Mikroelektronische Sensoren für die Temperatur-und Druckmessung finden immer weitere Verbreitung. Temperatursensoren verwenden im allgemeinen auf Halbleitersubstraten integrierte dotierte Widerstände oder Dioden. Die elektri- schen Eigenschaften dieser Bauelemente haben eine wohldefinierte Tempera- turabhängigkeit, was für die Funktion als Sensor ausgenutzt wird. Derartige Sensoren eignen sich für die Temperaturmessung von Gasen, Flüssigkeiten und auch von Festkörperoberflächen. Halbleiter-Drucksensoren werden in letzter Zeit zunehmend in der Kraftfahrzeugtechnik eingesetzt. Sie dienen zur Steue- rung des Zündzeitpunktes und der Kraftstoffeinspritzung. Die Funktion solcher Drucksensoren basiert üblicherweise auf einer dünnen Halbleitermembran, auf deren Oberfläche Dehnungselemente integriert sind. Bei einer Druckbeauf- schlagung wird die Membran ausgelenkt, worauf die auf der Membran befindli- chen elektrischen Bauelemente reagieren. Derartige mikroelektronische Druck- sensoren eignen sich allerdings ausschließlich für die hydrostatische Druckmes- sung. Durch die mechanischen Eigenschaften der dünnen Halbleitermembran ist der Druckmeßbereich mehr oder weniger eingeschränkt. In der Regel muß ein nicht unerheblicher meßelektronischer Aufwand betrieben werden, um die ebenfalls vorhandene Temperaturabhängigkeit der mikroelektronischen Bau- elemente bei der Druckmessung zu berücksichtigen.

Einen mikroelektronischen Kraft-und Druckmeßwandler schlägt beispielsweise die US-4 410 871 vor. Es handelt sich hierbei um ein Sensorelement der zuletzt

beschriebenen Art mit einer dünnen Halbleitermembran mit darauf integrierten piezoresistiven Elementen. Eine spezielle Wheatstone-Brückenschaltung, die ebenfalls auf dem Halbleitersubstrat integriert ist, wird dabei zur Messung der Widerstandsänderung der piezoresistiven Elemente benutzt. Um der Halbleiter- membran die Durchbiegung bei einer Krafteinwirkung zu ermöglichen, ist diese über einem ringförmigen Gehäuse angeordnet. Die piezoresistiven Sensoren werden auf der kreisförmigen Membran durch einen Diffusionsprozeß herge- stellt. Zur Kontaktierung dienen vergrabene Kontakte, die mittels lonenimplan- tation erzeugt werden.

Der vorbekannte Halbleiter-Drucksensor hat eine Reihe von Nachteilen : Zum einen ist, wie oben bereits erwähnt, der Meßbereich durch die Dimensionierung der Membran stark eingeschränkt. Derartige Sensoren lassen sich für die Mes- sung von mittleren Drücken bis maximal einigen Kilobar verwenden. Höhere Drücke führen zur Zerstörung der empfindlichen Sensorelemente. Nachteilig ist des weiteren, daß zur Herstellung solcher Drucksensoren eine Vielzahl halblei- tertechnologischer Prozeßschritte benötigt wird. Schon allein die Herstellung der mikromechanischen Membran erfordert anisotrope Strukturierungstechniken und ist dadurch extrem aufwendig. Hinzu kommt die Integration der verschie- denen meßelektronischen Elemente, was mehrere Maskierungsschritte mit an- schließender Diffusion bzw. Ionenimplantation erfordert. Dadurch wird der vor- bekannte Drucksensor zu einem extrem teuren Spezialbauteil, dem nur wenige Einsatzbereiche, etwa in der Kraftfahrzeugtechnik, vorbehalten sind.

Entsprechend liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen universell einsetzbaren Druck-, Kraft-und Temperatursensor bereitzustellen, der zu geringen Kosten in großen Stückzahlen herstellbar ist. Der Sensor soll über einen großen Meßbereich, was sowohl die Temperaturmessung als auch die Druckmessung angeht, verfügen. Insbesondere soll sich der Sensor dafür eig- nen, Drücke von einigen GPa und darüber zu messen. Der eigentliche Meßvor- gang soll problemlos mittels einer technisch einfachen Auswerte-Elektronik möglich sein. Des weiteren soll der Sensor unempfindlich und mechanisch stabil sein, so daß die Verwendung eines zusätzlichen Gehäuses überflüssig wird. Es soll auf diese Weise ein problemlos handhabbarer Prüfkörper zur Verfügung

stehen, der für eine ortsaufgelöste Druck-, Kraft-und Temperaturmessung ge- eignet ist.

Diese Aufgabe wird bei einem Mikrosensor der eingangs genannten Art durch wenigstens zwei in unterschiedlicher Tiefe unter der Halbleiteroberfläche ver- grabene, elektrisch leitende Schichten mit jeweils wenigstens einem elektri- schen Kontakt gelöst.

