Die Erfindung bezieht sich auf die Verbindung von zwei flachen Teilen, zum Beispiel aus"Glas, von denen das—βirre in der Verbin¬ dungsflache Vertiefungen mit einem oder mehreren Durchbrüchen aufweist, zum Beispiel Tintenwannen beim Bubble Jet Printer, und Verfahren zur Realisierung dieser Verbindung.

Als Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahlkopfs wurde bei¬ spielsweise ein Verfahren vorgeschlagen, bei dem auf einer Plat¬ te aus einem Glasmaterial oder einem Metall sehr kleine Nuten durch Schneiden oder Ä ^' tzen eingeformt werden, wonach die mit derartigen Nuten ausgestattete Platte mit einer anderen geeig¬ neten Platte zur Bildung der Tintenströmungsführungen verbunden wird. In der DE-OS 3 222 680, in der auf ein derartiges Verfah¬ ren hingewiesen ist, wird aber über die Klebetechnik zwischen den Platten nichts ausgesagt.

Der Erfindung liegt die Au. gäbe zugrunde, eine Lösung für die eingangs genannte Verbindung zu konzipieren. Voraussetzung ist, daß diese Verbindung über große Zeiträume hochfrequente Druck¬ impulse aushält, tintenbeständig ist und die Tintenkanalquer- schnitte beim Verbindungsvorgang nicht verändert werden.

Diese Aufgabe wird gemäß dem Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen der Erfin¬ dung sind in den Unteransprüchen enthalten. Als Klebeschicht sind Photoresistfolien (Trockenresists) nur dann geeignet, wenn damit die Funktionen der Tintenzufuhröffnung und der Tintenwan¬ ne nicht beeinträchtigt werden. Ein Ausschneiden der Folie im Bereich der Tintenwanne ist zu ungenau (Schnitt- und Positio¬ niergenauigkeit) .

Mit der Lösung nach der Erfindung werden die der Aufgabe zugrun¬ deliegenden Bedingungen erfüllt. Die Folien sind handelsüblich und in verschiedenen Dicken verfügbar.

Für die Realisierung des prinzipiellen erfinderischen Gedankens, die Resistfolie mit ^" der sie abdeckenden Schutzfolie in bekann¬ ter Weise ganzflächig auf die Glasplatte zu kaschieren, wobei die Tintenwanne überspannt wird, werden zwei voneinander unab- hänge Problemlösungen geltend gemacht:

Vorschlag 1:

Die Resistfolie wird im Wannenbereich tiefgezogen, so daß die Wannenwände mit Resist ausgekleidet sind. Am Tintenzufuhrloch wird der Resist geöffnet.

Vorschlag 2:

Die Resistfolie wird im Bereich der Tintenwanne entfernt und ist dann nur noch an der zu klebenden Oberfläche vorhanden.

Zu Vorschlag 1:

Photoresistfolien sind thermoplastisch und daher zum Tiefziehen geeignet. Die Hersteller bieten sogenannte Vakuumlaminatoren an, in denen die Resistfolie mit der Schutzfolie zusammen über Oberflächenreliefs (wie Leiterbahnen auf Leiterplatten) ohne Lufteinschluß kaschiert wird. Das funktioniert aber nur bis zu Reliefhöhen, die der Foliendicke entsprechen (zur Zeit 25 bis 100 μm). Die Tintenwanne ist 500 μm tief.

Nach Vorschlag 1 wird die Schutzfolie vor dem Tiefziehen abge¬ zogen. Das ist möglich, weil im Gegensatz zur üblichen Anwen¬ dung keine Belichtung mit Maske erfolgt, bei der die Maske an der nunmehr klebrigen Oberfläche haften würde. Bei manchen Folientypen haftet die Schutzfolie so fest auf dem Resist, daß sie beim Abziehen über der Wanne Resistteile mit herausreißt. Hier hilft eine Belichtung mit sehr geringer Dosis dieser Be¬ reiche durch die Schutzfolie mit Hilfe einer Maske; die Tief-

ziehfähigkeit leidet kaum.

Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels in den Fi¬ guren erläutert. Es zeigen:

Figur 1 einen Schnitt durch ein Substrat mit einer Tintenwanne,

Figur 2 die Draufsicht auf die Wanne nach Figur 1,

Figur 3 einen Schnitt durch eine Unterdruckkammer,

Figur 4 das Oberflächenrelief einer Kanalplatte mit aufgelegtem Glassubstrat vor der Kleberstrukturierung,

Figur 5 den Schnitt VV in Figur 4 und

Figur 6 eine Einzelheit bei VI in der Figur 5.

