Die Erfindung betrifft ein Werkzeug gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 und ein Verfahren zur Herstellung einer mikrostruk¬ turierten Kunststoffschicht gemäß Anspruch 3.

Ein solches Werkzeug und ein solches Verfahren sind aus der DE 35 37 483 Cl bekannt. In den Fig. 2 und 13 ist ein Werkzeug bestehend aus MikroStrukturen und einer fest mit ihnen verbun¬ denen Grundplatte dargestellt, wobei die Stirnflächen der Mi- krostrukturen parallel zur Grundplatte verlaufen.

Ferner ist aus dieser Druckschrift ein Verfahren zum Herstel¬ len einer Vielzahl plattenförmiger Mikrostrukturkörper aus Me¬ tall bekannt, bei dem durch wiederholtes Abformen eines die MikroStrukturen aufweisenden Werkzeugs mit einer elektrisch isolierenden Abformmasse Negativformen der MikroStrukturen er¬ zeugt werden, die galvanisch mit einem Metall aufgefüllt wer¬ den, wonach die Negativformen entfernt werden, bei dem eine Ausführungsform (Maßnahme b) dadurch gekennzeichnet ist, daß die elektrisch isolierende Abformmasse mit einer weiteren Schicht aus elektrisch leitender Abformmasse verbunden wird, wobei die Dicke der elektrisch isolierenden Abformmasse der Höhe der MikroStrukturen entspricht in der Weise, daß die elektrisch leitende Abformmasse im Zuge des Abformens die Stirnflächen der MikroStrukturen des Werkzeugs berührt.

Bei diesem Verfahren soll das die MikroStrukturen tragende Werkzeug so weit durch die elektrisch isolierende Schicht der Verbundschicht gepreßt werden, bis die Stirnflächen der Mi- krostrukturen die elektrisch leitende Schicht erreichen. Bei diesem Vorgang wird die Verbundschicht erwärmt. Für die Dicke der elektrisch isolierenden Schicht wird ein Wert von 0,3 mm angegeben. Beim Einpressen des Werkzeugs sollen die Stirnflä¬ chen der MikroStrukturen die elektrisch leitende Schicht frei-

legen, so daß die elektrisch leitende Schicht als Elektrode geschaltet werden kann und die durch die MikroStrukturen des Werkzeugs geschaffenen Vertiefungen galvanisch mit einem Me¬ tall aufgefüllt werden können.

Für die elektrisch leitende Schicht der Verbundschicht wird eine Formmasse bestehend aus PLEXIGLAS ^R (Polymethyl- methacrylat, PMMA) und 20 Gew.-% Leitruß vorgeschlagen; die elektrisch isolierende Schicht besteht aus reinem PLEXIGLAS ^R .

Es hat sich gezeigt, daß bei diesem Verfahren vor allem dann, wenn die Stirnflächen der MikroStrukturen des Werkzeugs rela¬ tiv groß sind, die elektrisch leitende Schicht nicht oder nicht ausreichend freigelegt wird und daher nicht als Elek¬ trode für die galvanische Abscheidung eines Metalls dienen kann. Die ebenen Stirnflächen des Werkzeugs können in diesem Fall die isolierende Schicht nicht durchstoßen. Dies trifft auch dann zu, wenn die isolierende Schicht eine Dicke von we¬ niger als einem Zehntel der Höhe der MikroStrukturen aufweist und die MikroStrukturen des Werkzeugs vollständig in die Ver¬ bundschicht eingepreßt werden; auch dann verbleibt immer noch ein elektrisch isolierender Rest am Grund der durch das Werk¬ zeug geschaffenen Vertiefungen in der Verbundschicht bestehen. Das Verfahren ist daher auf die Abformung von solchen Werkzeu¬ gen beschränkt, deren MikroStrukturen sehr kleine Stirnflächen aufweisen.