Das Meßprinzip des erfindungsgemäßen Mikrosensors beruht auf der Tempe- ratur-und Druckabhängigkeit des Stromflusses durch die elektrisch leitenden Schichten. Die elektrische Leitfähigkeit und damit der Stromfluß ist abhängig von der Konzentration der Ladungsträger im Halbleitermaterial. Die Tempera- turabhängigkeit der Ladungsträgerkonzentration ist bei dotierten Halbleitermate- rialien abhängig von der Aktivierungsenergie der elektrisch aktiven Zentren, während bei undotierten, intrinsisch halbleitenden Materialien die Tempera- turabhängigkeit der Ladungsträgerkonzentration durch die elektronische Band- lücke zwischen Valenz-und Leitungsband bestimmt wird. Dies wird bei dem er- findungsgemäßen Mikrosensor zur Temperaturmessung ausgenutzt, da ent- sprechend sowohl der Stromfluß innerhalb einer elektrisch leitenden Schicht als auch zwischen zwei unterschiedlichen elektrisch leitenden Schichten von der Temperatur abhängig ist. Die Aktivierungsenergie und die Energie der Band- lücke sind Kenngrößen des verwendeten Halbleitermaterials bzw. des verwen- deten Dotierstoffes, so daß diese Werte zur Kalibrierung des Temperatursen- sors verwendet werden können.

Die Funktionsweise des erfindungsgemäßen Mikrosensors basiert bei der Druckmessung auf der anisotropen Piezoresistivität zwischen den in unter- schiedlicher Tiefe vergrabenen elektrisch leitenden Schichten. Eine auf die Oberfläche des Sensors einwirkende Kraft bewirkt eine elastische Verformung des Halbleitermaterials. Dies wiederum bewirkt eine uniaxiale Widerstandsände- rung zwischen den elektrisch leitenden Schichten. Die damit verbundene Ände- rung des Stromflusses parallel zur Deformationsrichtung ist deutlich meßbar und kann dazu herangezogen werden, auf den Druck bzw. die angreifende Kraft zu- rückzuschließen.

Die elastische Deformation des Halbleitermaterials hat zwar einen ausgeprägten Einfluß auf den Stromfluß zwischen den in unterschiedlicher Tiefe vergrabenen Schichten. Weitgehend unbeeinflußt bleiben allerdings die elektrischen Eigen- schaften innerhalb einer einzelnen Schicht. Da also der Stromfluß innerhalb einer Schicht und der Stromfluß zwischen zwei unterschiedlichen Schichten auf unterschiedliche, jeweils charakteristische Weise von Temperatur und Druck abhängig sind, erlaubt der erfindungsgemäße Mikrosensor vorteilhafterweise eine gleichzeitige Messung beider Größen. Damit ist auch die Temperaturab- hängigkeit der Piezoresistivität bei der Druckmessung im Gegensatz zu den vorbekannten Drucksensoren kein Problem. Die gleichzeitige Messung von Druck und Temperatur ermöglicht es, den Temperaturwert bei der Bestimmung des Druckes unmittelbar zu berücksichtigen. Des weitern zeigt der Sensor bei der Druckmessung eine weitgehend lineare Charakteristik. Damit kann eine komplizierte Auswerteelektronik zur Kompensation von Temperatureinflüssen vollständig entfallen.

Der erfindungsgemäße Mikrosensor ermöglicht Temperaturmessungen vom Tieftemperaturbereich bis zum Schmeiz-bzw. Graphitisierungspunkt des verwendeten Halbleitersubstrates. Druckmessungen mit hoher Genauigkeit sind von 0 Pa bis zu mehreren GPa ohne weiteres möglich. Bei der Druckmessung ist die obere Grenze erst erreicht, wenn irreversible plastische Verformung bzw.

Phasenumwandlung des Halbleitermaterials einsetzt.

Da der Druck-und Temperatursensor gemäß der Erfindung nur aus wenigen mikroelektronischen Bauelementen besteht, ist er mit extrem geringem Aufwand und zu entsprechend geringen Kosten herstellbar. Die für den Meßvorgang be- nötigte Auswerte-Elektronik kann auf einfache Mittel zur Messung des Wider- standes beschränkt werden. Geeignete Meßgeräte bzw. Baugruppen sind im Handel erhältlich.

Der erfindungsgemäße Mikrosensor kann als extrem robustes und unempfindli- ches Sensorelement ausgebildet sein, da auf der Oberfläche des Halbleitersub- strates keinerlei Bauelemente benötigt werden. Entsprechend ergibt sich die Möglichkeit, einen Temperatur-und Druckprüfkörper aus Halbleitermaterial her- zustellen, der ohne ein zusätzliches Gehäuse auskommt. Dadurch ergibt sich

eine problemlos handhabbare Meßvorrichtung, der, auch aufgrund der Miniatu- risierbarkeit, ein großes Anwendungsspektrum offensteht.

Zweckmäßigerweise werden bei dem Mikrosensor gemäß der Erfindung die elektrisch leitenden Schichten durch Bereiche hoher Dotierstoff-Konzentration gebildet, während im Zwischenraum zwischen den in unterschiedlicher Tiefe vergrabenen Schichten eine geringere oder sogar verschwindende Dotierstoff- Konzentration vorliegt. Denkbar ist es auch, den Zwischenraum zwischen den elektrisch leitenden Schichten durch eine Zwischenschicht entgegengesetzten Leitungstyps zu erzeugen.