In den Figuren ist mit 1 ein Substrat, zum Beispiel aus Glas, bezeichnet, das muldenförmige Tintenwannen 2 aufweist. Im Boden jeder Wanne ist ein Tintenzuführloch 3 vorgesehen. Über der Wan¬ ne ist eine Resistfolie 4 mit einer Schutzfolie 5 angedeutet. Eine Unterdruckkammer nach der Figur 3 besteht aus einem Ober¬ teil 6 und einem Unterteil 7, die mit Hilfe von Dichtungen 8 luftdicht verbunden werden können. In dieser Kammer liegt das Substrat 1. Eine Vakuumleitung 9 ermöglicht die Evakuierung der Kammer, und zwar mit getrennten Drucken unterhalb und oberhalb des Substrats mit Hilfe von Ventilen 10 bis 12. Das Unterteil 7 ist beheizbar. Der Wärmefluß ist durch die Pfeile angedeutet.

Das Fließverhalten der Resistfolie beim Tiefziehen kann über die Parameter Temperatur und Druckdifferenz gesteuert werden. Ein Tiefziehen mit Stempeln erscheint wenig geeignet (Resist- ausrisse, Lufteinschlüsse, Positionierproblem). Nach der Er¬ findung erfolgt ein kontaktloser Tiefziehprozeß mit Druckun¬ terschieden beiderseits der Folie, zum Beispiel in dem Kammer¬ unterteil 7 der Figur 3 durch Anlegen eines Unterdruckes im Wannenraum (Absaugen der Luft durch das Tintenloch), bei erhöh¬ ter Temperatur. Je nach Wannenform und Lage des Tintenloches

können dabei Lufteinschlüsse entstehen. Dann wird, wie in der Figur 3 dargestellt, verfahren: Das Substrat 1, zum Beispiel in Form einer Glasplatte, liegt in einer Kammer, die aus den trenn¬ baren Ober- und Unterteilen 6/7 besteht. Bei geöffneten Venti¬ len 10 und 11 und geschlossenem Ventil 12 wird zunächst die Kammer evakuiert, dann das Ventil 11 geschlossen und Ventil 12 geöffnet. Der Überdruck im Kammeroberteil drückt die temperier¬ te Resistfolie an die Wannenwände, wo sie verklebt.

Während der beschriebene Prozeß schon bei geringen Druckunter¬ schieden und Temperaturen abläuft (zum Beispiel 100 mbar; 80 ^β C), erfolgt das Öffnen des Tintenloches 3 anschließend bei höheren Werten (zum Beispiel 1 bar; 120 ^* C). Der verflüssigte Resist platzt am Tintenloch auf.

Der Vorschlag 1 arbeitet mit Positiv- oder Negativresistfolie (Erklärung: bei Positivresists können UV-belichtete Anteile, bei Negativresist die unbelichteten Anteile im Entwickler abge¬ löst werden). Bei Verwendung von Positivresist kann das Tinten¬ loch auch durch Belichtung und Entwicklung der hier vorhandenen Resistfläche geöffnet werden.

Zu Vorschlag 2:

Verwendet man Positivresist als Kleber, so geschieht die Resist- entfernung über der Wanne, in dem diese Bereiche der Schicht durch eine Maske belichtet und dann im Entwickler aufgelöst wer¬ den. Soll die Klebeschicht ganzflächig oder lokal dünner sein als die verfügbaren Resistfolien, so kann durch Anbelichten und Entwickeln ohne oder mit Maske ein Teil der Resistschicht abge¬ tragen werden.

