Hexachlordisilan wird in der Chipfertigung in zunehmendem

Ausmaß eingesetzt. Häufig wird es über CVD-Prozesse über die Gasphase abgeschieden. Hierbei verbleiben jedoch noch Dämpfe, die nach dem Verlassen der Abscheidungskammern behandelt werden müssen .

In US 2009/0104100 AI wird die Behandlung Hexachlordisilan- haltiger Abgase beschrieben. Hierbei wird das Abgas in einer aufwendigen Apparatur zunächst unter Feuchtigkeitsausschluss oxidiert, bevor es durch einen Wäscher, der mit Wasser gefüllt ist, durchgeleitet wird. Bei der Reaktion von Hexachlordisilan mit Wasser oder

Feuchtigkeit im Allgemeinen wird HCl-Gas freigesetzt. Dieses greift die Silizium-Silizium-Bindung an. Hierdurch entstehen Si-H-haltige Hydrolyseprodukte, die sich bei mechanischem

Kontakt, z.B. durch Reibung, unter Funkenbildung zersetzen. Die Hydrolyseprodukte in fester Form können sogar unter Wasser unter Funkenbildung zerfallen.

Aufgabe der Erfindung ist den Stand der Technik zu verbessern und insbesondere ein Verfahren zur Verfügung zu stellen, bei dem Hexachlordisilanrückstände gefahrlos entsorgt werden können .

Insofern musste nach einer Methode geforscht werden, die die gefahrlose Entsorgung von Dämpfen oder auch von flüssigem

Hexachlordisilan ermöglicht. Es wurde gefunden, dass beim

Einleiten von Hexachlordisilan in ein Gemisch von Harnstoff und Alkohol keine zündfähigen Mischungen entstehen.

Überraschend wurde gefunden, dass Harnstoff einerseits

ausreichend basisch ist, um freiwerdendes HCl zu binden, auf der anderen Seite jedoch keinerlei Umlagerungen des Hexachlordisilans katalysiert.

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Entsorgung von Hexachlordisilan-haltigen Dämpfen, dadurch gekennzeichnet, dass Hexachlordisilan-haltige Dämpfe in ein Gemisch aufweisend: bei 900 bis 1100 hPa und 25°C flüssigen unpolaren

Kohlenwasserstoff, Harnstoff und bei 900 bis 1100 hPa und 25°C flüssigen Alkohol eingeleitet wird.

Als Lösungsmittel können folgende unpolare Kohlenwasserstoffe verwendet werden:

Vorzugsweise unpolare Kohlenwasserstoffe, wie aliphatische oder aromatische, bevorzugt Lösungsmittel auf der Basis von

Kohlenwasserstoffen mit vorzugsweise einem Siedepunkt unter 100°C bei Normaldruck (900 bis 1100 hPa) , vorzugsweise

Kohlenwasserstoffe mit 1 bis 20 Kohlenstoffatome, bevorzugt mit 6 bis 12 Kohlenstoffatomen, besonders bevorzugt Octan, Nonan, Decan, Benzol, Touluol, Xylol, wobei Xylol besonders bevorzugt ist.

Als Alkohole können folgende verwendet werden:

Vorzugsweise Alkohole, die bei 900 bis 1100 hPa und 25°C flüssig sind, vorzugsweise mit einem Siedepunkt von 50° - 150°C, bevorzugt von 90° bis 110°C, besonders bevorzugt von 100° bis 120°C, alle bei einem Druck von 900 bis 1100 hPa , vorzugsweise mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen, bevorzugt mit 3 bis 5 Kohlenstoffatomen, monofunktionelle Alkohole, di- oder mehrfach funktionelle Alkohole, besonders bevorzugt Pentanole, wie 1-Pentanol, 2-Pentanol, 3-Pentanol sowie 1-Butanol, 2-

Butanol, 3.-Butanol, 1-Propanol, 2-Propanol, wobei 3. -Butanol besonders bevorzugt ist.

Bei Verwendung von hochsiedendem Alkohol zur Abgasbehandlung werden bezogen auf 1 mol Alkohol: - 0,1 bis 0,5 Mol Harnstoff, besonders bevorzugt 0,2 bis 0,4 Mol

- 10 bis 200 ml Lösemittel, besonders bevorzugt 50 bis 100 ml Lösemittel eingesetzt.

Beispiel

Behandlung Hexachlordisilan-haltiger Abgase Die Abgase aus einer Apparatur, in der Hexachlordisilan unter

Stickstoff destilliert wird, werden durch ein Gemisch von 50 ml Xylol, 50 ml t.-Butanol und 10 g Harnstoff geleitet. Das

Gemisch wird mit einem Magnetrührer gerührt. Am Gasauslass bilden sich im Gegensatz zu einer Apparatur, in der das Abgas nur durch Silikonöl geleitet wird, keine weißen Beläge, die beim Berühren mit einem Metall zünden.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung sind, falls jeweils nicht anders angegeben, alle Mengen- und Prozentangaben auf das Gewicht und alle Prozentangaben sind auf das Gesamtgewicht bezogen, alle Temperaturen Raumtemperatur 25°C und alle Drücke bei der umgebenden Atmosphäre, also 900 bis 1100 hPal . Alle Viskositäten werden bei 25°C bestimmt.