Die elektrisch leitenden Schichten werden also durch das Konzentrationsprofil des Dotierstoffes im Halbleitermaterial vorgegeben. Mit den üblichen halbleiter- technologischen Verfahren lassen sich im allgemeinen keine scharf begrenzten Bereiche hoher Dotierstoff-Konzentration herstellen. Eine vergrabene Dotie- rungsschicht besteht vielmehr aus einem Dotierstoffmaximum in einer be- stimmen, vorgegebenen Tiefe unterhalb der Halbleiteroberfläche mit daran an- grenzenden Bereichen, in denen die Dotierstoffkonzentration kontinuierlich ab- nimmt. Es ergibt sich so im Bereich der maximalen Dotierstoffkonzentration eine Schicht mit hoher elektrischer Leitfähigkeit, die von einem hochohmigen"Halo" umgeben ist. Dies kann vorteilhafterweise bei dem erfindungsgemäßen Sensor ausgenutzt werden, indem die elektrisch leitenden Schichten derart in unter- schiedlichen Tiefen angeordnet werden, daß sich deren jeweilige Halos über- lappen, und auf diese Weise eine hochohmige Widerstandsschicht zwischen den unterschiedlichen elektrisch leitenden Schichten bilden. Die Piezoresistivität dieser intermediären Schicht kann dann erfindungsgemäß zur Druck-bzw.

Kraftmessung genutzt werden.

Experimente mit Prototypen des erfindungsgemäß. en Mtkrosensors haben ge- zeigt, daß sich vorteilhafte Eigenschaften erzielen lassen, wenn sich die elek- trisch leitenden Schichten in einer Tiefe von 0,5 bis 5 Mikrometer unter der Halbleiteroberfläche befinden und wenn der Abstand zwischen den elektrisch leitenden Schichten 0,1 bis 1 Mikrometer beträgt. Vorteilhafterweise läßt sich eine derartige Anordnung problemlos mit den gängigen halbleitertechnologi- schen Herstellungsverfahren erzeugen. In der angegebenen Tiefe sind die inte-

grierten Elemente ausreichend mechanisch geschützt, was aufgabengemäß Voraussetzung für eine robuste und unempfindliche Meßvorrichtung ist. Mit den derart oberflächennah vergrabenen Schichten läßt sich der obengenannte große Druckmeßbereich von 0 Pa bis zu mehreren GPa realisieren. Optimale Ergeb- nisse wurden erzielt mit zwei in einer Tiefe von 0,8 bzw. 1,5 Mikrometer vergra- benen Schichten. Das Dotierungsprofil der Schichten wurde dabei so gewählt, daß der effektive, hochohmige Bereich zwischen den Schichten eine Dicke von etwa 500 Nanometern hatte.

Zweckmäßig ist es des weiteren, den Mikrosensor mit einer zusätzlichen ver- grabenen Widerstandsschicht mit wenigsten zwei elektrischen Kontakten aus- zustatten. Über die zwei Kontakte kann der Widerstandsschicht ein Heizstrom aufgeprägt werden, mit dem der erfindungsgemäße Sensor temperiert werden kann. Dazu ist es wichtig, die Widerstandsschicht von den anderen, oben be- schriebenen Schichten elektrisch aber nicht thermisch zu isolieren. Es kann z. B. für Kalibrierungszwecke nützlich sein, die Temperatur des Sensors auf einen bestimmten, vorgebbaren Wert einregeln zu können. Die integrierte Hei- zung ist aber insbesondere wichtig für die weiter unten diskutierte Anwendung des erfindungsgemäßen Mikrosensors zur Messung der Wärmekapazität und Wärmeleitfähigkeit.

Besonders vorteilhaft ist es, als Halbleitermaterial für den erfindungsgemäßen Mikrosensor einkristallinen Diamant zu verwenden. Im Sinne der Erfindung ist insbesondere die große Härte des Diamanten optimal für einen Druck-bzw.

Kraftsensor geeignet. Dies ist insbesondere für Hochdruck-Anwendungen wich- tig, da, wie oben erwähnt, die Obergrenze des Druckmeßbereiches erst erreicht ist, wenn plastische Verformung oder Phasenumwandlung des verwendeten Halbleitermaterials einsetzt. Erst durch die Verwendung von Diamant wird es möglich, in Druckbereiche von einigen GPa und darüber vorzustoßen, die den vorbekannten Drucksensoren mit Durchbiegemembranen gänzlich unzugänglich sind. Für die Verwendung zur Temperaturmessung ist die hervorragende Wärmeleitfähigkeit von Diamant besonders vorteilhaft, da somit der Meßwert durch die thermischen Eigenschaften der Meßvorrichtung nur minimal beeinflußt wird.

