Sonde für eine kapazitive Sensoreinrichtung und Spaltmesssystem

Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine Sonde für eine kapazitive Sensoreinrichtung mit einer Außenhülse und mindestens einem innerhalb der Außenhülse angeordneten Sondenkopf umfassend ein Messelement mit mindestens einer Mess- und Stirnfläche, wobei das Messelement aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik besteht oder zumindest an der Mess- und Stirnfläche mit einem Metall, einer Metall-Legierung o- der einer elektrisch leitfähigen Keramik beschichtet ist und einem ersten, elektrisch nichtleitenden Isolatorelement sowie einem ersten Teilelement einer ersten Abschirmung, wobei das erste Teilelement aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfa- higen Keramik besteht. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Spaltmesssystem zum Ermit- teln eines Rotorspaltes.

Derartige Sonden sind bereits aus dem Stand der Technik als bekannt und werden in unterschiedlichsten industriellen Messanwendungen eingesetzt. Mit derartigen Sonden werden Abstände von relativ zueinander beweglichen Teilen, wie Bauteilen von Maschinen, insbe- sondere Turbomaschinen allerart, gemessen. Insbesondere beeinflusst bei Turbomaschinen die Größe des Abstandes bzw. Spaltes zwischen einer Rotorschaufel und dem umgebenden Gehäuse die so genannten Leckverluste, die wiederum unmittelbar auf den Wirkungsgrad der Maschinen durchschlagen. Kapazitive Sonden sind aus der DE 34 33 351 Cl und der EP 0 246 576 Bl bekannt. Diese Sonden weisen einen triaxialen Aufbau auf und werden insbesondere zur Messung des Spalts zwischen einem Gehäuse und entsprechenden Laufschaufeln in Fluggasturbinen verwendet, wobei das Laufzeitsignal der Sonden zur berührungslosen Schaufelschwingungsmessung benutzt wird. Aufgrund des triaxialen Aufbaus dieser bekannten Sonden und des dadurch bedingten Umschließens unterschiedlicher Materialien wie z. B. Keramik und Metall bzw. Metall-Legierungen mit unterschiedlichen Tem- peraturausdehnungskoeffizienten kann es beim Einsatz derartiger Sonden bei höheren

Temperaturen zu Rissen kommen. Insbesondere beim Einsatz derartiger Sonden in Gastur-

binen von Flugtriebwerken werden Lebensdauern von 10.000 Stunden und mehr gefordert, in welchen die Sonden verlässliche Rotorspaltmesswerte liefern müssen. Dabei ist die Sonde in Abhängigkeit der konkreten Ausgestaltung der Strömungsmaschine variierenden Temperaturen bis über 700° C, hohen Drücken, Schwingungen und weiteren Belastungen durch Wasser, Salz, öl, Schmutz, metallischem Abrieb und dergleichen ausgesetzt. Zur Vermeidung von temperaturbedingten Spannungsrissen wird in der DE 60 2004 004 909 T2 ein Sensor zur kapazitiven Messung des Abstandes zu einem ortsfesten oder einem vorüberziehenden Objekt offenbart, bei dem alle Elemente aus elektrisch leitfähigen oder e- lektrisch nicht leitfahigen keramischen Materialien ausgebildet sind und diese so gewählt sind, dass sie ähnliche thermische Ausdehnungskoeffizienten besitzen. Nachteilig an diesem Sensor ist jedoch, dass einerseits die Materialauswahl sehr eingeschränkt ist und dadurch die Konstruktion und Herstellung dieses Sensors aufwändig und teuer ist und zudem aufgrund der eingeschränkten Materialauswahl die Messgenauigkeit des Sensors nicht über die gesamte Lebensdauer des Sensors gewährleistet ist.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Sonde und ein Spaltmesssystem der eingangs genannten Art bereitzustellen, welche bei hohen Temperaturen einsatzfähig sind und eine hohe Messgenauigkeit sowie eine hohe Lebensdauer gewährleisten.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Sonde mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und durch ein Spaltmesssystem mit den Merkmalen des Patentanspruchs 22 gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den jeweiligen Unteransprüchen angegeben, wobei vorteilhafte Ausgestaltungen der Sonde - soweit anwendbar - als vorteilhafte Ausgestaltungen des Spaltmesssystems und umgekehrt anzusehen sind.

