以下、本発明のガラス・樹脂複合体の製造� ��法について説明する。
  本発明のガラス・樹脂複合体の製造方法� �第1の態様は、連続的に成形されるガラスリ� ��ンの表面上に、樹脂フィルムを形成する方� ��である。前記ガラスリボンはソーダライム� ��ラス、無アルカリガラスなど、種々のもの� ��使用可能であるが、強度や化学的耐久性の� ��で、無アルカリガラスが好ましい。溶融ガ� ��スをガラスリボンとして成形するには、フ� ��ート法、フュージョン法、ダウンドロー法� ��スロットダウン法又はリドロー法を選択し� ��る。

 本発明に用いられるガラスリボンは、10μ mから300μmの厚さを有することが好ましく、� �に50μmから150μmの厚さを有することが好まし い。ガラスリボンの厚さが10μmよりも薄い場� ��には樹脂層の形成が困難であり、またガラ� ��リボンの厚さが300μmよりも厚い場合には、� ��ラス単体での強度が確保されるため、樹脂� ��を形成する必要性が少なく、またガラス自� ��の可撓性が失われるため、ロール状のガラ� ��・樹脂複合体を得ることが困難となる。

 前記樹脂層に用いられる樹脂は、ガラス� ��対して強靭性を付与しうるものであればど� ��ような種類のものでも使用できるが、ガラ� ��・樹脂複合体の用途によって要求される耐� ��性や耐薬品性等に応じて選択することが好� ��しい。

 前記樹脂としては、例えば、ポリエステ� ��樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテ� ��スルホン樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリ� ��ニルアルコール樹脂、シリコーン樹脂、ポ� ��アミド樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン� ��脂、トリアセチルセルロース樹脂、ポリイ� ��ド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、フッ素樹脂� ��が挙げられる。また、これらの共重合体や� ��ィラー等の添加剤を含有したものでもよい� ��

 ガラス・樹脂複合体の構成としては、ガ� ��ス/樹脂層の二層構成とすることも、樹脂層 /ガラス/樹脂層の三層構成として両側表面を� ��脂層とすることもできる。ガラス・樹脂複� ��体をディスプレイ基板として使用する場合� ��は、デバイス側表面には高い平坦性が求め� ��れるため、ガラス/樹脂層の二層構成とする ことが好ましい。

 樹脂層を形成する方法としては、次の方法� ��好適である。
(1)あらかじめ成形したフィルム状の樹脂を、 熱溶融性樹脂を含有する熱溶融層を介してガ ラスリボンと積層する方法。
(2)熱溶融性樹脂を含有するフィルム状の樹脂 を、直接ガラスリボンと積層する方法。
(3)熱溶融樹脂を直接又は接着層若しくは粘着 層を介してガラスリボンに塗布し、樹脂層を 形成する方法。
(4)硬化性樹脂を直接又は接着層若しくは粘着 層を介してガラスリボンに塗布した後、硬化 せしめる方法。
 なお、前記熱溶融性樹脂が融点を有する場� ��は該融点をTmとし、前記熱溶融性樹脂が融� �を有さない場合は熱溶融性樹脂のガラス転� �点をTgとするとき、前記(1)の方法の場合は、 成形後のガラスリボンの温度がTm-50℃~Tm+20℃� ��(熱溶融性樹脂が融点を有する場合)、また� �、Tg~Tg+100℃(熱溶融性樹脂が融点を有さない� ��合)の範囲にある時点で、熱溶融層を介して 樹脂フィルムをガラスリボンに密着させるこ とが好ましい。また、前記(2)の方法の場合、 は成形後のガラスリボンの温度がTm-50℃~Tm+20� ��(熱溶融性樹脂が融点を有する場合)または� �Tg~Tg+100℃(熱溶融性樹脂が融点を有さない場� ��)の範囲にある時点で、熱溶融層を介して樹 脂フィルムをガラスリボンに密着させること が好ましい。なぜならば、ガラスリボンの温 度がTm-50℃またはTg未満であると樹脂フィル� �と密着せず、ガラスリボンの温度がTm+20℃ま たはTg+100℃を超えると熱溶融槽が界面から流 出しガラスリボンと樹脂フィルムとを密着さ せることができないからである。上記におい て、成形後のガラスリボンの温度は、特にTm- 30℃~Tm+5℃、(熱溶融性樹脂が融点を有する場� ��)、または、Tg~Tg+80℃(熱溶融性樹脂が融点を 有さない場合)の範囲にあることが好ましい� �
 さらに、樹脂層を形成する方法としては、� ��記の樹脂層形成方法の他に次の方法も好ま� ��く使用できる。
(5)実質的に硬化性樹脂からなるフィルムを、 接着剤層若しくは粘着剤層を介してガラスリ ボンに積層する方法。
(6)部分的に硬化した硬化性樹脂のシート状物 をガラスリボンに圧着し、次いで前記硬化性 樹脂を硬化せしめる方法。

