| JP07306103 | SEMICONDUCTOR PRESSURE GAGE |
| WO/2000/014500 | PRESSURE AND TEMPERATURE TRANSDUCER |
| JP11132885 | PRESSURE DETECTOR |
HÜGEL, Michael (Am Buchenrain 11, Lörrach, 79541, DE)
| Patentansprüche Druckmessaufnehmer umfassend: eine im Wesentlichen zylindrische Druckmesszelle, ein Messzellengehäuse mit einer im Wesentlichen zylindrischen Messzellenkammer, wobei die Messzellenkammer eine Öffnung aufweist, durch welche die Messzellenkammer mit einem Mediendruck beaufschlagbar ist, wobei das Messzellengehäuse eine ringförmige axiale Anschlagfläche aufweist, welche die Öffnung umgibt, und welche sich von einer zylindrischen Wand der Messzellenkammer radial einwärts erstreckt; einen Dichtring; eine Einspannvorrichtung; und einen Winkelring zum positionieren der Druckmesszelle und des Dichtrings in der Messzellenkammer, wobei der Dichtring auf der axialen Anschlagfläche aufliegt, wobei die Druckmesszelle mit ihrer frontseitigen Stirnfläche auf den Dichtring aufliegt, wobei die Einspannvorrichtung auf der rückseitigen Stirnfläche der Druckmesszelle aufliegt, um die Druckmesszelle gegen den Dichtring axial einzuspannen, wobei der Winkelring in einem Ringspalt zwischen der Druckmesszelle und einer Wand der Messzellenkammer angeordnet ist und eine sich radial einwärts erstreckende Schulter aufweist, welche einen Randbereich der frontseitigen Stirnfläche der Druckmesszelle umgreift, wobei die radiale Schulter einen radialen Anschlag definiert, um den Dichtring zwischen der Druckmesszelle und der axialen Anschlagfläche zu positionieren, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkelring mindestens eine erste Komponente umfasst, die einen formsteifen Werkstoff aufweist, und mindestens eine zweite Komponente, welche einen elastischen Werkstoff aufweist, wobei die mindestens eine formsteife Komponente die radiale Schulter bildet und sich in axialer Richtung in den Ringspalt erstreckt, wobei die zweite Komponente mit der ersten Komponente verbunden ist und sich in dem Ringspalt zumindest abschnittsweise radial zwischen der Mantelfläche der Druckmesszelle und der Wand der Messzellenkammer erstreckt, um die Druckmesszelle bezüglich der Messzellenkammer zu positionieren. Druckmessaufnehmer nach Anspruch 1 , wobei die erste Komponente einen im Wesentlichen zylindrischen Abschnitt aufweist, von dem sich an einem Endabschnitt die radiale Schulter radial einwärts erstreckt. Druckmessaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, wobei der zylindrische Abschnitt einen oder mehrere Durchbrüche aufweist, durch welche sich die zweite Komponente erstreckt, um die zweite Komponente mit der ersten Komponente zu verbinden. Druckmessaufnehmer nach Anspruch 3, wobei die Durchbrüche, Bohrungen oder axiale Schlitze in dem zylindrischen Abschnitt umfassen. 5. Druckmessaufnehnner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die zweite Komponente ein Elastomer mit einer Härte von nicht mehr als 50 Shore A aufweist. Druckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Elastomer der zweiten Komponente VMQ oder EPDM aufweist. Druckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die erste Komponente einen organischen Werkstoff, insbesondere ein Elastomer, bevorzugt PEEK, PS oder PAxx aufweist. Druckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Druckmesszelle eine keramische Druckmesszelle ist, welche einen Grundkörper und eine Messmembran aufweist, wobei die Messmembran entlang ihres Randes mittels einer ringförmigen Fügestelle druckdicht mit dem Grundkörper verbunden ist, wobei der Dichtring in dem mit der Fügestelle fluchtenden Bereich der Messmembran auf der Messmembran aufliegt. 9. Druckmessaufnehmer nach Anspruch 8, wobei der Dichtring ein Elastomer aufweist. Druckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Einspannvorrichtung einen Schraubring umfasst, welcher auf seiner Mantelfläche ein Gewinde aufweist, und wobei das Gehäuse ein zu dem Gewinde des Schraubrings komplementäres Innengewinde aufweist, in welches der Schraubring eingeschraubt ist, um die Druckmesszelle einzuspannen. 