Die für den erfindungsgemäßen Mikrosensor erforderlichen elektronischen Eigenschaften hat ein sogenannter Typ Ila Diamant. Es handelt sich hierbei um reinen, nicht verunreinigten und perfekt kristallisierten Diamant, der intrinsisch halbleitend ist. Bei der Auswahl eines für den erfindungsgemäßen Mikrosensor geeigneten synthetischen oder natürlichen Steines sollte mittels Photolumines- zenz geprüft werden, daß die Stickstoff-Konzentration deutlich unter 1018 pro cm liegt. Prinzipiell eignen sich auch I a, I b oder If b Diamanten, allerdings sollte auf diese für die elektrisch leitenden Schichten etwa mittels CVD- Verfahren eine 11 a-Schicht aufgebracht werden. Besonders vorteilhaft ist die optische Transparenz von Diamant, da es dadurch ermöglicht wird, den erfindungsgemäßen Sensor zur Druck-und Temperaturmessung einzusetzen, während das untersuchte Objekt gleichzeitig optisch spektroskopiert werden kann. Vorteilhafte Eigenschaften hat superharter Diamant des weiteren für die unten beschriebene Anwendung zur Härtemessung. Es kann gegebenenfalls sinnvoll sein, je nach Anwendungsfall auf das Diamantmaterial zugunsten von preiswerteren Alternativen zu verzichten. In Frage kommen hierbei Si, SiC, BN oder GaN. Diese Materialien sind jedoch, was sowohl die mechanischen als auch die thermischen Eigenschaften angeht, dem Diamant weit unterlegen.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Mikrosensors besteht darin, daß die elektrisch leitenden Schichten eine laterale, vorzugsweise streifenförmige Strukturierung aufweisen. Durch die laterale Strukturierung wird der sensitive Bereich auf der Halbleiteroberfläche definiert. Dies ist insbeson- dere dann wichtig, wenn der Mikrosensor für eine ortsaufgelöste Temperatur- und Druckmessung eingesetzt werden soll. Besonders vorteilhaft ist eine strei- fenförmige Strukturierung, bei der die Streifen eine Breite von ca. 100 Mikro- metern haben. Derartige Streifen lassen sich mit geringstem technologischen Aufwand herstellen. Wenn sich dabei die in unterschiedlicher Tiefe parallel zur Halbleiteroberfläche verlaufenden elektrisch leitenden Streifen zumindest teil- weise überlappen oder überkreuzen, sind die sensitiven Zonen durch die Kreu- zungspunkte bzw. die Überlappungsbereiche der Streifen genau definiert. Der aktive Bereich auf der Halbleiteroberfläche kann dabei deutlich kleiner als 1 mm2 sein. Eine entsprechend hoch ortsaufgelöste Druck-und Temperaturmessung läßt sich mit dem Sensor durchführen.

Wenn mehrere sich kreuzende Streifen bei dem erfindungsgemäßen Mikrosen- sor zu einem Sensorarray angeordnet sind, faßt sich eine parallele Messung einer Temperatur-oder Kräfteverteilung an der Oberfläche eines untersuchten Objektes mit einer Ortsauflösung im Submillimeterbereich durchführen.

Der Mikrosensor gemäß, der Erfindung kann als Halbleiter-Prüfkörper mit einer Spitze oder Kante ausgebildet sein. Wenn dabei die empfindliche Zone des Sensors im Bereich der Spitze bzw. der Kante liegt, wird eine gezielte, punktu- elle Druck-, Kraft,-und Temperaturmessung an einer Festkörperoberfläche er- möglicht. Diese Formgestaltung ist insbesondere wichtig für die weiter unten dargestellte Verwendung des Mikrosensors zur Härtemessung. Das verwendete Halbleitermaterial ist prinzipiell beliebig formbar, so daß der Mikrosensor indivi- duell an jede Meßaufgabe angepaßt werden kann.

Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn der Prüfkörper eine kegelartige oder pyramidale Form hat. Auf diese Weise läßt sich sicherstellen, daß der Prüfkör- per an einem genau definierten Punkt Kontakt mit der untersuchten Festkörper- oberfläche hat. Über die breite Basis des kegelförmigen oder pyramidalen Prüf- körpers können die auf die Spitze einwirkenden Kräfte abgestützt werden. Dies ist für Hochdruckanwendungen von entscheidender Bedeutung. Der Kegelöff- nungswinkel des Prüfkörpers kann je nach Anforderung und Meßbereich ge- wähit werden. Bei der Druckmessung kann es zweckmäßig sein, den empfind- lichen Bereich des Sensors auf der abgestumpften Spitze eines Kegets anzu- ordnen, da auf diese Weise die mit Druck beaufschlagte Fläche des Sensors genau definiert ist.

Zur Kontaktierung des Mikrosensors gemäß der Erfindung verwendet man zweckmäßigerweise metallische Drähte die mittels Graphitkieber mit den Kon- takten der elektrisch leitenden Schichten verbunden sind. Das Meßprinzip des Sensors beruht, wie oben beschrieben, auf der Druck-bzw. Temperaturabhän- gigkeit des Stromflusses durch die elektrisch leitenden Schichten. Hierzu erfolgt die Kontaktierung des Sensors am besten durch Tantaldrähte, da sich diese gut mit Graphitkleber auf der Halbleiteroberfläche befestigen lassen. Vorteilhaft ist dabei, daß die Wärmeausdehnungskoeffizienten der Drähte und des Klebers aufeinander abgestimmt werden können, so daß es bei einer Erwärmung des

Sensors nicht unerwünschterweise zu einer Ablösung der Versorgungsdrähte kommen kann. insbesondere bei der Verwendung von Diamant als Substrat für den Mikrosensor hat sich Graphitkleber für die Kontaktierung bewährt. Im Be- reich der Kontakte der elektrisch leitenden Schichten ist das Diamantmaterial, wie weiter unten beschrieben wird, graphitisiert, so daß mit dem Graphitkleber ein ohmscher Kontakt mit guter Leitfähigkeit realisiert werden kann.

Bei einem Verfahren zur Herstellung eines Mikrosensors gemäß der Erfindung werden zweckmäßigerweise die vergrabenen, elektrisch leitenden Schichten mittels lonenimplantation erzeugt.