Eine erfindungsgemäße Sonde für eine kapazitive Sensoreinrichtung weist eine Außenhülse und mindestens einen innerhalb der Außenhülse angeordneten Sondenkopf auf, wobei der Sondenkopf aus einem Messelement mit mindestens einer Mess- und Stirnfläche, wobei das Messelement aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfä-

higen Keramik besteht oder zumindest an der Mess- und Stirnfläche mit einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik beschichtet ist und einem ersten, elektrisch nicht-leitenden Isolatorelement sowie einem ersten Teilelement einer ersten Abschirmung, wobei das erste Teilelement aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik besteht. Dabei sind das Messelement, das erste Isolatorelement und das erste Teilelement der ersten Abschirmung stoffschlüssig miteinander verbunden und als Schichtpaket ausgebildet, wobei das erste Isolatorelement zwischen dem Messelement mit der Mess- und Stirnfläche und dem ersten Teilelement angeordnet ist. Durch den erfindungsgemäßen geschichteten Aufbau des Sondenkopfes und der stoff- schlüssigen Verbindung der einzelnen Elemente des Sondenkopfes untereinander ist eine Temperaturdehnung der einzelnen Elemente nahezu ungehindert möglich. Insbesondere wird eine Ummantelung der elektrisch nicht-leitenden Materialien durch die elektrisch leitenden Materialien und umgekehrt vermieden, so dass auch bei unterschiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten der Materialien es zu keinen Spannungsrissen kommen kann. Da keine kraft- oder formschlüssigen Verbindungen verwendet werden, ist die Sonde zudem über einen weiten Temperaturbereich mechanisch stabil. Durch die mögliche Verwendung von Metall oder Metall-Legierungen zur Ausbildung des Messelementes bzw. der Mess- und Stirnfläche des Messelementes ergibt sich eine hohe Messgenauigkeit gegenüber möglichen Kapazitätsänderungen. Durch die hohe mechanische Stabilität und die Möglichkeit der Temperaturdehnung der unterschiedlichen Materialien wird eine sehr hohe

Lebensdauer der Sonde gewährleistet. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist die Schichtung des als Schichtpaket ausgebildeten Sondenkopfs ungefähr senkrecht zu einer Längsachse der Sonde ausgebildet.

In weiteren vorteilhaften Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Sonde ist der Sondenkopf in einer Abschirmhülse aus Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik angeordnet und von dieser umgeben, wobei die Abschirmhülse stoffschlüssig mit dem ersten Teilelement verbunden ist. Durch die Abschirmhülse wird der inhomogene Randbereich des elektrischen Felds von dem Sondenkopf, insbesondere der Mess- und Stirnfläche des Messelementes abgeschirmt. Dadurch ergibt sich zwischen der

Sonde und einer der Mess- und Stirnfläche gegenüberliegenden Gegenelektrode ein annä-