Bei Negativresist kann Resistfreiheit im Wannenbereich photo¬ technisch nicht erreicht werden, weil mit belichteten Schichtan¬ teilen außerhalb des Wannenbereiches die Klebefähigkeit verlo¬ ren ginge (Vorhärtung). Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird deshalb die Wanne durch das Tintenloch mit Entwickler ge¬ füllt und damit die überspannende Resistfolie abgelöst. In den übrigen Bereichen verhindert die Schutzfolie 5 den Entwickler-

kontakt mit dem Resist. Damit die Füllung der Wanne mit Ent¬ wickler durch das enge Tintenloch (ca. 1 mm Durchmesser) überall in der Vielfachanordnung und vollkommen erfolgt, ist es zweckmäßig, das Eintauchen in den Entwickler innerhalb eines evakuierten Behälters vorzunehmen und dann zu belüften. Der äußere Überdruck drückt so die Entwicklerflüssigkeit in den (nahezu) luftleeren Wannenraum. Es ist auch möglich, die die Wanne überspannende Folie einzuschneiden oder zu lochen; da¬ durch wird der Entwickleraustausch verbessert. Beim selektiven Ablösen des Resists in der Wanne und beim anschließenden Spülen in Wasser ist Ultraschall von Vorteil. Neigt die Schutzfolie 5 dabei zum Ablösen von Resist, so kann das durch eine gitterför- mige Andruckplatte in einem Halter verhindert werden; dabei können zum Beispiel Gumminippel im Wannenbereich auf die Schutz¬ folie drücken.

In den Figuren 4 bis 6 ist ein alternatives Verfahren zur Reali¬ sierung der Erfindung schematisch dargestellt. Die Figur 4 zeigt in der Aufsicht die Kanalplatte mit der das Substrat 1 verklebt wird. Die Kanalplatte trägt Oberflächenstrukturen, die auf einer Seite die Kanäle 13 und im übrigen Bereich geeignete Klebeflä¬ chen 14 bilden. Die Lage der Tintenwanne in der aufgeklebten Deckplatte ist mit einer gestrichelten Linie 15 angedeutet. Die ausgezogenen Linien 16 und 17 bedeuten belichtete, ausgehärtete Resistbereiche in der Klebeschicht auf der Deckplatte. Sie die¬ nen einerseits als Abstandshalter 17 beim Kleben. Andererseits verhindert der um die Wanne laufende belichtete Steg 16 außer dem das im folgenden Absatz beschriebene Vordringen des Entwick¬ lers über den Wannenbereich hinaus. Zahl und Form der Abstands¬ halter 17 können den jeweiligen Erfordernissen angepaßt werden.

Weil beim Auflösen des Resists in der Tintenwanne der Entwick¬ ler auch geringfügig Resistmaterial an der Kante zwischen Schutzfolie und Glasoberfläche herauslösen kann, ist es zweck¬ mäßig, am Wannenrand vor der Entwicklung einen schmalen, umlau¬ fenden Streifen 16 (zum Beispiel 70 μm breit) mit Hilfe einer Maske zu belichten, der den Entwickler stopt (Figur 4 bis 6). In Figur 5 ist zum besseren Verständnis der Photoresist 4 mit seiner Schutzfolie 5 vor dem Entfernen der Resistanteile im

Wannenbereich dargestellt. Die Resistfolie in der Figur 6 über dem Karo 16 ist unbelichtet.

Ist der Wannenbereich resistfrei und gespült, so kann die Schutz¬ folie abgezogen werden.

Zu Vorschlag 1 und 2:

Beim Verkleben der Kanalplatte 1 und dem Deckglas in der Figur 4 müssen in der Regel zwei nicht völlig plane Oberflächen zusam¬ mengebracht werden. Es ist deshalb Druck auszuüben, der beim Aneinanderlegen, je nach Kleberviskosität, unzulässige lokale Kleberverschiebung, zum Beispiel in die Tintenkanäle, zur Fol¬ ge hat. Daher ist es zweckmäßig und bei Negativresists möglich, nach dem Kaschieren der Resistfolie Bereiche in der Klebeschicht durch Belichten mit Maske vorzuhärten; damit sind Abstandhalter 17 erzeugt (Figur 4). Ihre Elastizität (Kompressibilität) kann, falls erwünscht, durch die Lichtdosis angepaßt werden. Generell erleiden belichtete Schichtanteile einen geringen Dickenschwund (ca. 2 bis 4 % ) , so daß die Kleberoberfläche in jedem Fall mit der Gegenfläche Kontakt bekommt (Figur 6). Nach dem Zusammenfü¬ gen der justierten Teile (Kanalplatte und Deckglas) unter Druck und Temperatur (Viskositätssteuerung) erfolgt die Aushärtung des Klebers durch Temperieren (ca. 200 ^β C). Bei Negativresist kann vorher eine ganzflächige UV-Belichtung durch das Glas er¬ folgen.