Die Technik der lonenimplantation ist für die Herstellung von vergrabenen Dotie- rungsschichten geradezu prädestiniert. Bei der Dotierung mittels lonenimplanta- tion liegt das Maximum der Dotierstoffkonzentration niemals an der Oberfläche des Halbleitersubstrates sondern bis zu einigen Mikrometern darunter. Die Tiefe des Dotierungsmaximums kann dabei durch die Vorgabe der lonenenergie frei gewählt werden. Es ergeben sich dabei Dotierungsprofile, bei denen oberhalb und unterhalb des Dotierungsmaximums die Dotierstoffkonzentration kontinuier- lich abnimmt. Es ergeben sich auf diese Weise automatisch die oben beschrie- benen Bereiche geringer Leitfähigkeit ("Halos"), deren Piezoresistivität bei der Druckmessung ausgenutzt wird. Weitere Vorteile hat die lonenimplantation bei der Vorgabe der Dotierungsdosis, da der lonenstrom während der Dotierung gesteuert und überwacht werden kann.

Ein alternatives Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Mikrosen- sors besteht darin, daß die elektrisch leitenden Schichten durch Deposition aus der Gasphase erzeugt werden, wobei das verwendete Gas einen Dotierstoff in geeigneter Konzentration enthält.

Bei diesem Verfahren wird die Schichtenfolge durch sequentielle epitaktische Ablagerung von Halbleitermaterial auf der Substratoberfläche hergestellt. Das Substrat wird dabei einem Gas ausgesetzt, aus dem pyrolytisch der Stoff des Substratmaterials ausgeschieden wird. Durch eine Abfolge von Depositons- schritten mit wechselnder Dotierstoffkonzentration im Reaktionsgas können so die gewünschten, elektrisch leitenden Schichten erzeugt werden. Dieses soge-

nannte CVD-Verfahren hat jedoch gegenüber der zuvor beschriebenen lonenimplantationstechnik einige Nachteile. Die Steuerung des Verfahrens ist aufwendig und das Schichtenwachstum nur schwer zu kontrollieren. Des weite- ren sind die im Reaktionsgas eingesetzten Chemikalien oft toxisch, woraus ge- gebenenfalls eine nicht unerhebliche Entsorgungsproblematik resultiert.

Bei der Herstellung eines erfindungsgemäßen Mikrosensors aus Diamantmate- rial werden zweckmäßigerweise zunächst die elektrisch leitenden Schichten in dem Diamantsubstrat bei Temperaturen von 800°C bis 1600°C mittels lonenim- plantation erzeugt, wonach die Herstellung der elektrischen Kontakte mittels Hochdosis-Implantation bei Raumtemperatur erfolgt.

Durch die lonenimplantation bei hoher Temperatur wird erreicht, daß das Dia- mantmaterial oberhalb der dotierten Schichten beim Implantationsvorgang intakt und defektarm bleibt. Bei Raumtemperatur hingegen bewirkt die Implanta- tion oberhalb einer gewissen Dosis eine Graphitisierung der Diamantoberfläche.

Bei dem beschriebenen Herstellungsverfahren ist also die Reihenfolge der Implantationsschritte entscheidend. Erst nach der Erzeugung der elektrisch leitenden Schichten können die Kontakte bei Raumtemperatur erzeugt werden, da durch das entstehende Graphit gute ohmsche Kontakte gebildet werden.

Würde die Hochtemperaturimplantation erst nach der Herstellung der Kontakte erfolgen, so würden die defekt reichen, graphitisierten Bereich teilweise ausheilen, was zu einer deutlichen Verschlechterung der elektrischen Eigenschaften der Kontakte führen würde. Experimente mit Prototypen von erfindungsgemäßen Diamantsensoren haben ergeben, daß bei der Implantation von Bor-lonen zur Erzeugung von p-leitenden Schichten gute Ergebnisse erzielt werden, wenn zunächst die erste Schicht bei 1100°C mit einer lonenenergie von 1 MeV und mit einer Dosis von 8 mal 1016 lonen pro cm2 implantiert wird.

Danach folgt die Implantation der zweiten Schicht mit einer Energie von 2,5 MeV bei gleicher Temperatur und Dosis. Zuletzt erfolgt die Implantation der Kontakte bei Raumtemperatur jeweils mit Energien von 1 und 2,5 MeV ; die Dosis ist dabei 1017 lonen pro cm2.

Bei einem Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Mikrosensors wird zweckmäßigerweise die laterale Strukturierung der elektrisch leitenden

Schichten mittels fokussierter lonenimplantation erzeugt. Dabei kommen grund- sätzlich zwei unterschiedliche lonenimplantationstechniken in Frage : Einerseits ist es möglich, die lateral strukturierte Dotierungsschicht durch Ablen- kung des lonenstrahls auf die Halbleiteroberfläche zu schreiben. Alternativ kann mittels einer geeigneten lonenoptik, z. B. in Form von magnetischen Linsen, eine entsprechend strukturierte Maske auf das Halbleitersubstrat projiziert wer- den. Insbesondere wenn, wie oben beschrieben, der Mikrosensor als spitzer oder kegelartiger Prüfkörper ausgebildet ist, sind konventionelle, also nicht fokussierte lonenimplantationstechniken ungeeignet, da die nötigen Lithogra- phie-und Maskierungsschritte eine planare Halbleiteroberfläche voraussetzen.

Am besten eignet sich für derart geformte Prüfkörper ein ionenoptisch abbilden- des System mit großer Tiefenschärfe. Besonders geeignet ist beispielsweise eine Vorrichtung gemäß der DE 196 33 320. Das ionenoptische Herstellungsverfahren eignet sich vorteilhafterweise auch für die Herstellung von Mikrosensoren ausgehend von nicht planarem Halbleitersubstrat, in welche nur eine vergrabene, elektrisch leitende Schicht, etwa zur Temperaturmessung, integriert ist. Auf Diamantsubstrat lassen sich damit beispielsweise zur Erzeugung von p-halbleitenden Streifen Bor-lonen implantieren. Ebenfalls möglich ist die Implantation von Lithium oder Schwefel zur Erzeugung einer n- Dotierung.

