本発明に係るセラミックシートの製造方� ��は、セラミックセッターの上にセラミック� ��リーンシートとセラミック多孔質スペーサ� ��を交互に積み重ね、さらにその最上部に焼� ��用治具を重しとして載置して積層体とする� ��程;および、上記積層体中のグリーンシート を焼成することによりセラミックシートを製 造する工程を含み;上記焼成用治具として、� �ルミナ、ジルコニア、ムライト、コージェ� �イトからなる群より選択される少なくとも1� ��を含み、JIS R1659に準拠して測定した静的曲 げ弾性率が5MPa以上、15MPa以下であり、且つ多 孔質のものを用いることを特徴とする。

 本発明方法では、先ず、セラミックセッ� ��ーの上にセラミックグリーンシートとセラ� ��ック多孔質スペーサーを交互に積み重ねる� ��例えば図2に示す様に、下面側の成形を兼ね たセラミックセッターC上に焼成用保護シー� �Dを載置し、その上にセラミックグリーンシ� ��トX1を載置する。次いで、多孔質スペーサ� �Z1、さらにセラミックグリーンシートX2、さ� ��に多孔質スペーサーZ2というように交互に� �み重ねて積層体Sとする。当該積層体の最上� ��に本発明の重し用多孔質焼成用治具Aを載置 した状態で焼成する。

 セラミックセッターは、上記積層体を効� ��よく焼成炉に投入するために積層体を載置� ��るためのものである。一枚のセッター上に� ��1組の積層体を載置してもよいが、効率的な 製造のためには一枚のセッターに複数組の積 層体を載置する。セラミックセッターの種類 は特に制限されず、市販のセラミックセッタ ーを使用できるが、有機物が除去され易くな るように多孔質のものが好ましく、また、焼 成時に固相反応やコンタミを起こさないよう に、焼成するグリーンシートと同様の材質を 含むものを選択することが好ましい。

 焼成されるべきセラミックグリーンシー� ��(以下、単に「グリーンシート」という)は� �目的物であるセラミックシートに応じて常� �により調製すればよい。

 グリーンシートの材料は、セラミックシ� ��トの原料として一般的に用いられるもので� ��れば特に制限されない。原料としては、例� ��ば、アルミナ、ムライト、コージェライト� ��シリカ、ホウ珪酸ガラス、窒化アルミニウ� ��、炭化珪素、チタン酸アルミニウム、ジル� ��ニア、セリア、ランタンクロマイト、ラン� ��ンガレート、ランタンマンガネート、ラン� ��ンコバルタイト、ランタンフェライト、酸� ��ニッケル等が例示され、これらから1種を選 択するか或いは2種以上を選択した混合物を� �用できる。また、焼成用セッター、セラミ� �クス回路基板、固体電解質など、製造目的� �であるセラミックシートの用途に応じて、� �の他成分を添加してもよい。

 製造目的物であるセラミックシートを固体� ��化物形燃料電池の固体電解質膜として使用� ��る場合には、より高度な熱的特性、機械的� ��性、電気的特性、化学的特性が要求される� ��こうした要求特性を満足させる固体電解質� ��料としては、ジルコニアに希土類元素から� ��る群から選ばれる少なくとも1種の酸化物を 含むものが好ましい。具体的な希土類元素の 酸化物としては、Sc ₂ O ₃ 、Y ₂ O ₃ 、La ₂ O ₃ 、CeO ₂ 、Pr ₂ O ₃ 、Nd ₂ O ₃ 、Sm ₂ O ₃ 、Eu ₂ O ₃ 、Gd ₂ O ₃ 、Tb ₂ O ₃ 、Dy ₂ O ₃ 、Ho ₂ O ₃ 、Er ₂ O ₃ 、Yb ₂ O ₃ が例示される。特に好ましくは、4~12モル%のS c ₂ O ₃ 、3~10モル%のY ₂ O ₃ あるいは3~15モル%のYb ₂ O ₃ で安定化されたジルコニアである。これらジ ルコニアに0.01~5質量%のアルミナ、シリカ、� �タニア、セリアなどを添加した材料も好適� �用いることができる。その他の電解質とし� �は、イットリア、サマリア、ガドリア等で� �ープされたセリアや、ランタンガレートの� �ンタンやガリウムの一部が、ストロンチウ� �、カルシウム、バリウム、マグネシウム、� �ルミニウム、インジウム、コバルト、鉄、� �ッケル、銅などで置換されたランタンガレ� �ト系ペロブスカイト構造酸化物などを使用� �ることができる。