1 1 . Druckmessaufnehmer nach Anspruch 10, wobei zwischen dem Schraubring und der Druckmesszelle mindestens ein Entkopplungskörper angeordnet ist. Druckmessaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das zweite Element mehrere Federelemente umfasst, die in dem Ringspalt zur Positionierung der Druckmesszelle angeordnet sind. Druckmessaufnehmer nach Anspruch 12, wobei der zylindrische Abschnitt des ersten Elements nicht mehr als 70 % vorzugsweise nicht mehr als 50% des Volumens des Ringspalts zwischen der Druckmesszelle und der Wand der Messzellenkammer ausfüllt, und wobei die Federelemente nicht mehr als 80 %, vorzugsweise nicht mehr als 60 % und besonders bevorzugt nicht mehr als 50 % des verbleibenden Volumen des Ringspalts ausfüllen. 14. Druckmessaufnehmer nach Anspruch 12 oder 13, wobei die Federelemente Stege aufweisen, welche sich in axialer Richtung erstrecken. 15. Druckmessaufnehnner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der radiale Anschlag für den Dichtring eine toroidale Anlagefläche für den Dichtring aufweist. |
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Druckmessaufnehmer mit einer zylindrischen Druckmesszelle. Gattungsgemäße Druckmessaufnehmer weisen eine keramische Druckmesszelle in einem Gehäuse auf, wobei die Druckmesszelle in einer Messzellenkammer in dem Gehäuse angeordnet ist, wobei die Messzellenkammer eine Öffnung aufweist, durch welche die Druckmesszelle mit einem Mediendruck beaufschlagbar ist, wobei das Gehäuse eine sich radial einwärts erstreckende ringförmige Schulter aufweist, welche die Gehäuseöffnung umgibt, und welche eine axiale Anschlagfläche für einen Dichtring bildet, auf weicher ein Dichtring aufliegt, gegen den die Druckmesszelle mit einer Eigenspannvorrichtung axial eingespannt ist. Zur Positionierung der Druckmesszelle und des Dichtrings im Gehäuse werden Winkelringe eingesetzt, welche in einem Ringspalt zwischen der Mantelfläche der Druckmesszelle und der Gehäusewand eingesetzt sind, und welche den Rand der offnungsseitigen Stirnfläche der Druckmesszelle umgreifen. Ein gattungsgemäßer Druckmessaufnehmer ist beispielsweise im europäischen Patent EP 0 594 808 B1 offenbart, wobei der dort beschriebene Winkelring insbesondere dazu dient, einen modularen Aufbau des Gehäuses zu ermöglichen, bei dem die axiale Schulter an einem Prozessanschlusskörper ausgebildet ist, welcher die Gehäuseöffnung aufweist, durch welche die Druckmesszelle mit einem Druck zu beaufschlagen ist, wobei der Anschlusskörper auf seiner Mantelfläche ein Gewinde aufweist, welches in ein komplementäres Innengewinde in dem Gehäuse eingereift, wobei das Innengewinde in einem frontseitigen Endabschnitt der Sensorkammer angeordnet ist. Die Aufgabe des Winkelrings ist in diesem Zusammenhang zweierlei, nämlich einerseits das axiale und radiale Positionieren der Druckmesszelle in dem Gehäuse und andererseits das Halten des O-Rings vor der Montage des An sch l u ss körpers . I n sbesondere das Spa n n u ngsverh alten der Druckmesszelle in dem Gehäuse setzt jedoch einen hinreichend elastischen Werkstoff für den Winkelring voraus, welches hinsichtlich der radialen Abstützung des Dichtrings durch den Winkelring Kompromisse erfordert, da Dichtring und Winkelring Werkstoffe ähnlicher Härte aufweisen , und insofern der Win kelring kaum zur Abstützu ng des Dichtrings unter Druckbelastung geeignet erscheint.
Bei kleineren Druckmesszellen ist es jedoch erforderlich, die Position des Dichtrings genau zu definieren, da die relative Bedeutung einer radialen Versch iebung des Dichtrings m it abnehmendem Durchmesser der Druckmesszelle an Bedeutung gewinnt. Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Druckmessaufnehmer bereitzustellen, der die Nachteile des Stands der Technik überwindet, also einerseits die Druckmesszelle spannungsfrei in der Messzellenkammer l agert u nd andererseits den Dichtring auch unter Druckbelastung radial definiert position iert. Die Aufgabe wird erfindu ngsgemäß gelöst du rch den Druckmessaufnehmer gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 .