Mikrosensoren aus Halbleitermaterial mit integrierten piezoresistiven Elementen eignen sich in besonderer Weise zur Härtemessung. Bei der Härtemessung wird der Widerstand einer Werkstoffoberfläche gegen die plastische Verformung durch einen genormten Eindringkörper (Indenter) ermittelt. Üblich ist es dabei, den bleibenden Eindruck des Indenters in der Materialoberfläche zu vermessen.

Es existieren eine Reihe unterschiedlicher Normen für die Härtemessung : Für die Brinellhärte, die Vickershärte und die Knoophärte wird die Oberfläche des Indentereindrucks bestimmt, während für die Rockwellhärte die Eindringtiefe entscheidend ist. Bei weiterentwickelten Härtemeßverfahren werden zusätzlich zu den plastischen auch die elastischen Materialeigenschaften berücksichtigt.

Für die Härtemessung eignet sich ein als spitzer Halbleiter-Prüfkörper ausge- bildeter Mikrosensor, der als Meßindenter dient, aus dessen Eindringverhalten

in eine Festkörperoberfläche die Materialhärte bestimmt wird. Besonders vor- teilhaft ist dabei, wenn der Meßindenter aus superhartem Diamant besteht. Das Eindringverhalten eines solchen Meßindenters kann mittels der in die Spitze des Indenters integrierten Sensorelemente untersucht werden. Zwei prinzipiell unterschiedliche Vorgehensweisen sind dabei denkbar : Zum einen ist es mög- lich, die Eindringtiefe des Meßindenters in die Werkstoffoberfläche vorzugeben und die bei dieser Eindringtiefe an der Spitze des Indenters angreifende Kraft zu ermitteln. Diese Kraft wird zu der Eindringtiefe in Beziehung gesetzt, um daraus die Härte zu bestimmen. Das Verfahren kann insbesondere zur Messung der Rockwelihärte eingesetzt werden. Zum anderen kann der Meßindenter mit kon- stanter Kraft in die Materialoberfläche getrieben werden, wobei dann zur Ermitt- lung der Eindringtiefe der Druck an der Indenterspitze gemessen wird. Aus dem Druck und der Vorschubkraft faßt sich so die Auflagefläche des Indenters be- stimmen ; daraus ergibt sich unmittelbar die Eindringtiefe, da die geometrische Form der Prüfspitze bekannt ist. Dieses Verfahren entspricht der Härtemessung nach Brinell, Vickers oder Knoop.

Der erfindungsgemäße Mikrosensor ist insbesondere aufgrund seines Meßbe- reiches gut für die Härtemessung zu gebrauchen. Bei einer typischen Eindring- tiefe von 10 Mikrometern z. B. in die Oberfläche eines Stahlwerkstücks entste- hen an der Indenterspitze Drücke im Bereich von etwa 1 GPa.

Der Meßindenter eignet sich des weiteren auch für weiterentwickelte Verfahren zur Härtemessung. So ist es auf einfach Weise möglich, eine dynamische Mes- sung durchzuführen, bei der der Druck an der Indenterspitze als Funktion der Eindringtiefe während des Eindringvorganges kontinuierlich aufgenommen wird.

Daraus ergeben sich Information über sowohl plastische als auch elastische Materialeigenschaften ; darüber hinaus kann so ein Tiefenprofil der Materialhärte gewonnen werden.

Ein als spitzer Prüfkörper ausgebildeter Mikrosensor gemäß der Erfindung kann zur Messung von Wärmekapazität und Wärmeleitfähigkeit verwendet werden, wobei mit dem Halbleiter-Prüfkörper Temperaturmessungen an einer Mate- rialoberfläche durchgeführt werden.

Zur Bestimmung der Wärmekapazität und Wärmeleitfähigkeit wird der Prüfkör- per auf die Oberfläche eines Objektes aufgesetzt. Danach wird der Prüfkörper durch einen integrierten Widerstandheizstreifen erwärmt, während gleichzeitig die Temperatur an der Prüfspitze gemessen wird. Der Heizstreifen ist, wie oben beschrieben, von den elektrisch leitenden Schichten, die für die Temperatur- messung verwendet werden, elektrisch aber nicht thermisch isoliert. Die über den Heizstreifen eingetragene Wärmeenergie wird durch den gut wärmeleiten- den Prüfkörper auf das Meßobjekt übertragen. Dessen Wärmekapazität und Wärmeleitfähigkeit kann aus der Zeitabhängigkeit der Temperaturänderung er- mittelt werden. Die Wärmeleitfähigkeit läßt sich im wesentlichen aus der Tem- peraturänderungsrate bestimmen, während auf die Wärmekapazität des Meß- objektes aus der Gleichgewichtstemperatur geschlossen werden kann. Für ein derartiges Meßverfahren muß die Wärmekapazität und Wärmeleitfähigkeit des Prüfkörpers genau bekannt sein. Besonders geeignet ist auch hier wieder Dia- mantmaterial wegen seiner hohen Wärmeleiffähigkeit. Durch den zu einer Spitze geformten Prüfkörper werden hoch ortsaufgelöste Mikrowärme ! eitfähigkeits- und Mikrowärmekapazitätsmessungen ermöglicht.