hernd paralleles elektrisches Feld, dessen änderungen der Kapazität mit hoher Messgenauigkeit nachgewiesen werden können. Zudem werden randlich auftretende Störbereiche zuverlässig abgeschirmt. Des Weiteren kann die Sonde einen innerhalb der Außenhülse angeordneten Sondenkörper aurweisen, wobei der Sondenkörper ein zweites Teilelement mit der ersten Abschirmung bestehend aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer e- lektrisch leitfähigen Keramik, ein zweites elektrisch nicht-leitendes Isolatorelement sowie ein erstes Teilelement einer zweiten Abschirmung aufweisen, wobei das erste Teilelement aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfahigen Keramik besteht. Dabei sind das zweite Teilelement der ersten Abschirmung, das zweite Isolatorelement und das erste Teilelement der zweiten Abschirmung ebenfalls stoffschlüssig miteinander verbunden und als Schichtpaket ausgebildet, wobei das zweite Isolatorelement zwischen dem zweiten Teilelement der ersten Abschirmung und dem ersten Teilelement der zweiten Abschirmung angeordnet ist. Durch eine derartige Ausgestaltung des Sondenkörpers ist wiederum eine hohe mechanische Stabilität des Sondenkörpers bzw. der Sonde insgesamt über einen weiten Temperaturbereich gewährleistet. Der geschichtete Aufbau des Sondenkörpers ermöglicht wiederum die nahezu ungehinderte Temperaturdehnung der einzelnen E- lemente des Sondenkörpers, so dass temperaturbedingte Risse vermieden werden. Insbesondere wird wiederum eine Ummantelung der elektrisch nicht-leitenden Materialien durch die elektrisch leitenden Materialien und umgekehrt vermieden, so dass auch bei unter- schiedlichen Temperaturausdehnungskoeffizienten der Materialien es zu keinen Spannungsrissen kommen kann.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Sonde sind das erste Teilelement und das zweite Teilelement der ersten Abschirmung stoffschlüssig miteinander verbunden. Dies führt zu einer hohen mechanischen Stabilität dieser Verbindung zwischen dem Sondenkopf und dem Sondenkörper. Zudem ist es möglich, dass auch die Schichtung des als Schichtpaket ausgebildeten Sondenkörpers ungefähr senkrecht zu der Längsachse der Sonde ausgebildet ist.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Sonde ist das erste Teilelement der zweiten Abschirmung mit einem zweiten Teilelement der zweiten Ab-

schirmung zumindest teilweise stoffschlüssig verbunden, wobei das zweite Teilelement e- benfalls aus Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik besteht und als Halter für den Sondenkörper und den damit verbundenen Sondenkopf innerhalb der Außenhülse ausgebildet ist. Die stoffschlüssige Verbindung der Teilelemente der zweiten Abschirmung gewährleistet wiederum eine hohe mechanische Stabilität dieses E- lementes über einen weiten Temperaturbereich. Des Weiteren kann das zweite Teilelement vorteilhafterweise mindestens eine, zumindest teilweise an seinem Außenumfang umlaufende Schulter zur Auflage auf mindestens eine am Innenumfang der Außenhülse ausgebildeten Vorsprung aufweisen. Dadurch ist eine sichere Verbindung und Positionierung der Sonde innerhalb der Außenhülse gewährleistet.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Sonde ist zwischen dem Innenumfang der Außenhülse und der Abschirmhülse ein radial umlaufender Spalt ausgebildet. Zudem ist es möglich, dass sich der Spalt zumindest bis in den Bereich des zweiten Isolatorelementes erstreckt. Vorteilhafterweise unterstützt der radial umlaufende Spalt die Ausdehnungsmöglichkeiten der unterschiedlichen Materialien der Sonde, insbesondere des Sondenkopfs, des Sondenkörpers und der Abschirmhülse bei einer entsprechenden Temperatureinwirkung. Eine Temperaturdehnung ist ohne weiteres möglich, temperaturbedingte Spannungsrisse werden zuverlässig verhindert.

In weiteren vorteilhaften Ausgestaltungen der erfϊndungsgemäßen Sonde bestehen das erste und das zweite Isolatorelement aus einer nicht-leitfähigen Keramik, insbesondere AL ₂ O ₃ oder Glas. Zudem können die Materialien für das Messelement mit der Mess- und Stirnfläche, die Elemente der ersten und zweiten Abschirmung sowie das erste und zweite Isola- torelement derart gewählt sein, dass sie ähnliche thermische Ausdehnungskoeffizienten besitzen. Auch durch diese Maßnahme wird möglichen temperaturbedingten Spannungsrissen innerhalb der Sonde vorgebeugt. Dabei kann insbesondere das Material für das Messelement mit der Mess- und Stirnfläche und die Elemente der ersten und zweiten Abschirmung eine Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung mit einem geringen thermischen Ausdehnungskoeffi- zienten sein. Derartige Materialien sind z. B. unter den Handelsbezeichnungen Vacon 11 und ALLO Y42 bekannt. Des Weiteren können die Elemente des Sondenkopfs und/oder die