Der erfindungsgemäße Druckmessaufnehmer umfasst: eine im
wesentlichen zylindrische Druckmesszelle, ein Messzellengehäuse mit einer zumindest abschnittsweise im wesentlichen zylindrischen
Messzellenkammer; einen Dichtring; eine Einspannvorrichtung; und einen Winkelring zum positionieren der Druckmesszelle und des Dichtrings in der Messzellenkammer, wobei die Messzellenkammer eine Öffnung aufweist, durch welche die Messzellenkammer mit einem Mediendruck beaufschlagbar ist, wobei das Messzellengehäuse eine ringförmige axiale Anschlagfläche aufweist, welche die Öffnung umgibt, und welche sich von einer zylindrischen Wand der Messzellenkammer radial einwärts erstreckt, wobei der Dichtring auf der axialen Anschlagfläche aufliegt, wobei die Druckmesszelle mit einer frontseitigen Stirnfläche auf den Dichtring aufliegt, wobei die Einspannvorrichtung auf einer rückseitigen Stirnfläche der Druckmesszelle aufliegt, um die Druckmesszelle gegen den Dichtring axial einzuspannen, wobei der Winkeling in einem Ringspalt zwischen der Druckmesszelle und einer Wand der Messzellenkammer angeordnet ist und eine sich radial einwärts erstreckende Schulter aufweist, welche einen Randbereich der frontseitigen Stirnfläche der Druckmesszelle umgreift, wobei die radiale Schulter einen radialen Anschlag definiert, um den
Dichtring zwischen der Druckmesszelle und der axialen Anschlagfläche zu positionieren, wobei erfindungsgemäß der Winkelring mindestens eine erste Komponente umfasst, die einen formsteifen Werkstoff aufweist, und mindestens eine zweite Komponente, welche einen elastischen Werkstoff aufweist, wobei die mindestens eine formsteife Komponente die radiale Schulter bildet und sich in axialer Richtung in den Ringspalt erstreckt, wobei die zweite Komponente mit der ersten Komponente verbunden ist und sich in dem Ringspalt zumindest abschnittsweise radial zwischen der Mantelfläche der Druckmesszelle und der Wand der Messzellenkammer erstreckt, um die Druckmesszelle bezüglich der Messzellenkammer zu positionieren.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Komponente einen im Wesentlichen zylindrischen Abschnitt auf, von dem sich an einem
Endabschnitt die radiale Schulter radial einwärts erstreckt, wobei der zylindrische Abschnitt einen oder mehrere Durchbrüche aufweist, durch welche sich die zweite Komponente erstreckt, um die zweite Komponente mit der ersten Komponente zu verbinden. In einer Ausgestaltung dieser Weiterbildung der Erfindung umfassen die Durchbrüche, Bohrungen oder axiale Schlitze in dem zylindrischen
Abschnitt. In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst die zweite Komponente ein Elastomer mit einer Härte von nicht mehr als 50 Shore A. Das Elastomer kann insbesondere VMQ oder EPDM aufweisen. In einer Weiterbildung der Erfindung weist die erste Komponente einen organischen Werkstoff, insbesondere ein Elastomer auf. Das Polymer der ersten Komponente kann insbesondere PEEK, PS oder PA xx aufweisen, insbesondere PA 6, PA 66, PA 12, PA MACM12, PA 6-3-T. Die Druckmesszelle kann insbesondere eine keramische Druckmesszelle sein, welche einen Grundkörper und eine Messmembran aufweist, wobei die Messmembran entlang ihres Randes mittels einer ringförmigen Fügestelle druckdicht mit dem Grundkörper verbunden ist, wobei der Dichtring in dem mit der Fügestelle fluchtenden Bereich der
Messmembran auf der Messmembran aufliegt. Der Dichtring kann insbesondere ein Elastomer aufweisen.
Die Einspannvorrichtung kann gemäß einer Weiterbildung der Erfindung einen Schraubring umfassen, welcher auf seiner Mantelfläche ein
Gewinde aufweist, und wobei das Gehäuse ein zu dem Gewinde des Schraubrings komplementäres Innengewinde aufweist, in welches der Schraubring eingeschraubt ist, um die Druckmesszelle einzuspannen.
Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist zwischen dem Schraubring und der Druckmesszelle mindestens ein Entkopplungskörper angeordnet. Der Entkopplungskörper dient insbesondere dazu Radialspannungen aufgrund unterschiedlicher Wärmeausdehnungskoeffizienten des
Materials des Schraubrings einerseits und des Materials der
Druckmesszelle andererseits, de über Reibschluss in die Druckmesszelle eingeleitet werden könnten, von der Druckmesszelle fernzuhalten. In einer derzeit bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist der Entkopplungskörper den gleichen Werkstoff auf wie die Druckmesszelle bzw. wie der Grundkörper der Druckmesszelle. Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung umfasst die zweite Komponente des Winkelrings mehrere Federelemente, die in dem Ringspalt zur
Positionierung der Druckmesszelle angeordnet sind.
In einer Weiterbildung der Erfindung füllt der zylindrische Abschnitt des ersten Elements nicht mehr als 70 % vorzugsweise nicht mehr als 50% des Volumens des Ringspalts zwischen der Druckmesszelle und der Wand der Messzellenkammer aus, wobei die Federelemente nicht mehr als 80 %, vorzugsweise nicht mehr als 60 % und besonders bevorzugt nicht mehr als 50 % des verbleibenden Volumen des Ringspalts ausfüllen. Das verbleibende Volumen des Ringspalts ist die Differenz zwischen dem Gesamtvolumen des Ringspalts und dem Volumen des zylindrischen Abschnitts des ersten Elements in dem Ringspalt.
Die Federelemente umfassen in einer Ausgestaltung der Erfindung, Stege, welche sich in axialer Richtung erstrecken.
In einer Ausgestaltung der Erfindung weist der radiale Anschlag für den Dichtring eine toroidale Anlagefläche für den Dichtring aufweist. Durch die Kontrolle der lateralen Position der Druckmesszelle dient der Winkelring weiterhin dem Ziel die Spannungsfestigkeit von beispielsweise 600V zwischen der Schaltungsmasse der Druckmesszelle und der Masse des Gehäuses (Erde) zu gewährleisten. Insbesondere eine metallische Fügestelle zwischen der Messmembran und dem Grundkörper der Druckmesszelle, die sich bis zur Mantelfläche der Druckmesszelle erstreckt, ist auf Schaltungsmasse der Druckmesszelle gelegt. Insofern ist es wichtig, die Mindestabstände zwischen der Mantelfläche der Druckmesszelle und dem Gehäuse einzuhalten, was durch den Winkelring erreicht wird. Die Erfindung wird nun anhand der in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigt:
Fig.1: einen Längsschnitt durch einen Abschnitt eines erfindungsgemäßen Druckmessaufnehmers;
Fig.2: ein Ausführungsbeispiel eines Winkelrings eines erfindungsgemäßen Druckmessaufnehmers;
Fig.3: die erste Komponente des Winkelrings aus Fig.2; und Fig.4: die zweite Komponente des Winkelrings aus Fig.2. Der in Fig. 1 dargestellte Druckmessaufnehmer 1 umfasst eine Druckmesszelle 2, welche einen zylindrischen Grundkörper 3 und eine Messmembran 4 aufweist, wobei die Messmembran mit dem Grundkörper entlang einer umlaufenden ringförmigen Fügestelle 5 druckdicht verbunden ist. Die Messmembran und der Grundkörper weisen vorzugsweise einen keramischen Werkstoff, insbesondere Korund auf, wobei die Fügestelle beispielsweise ein Aktivhartlot, insbesondere ein Zr- Ni-Ti-Aktivhartlot oder Glas umfassen kann.