Ein weiteres Verfahren zur Herstellung von galvanisch abform¬ baren Negativformen mikrostrukturierter, plattenförmiger Kör¬ per ist aus der DE 40 10 669 Cl bekannt. Bei diesem Verfahren wird ebenfalls eine Verbundschicht hergestellt, die aus einer elektrisch leitenden und einer isolierenden Schicht besteht. Das Werkzeug wird bei erhöhter Temperatur jedoch - im Gegen¬ satz zu den Verfahren der eingangs genannten Art - durch den Film des elektrisch leitenden Materials hindurch in die nicht leitende Schicht eingedrückt. Bei diesem Verfahren soll die Schicht des leitendenden Materials etwa 50 n bis 500 n dick

sein. Vor dem Beschichten mit dem leitenden Material soll die nicht leitende Kunststoffschicht etwa durch Mikrosandstrahlen aufgerauht werden. Beim Einpressen des Werkzeugs in die Ver¬ bundschicht reißt bei diesem Verfahren der Film des elektrisch leitenden Materials an den mit MikroStrukturen versehenen Stellen des Werkzeugs auf. Nach dem Entfernen des Werkzeugs bleiben auf den senkrechten Wänden und auf der Stirnseite der abgeformten MikroStrukturen kleine, gegeneinander isolierte, inselartige Flitter des elektrisch leitenden Materials zurück. Im Strukturgrund bleibt der Film des elektrisch leitenden Ma¬ terials dagegen unzerstört erhalten.

Das Verfahren ist nur anwendbar, wenn der Strukturgrund der abgeformten Vertiefungen in der Verbundschicht eine zusammen¬ hängende Fläche bildet, da nur in diesem Fall im Strukturgrund eine elektrisch leitende, als Elektrode schaltbare Schicht ausgebildet wird.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren der eingangs genannten Art vorzuschlagen, mit dessen Hilfe eine mikrostrukturierte KunststoffSchicht hergestellt werden kann, die sich auch dann zuverlässig und strukturgenau abformen läßt, wenn das zur Abformung werwendete Werkzeug Mikrostru - turkörper mit einer großen Stirnfläche aufweist. Die durch dieses Verfahren hergestellte mikrostrukturierte Kunststoff¬ schicht soll sich - unabhängig von der Form und der geometri¬ schen Anordnung der MikroStrukturen - in jedem Fall galvanisch abformen lassen, indem die elektrisch leitende Schicht der Verbundschicht als Elektrode geschaltet wird. Ferner soll ein Werkzeug der eingangs genannten Art zur Durchführung des Ver¬ fahrens und ein Verfahren zur Herstellung des Werkzeugs ange¬ geben werden.

Die Aufgabe der Erfindung wird durch die kennzeichnenden Merk¬ male des dritten Patentanspruchs gelöst. Das bei diesem Ver-

fahren eingesetzte Werkzeug wird im Kennzeichen des ersten Pa¬ tentanspruchs beschrieben. Der zweite Patentanspruch gibt ein Verfahren zur Herstellung des Werkzeugs an.

Das erfindungsgemäße Verfahren geht von einer Verbundschicht aus, die aus einer Schicht eines elektrisch leitenden Materi¬ als und aus einer Schicht eines elektrisch nichtleitenden, isolierenden Materials besteht.

Als elektrisch leitendes Material kann das in der eingangs ge¬ nannten DE 35 37 483 Cl vorgeschlagene mit Leitruß gefüllte Polymethylmethyacrylat verwendet werden. Ebenso gut läßt sich mit Metallpulvern gefülltes PMMA einsetzen. Beispielsweise kann das elektrisch leitende Material durch Aufschmelzen eines Gemisches von 10 bis 20 Gew.-% Nickel- und/oder Silberpulver und der entsprechenden Menge PMMA-Pulver hergestellt werden. Weiterhin kann als leitendes Material elektrisch leitender Kunststoff, beispielsweise mit Metallionen dotiertes Poly- acetylen oder Polythiophen verwendet werden. Schließlich er¬ scheinen als leitendes Material Fullerene mit eingeschlossenen Metallionen geeignet. Wesentlich ist lediglich, daß das elek¬ trisch leitende Material bei einer höheren Temperatur ausrei¬ chend erweicht,- so daß sich ein mikrostrukturiertes Werkzeug formtreu abgeformen läßt, und daß es bei einer niedrigeren Temperatur während der galvanischen Abformung mechanisch aus¬ reichend stabil ist.

Als elektrisch nichtleitendes Material ist PMMA oder ein an¬ deres bei höherer Temperatur formbares Polymer oder Copolymer geeignet.

Die Verbundschicht kann in der in der eingangs genannten DE 35 37 483 Cl beschriebenen Art hergestellt werden, indem z. B. durch Aufgießen und anschließendes Erstarrenlassen des elek¬ trisch leitenden Materials auf eine entfernbare Unterlage die leitende Schicht hergestellt wird, wonach in der selben Weise auf diese Schicht die nicht leitende Schicht aufgetragen wird.