Für einen erfindungsgemäßen Mikrosensor, der als Halbleiter-Prüfkörper mit einer scharfen Kante ausgebildet ist, besteht eine Verwendungsmöglichkeit zur spanenden Materialbearbeitung, wobei der Halbleiter-Prüfkörper als spanabhe- bendes Werkzeug eingesetzt wird.

Für die Materialbearbeitung ist es zweckmäßig, den Halbleiter-Prüfkörper aus hartem Material, wie etwa Diamant herzustellen. Die Kante des Prüfkörpers bil- det die Schneide des spanabhebenden Werkzeugs. Damit wird ermöglicht, die an der Schneidfläche wirksamen Kräfte während der Materialbearbeitung un- mittelbar zu bestimmen. Dies kann einerseits dafür genutzt werden, das Ver- schleißverhalten eines Schneidwerkzeuges zu untersuchen, um mittels der so gewonnenen Kenntnisse dessen Formgebung zu optimieren. Des weiteren kann die Messung der an der Schnittfläche angreifenden Kräfte dazu genutzt werden, die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Anpreßkraft des Werkzeuges an das bearbeitete Material optimal anzupassen. Es lassen sich damit spanabhebende Werkzeugmaschinen realisieren, die sich automatisch auf die Eigenschaften des

bearbeiteten Werkstücks einstellen, wodurch die benötigte Bearbeitungszeit minimiert werden kann.

Vorteilhafterweise kann ein Halbleitermikrosensor mit wenigstens einer vergrabenen, elektrisch leitenden Schicht als Tastspitze für ein Rasterkraftmikroskop eingesetzt werden. Mit einer solchen Tastspitze ist es möglich, zusätzlich zur mikroskopischen Untersuchung der Oberflächenstruktur eines Objektes eine hoch ortsaufgelöste Temperaturmessung durchzuführen.

Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Mikrosensors werden im folgen- den anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen : Fig. 1 : Halbleitersubstrat im Querschnitt mit elek- trisch leitenden Streifen ; Fig. 2 : elektrisch leitende Streifen in Draufsicht ; Fig. 3 : Querschnitt durch einen Prüfkörper mit erfindungsgemäßem Mikrosensor ; Fig. 4 : spanabhebendes Werkzeug mit Mikrosen- sor ; Fig. 5 : Beschaltung eines Mikrosensors zur kom- binierten Druck-und Temperaturmessung ; Fig. 6 : Beschaltung des Mikrosensors zur Wär- meleiffähigkeits-und Wärmekapazitäts- messung ; Fig. 7 : Diamantstempel mit Mikrosensor für Hochdruckexperimente.

Die Figur 1 zeigt ein Halbleitersubstrat 1 im Querschnitt, in das zwei vergrabene elektrisch leitende Streifen 2 und 3 integriert sind. Diese bestehen jeweils aus einem zentralen Bereich mit hoher Dotierstoffkonzentration und einem um- gebenden, hoch ohmigen"Halo"4 und 5 mit niedriger Dotierstoffkonzentration.

Die Halos überlappen sich in einem Bereich 6, dessen Piezoresistivität erfin- dungsgemäß für die Druck-bzw. Kraftmessung verwendet wird. Die Dicke der in der Figur dargestellten Oberflächenschicht 7 beträgt etwa 2 Mikrometer. Der obere Streifen 2 befindet sich in einer Tiefe von etwa 0,8 Mikrometern unterhalb der Halbleiteroberfläche ; der Streifen 3 befindet sich in einer Tiefe von etwa 1,5 Mikrometern, wobei der Abstand zwischen den hochdotierten Bereichen etwa 500 Nanometer beträgt. Dies ist gleichzeitig die Dicke der piezoresistiven Schicht. Die Figur 2 zeigt das Halbleitersubstrat 1 mit den beiden integrierten Streifen 2 und 3 in der Draufsicht. Es ist zu erkennen, daß sich die beiden Streifen 2,3 kreuzen, wodurch der piezoresistive Meßbereich 6 definiert wird.

Eine auf diesen Meßbereich einwirkende Kraft verursacht eine Änderung des Stromflusses vom Streifen 2 in den Streifen 3. Da die Meßfläche 6 genau be- kannt ist bzw. der Sensor zuvor entsprechend kalibriert wurde, kann daraus der auf der Halbleiteroberfläche anstehende Druck bestimmt werden.