Die Druckmesszelle ist in einem Gehäuse 6 angeordnet, welches in seinem Inneren eine zylindrische Messzellenkammer 7 aufweist, die durch eine stirnseitige Öffnung 8 mit einem Druck beaufschlagbar ist, wobei die stirnseitige Öffnung 8 durch eine radiale Schulter 9 begrenzt ist, welche sich von der zylindrischen Wand der Messzellenkammer 7 radial einwärts erstreckt. Die radiale Schulter 9 definiert einen axialen Anschlag 10, an dem sich ein elastischer Dichtring, insbesondere ein O-Ring 11 abstützt. Die Druckmesszelle 2 ist zwischen dem Dichtring 11 und einem Einspannring 12 axial in der Messzellenkammer eingespannt, wobei der Einspannring 12 auf einem Abschnitt seiner Mantelfläche ein Außengewinde 13 aufweist, welches in ein komplementäres Innengewinde 1 4 im Gehäuse 6 eingereift. Zwischen dem Einspannring 1 2 und der Druckmesszelle ist ein Entkopplungsring 15 angeordnet und eingespannt, wobei der Entkopplungsring 15 insbesondere den gleichen Werkstoff wie der Grundkörper der Grundmesszelle 2 aufweist. Zur Positionierung der Druckmesszel le 2 in der Messzellen kam mer 7 ist ein Win kel ring 20 vorgesehen, welcher einen zyl indrischen Abschnitt 21 und eine rad iale Sch u lter 22 aufweist, wobei d u rch d ie rad ial e Sch ulter 22 an einer Stirnseite des zylindrischen Abschnitts 21 radial einwärts erstreckt. Der Win kelring ist in einem Ringspalt angeordnet, welcher zwischen der Druckmesszelle 2 und der Wand der Messzellenkammer 7 gebildet ist, wobei der Winkelring mit seiner radialen Schulter 22 den Randbereich der Messmembran 4 umgreift. Die radiale Schulter 22 weist eine Anlagefläche 24 auf, an welcher sich der Dichtring 1 1 radial abstützt. Der Winkelring 20 umfasst eine erste Komponente 26, die ein unter den auftretenden Kräften im Wesentl ichen formstabil es Elastomer aufweist, u nd ei ne zweite Komponente 28, welches ein deutlich weicheres Elastomer aufweist, wobei die erste Komponente eine Grundstruktur eines Winkelrings bildet, an welcher die zweite Komponente befestigt ist.
Die radialen Schulter 22 dient zur Abstützung des Dichtrings, wobei sich die radiale Schulter zwischen der Anlagefläche 24 für den Dichtring 1 1 und einem Mantelflächenabschnitt 32 der ersten Komponente erstreckt, wobei der Mantelflächenabschnitt in Spielpassung in dem Gehäuse positioniert ist und somit die Position des Dichtrings bezüglich des
Gehäuses hinreichend genau definiert, wobei der Dichtring in dieser Position auch unter Druckbeaufschlagung durch die radiale Schulter 22 an der Anlagefläche 24 radial abgestützt wird. Für die Toleranz des Durchmessers d des Winkelrings im Bereich der Spielpassung gilt: do - 0,05 mm < d < d 0 + 0,15 mm, wobei do der Solldurchmesser ist. Die Toleranzen des Spalts betragen dementsprechend den halben Wert der Durchmessertoleranz.
Das in Fig. 2 dargestellte Ausführungsbeispiel eines Winkelrings 20 weist einen zylindrischen Abschnitt 21 und eine radiale Schulter 22 auf, wobei der Winkelring in eine erste Komponente 26 auf seinem vergleichsweise h arten El astom er u nd ei n e zweite Kom pon ente 28 aus einem vergleichsweise weichen Elastomer aufweist. Die erste Komponente 26 definiert eine zylindrische Grundstruktur und eine radiale Schulter 22 bis zu deren radialer Anlagefläche 24, wobei die zweite Komponente 28 axiale Stege 24 umfasst, welche Durchbrüche der ersten Komponente 26 durchdringen , und wobei d ie axialen Stege 34 über einen Ring 36 miteinander verbunden sind, welcher einen Teil der radialen Schulter 22 bildet.
Die Druckmesszelle wird in diesen Winkelring eingesetzt, wobei die laterale Position der Druckmesszelle in der Messzellen kammer des Gehäuses durch die Stege 34 definiert ist, wobei die Stege 34 wiederum an der Gehäusewand der Messzellenkammer anliegen.
Fig. 3 zeigt nun eine Einzeldarstellung der ersten Komponente 26 des Winkelrings, wobei hierin Bohrungen 28 und 40 zu erkennen sind, welche d ie Durchbrüche bilden , durch welche sich die Stege 34 in rad ialer Richtung erstrecken, um diese bezügl ich der ersten Komponente zu fixieren. Fig. 4 zeigt schließlich eine Einzeldarstellung der zweiten Komponente des erfindungsgemäßen Winkelrings, wobei die Stege 34 über eine umlaufenden Ring 36 miteinander verbunden sind. Der Winkelring wird hergestellt, indem die erste Komponente in einem Spritzgussverfahren mit dem Material der zweiten Komponente umspritzt wird.
Im Ergebnis offenbart die vorliegende Erfindung einen Druckmessaufnehmer mit einer verbesserten Positionierung des Dichtrings im Gehäuse, was die Voraussetzung für eine gleich bleibende Messgenauigkeit bei verkleinerten Messzellen ist.