Eine andere Möglichkeit besteht darin, daß eine erste Schicht eines elektrisch leitenden Materials bei erhöhter Temperatur mit einer zweiten Schicht eines elektrisch nicht leitenden Ma¬ terials verbunden wird.

Die Schicht des elektrisch leitenden Materials muß mindestens so dick sein, daß die MikroStrukturen des Werkzeugs bei der Abformung diese Schicht nicht durchstoßen. Die obere Grenze der Schichtdicke ergibt sich lediglich aus wirtschaftlichen Überlegungen und aus der Forderung nach einfacher Hantierbar- keit während des Abform- und des nachfolgenden Galvanikverfah¬ rens. Die optimale Schichtdicke hängt ferner vom verwendeten Material ab. Wenn ein mit Ruß oder Metallionen gefülltes PMMA verwendet wird, beträgt die Dicke der elektrisch leitenden Schicht etwa 5 μm bis 10 mm. Vorzugsweise liegt sie im Bereich zwischen 30 μm und 3 mm.

Die Dicke der elektrisch nichtleitenden, isolierenden Schicht hängt von der Rauhigkeit der Stirnflächen der Mikrostruktur- körper auf dem eingesetzten Werkzeug ab. Die Dicke der isolie¬ renden Schicht muß so gewählt werden, daß eine große Zahl von Spitzen und Graten auf der rauhen Stirnfläche der Mikrostruk- turkörper die isolierende Schicht durchdringt. Die isolierende Schicht sollte daher mindestens 0,1 μm dick, aber dünner als 20μm sein. Bei einer entsprechenden Rauhigkeit der Stirnflä¬ chen der Mikrostrukturkörper auf dem Werkzeug wird die isolie¬ rende Schicht vorzugsweise 0,5 μm bis 1 μm dick gewählt.

Die beschriebene Verbundschicht wird anschließend auf eine solche Temperatur erwärmt, bei der das Werkzeug abgeformt wer¬ den kann. Besteht die Verbundschicht hauptsächlich aus PMMA, wird die Abformung vorzugsweise bei einer Temperatur oberhalb des Erweichungspunkts, etwa im Temperaturbereich zwischen 110'C und 160 ^β C durchgeführt. Bei wesentlich niedrigeren Tem¬ peraturen ist die Verbundschicht zu spröde, so daß sich bei der Abformung Risse bilden können. Bei wesentlich höheren Tem¬ peraturen ist die Verbundschicht zu weich, so daß sich die

Verbundschicht verziehen kann. Besteht die Verbundschicht aus anderen Materialen, können niedrigere oder höhere Temperaturen besser geeignet sein.

In die elektrisch isolierende Schicht der erwärmten Verbund¬ schicht wird anschließend ein Werkzeug der eingangs genannten Art eingepreßt, das jedoch auf den Stirnflächen der Mi¬ krostrukturkörper eine solche Rauhigkeit aufweist, daß die Spitzen und Grate der rauhen Stirnflächen die elektrisch iso¬ lierende Schicht durchstoßen. Im Bereich der Stirnflächen soll die Rauhtiefe R _t zwischen 0,1 μm und 10 μm liegen; gut ge¬ eignet sind Werkzeuge mit _j . zwischen 1 und 5 μm und R _a zwi¬ schen 0,1 und 0,5 μm. Der Mittenrauhwert soll 0,01 μm bis 1 μm betragen. Wie erwähnt muß die Rauhigkeit der Stirnflächen auf die Dicke der isolierenden Schicht abgestimmt sein.

Die Höhe der Mikrostrukturkörper auf dem Werkzeug muß beim er¬ findungsgemäßen Verfahren größer sein als die Dicke der iso¬ lierenden Schicht. Für die meisten Zwecke werden solche Werk¬ zeuge verwendet, bei denen die Höhe der Mikrostrukturkörper im Bereich zwischen 50 μm und 700 μm beträgt.