 グリーンシートは、常法により製造するこ� ��ができる。例えば、セラミック原料粉末に� ��インダー、分散媒、必要に応じて分散剤、� ��塑剤、潤滑剤、消泡剤等をボールミル、ニ� ��ダーやミキサー等を用いて混合して、スラ� ��ー組成物あるいは混練組成物を調製する。� ��の組成物を通常の方法、即ちドクターブレ� ��ド法、押出成形法、カレンダーロール法等� ��よりシート状に成形した後、所定の形状に� ��断すればよい。グリーンシートの大きさお� ��び厚さは、目的とする焼結体の大きさおよ� ��厚さと焼成による線収縮率から求められる� ��、固体酸化物形燃料電池用の固体電解質膜� ��して使用する場合は、その厚さとしては0.05 mm以上が好ましく、0.1mm以上、1mm以下がより� �ましく、0.8mm以下が特に好ましい。また、実 用で十分な発電性能を確保するには、面積と して50cm ² 以上が好ましく、100cm ² 以上がより好ましい。面積の上限は特に制限 されないが、均質性や工業的生産性などを考 慮すると900cm ² が上限と考えられる。

 シートの形状は、円形、楕円形、角形やR (アール)をもった角形など何れでもよく、こ� ��らのシート内に、円形、楕円形、角形やR(� �ール)をもった角形などの穴を有するもので� ��ってもよい。なお、上記面積とは、シート� ��に穴がある場合は穴の面積を含んだ外周縁� ��囲まれる全面積を意味するものとする。

 グリーンシートを作製するための上記ス� ��リー組成物あるいは混練組成物を調製する� ��に用いられるバインダーの種類にも格別の� ��限はなく、従来から知られた有機質もしく� ��無機質のバインダーを適宜選択して使用す� ��ことができる。有機質バインダーとしては� ��エチレン系共重合体、スチレン系共重合体� ��(メタ)アクリレート系共重合体、酢酸ビニ� �系共重合体、マレイン酸系共重合体、ビニ� �アセタール系樹脂、ビニルホルマール樹脂� �ポリビニルブチラール樹脂、ビニルアルコ� �ル系樹脂、エチルセルロース等のセルロー� �類、ワックス類等が例示される。

 これらの中でもグリーンシートの成形性� ��強度、特に量産のために大量焼成するとき� ��熱分解性などの点から、メチルアクリレー� ��、エチルアクリレート、プロピルアクリレ� ��ト、ブチルアクリレート、イソブチルアク� ��レート、シクロヘキシルアクリレート、2-� �チルヘキシルアクリレート等の炭素数10以下 のアルキル基を有するアルキルアクリレート 類;メチルメタクリレート、エチルメタクリ� �ート、プロピルメタクリレート、ブチルメ� �クリレート、イソブチルメタクリレート、� �クロヘキシルメタクリレート、2-エチルヘキ シルメタクリレート、ドデシルメタクリレー ト、ラウリルメタクリレート等の炭素数20以� ��のアルキル基を有するアルキルメタクリレ� ��ト類;ヒドロキシエチルアクリレート、ヒド ロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシエ チルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメ タクリレート等のヒドロキシアルキル基を有 するヒドロキシアルキルアクリレートまたは ヒドロキシアルキルメタクリレート類;ジメ� �ルアミノエチルアクリレート、ジメチルア� �ノエチルメタクリレート等のジアルキルア� �ノアクリレートまたはアルキルアミノメタ� �リレート類;(メタ)アクリル酸、マレイン酸� �モノイソプロピルマレートのようなマレイ� �酸半エステル等のカルボキシル基含有モノ� �ー等の中から少なくとも1種を重合または共� ��合させることによって得られるポリマーが� ��ましく使用される。

 これらの中で特に好ましいのはイソブチ� ��メタクリレートおよび/または2-エチルヘキ� ��ルメタクリレートを60質量%以上含む、数平� ��分子量が20000~250000、より好ましくは50000~2000 00のメタクリレート系共重合体である。