Elemente des Sondenkörpers vakuumgelötet sein, wobei bevorzugterweise als Lotmaterial Silber-Titan Verwendung findet. Alle anderen Verbindungen zwischen Elementen der Sonde können lasergeschweißt als ebenfalls stoffschlüssige Verbindung ausgebildet sein.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Sonde ist diese mit einem Triaxialkabel verbunden, wobei ein Innenleiter des Triaxialkabels mit dem Messelement bzw. der Mess- und Stirnfläche, ein Mittelschirm des Triaxialkabels mit dem zweiten Teilelement der ersten Abschirmung und ein Außenschirm des Triaxialkabels mit dem zweiten Teilelement der zweiten Abschirmung elektrisch leitend verbunden sind. Da- bei sind entlang der Längsachse der Sonde Durchtrittsöffnungen für den Durchtritt des Innenleiters, des Mittelschirms und des Außenschirms des Triaxialkabels ausgebildet. In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist dabei im Bereich des ersten Isolatorelements und/oder dem ersten Teilelement der ersten Abschirmung der Durchmesser der Durchtrittsöffnung zumindest abschnittsweise größer als der Durchmesser des Innenleiters. Zudem ist es mög- lieh, dass im Bereich des zweiten Isolatorelementes und/oder dem ersten Teilelement der zweiten Abschirmung der Durchmesser der Durchtrittsöffhung zumindest abschnittsweise größer ist als der Durchmesser des Mittelschirms. Durch die Durchschnittsvergrößerungen ist gewährleistet, dass das die Durchtrittsöffnungen umgebende Material bzw. die umgebenden Materialien sich relativ ungehindert bei Temperatureinwirkung ausdehnen können. Auch in diesen Bereichen der Sonde wird daher einer möglichen Rissbildung durch unterschiedliche Temperaturausdehnungskoeffizienten der Materialien der einzelnen Elemente zuverlässig entgegengewirkt.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Sonde ist die an dem der Mess- und Stirnfläche abgewandten Ende des zweiten Teilelements der zweiten Abschirmung angeordnete Durchtrittsöffhung unsymmetrisch trichterförmig zur seitlichen Leitungsausführung und -Einführung des Triaxialkabels ausgebildet. Durch die seitliche Leitungsausfuhrung und -einfuhrung des Triaxialkabels verringert sich vorteilhafterweise die Bauhöhe der erfindungsgemäßen Sonde.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der Sondenkopf konisch ausgebildet, wobei er sich in Richtung der Mess- und Stirnfläche verjüngt und die Abschirmhülse mindestens einen an ihrem Innenumfang ausgebildeten Vorsprung zur Halte- rung des Sondenkopfs aufweist. Damit ist eine sichere Positionierung und Befestigung des 5 Sondenkopfes innerhalb der Abschirmhülse gewährleistet.

In weiteren vorteilhaften Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Sonde ist die Sonde oder der Sondenkörper und/oder der Sondenkopf in einer Distanzhülse angeordnet. Dadurch kann der Abstand zum Messobjekt variabel gestaltet werden, zudem kann durch veränderte0 Abstände eine Kalibrierung der Sonde ohne Weiteres vorgenommen werden. Insbesondere kann die Außenhülse der Sonde als Distanzhülse ausgebildet sein, wobei diese dann klemmbar mit dem umgebenden Gehäuse des entsprechenden Bauteils verbunden ist. Die Sonde kann ebenso an dem Gehäuse festgeschweißt sein. 5 Ein erfindungsgemäßes Spaltmesssystem zum übermitteln eines Rotorspalts zwischen einem Rotorschaufeln umfassenden Rotor und einem diesen bzw. die Rotorschaufeln zumindest abschnittsweise umgebenden Rotorgehäuse einer Strömungsmaschine weist zumindest eine kapazitive Sensoreinrichtung mit einer Elektrode und einer Gegenelektrode zum Ermitteln von den rotorspaltcharakterisierenden Kapazitätsmesswerten auf, wobei der Rotor o bzw. die Rotorschaufeln als Gegenelektrode der Sensoreinrichtung schaltbar ist bzw. sind und die Elektrode eine erfindungsgemäße Sonde ist, wie sie im Vorhergehenden beschrieben worden ist. Dabei kann die Strömungsmaschine insbesondere eine Gasturbine eines Flugtriebwerks sein oder auch eine stationäre Gasturbine, eine Dampfturbine oder ein Turbolader. Durch die Verwendung einer erfindungsgemäßen Sonde für das Spaltmesssystem5 ist gewährleistet, dass dieses bei hohen Temperaturen einsatzfähig ist und eine hohe Messgenauigkeit sowie eine hohe Lebensdauer aufweist.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich anhand der nachfolgenden Beschreibung zweier Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen. Da- o bei zeigt