Werkzeuge, die für das erfindungsgemäße Verfahren geeignet sind, können nach dem bekannten LIGA (Röntgentiefenlithogra- phie-galvanische Abformung)-Verfahren aus Nickel hergestellt werden, wobei abweichend von der üblichen Verfahrensweise der Galvanoformungsprozeß nach dem Auffüllen der Kunststoff-Mi- krostrukturen weitergeführt wird, bis eine ca. 5 mm dicke spannungsarme Nickelplatte entstanden ist, die mechanisch end¬ bearbeitet wird. Zur Erzeugung der Rauhigkeit kann die Endbe¬ arbeitung einen Mikrosandstrahlungsschritt enthalten.

Wesentlich ist, daß das Werkzeug auf den Stirnflächen seiner Mikrostrukturkörper die angegebene Rauhigkeit aufweist. Die gleiche Rauhigkeit kann auch auf dem Strukturgrund des Werk¬ zeugs zwischen den Mikrostrukturkörpern verhanden sein. Eine solche Rauhigkeit behindert das erfindungsgemäße Verfahren

nicht; im Gegenteil wird dadurch ein vollständiges übergalva¬ nisieren der mikrostrukturierten Verbundschicht erleichtert, denn dann wird durch die Spitzen und Grate der Rauhigkeit nicht nur im Strukturgrund der Verbundschicht, sondern auch auf der Oberseite die elektrisch leitende Schicht freigelegt. Sollen jedoch nur die durch das Werkzeug geschaffenen Vertie¬ fungen galvanisch ausgefüllt werden, muß ein Werkzeug verwen¬ det werden, das nur an den Stirnflächen der Mikrostrukturkör¬ per rauh ist, damit auf der Oberseite der Verbundschicht die isolierende Schicht erhalten bleibt.

Die Höhe der Mikrostrukturkörper auf dem Werkzeug braucht nicht einheitlich zu sein; erfindungsgemäß können auch solche Werkzeuge verwendet werden, die verschieden hohe Mikrostruk¬ turkörper aufweisen. Die Mikrostrukturkörper können auch ein- oder mehrfach gestuft sein.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird im folgenden anhand der Figuren 1 bis 5 veranschaulicht.

Fig. 1 zeigt die verwendete Verbundschicht 1. Im vergrößert gezeichneten Ausschnitt ist die elektrisch leitende Schicht la bestehend aus einem Polymer mit eingelagerten leitfähigen Par¬ tikeln und die dünne elektrisch isolierende Schicht lb erkenn¬ bar.

Fig. 2 (a) und (b) stellen den Verlauf des Abformvorgangs dar. Das Werkzeug 2 wird in die Verbundschicht eingepreßt, wobei sich der Raum zwischen den Mikrostrukturkörpern des Werkzeugs mit der erwärmten, viskosen Verbundschicht füllt.

Aus Fig. 3 ist ersichtlich, daß die senkrechten Wände der in der Verbundschicht abgeformten MikroStruktur mit der isolie¬ renden Schicht lb überzogen sind.

In Fig. 4 ist dargestellt, daß die rauhen Stirnseiten des Werkzeugs die isolierende Schicht lb durchstoßen haben, von der lediglich die Reste lb ¹ übriggeblieben sind.

Fig. 5 zeigt, daß der glatte Strukturgrund des Werkzeugs 2 die dünne isolierende Schicht auf der Oberseite der Verbundschicht unversehrt läßt.

In Fig. 6 ist der nachfolgende Galvanisierungsschritt schema¬ tisch dargestellt. Während der Galvanisierung füllt das galva¬ nisch abgeschiedene Metall die Vertiefungen in der Verbund¬ schicht allmählich auf und überdeckt schließlich auch die Oberseite der Verbundschicht.

Das erfindungsgemäße Verfahren weist eine Reihe von Vorteilen auf.

Da erfindungsgemäß galvanisierbare mikrostrukturierte Kunst¬ stoffschichten hergestellt werden können, die nur an den senk¬ rechten Seitenwänden der Strukturen mit der isolierenden Schicht überdeckt sind, lassen sich auch große Flächen gestuf¬ ter MikroStrukturen übergalvanisieren.

Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist, daß die nur wenige μm dünne isolierende Schicht auf der Oberfläche der elektrisch leitenden Schicht direkt bei der Herstellung der leitenden Schicht, etwa durch Sedimentierenlassen der leitfähigen Partikel, ausgegildet werden kann. Hierdurch läßt sich der Fertigungsaufwand zur Herstellung der Verbundschicht beträchtlich reduzieren. Wegen der niedrigen Prozeßtemperatu- ren und Prozeßdrücke lassen sich kleine und kostengünstige Fertigungseinrichtungen einsetzen, mit denen dennoch eine formtreu und ohne Hohlräume galvanisierbare KunststoffSchicht erhalten wird.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Durchführungsbei- spielen näher erläutert.