Die Figur 3 zeigt einen erfindungsgemäßen Mikrosensor, der als spitzer Kegel 8 ausgebildet ist, im Querschnitt. An der Oberfläche des Prüfkörpers 8 sind ein oberer und ein unterer elektrisch leitender Streifen 2 bzw. 3 integriert. An einer Spitze 9 des Prüfkörpers befindet sich der hochohmige piezoresistive Überlap- pungsbereich 6 der beiden Streifen 2 und 3, der für die Druck-bzw. Kraftmes- sung verwendet wird. Der obere Streifen 2 verfügt über zwei elektrische Kon- takte 10 und 11. Über diese Kontakte kann zur Temperaturmessung der elektri- sche Widerstand des Streifens 2 gemessen werden. Der untere Streifen 3 ver- fügt über nur einen Kontakt 12. Beispielsweise die beiden Kontakte 11 und 12 können dazu genutzt werden, den Widerstand des piezoresistiven Bereiches zu ermitteln. Auf der Rückseite des Prüfkörpers 8 ist ein Widerstandsstreifen 13 mit zwei Kontakten 14 und 15 integriert. Über diese Kontakte kann dem Wider- standsstreifen 13 ein Heizstrom aufgeprägt werden, mit dem der Prüfkörper 8 temperiert werden kann. Dies ist, wie oben beschrieben, insbesondere für die Wärmeleitfähigkeits-und die Wärmekapazitätsmessung von Bedeutung. Die Figur zeigt die Verwendung des Mikrosensors als Meßindenter für die Härte- messung. Die Spitze 9 des Indenters wird durch eine Kraft 16, die auf die Rück- seite des Prüfkörpers 8 einwirkt, in die Oberfläche eines Werkstücks 17 getrie- ben. Der mit dem piezoresistiven Element 6 registrierte Druck hängt von dem Durchmesser 18 der Kontaktfläche ab. Da die Geometrie des Prüfkörpers 8 be-

kannt ist, kann daraus auf die Eindringtiefe und damit auf die Materialhärte (z. B. nach Rockwell) zurückgeschlossen werden.

Die Figur 4 veranschaulicht die Verwendung des erfindungsgemäßen Mikrosen- sors als spanabhebendes Werkzeug. Der Prüfkörper 8 verfügt in diesem Fall über eine spitze Kante 19, die die Schneide des Werkzeugs bildet. Das Werk- zeug wird in einer Arbeitsrichtung 20 vorgetrieben, wobei von einem Werkstück 21 ein Span 22 abgehoben wird. Die dabei an der Schneide 19 angreifenden Kräfte können durch das druckempfindliche Element 6 des Mikrosensors regi- striert werden. Diese hängen z. B. von der Schnittiefe 23 ab. Die Figur 5 zeigt die Beschaltung des Prüfkörpers 8 zur kombinierten Temperatur-und Druck- messung. Mittels eines Ohmmeters 24 wird der elektrische Widerstand zwi- schen den Kontakten 10 und 11 gemessen. Dies ist der elektrische Widerstand innerhalb einer elektrisch leitenden Schicht, der im wesentlichen temperaturab- hängig ist und nur wenig vom Druck abhängt. Ein zweites Ohmmeter 25 hinge- gen mißt über die Kontakte 10 und 12 den elektrischen Widerstand zwischen zwei unterschiedlichen, in verschiedenen Tiefen vergrabenen elektrisch leiten- den Schichten, der stark vom Druck an der Sensoroberfläche beeinflußt wird.

Von jedem der Ohmmeter führen zu jedem Kontakt zwei Zuleitungen 26. Da- durch wird eine Vierpol-Widerstandsmessung ermöglicht, die eine vom Wider- stand der Zuleitungen 26 unbeeinflußte Widerstandsmessung gewährleistet.

Die in der Figur 6 gezeigte Beschaltung des Sensors dient zur Messung der Wärmeleitfähigkeit und der Wärmekapazität. Wieder wird zwischen den Kon- takten 10 und 11 mit dem Ohmmeter 24 die Temperatur bestimmt. Eine elektri- sche Stromquelle mit definierter Leistungsabgabe 27, die mit den Kontakten 14 und 15 verbunden ist, versorgt den Heizwiderstand 13 mit Strom. Wie oben be- schrieben, kann damit die Erwärmung eines Objektes, das mit dem Prüfkörper in Kontakt steht, untersucht werden, wobei aus der Rate der Temperaturände- rung und der erreichten Gleichgewichtstemperatur Wärmekapazität und Wär- meleitfähigkeit bestimmt werden.

Die Figur 7 zeigt eine Meßanordnung für Hochdruckexperimente. Diese besteht aus zwei kegelförmigen Diamantstempeln 28 und 29 mit jeweils einer abge- stumpften Spitze 30 bzw. 31. Durch eine ringförmige Rheniumdichtung 32 ent-

steht zwischen den Spitzen 30 und 31 der Diamantstempel 28 und 29 ein Pro- benraum 33. In diesem gegenüber der Umgebung abgedichteten Probenraum können durch Zusammenpressen der Diamantstempel 28 und 29 extreme Drücke bis weit in den GPa-Bereich erzeugt werden. Dabei wird der Dichtring 32 plastisch verformt, wobei eine formschlüssige Verbindung zwischen dem Dich- tring 32 und den Spitzen 30 und 31 der Diamantstempel 28 und 29 gebildet wird. Die Messung des Drucks im Probenraum 33 erfolgt über den erfindungs- gemäßen Mikrosensor, der in die Spitze 30 integriert ist. Die Abbildung zeigt den oberen elektrisch leitenden Streifen 2 mit den Kontakten 10 und 11. An diesen ist mit Graphitkleber 34 jeweils ein Tantaldraht 35 bzw. 36 befestigt. Senkrecht zu dem oberen Streifen 2 verläuft der untere Streifen 3, so daß der piezoresi- stive Überlappungsbereich der beiden Streifen 6 unmittelbar oberhalb des Pro- benraums 33 liegt. Die Diamantstempeizelle kann dafür genutzt werden, eine in dem Probenraum 33 befindliche Probe mittels optischer Spektroskopie zu unter- suchen. Hierzu kann der Probenraum durch die optisch transparenten Diamant- stempel mit einem Laserstrahl 37 durchstrahit werden.