 熱溶融樹脂や硬化性樹脂をガラスリボン� ��面に塗布する方法としては、スプレーコー� ��法、ダイコート法、フローコート法、ディ� ��プコート法等を採用できる。硬化性樹脂の� ��化方法としては、加熱硬化、紫外線硬化、� ��熱硬化等を採用できる。

 樹脂層は、ガラスリボンを成形後、徐冷� ��程を経て常温付近に冷却された後に形成し� ��もよいし、徐冷工程前又は徐冷工程中でガ� ��スリボンが加熱状態にある段階で形成して� ��よい。徐冷工程前又は徐冷工程中に樹脂層� ��形成する場合には、ガラスリボンの有する� ��エネルギーをフィルム状樹脂表面の溶融や� ��接着力の向上に利用することができる。

 また、本発明の方法によれば、ガラスリ� ��ン表面に樹脂層を形成した後、巻き取り装� ��を用いてロール状に巻かれたガラス・樹脂� ��合体を得ることができる。このようなロー� ��状に巻かれたガラス・樹脂複合体は、いわ� ��るロール・トゥ・ロール方式によるディス� ��レイデバイスの製造工程に適用できる。ガ� ��ス・樹脂複合体をロール状に巻き取るにあ� ��っては、必要に応じて紙(合紙)や樹脂フィ� �ム等を、複合体と複合体との間に介在させ� �こともできる。

 例えば、本発明の製造方法により得たロ� ��ル状物を解放しながら連続的にガラス・樹� ��複合体を供給しつつ、フォトリソグラフィ� ��程によりガラス上に薄膜トランジスタ(TFT)� �形成した後、所望の長さにガラス・樹脂複� �体を切断し、次いで樹脂を剥離・除去する� �とによりTFT付きガラス基板を得ることがで� �る。

 さらに、本発明の別の態様について説明� ��る。本発明の製造方法の第2の態様は、連続 的に供給された樹脂フィルムの一部又は全面 に接着剤又は粘着剤を塗布し、次いで前記樹 脂フィルムにおける接着剤又は粘着剤の塗布 面の上に、所定寸法に切断されたガラス基板 を貼付する方法である。

 また、本発明の製造方法の第3の態様は、 所定寸法に切断され、一方の表面に接着剤又 は粘着剤が塗布されたガラス基板を、連続的 に供給された樹脂フィルムに貼付する方法で ある。この場合、前記ガラス基板の接着剤又 は粘着剤の塗布面が樹脂フィルムに対向する 面となる。

 第1の態様は連続的な樹脂フィルムと連続 的なガラスリボンの複合体の製造方法である のに対し、第2及び第3の態様は連続的な樹脂� ��ィルムと不連続なガラス基板の複合体の製� ��方法であるという点で異なる。

 第2及び第3の態様における樹脂フィルム� �、第1の態様と同様に、ポリエステル樹脂、� ��リカーボネート樹脂、ポリエーテルスルホ� ��樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリビニルア� ��コール樹脂、シリコーン樹脂、ポリアミド� ��脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ト� ��アセチルセルロース樹脂、ポリイミド樹脂� ��ポリ塩化ビニル樹脂、若しくはフッ素樹脂� ��又はこれらの共重合体やフィラー等の添加� ��を含有したものを用いることができる。

 第2の態様の製造方法において、接着剤又 は粘着剤を樹脂フィルムに塗布するにあたっ ては、ダイコーターやロールコーターを用い ることができる。また、第3の態様の製造方� �において、接着剤又は粘着剤をガラス基板� �塗布するにあたっては、ダイコーター、ロ� �ルコーター、スクリーン印刷機等を用いる� �とができる。

 次いで、前記の方法によって樹脂フィル� ��又はガラス基板に塗布された接着剤又は粘� ��剤を、熱や紫外線等を用いた方法により適� ��硬化せしめ、樹脂フィルム及びガラス基板� ��強固に固着する。

 このような製造方法によって得られたガ� ��ス・樹脂複合体は、第1の態様に係る製造方 法の場合と同様に、樹脂フィルム上にガラス 基板を貼付した後、巻き取り装置を用いてロ ール状に巻くことができる。

 第2及び第3の態様の製造方法により得ら� �たガラス・樹脂複合体のロール状物は、第1� ��態様の場合と同様にロール・トゥ・ロール� ��式によるディスプレイデバイスの製造工程� ��適用しうる。

 ここで、ガラス上に薄膜トランジスタ(TFT )を形成した後、所望の長さにガラス・樹脂� �合体を切断するにあたっては、隣接するガ� �ス基板とガラス基板の間(ガラス基板が貼付� ��れておらず樹脂フィルムのみの箇所)を切断 することが好ましい。なぜならば、ガラスと 樹脂フィルムの両者を同時に切断する場合と 比較して、樹脂フィルムのみを切断する方が 容易なためである。以下、図を用いて本発明 の実施例及び比較例を説明する。ただし、本 発明は後述の実施例の態様に限定されるもの ではない。