Beispiel 1

Herstellung des Werkzeugs

Das Werkzeug wurde ausgehend von einer durch Mikrosandstrahlen vorbehandelten Kupfergrundplatte gefertigt. Die Platte wurde mit einer Schicht von PMMA überzogen, die durch die bekannten Verfahren der Röntgentiefenlithographie strukturiert, d.h. be¬ reichsweise entfernt und anschließend galvanisch mit Nickel abgeformt wurde. Die Stirnflächen der Mikrostrukturkörper auf dem Nickelwerkzeug wiesen eine Rauhigkeit mit R _a =l,35 μm und R _t =7,2 μm auf.

Der mikrostrukturierte Bereich des Werkzeugs war auf einer Fläche von ca. 500 mm* aus insgesamt 74400 honigwabenförmigen Formnestern aufgebaut. Der Innendurchmesser der Waben betrug 80 μm, die Stegbreite der Seitenwände 8 μm und die Höhe der Mikrostrukturkörper ca 180 μm.

Beispiel 2

Abformung des gemäß Beispiel 1 hergestellten Werkzeugs in ei¬ ner Verbundschicht

Zunächst wird aus einem silbergefüllten Gießharz im Reaktions¬ guß die Verbundschicht hergestellt. Dazu wird der Gießansatz

30 g Polymethyl ethacrylat (unvernetzt) , 70 g Methylmethyacrylat, 4 g Trennmittel PAT 665 (Fa. Würtz Bingen) , 2 g Dibenzoylperoxid, 2 g N,N-Dimethylanilin, 285 g Silberpulver (Fa. Demetron, Typ 6321-8000) bei Raumtemperatur vermischt, in einen Formrahmen mit Boden gegossen und unter Druck (ca. 2 MPa) bei Raumtemperatur ange¬ härtet und anschließend bei Umgebungsdruck und 120°C nachge¬ härtet.

In einer konventionellen Metallform mit einem Boden aus Alumi¬ nium konnte eine elektrisch leitende, silbergefüllte PMMA- Schicht erzeugt werden, in dem auf das Aluminium vor dem Auf¬ gießen des gefüllten PMMA eine reine MMA-Schicht aufgebracht wird, wodurch sich im Verlauf der Aushärtung eine ca. 0,5 μm bis 1 μm dicke füllstofffreie, elektrisch isolierende PMMA- Schicht am Boden der Gießform ausbildet. Schichten mit unter¬ schiedlichen Dicken können durch Aufschleudern von PMMA-Lösun- gen mit unterschiedlichem Gehalt an leitenden Partikeln herge¬ stellt werden.

Auf die isolierende Schicht der Verbundschicht wurde nun unter Vakuum das gemäß Beispiel 1 hergestellte Werkzeug bei einer Temperatur von ca. 115°C aufgepreßt. Nach dem Abkühlen konnte die strukturierte Verbundschicht entformt werden. Die mi¬ krostrukturierte Kunststoffschicht kann anschließend direkt galvanisch mit Metall gefüllt werden.

Beispiel 3

Herstellung einer weiteren Verbundschicht

Zur Herstellung der Verbundschicht wurde zunächst auf einem Dreiwalzenstuhl ein elektrisch leitender, rußgefüllter Thermo¬ plast hergestellt. Als Leitfähigkeitsruß wurden 12.5 Gewichts¬ prozent Printex XE2 (Fa. Degussa) in 87.5 Gewichtsprozent der PMMA-Spritzgußformmasse Degalan G6 (Fa. Degussa) eingearbei¬ tet. Der Thermoplast wurde anschließend unter einer beheizba¬ ren Laborpresse zu einer Platte mit einer Fläche von 100 • 100 mm* und einer Dicke von 4 mm geformt. Durch die Wahl eines ge¬ eigneten Temperaturprogramms beim Pressen konnte eine Verbund¬ schicht hergestellt werden mit einer 0,5 bis 1 μm dicken elek¬ trisch isolierenden Schicht. Die Verbundschicht wurde wie in Beispiel 2 angegeben weiterverarbeitet.