Figur 1 eine schematische Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Sonde gemäß einem ersten Ausfuhrungsbeispiel;

Figur 2 eine schematische Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Sonde gemäß einem 5 zweiten Ausführungsbeispiel; und

Figur 3 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Spaltmesssystems.

Figur 1 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine Sonde 10 für eine kapazitive Sen-0 soreinrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel. Die Sonde 10 weist dabei eine Außenhülse 12 auf, wobei innerhalb der Außenhülse 12 ein Sondenkopf 14 angeordnet ist. Die Außenhülse 12 weist an dem dem Sondenkopf 14 gegenüberliegenden Ende einen umlaufenden Schweißbund 68 auf, der variabel gestaltbar und positionierbar ist. Das Material der Außenhülse 12 kann an das Material des umgebenden Gehäuses, wie zum Beispiel dem5 Gehäuse einer Fluggasturbine angepasst werden.

Der Sondenkopf 14 umfasst ein Messelement 46 mit einer Mess- und Stirnfläche 16, wobei die Mess- und Stirnfläche 16 dem Messobjekt, insbesondere einem Spalt zugewandt ist. Das Messelement 46 besteht dabei aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer e- o lektrisch leitfähigen Keramik, insbesondere einer Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung mit einem geringen thermischen Ausdehnungskoeffizienten. Es ist aber auch möglich, dass das Messelement 46 aus z. B. einer elektrisch nicht-leitfahigen Keramik besteht und nur die Mess- und Stirnfläche 16 mit dem Metall, der Metall-Legierung oder der elektrisch leitfähigen Keramik beschichtet ist. Man erkennt, dass der Sondenkopf 14 zudem ein erstes, e-5 lektrisch nicht-leitendes Isolatorelement, insbesondere aus einer nicht-leitfähigen Keramik wie AL ₂ O ₃ sowie ein erstes Teilelement 22 einer ersten Abschirmung 20 umfasst. Das erste Teilelement 22 besteht wiederum aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer e- lektrisch leitfähigen Keramik, insbesondere einer Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung. Des Weiteren erkennt man, dass das Messelement 46, das erste Isolatorelement 18 und das erste o Teilelement 22 der ersten Abschirmung 20 stoffschlüssig miteinander verbunden und als

Schichtpaket ausgebildet sind. Dabei ist das erste Isolatorelement 18 zwischen dem Mess-

element 46 und dem ersten Teilelement 22 angeordnet. Die Schichtung des als Schichtpaket ausgebildeten Sondenkopfs 14 ist dabei ungefähr senkrecht zu einer Längsachse 48 der Sonde 10 ausgebildet. Zudem ist der Sondenkopf 14 in einer Abschirmhülse 24 aus Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik angeordnet und von die- ser umgeben, wobei die Abschirmhülse 24 stoffschlüssig mit einem zweiten Teilelement 26 verbunden ist. Die stoffschlüssige Verbindung dieser Elemente kann dabei z. B. durch Laserschweißen erfolgen. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Sondenkopf 14 zudem konisch ausgebildet, wobei er sich in Richtung der Mess- und Stirnfläche 16 verjüngt. Die Abschirmhülse 24 weist einen an ihrem Innenumfang ausgebildeten und umlau- fenden Vorsprung 56 für den Einschub und zur Halterung des konisch ausgebildeten Sondenkopfes 14 auf.

