Title:
PROCESSING AMOUNT DETECTION METHOD, PROCESSING AMOUNT DETECTION DEVICE AND WORKPIECE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/093029
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a processing amount detection method including: a step for inputting an input signal to one terminal of a bridge circuit of a workpiece provided with the bridge circuit which has an element having a known impedance value and an element having an unknown impedance value; a step for detecting an output signal from another terminal at a location opposite the terminal at said location of the bridge circuit; and a step for calculating the impedance value of the element having an unknown impedance value and the processing endpoint of the workpiece, in accordance with the input signal, the output signal, and the impedance of the element having a known impedance value.
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Inventors:
MIMA, Akira (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
三間 彬 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
NAMBA, Akihiro (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
難波 明博 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
TAKAHASHI, Toshio (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
三間 彬 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
NAMBA, Akihiro (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
難波 明博 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
TAKAHASHI, Toshio (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
Application Number:
JP2011/000232
Publication Date:
August 04, 2011
Filing Date:
January 19, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI, LTD. (6-6 Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo, 80, 〒1008280, JP)
株式会社日立製作所 (〒80 東京都千代田区丸の内一丁目６番６号 Tokyo, 〒1008280, JP)
MIMA, Akira (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
三間 彬 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
NAMBA, Akihiro (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
難波 明博 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
株式会社日立製作所 (〒80 東京都千代田区丸の内一丁目６番６号 Tokyo, 〒1008280, JP)
MIMA, Akira (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
三間 彬 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
NAMBA, Akihiro (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
難波 明博 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 生産技術研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
International Classes:
G11B5/31
Attorney, Agent or Firm:
INOUE, Manabu et al. (6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-k, Tokyo 20, 〒1008220, JP)
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Claims: