reich 41 des Hohlraums angeordnet. Durch das kompressible Element 50 wird somit ein Abschluss des Bereiches unterhalb des sensitiven Elements 10 gebildet. Insbesondere kann das kompressible Element 50 mittig unter dem trichterförmigen ersten Bereich 41 des Hohlraums 40 beziehungsweise des trich- terförmigen Teilabschnitts 31 des Strömungskanals 30 angeord ^¬ net sein.

Eine Querschnittsfläche des zweiten Bereichs 42 des Hohlraums 40 ist größer als die Querschnittsfläche der Öffnung des trichterförmigen ersten Bereichs 41 des Hohlraums. Des Weite ^¬ ren ist eine Querschnittsfläche des kompressiblen Elements 50 mindestens so groß wie die Querschnittsfläche der Öffnung des trichterförmigen ersten Bereichs 41 des Hohlraums 40. Speziell bei der in den Figuren 1 und 2 gezeigten Ausführungsform des Drucksensorsystems ist die Querschnittsfläche des kom ^¬ pressiblen Elements 50 größer als die Querschnittsfläche der Öffnung des trichterförmigen ersten Bereichs 41 des Hohlraums 40. Der erste Bereich 41 des Hohlraums 40 ist daher durch das kompressible Element 50 abgeschlossen. Wie anhand der Figuren 1 und 2 weiter zu erkennen ist, ist die Querschnittsfläche des kompressiblen Elements 50 kleiner als die Querschnitts ^¬ fläche des zweiten Bereichs 42 des Hohlraums 40.

Der Strömungskanal 30 weist in dem Trägerelement 20 mindes- tens einen weiteren Teilabschnitt 32 auf, der sich an den mindestens einen Teilabschnitt 31 des Strömungskanals an ^¬ schließt. Der weitere Teilabschnitt 32 des Strömungskanals 30 liegt zwischen dem kompressiblen Element 50, insbesondere ei- ner äußeren Oberfläche des kompressiblen Elements 50, und ei ^¬ ner den zweiten Bereich 42 des Hohlraums 40 begrenzenden Innenwand 21 des Trägerelements 20. Im Bereich 42 des Hohlraums stellt eine äußere Oberfläche des kompressiblen Elements 50 somit einen seitlichen Abschluss der Medienzuführungskanäle 30 dar.

Da der Strömungskanal im zweiten Bereich 42 des Hohlraums zwischen der Innenwand 21 des Trägerelements 20 und der äuße- ren Oberfläche des kompressiblen Elements 50 gebildet wird, entstehen in dem Drucksensorsystem abgewinkelte Kanäle für die Medienzuführung. Im Falle des Einfrierens des Mediums wird somit die Höhe der Eissäule unterhalb des Drucksensorel ^¬ ements 10 minimiert.

Das Drucksensorsystem 1 umfasst weiter ein Gehäuse 60, in dem das Drucksensorelement 10 und das Trägerelement 20 angeordnet sind. Der Strömungskanal 30 als auch der Hohlraum 40 erstre ^¬ cken sich in das Gehäuse 60. Die Anbindung des Trägerelements 20 zu dem Gehäuse 60 kann über ein radiales Dichtungssystem erfolgen. Bei der in Figur 1 dargestellten Ausführungsform des Drucksensorsystems ist zwischen dem Trägerelement 20 und dem Gehäuse 60 des Drucksensors ein Dichtungselement 70 vor ^¬ handen. Das Dichtungselement 70 kann beispielsweise als ein O-Ring ausgebildet sein.

Der Hohlraum 40 weist neben dem ersten und zweiten Bereich 41, 42 einen weiteren dritten Bereich 43 auf, der sich an den zweiten Bereich 42 des Hohlraums 40 anschließt. Der dritte Bereich 43 ist von einer Innenwand 61 des Gehäuses 60 umge ^¬ ben. Das kompressible Element 50 weist einen ersten Abschnitt 51 auf, der in dem zweiten Bereich 42 des Hohlraums 40 ange ^¬ ordnet ist. Des Weiteren weist das kompressible Element 50 einen zweiten Abschnitt 52 auf, der in dem dritten Abschnitt 43 des Hohlraums 40 angeordnet ist. Die Querschnittsfläche des zweiten Abschnitts 52 des kompressiblen Elements 50 ent ^¬ spricht der Querschnittsfläche des ersten Abschnitts 51 des kompressiblen Elements. Das kompressible Element ist daher als ein zylinderförmiger kompressibler Körper ausgebildet, der in dem zweiten Bereich 42 und in dem dritten Bereich 43 des Hohlraums 40 angeordnet ist. Die Querschnittsfläche des zweiten Abschnitts 52 des kompres ^¬ siblen Elements 50 ist kleiner als die Querschnittsfläche des dritten Bereichs 43 des Hohlraums 40. Dadurch wird ein sich in das Gehäuse 60 erstreckender Teilabschnitt 33 des Strö ^¬ mungskanals 30 gebildet, der zwischen dem zweiten Abschnitt 52 des kompressiblen Elements 50, insbesondere der äußeren Oberfläche des zweiten Abschnitts 52 des kompressiblen Ele ^¬ ments, und der Innenwand 61 des Gehäuses 60, die den dritten Bereich 43 des Hohlraums 40 begrenzt, verläuft. Der Teilab ^¬ schnitt 33 des Strömungskanals 30 verläuft somit auch in dem Gehäuse 60. Zum Einleiten des Mediums in den Strömungskanal 30 weist das Gehäuse 60 einen Druckanschluss 62 auf.

Durch Integration der Medienzuführungskanäle in das Sensorge ^¬ häuse 60 und in das Trägerelement 20 kann das kompressible Element 50 mit einer einfachen Formgebung, beispielsweise

2 ₂ dimensional mit der in Figur 1 gezeigten zylinderförmigen Form, realisiert werden. Formgebung und Auslegung des Trägerelements 20 und des Gehäuses 60 sind so gewählt, dass typische große Toleranzen des kompressiblen Elements 50 im Druck- und Temperaturbereich nicht zur Einschränkung der Funktion führen. Das Gehäuse 60 kann als ein Kunststoffgehäuse ausgebildet sein. Das Drucksensorelement 10 kann aus Silizium ausgebildet sein. Das Trägerelement 20 weist vorzugsweise ein keramisches Material auf. Durch Anpassung des thermischen Ausdehnungsko- effizienten des Trägerelements 20 an das Silizium des Drucksensorelements 10 kann auf einen zusätzlichen Glasgegenkörper zwischen dem Silizium-Sensorelement 10 und dem keramischen Trägerelement 20 verzichtet werden. Dadurch gibt es auf Sen ^¬ sorelementebene keinen Hinterschnitt. Das Drucksensorelement 10 kann mit einem mechanisch festen und medienresistenten

Verbindungsmaterial an das Trägerelement 20 angekoppelt wer ^¬ den. Insbesondere kann das Drucksensorelement 10 durch eine Glaslotschicht 80 mit dem Trägerelement 20 verbunden sein. Durch die Verwendung von Glaslot kann im Gegensatz zu metal- lischen Loten auf eine Metallisierung des Trägerelements 20 und des Drucksensorelements 10 verzichtet werden.

Gemäß einer möglichen Ausführungsform kann die Rückseite des Drucksensorelements 10, die dem mindestens einen Teilab- schnitt 31 des Strömungskanals 30 zugewandt ist, eine Passi- vierungsschicht 90 aufweisen. Durch eine derartige Passivie ^¬ rung der Rückseite des Sensorelements 10 kann die Biegeplatte 11 vor einem aggressiven Medium, beispielsweise einer Harnstofflösung, geschützt werden.

Das Drucksensorsystem kann je nach Ausführungsform zur Messung eines Absolutdrucks oder eines Relativdrucks verwendet werden. Bei einer Absolutdruckmessung werden alle Drücke auf eine Druckreferenz bezogen. Eine derartige Ausgestaltungsform ist insbesondere in Figur 2 gezeigt. Bei der in Figur 2 ge ^¬ zeigten Ausführungsform ist auf dem Drucksensorelement 10, insbesondere über der Biegeplatte 11, eine Glaskappe 12 ange ^¬ ordnet. Zwischen der biegsamen Platte 11 und der Glaskappe 12 ist eine Kavität, in der ein Referenzdruck, beispielsweise ein Vakuum, herrscht.

Im Gegensatz zur Absolutdruckmessung entfällt bei einem

Drucksensorelement, das zur Relativdruckmessung ausgelegt ist, die Glaskappe 12. Bei der Relativdruckmessung wird der Druck des Messmediums relativ zum Umgebungsdruck gemessen. Das Drucksensorsystem 1 ist in diesem Fall derart ausgebildet, dass von oben der Atmosphärendruck auf die biegsame Platte 11 und von unten der Druck des Mediums auf die biegsa ^¬ me Platte 11 einwirkt.

Gemäß einer möglichen Ausführungsform weist das Drucksensorsystem 1 einen Verdrahtungsträger 100 auf, der in Bezug auf das Trägerelement 20 als ein separater Träger beziehungsweise Bauteilkörper ausgebildet ist. Das Drucksensorsystem 1 umfasst einen Signalwandlerbaustein 110 zur Auswertung der Widerstandsänderung des Drucksensorelements aufgrund des ein ^¬ wirkenden Drucks des Mediums. Der Signalwandlerbaustein 110 verstärkt, normiert und kompensiert das Temperaturverhalten. Zur externen Kontaktierung umfasst das Drucksensorsystem 1 ein Kontaktierungselement 120, das in einem Steckergehäuse 130 angeordnet ist. Bei der in den Figuren 1 und 2 gezeigten Ausführungsform des Drucksensorsystems 1 mit separatem Trägerelement 20 und Ver ^¬ drahtungsträger 100 ist der Signalwandlerbaustein 110 auf dem Verdrahtungsträger 100 angeordnet. Der Verdrahtungsträger 100 ist auf dem Trägerelement 20 angeordnet. Das Trägerelement 20 ragt insbesondere in eine Aussparung des Verdrahtungsträgers 100 hinein. Insbesondere bei einer Ausführungsform mit einem von dem Trägerelement 20 separaten Verdrahtungsträger 100 ergibt sich ein großer Gestaltungsspielraum bei der Materialauswahl des Verdrahtungsträgers, da der Verdrahtungsträger nicht durch die hohen Temperaturen, die beim Glaslotprozess auftreten, geführt werden muss. Der Einsatz verschiedener Verschaltungen und Signalwandlerbausteine auf angepassten Verdrahtungsträ ^¬ gern kann ohne Änderung des grundsätzlichen Aufbaus des

Drucksensorsystems erfolgen. Insbesondere kann das Trägerele- ment 20 mit dem Strömungskanal 30 unverändert bleiben.

Gemäß einer anderen Ausführungsform des Drucksensorsystems 1 kann auf den separaten Verdrahtungsträger 100 gänzlich verzichtet werden. Bei dieser Ausgestaltungsform werden die elektrischen Bauelemente, insbesondere der Signalwandlerbau- stein 110, unmittelbar auf dem Trägerelement 20 angeordnet und elektrisch über Drahtbondverbindungen verbunden.

Bezugs zeichenliste

1 DrucksensorSystem

10 Drucksensorelement

11 biegsame Platte

20 Trägerelement

21 Innenwand des Trägerelements

30 Strömungskanal

31, 32, 33 Teilabschnitte des Strömungskanals 40 Hohlraum

41, 42, 43 Bereiche des Hohlraums

50 kompressibles Element

60 Gehäuse

70 Dichtungselement

80 GlaslotSchicht

90 PassivierungsSchicht

100 Verdrahtungsträger

110 Signalwandlerbaustein

120 Kontaktierungselement

130 Steckeranschluss