Des Weiteren weist die Sonde 10 einen innerhalb der Außenhülse 12 angeordneten Sondenkörper 28 auf. Der Sondenkörper 28 besteht dabei aus einem zweiten Teilelement 26 der ersten Abschirmung 20, einem zweiten, elektrischen nicht-leitenden Isolatorelement 30 sowie einem ersten Teilelement 34 einer zweiten Abschirmung 32. Das zweite Teilelement 26 der ersten Abschirmung 20 und das erste Teilelement 34 der zweiten Abschirmung 32 bestehen dabei jeweils aus Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik, insbesondere einer Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung. Das zweite Isolatorelement 30 besteht wiederum aus einer elektrisch nicht-leitfähigen Keramik, insbesondere AL ₂ O ₃ . Es ist aber auch denkbar, dass die erste und zweite Abschirmung 20, 32 aus Glas oder andren elektrischen Isolatoren bestehen. Man erkennt, dass auch der Sondenkörper 28 als Schichtpaket ausgebildet ist, wobei die einzelnen Elemente wiederum stoffschlüssig miteinander verbunden sind. Dabei ist das zweite Isolatorelement 30 zwischen dem zweiten Teilelement 26 der ersten Abschirmung 20 und dem ersten Teilelement 34 der zweiten Abschirmung 32 angeordnet. Zudem sind auch die Teilelemente 22, 26 der ersten Abschirmung 20 stoffschlüssig miteinander verbunden. Die Schichtung des ebenfalls als Schichtpaket ausgebildeten Sondenkörpers 28 ist wiederum ungefähr senkrecht zu der Längsachse 48 der Sonde 10 ausgebildet.

Die zweite Abschirmung 32 umfasst zudem ein zweites Teilelement 36, das mit dem ersten Teilelement 34 zumindest teilweise stoffschlüssig verbunden ist, wobei das zweite Teilelement 36 ebenfalls aus einem Metall, einer Metall-Legierung oder einer elektrisch leitfähigen Keramik, insbesondere einer Eisen-Nickel-Kobalt-Legierung besteht. Man erkennt, dass das zweite Teilelement 36 zudem als Halter für den Sondenkörper 28 und dem damit verbundenen Sondenkopf 14 innerhalb der Außenhülse 12 ausgebildet ist. Hierzu weist das zweite Teilelement 36 eine an seinem Außenumfang umlaufende Schulter 38 zur Auflage auf einen am Innenumfang der Außenhülse 12 ausgebildeten und umlaufenden Vorsprung auf.

Des Weiteren erkennt man, dass zwischen dem Innenumfang der Außenhülse 12 und der Abschirmhülse 14 ein radial umlaufender Spalt 42 ausgebildet ist. Der Spalt 42 erstreckt sich gemäß dem Ausführungsbeispiel bis in den Bereich des zweiten Isolatorelementes 30.

Die Materialien für das Messelement 46 mit der Mess- und Stirnfläche 16, die Elemente 22, 24, 26, 34, 36 der ersten und zweiten Abschirmung 20, 32 sowie das erste und zweite Isolatorelement 18, 30 sind in dem dargestellten Ausführungsbeispiel derart gewählt, dass sie ähnliche thermische Ausdehnungskoeffizienten besitzen. Dabei sind die thermischen Ausdehnungskoeffizienten der verwendeten Metalle, Metall-Legierungen oder der elekt- risch leitfähigen Keramik an die der für die Isolatorelemente verwendeten Materialien, insbesondere der elektrisch nicht-leitfähigen Keramik angepasst.