 セラミック多孔質スペーサーは、焼成時� ��おけるグリーンシート同士の固着を防いだ� ��、有機物の除去を促進したりするといった� ��的で使用される。よって、セラミック多孔� ��スペーサーは、セラミックセッターと同様� ��ものとすることが好ましい。セラミック多� ��質スペーサーとしては、一般的に、アルミ� ��、ジルコニア、ムライトからなる群より選� ��される少なくとも一種を含み、厚さは0.1mm� �上、0.3mm以下のものが好適に使用される。ま た、多孔質スペーサーは、焼成中にグリーン シートから発せられるバインダー等の分解ガ スが容易に飛散できるように多孔質であるこ とが好ましい。その気孔率としては、30%以上 、60%以下が好ましい。また、多孔質スペーサ ーは、グリーンシートが焼成により収縮する 際に表面が傷付かないように、摩擦係数が低 く且つ表面が平滑であることが好ましい。

 より具体的には、多孔質スペーサーの摩擦� ��数としては、JIS K7125(1987年)で規定されてい る静止摩擦係数で1.5以下が好ましく、1.2以下 がより好ましい。JIS K7125(1987年)ではプラス� �ックフィルムやプラスチックシートの摩擦� �数試験方法が定義されており、本発明の静� �摩擦係数はこれに準拠して測定する。具体� �には、試験片として160mm×160mmの多孔質スペ� �サーを用い、その上に40mm×40mm、厚さ2mmのフ� ��ルト(JIS L3201に規定されているR36W)のフェル トを介して滑り片である40mm×40mmの金属板を� �せる。フェルトと滑り片の一体物をロード� �ルにより100mm/分の速度で引っ張った場合に� �ける最初の最大荷重を静止摩擦力:F _s として測定し、また、フェルトと滑り片の一 体物の荷重:F _p から、静止摩擦係数:μ _e を以下の式により算出する。
  μ _e =F _s /F _p

 多孔質スペーサーの表面粗さとしては、R _a で0.1μm以上、1μm以下、R _max で1以上、10μm以下が好ましく、R _a で0.3以上、0.6μm以下、R _max で3以上、6μm以下がより好ましい。

 本発明では、セラミックセッター上にグ� ��ーンシートを載せ、さらにセラミック多孔� ��スペーサーとグリーンシートを交互に積み� ��ねる。積み重ねるグリーンシートとセラミ� ��ク多孔質スペーサーの数は、反りやうねり� ��発生せず且つ負荷荷重により積層体下部側� ��シートに割れやクラックが発生しない限り� ��に制限されないが、多いほど一度に焼成で� ��るため効率良くセラミックシートを製造で� ��る。よって、使用する焼成炉に挿入できる� ��囲で積層体高さは高くすればよいが、積層� ��が高過ぎると崩れ易くなるので、各シート� ��厚さ等に応じて高さを調整する。

 より具体的には、積層するグリーンシー� ��の枚数は、その寸法にもよるが、直径:150mm� ��場合は2~20枚程度が好ましく、4~12枚程度が� �り好ましい。

 本発明では、上記積層体の最上部に、ア� ��ミナ、ジルコニア、ムライト、およびコー� ��ェライトからなる群より選択される少なく� ��も1種を含み、JIS R1659に準拠して測定した� �的曲げ弾性率が5MPa以上、15MPa以下であり、� �つ多孔質の焼成用治具を重しとして載置す� �。かかる焼成用治具であれば、特に焼成中� �おける反りなどが抑制されるため、負荷荷� �の低い上部のグリーンシートの反りも抑制� �能である。

 本発明の焼成用治具は、アルミナ、ジル� ��ニア、ムライト、およびコージェライトか� ��なる群より選択される少なくとも1種を含む 。特に、ムライトが50質量%以上、90質量%以下 含まれ、さらに好ましくは60質量%以上、85質� ��%以下含まれており、残部がアルミナ、ジル コニア、コージェライトから選ばれる少なく とも1種からなるものが好ましい。ムライト� �耐クリープ性や耐スポーリング性に優れて� �り、ムライトを適度に含む焼成用治具を繰� �返し使用しても得られるジルコニアシート� �反りやたわみは少なく、安定した形状のも� �が効率良く製造できる。ムライトが50質量%� �満では、本発明が求める耐クリープ性や耐� �ポーリング性が得られない場合があり得る� �一方、90質量%を超えると、本発明で好適な� �さ比重、通気性、気孔率が得られなくなる� �それがあり得る。また、本発明の焼成用治� �としては、ムライトとアルミナ、またはム� �イトとジルコニアからなるものが好ましい� �

 これら焼成用治具は、セラミック粉末に� ��インダーを添加し、圧力を加えながら成形� ��た後に1200~1600℃で焼成することにより製造� ��ることができる。セラミック粉末としては� ��アルミナ、ジルコニア、ムライト、および� ��ージェライトからなる群より選択される少� ��くとも1種の粉末;アルミナ、シリカ、マグ� �シアの粉末;または水酸化アルミニウム、水� ��化ケイ素、水酸化マグネシウムの粉末を用� ��ることができる。バインダーとしては、ア� ��ミナゾルやジルコニアゾル等の耐熱性バイ� ��ダーが好適である。また、所望のかさ密度� ��通気性、気孔率に調整するために、バイン� ��ーの他にアルミナ繊維、アルミナ-シリカ繊 維、アルミナ-ジルコニア繊維、ジルコニア� �維を添加してもよい。

 本発明で規定されている弾性率は、JIS R1659 (2003年)のファインセラミックス多孔体の弾性 率試験方法に定義される静的曲げ弾性率のこ とである。より具体的には、本発明の弾性率 は、試験片に静的な曲げ荷重を加えることに より生じる弾性変形を測定し、得られた応力 と歪との関係から求められる等温弾性係数と 定義できる。具体的には、焼成用治具を3点� �げ支持具に取り付け、変位検出計を取り付� �た万能材料試験機を用いて、2つの異なる荷� ��をかけたときの試料片先端部の変異を測定� ��る。得られた測定値を下記式に代入して弾� ��率:Eを求めることができる。
  E=[L ³ (P ₂ -P ₁ )/{(4×w×t ³ )×(Y ₂ -Y ₁ )}]×10 ^-3
[式中、Lは焼成用治具を取り付ける3点曲げ支 持具の間隔を示し、P ₂ -P ₁ は異なる荷重の差(絶対値)を示し、wは焼成用 治具の幅を示し、tは焼成用治具の長さを示� �、Y ₂ -Y ₁ は焼成用治具を先端部の変異の絶対値を示す 。]

 本発明者らは、この弾性率と焼成用治具� ��反りやうねり等の程度との相関関係を見出� ��、その範囲を5MPa以上、15MPa以下と特定した� ��当該弾性率が5MPa未満であると、後述する多 孔質焼成用治具のはみ出し部分の最大たわみ 量(先端部の位置のたわみ量)は1.0mm以上とな� �、また、はみ出し部以外の荷重部分も反り� �が0.3mm以上となる。このとき、得られるセラ ミックシートの反り率(反り量/セラミックシ� ��ト厚さ×100)も±10%以上となり、形状品質が� �題となり、不合格となるものが多くなって� �産性が低下する。一方、弾性率が15MPaを超え ると、得られるセラミックシートの反りやう ねりは小さくなるが、かさ密度が大きく、通 気率や気孔率が小さくなってバインダー等の グリーンシート中に含まれる有機物の熱分解 ガスが飛散されにくくなり、セラミックシー トに割れやクラックが発生し易くなる。当該 弾性率としては、6MPa以上、14MPa以下が好まし く、7MPa以上、12MPa以下がより好ましい。

 本発明において、焼成用治具のたわみ、� ��り、うねりの評価は以下の通り測定するこ� ��ができる。先ず、厚さ:2.5mmで直径:150mmの円� ��焼成用治具を3枚積層し、3枚積層中の中央� �置の治具を2.5cmはみ出させる。次いで、この 積層体を1500℃まで15時間かけて昇温し、同温 度で5時間保持後、室温まで温度を下げる。� �該熱処理後の中央位置の治具を測定サンプ� �とする。このサンプルのはみ出した先端部� �表面から中央部へ、レーザー光学式非接触3� ��元形状測定装置(UBM社製、商品名:マイクロ� �ォーカスエキスパート、型式:UBC-14型)を用い てレーザー光を照射し、その反射光を三次元 形状解析することによって、たわみ、反りお よびうねりの最大値を測定する。

 上記JIS R1659の弾性率試験方法で定義され る静的曲げ弾性率測定値は、図1に示すよう� �、これらたわみ等の最大値と相関関係があ� �。よって、上記焼成用治具の静的曲げ弾性� �を特定すれば、グリーンシート積層体を大� �に焼成するときに繰り返し使用しても、得� �れたセラミックシートは反りやうねりが非� �に低減されており、形状品質が優れたもの� �なる。

