以下、図面に基づき、本発明の実施の形態� ��ついて説明する。
 図1乃至図3は、本発明の実施の形態の内歯� �の製造方法および金属ガラス製の内歯車を� �している。
 図1に示すように、本発明の実施の形態の内 歯車の製造方法は、鋳型11と中子12とを使用� �て製造される。

 鋳型11は、熱伝導性に優れた金属製で、� �長い筒状を成している。鋳型11は、中心軸方 向に沿って2つに分割可能になっている。な� �、具体的な一例では、鋳型11は、外径が2mmで ある。このとき、長さを100mmにすることによ� ��、20個の内歯車を得ることが出来る。

 中子12は、1000℃以上の融点を有するカー� ��ン製で、細長い外歯車形状に形成されてい� ��。中子12は、鋳型11の長さと同じ長さを有し 、鋳型11の内径より小さい外径を有している� ��図1(a)に示すように、中子12は、鋳型11の内� �に、鋳型11の長さ方向に沿って鋳型11との間� ��空隙を有するよう配置されている。

 本発明の実施の形態の内歯車の製造方法� ��は、まず、図1(b)および図2に示すように、� �空チャンバー内で、内歯車成形用の鋳型11と 中子12とを、注入する金属材料1の融点より高 い温度に維持された高温槽21の内部に配置す� ��。具体的な一例では、高温槽21の内部は約10 00℃である。真空チャンバー内に配置された� ��周波コイル22の内部に金属材料1を浮遊溶解� ��た後、鋳型11と中子12との空隙に溶融した金 属材料1を注入する。このとき、鋳型11の上下 に配置されたプレス装置23により、溶融した� ��属材料1に圧力をかけて、空隙に注入する。 そのときの金属材料1の温度は、約1000℃であ� ��。このとき、カーボン製の中子12の融点が10 00℃以上であるため、中子12は融けない。こ� �して、空隙の隅々まで金属材料1を充填する� ��とができ、充填不良を防ぐことができる。� ��た、金属材料1の融点より高い温度下で、空 隙に溶融した金属材料1を注入するため、注� �中に金属材料1が固化するおそれがない。

 金属材料1を空隙に充填した後、金属材料 1が注入された鋳型11および中子12を高温槽21� �ら取り出し、金属材料1を鋳型11および中子12 とともに、金属材料1の臨界冷却速度以上で� �冷して固化させる。金属材料1を鋳型11およ� �中子12とともに急冷することにより、冷却装 置や冷却槽などの既存の設備を使用すること ができる。鋳型11が熱伝導性に優れているた� ��、空隙に注入された金属材料1を鋳型11とと� ��に急冷することができる。

 金属材料1の固化後、図1(c)に示すように� �ショットピーニング用の装置を利用して、� �子12に高速の粒子を吹き付けて、中子12を粉� ��して取り出す。中子12がカーボン製である� �め、容易に中子12を粉砕することができ、内 歯車2の内面から中子12を容易かつ全て取り除 くことかできる。径が小さい粒子を吹き付け ることにより、内歯車2の内側の隅々まで粒� �を吹き付けて中子12を完全に粉砕して取り出 すことができる。

 中子12を取り出した後、鋳型11を2つに分� �して、固化した金属材料による内歯車2を取� ��出す。このように、本発明の実施の形態の� ��歯車の製造方法で、金属材料1を臨界冷却速 度以上で急冷して固化させることにより、本 発明の実施の形態の金属ガラス製の内歯車2� �製造することができる。

 本発明の実施の形態の内歯車の製造方法� ��は、中子12が非金属のカーボン製であるた� �、金属製の場合に比べて金属材料1と反応し� ��くく、膨張しにくい。このため、中子12が� �属製の場合に比べて、中子12を取り出すのが 容易であり、成形品として長尺の内歯車2を� �易に製造することができる。製造された長� �の内歯車2を、使用される内歯車の長さに応� ��て切断することにより、多数の内歯車を一� ��に製造することができる。このため、射出� ��形で内歯車を1つ1つ製造する場合に比べ、� �造時間を短縮することができる。中子12を粉 砕して取り出すため、中子12をそのままの形� ��で取り出す必要がなく、高精度の内歯車2を 容易に製造することができる。

 中子12がカーボン製であり加工が容易な� �め、中子12を高精度で外歯車形状に形成する ことができる。また、中子12が金属材料1と反 応しないため、高精度の内歯車2を製造する� �とができる。金属材料1の注入時に充填不良� ��防ぐことができるため、微細な構造を有す� ��内歯車2を高精度で製造することができる。

 本発明の実施の形態では、中子12をカー� �ン製としたが、窒化ボロン製またはセラミ� �クス製の中子とした場合も、本実施の形態� �内歯車の製造方法により、同様に微細な構� �を有する内歯車2を製造することができる。

 また中子12の除去は、中子12に用いる材質 の溶解特性を利用して、溶解により除去する こともできる場合がある。特に、セラミック ス製の中子として硫酸カルシウムの水和物で ある、いわゆる石膏を使用した場合は、酸や キレート剤等の石膏溶解剤の水溶液により、 化学的に中子12を溶解除去することができる� ��

 製造される高精度の内歯車2は、金属ガラ ス製であるため、高い硬度・強度等を有して いる。このため、製造された内歯車2を、マ� �クロギヤードモータなどの高負荷・長寿命� �要求される精密機器に使用することができ� �。

 なお、図3(a)に示すように、中子12は、外� ��車形状に形成された歯車部12aと、歯車部12a� ��一端側に設けられ、歯車部12aより外径が小� ��い軸受部12bと、歯車部12aの他端側に設けら� ��、軸受部12bより外径が大きいモータ嵌合部1 2cとを有していてもよい。この場合、図3(b)に 示すように、中子12の歯車部12aに対応する内� ��車部2aと、軸受部12bに対応する軸受2bと、モ ータ嵌合部12cに対応するモータ取付部2cとを� ��体的に有する内歯車2を形成することができ る。内歯車部2a、軸受2bおよびモータ取付部2c が一体に形成されるため、部品点数を削減す ることができる。また、各部を別々に形成し て組み立てる場合と比較して、各部の取付位 置精度を向上させることができ、剛性が上が る。