Die Sonde 10 ist mit einem Triaxialkabel 44 verbunden, wobei das Triaxialkabel 44 wiederum mit einer entsprechenden Auswerteeinheit (nicht dargestellt) verbunden ist. Man er- kennt, dass ein Innenleiter 50 des Triaxialkabels 44 mit dem Messelement 46 bzw. der

Mess- und Stirnfläche 16, ein Mittelschirm 52 des Triaxialkabels 44 mit dem zweiten Teilelement 26 der ersten Abschirmung 20 und ein Außenschirm 54 des Triaxialkabels 44 mit dem zweiten Teilelement 36 der zweiten Abschirmung 32 elektrisch leitend verbunden sind. Dabei weist die Sonde 10 entlang ihrer Längsachse 48 Durchtrittsöffnungen für den Durchtritt des Innenleiters 50, des Mittelschirms 52 und des Außenschirms 54 des Triaxialkabels 54 auf. Dabei ist im Bereich des ersten Isolatorelements 18 und des ersten Teil-

elements 22 der ersten Abschirmung 20 der Durchmesser der Durchtrittsöffhung zumindest abschnittsweise größer als der Durchmesser des Innenleiters 50. Zudem ist im Bereich des zweiten Isolatorelementes 30 und dem ersten Teilelement 34 der zweiten Abschirmung 32 der Durchmesser der Durchtrittsöffhung ebenfalls zumindest abschnittsweise größer als der Durchmesser des Mittelschirms 52 des Koaxialkabels 44.

Figur 2 zeigt eine schematische Schnittansicht einer Sonde 10 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel. Im Unterschied zu der Sonde gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel ist die Durchtrittsöffnung an dem der Mess- und Stirnfläche 16 abgewandten Ende des zwei- ten Teilelements 36 der zweiten Abschirmung 32 unsymmetrisch trichterförmig ausgebildet. Dadurch ist eine seitliche Leitungsausführung und -einführung des Triaxialkabels 44 möglich. In allen anderen Merkmalen entspricht die Sonde 10 gemäß Figur 2 der in Figur 1 beschriebenen Sonde.

Figur 3 zeigt eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Spaltmesssystems 58. Das Spaltmesssystems 58 dient dabei zum Ermitteln eines Rotorspalts zwischen einem Rotorschaufeln 62 umfassenden Rotor 60 und einem diesen bzw. die Rotorschaufeln 62 zumindest abschnittsweise umgebenden Rotorgehäuse 64 einer Strömungsmaschine. Die Strömungsmaschine ist dabei eine Gasturbine eines Flugtriebwerks, ein Turbolader oder eine stationäre Gasturbine oder eine Dampfturbine. Das Spaltmesssystem 58 weist eine kapazitive Sensoreinrichtung 66 mit einer Elektrode und einer Gegenelektrode zum Ermitteln von den rotorspaltcharakterisierenden Kapazitätsmesswerten auf. Dabei sind der Rotor 60 bzw. die Rotorschaufeln 62 als Gegenelektrode der Sensoreinrichtung 66 schaltbar. Die E- lektrode der kapazitiven Sensoreinrichtung 66 wird durch eine Sonde 10, wie sie beispiel- haft in den Figuren 1 und 2 gezeigt ist gebildet. Sie bilden somit einen Kondensator, dessen Kapazitätsmesswerte C gemäß der allgemeinen Kondensatorformel C=ε _o *ε _r *A/d mit der Größe des Rotorspalts korrespondieren. In Figur 3 ist zudem die Position der Sonde 10 relativ zu den Schaufeln 62 des Rotors 60 ersichtlich und die damit erzeugten Messsignale 70. Im linken Teil der Figur 3 ist gegenüber der Sonde 10 eine Schaufellücke und im rech- ten Teil der Figur 3 gegenüber der Sonde 10 eine Schaufelspitze liegend bzw. stehend. Die Drehrichtung des Rotors 60 mit den Schaufeln 62 ist jeweils durch einen Pfeil angedeutet.

Das Messsignal 70 und seine Zugehörigkeit zu einer bestimmten Position der Schaufel 62 zur Sonde 10 sind ebenfalls durch Pfeile gekennzeichnet. Jeweils in der Mitte einer Lücke zwischen den Schaufeln 62 ist das Messsignal am kleinsten und beim kleinsten Abstand zwischen der Schaufel 62 bzw. deren Schaufelspitze und der Sonde 10 am höchsten.

Eine erfindungsgemäße Sonde kann in anderen Anwendungsfällen abhängig von dem e- lektronischen Sondentreiber und/oder der Messwerterfassung auch den Spalt zu glatten Oberflächen messen.