 なお、本発明で使用するレーザー光学式非� ��触3次元形状測定装置の主な仕様は、以下の 通りである。
  光源: 半導体レーザー(780nm)
  スポット径: 1μm
  垂直分離能:0.01μm
また、本発明で使用するレーザー光学式非接 触3次元形状測定装置は、0.1mmのピッチでライ ンプロフィール分析でき、測定対象となる焼 成用治具表面にレーザー光を照射して表面で フォーカスを結び、その反射光をフォトダイ オード上に均等に結像させるとき、表面の変 位に対し像に不均等が生じると、即座にこれ を解消する信号を発して対物レンズの焦点を 常に表面に合うようにレンズが制御される構 造を備えている。その移動量を検出すること によって、表面の凹凸や変位を非接触に測定 できる。その分解能は通常1μm以下であり、� �の装置を用いることによって、表面の変位� �らたわみ量、反り量、うねり量を正確に検� �できる。さらには、焼成用保護シート、セ� �ミック多孔質スペーサー、得られたセラミ� �クシート等の反りやうねりや表面粗さも上� �レーザー光学式非接触3次元形状測定装置で� ��定できる。

 本発明の焼成用治具の形状は特に制限され� ��いが、焼成するグリーンシートの形状と同� ��形状か相似形であり、グリーンシート寸法� ��±5mm以内の寸法のものが好適である。グリ� �ンシートへより均一に荷重をかけ得るから� �ある。その厚さも制限されないが、ハンド� �ング強度が十分にあり、且つグリーンシー� �にかかる荷重を0.3~3g/cm ² になるように設定できる厚さにする。一般的 には厚さを1~10mm、より好ましくは1.5~8mm、さ� �に好ましくは2~5mmの範囲とする。また、使用 する焼成用治具の枚数でグリーンシートにか かる荷重を調整してもよい。本発明の焼成用 治具を複数枚重ねて使用する場合には、厚さ を0.1~5mmとすることが好ましく、0.2~1.5mmとす� �ことがより好ましい。

 本発明の焼成用治具としては、そのかさ� ��重が0.8以上、2以下であるものが好適である 。当該かさ比重が0.8未満では焼成用治具のハ ンドリング強度が弱く取り扱いが難しくなる 場合がある。一方、2を超えると気孔率や通� �性が小さくなって、焼成中にバインダー等� �分解ガスがグリーンシートから容易に飛散� �きずに割れやクラックが発生し易くなるお� �れがある。当該かさ比重としては、1.1以上� �1.5以下がより好ましい。このかさ比重は、JI S R2205(1992年)で規定された方法により測定で� ��る。

 本発明の焼成用治具としては、その通気率� ��0.01cm ² 以上、0.1cm ² 以下であるものが好適である。当該通気率が 0.01cm ² 未満では、焼成中にバインダー等の分解ガス がグリーンシートから容易に飛散できずに割 れやクラックが発生し易くなりおそれがある 。一方、0.1cm ² を超えると、焼成用治具のハンドリング強度 が弱く取り扱いが難しくなる場合がある。当 該通気率としては、0.012cm ² 以上、0.05cm ² 以下がより好ましい。この通気率は、JIS R211 5(1995年)で規定された方法により測定できる� �

 本発明の焼成用治具としては、その気孔� ��が50%以上、75%以下であるものが好適である� ��当該気孔率が50%未満では、焼成中にバイン� ��ー等の分解ガスがグリーンシートから容易� ��飛散できずに割れやクラックが発生し易く� ��るおそれがある。一方、75%を超えると、焼� ��用治具のハンドリング強度が弱く取り扱い� ��難しくなる場合がある。当該気孔率として� ��、55%以上、70%以下がより好ましい。この気� ��率は、JIS R2205(1992年)で規定された方法によ り測定できる見かけ気孔率である。

 本発明方法においては、最上部のグリー� ��シートと上記焼成用治具との間、または最� ��部のグリーンシートと上記セラミックセッ� ��ーとの間の少なくとも一方に、焼成用保護� ��ートを挿入することが好ましい。グリーン� ��ートと焼成用治具またはセラミックセッタ� ��とが焼成中に接していると固相反応が起こ� ��、セラミックシートの組成が変化する場合� ��あり得る。また、焼成用治具やセラミック� ��ッターの表面粗さによっては、グリーンシ� ��ト表面にキズが生じるおそれがある。そこ� ��焼成用保護シートを用いることによって、� ��れらを確実に抑制することができる。

 焼成用保護シートの材質としては、アル� ��ナ、ジルコニア、マグネシア、セリア、チ� ��ニア、ムライトからなる群より選択される� ��なくとも1種が好適である。また、焼成中に グリーンシートから発せられるバインダー等 の分解ガスが容易に飛散できるように、多孔 質構造とすることが好ましい。その気孔率と しては30%以上、50%以下が好ましく、35%以上、 50%以下がより好ましい。

 上述したように、焼成用保護シートの表面� ��粗いとグリーンシートの表面を傷付けるお� ��れがある。よって、焼成用保護シートの表� ��は平坦であることが好ましい。具体的には� ��焼成用保護シートの表面粗さとしてはR _a で0.1μm以上、1.0μm以下、R _max で1μm以上、10μm以下が好ましい。より好まし くは、R _a で0.3μm以上、0.6μm以下、R _max で3μm以上、6μm以下である。

 なお、焼成用保護シートの代わりに、上記� ��成用治具の表面に焼成用保護シートの機能� ��有する薄い被覆層を直接設けてもよい。こ� ��被覆層は、焼成用保護シートと同様にアル� ��ナ、ジルコニア、マグネシア、セリア、チ� ��ニア、ムライトからなる群より選択される� ��なくとも1種を含み、多孔質で通気性を有し 、且つ表面粗さはR _a で0.1μm以上、1μm以下、好ましくは0.3μm以上� �0.6μm以下、R _max で1μm以上、10μm以下、好ましくは3以上、6μm� ��下である。

 本発明で用いる焼成用保護シートの形状� ��特に制限されないが、焼成するグリーンシ� ��トの形状と同一形状か相似形であり、グリ� ��ンシート寸法の±5mm以内の寸法のものが好� �である。また、焼成用保護シートの厚さは� �通常0.2~2mm程度とすることが好ましい。

 なお、焼成用保護シートの代用として、� ��に記載の多孔質スペーサーを使用すること� ��可能である。

 焼成するに当っては、上記焼成用治具また� ��上記焼成用保護シートの少なくとも一方の� ��状、厚さ、重量などを調節することによっ� ��、上記積層体中における全てのグリーンシ� ��トにかかる荷重を0.3g/cm ² 以上、3g/cm ² 以下にすることが好ましい。当該荷重が0.3g/c m ² 未満であると重しとしての効果が十分に発揮 されず、セラミックシートに反り等が発生す るおそれがある。一方、3g/cm ² を超えると、荷重がかかり過ぎてセラミック シートに割れやクラックが発生する場合があ り得る。より好ましい荷重は、0.4cm ² 以上、2.8g/cm ² 以下の範囲である。

 本発明方法では、上記積層体中のグリー� ��シートを焼成することによりセラミックシ� ��トを製造する。

 焼成に使用する焼成炉は一般的なものを用� ��ればよいが、バッチ式や連続式(トンネル型 )のガス焼成炉または電気炉を使用すること� �好ましい。使用する焼成炉としては、例え� �バッチ式ガス焼成炉の場合はその容量が1m ³ 以上のものが好ましい。

 具体的な焼成の条件は特に制限されず、� ��法に従えばよい。例えば、先ずグリーンシ� ��トからバインダーや可塑剤等の有機成分を� ��去するために150~600℃、好ましくは250~500℃� �5~100時間、好ましくは20~80時間程度処理する� ��次いで、1000~1600℃、好ましくは1200~1500℃で2 ~10時間保持焼成することによって、セラミッ クシートを得る。

 本発明方法によれば、たわみ、反り、う� ��り、割れ、クラックなどの不良が抑制され� ��セラミックシートを歩留りよく製造するこ� ��ができる。即ち、本発明に係るセラミック� ��ートは、反りなどの不良が抑制された高品� ��のものである。よって、本発明に係るセラ� ��ックシートは、熱や荷重を負荷されても反� ��等の部分に荷重等が集中することがないの� ��、使用時における割れやクラックの発生が� ��減される。

 本発明に係るセラミックシートは、常法� ��より固体酸化物形燃料電池の固体電解質と� ��て利用できる。例えば、本発明に係るセラ� ��ックシートの一方の面に酸化ニッケル-ジル コニアサーメットからなる燃料極を、他方の 面にランタンマンガネートからなる空気極を 形成した燃料電池セルとする。当該セルを直 列に積層してスタック化すればよい。本発明 に係るセラミックシートは、上記特性から、 発電時に熱や荷重が負荷される固体酸化物形 燃料電池の固体電解質とすれば信頼性の高い セルが得られ、結果として耐久性等に優れた 固体酸化物形燃料電池が得られる。