全般的説明
 上記の目的を達成するため、本発明におい� ��は、光学的に平行平板形状の第1の光学素子 と、平凸形状の第2の光学素子と凹面鏡とを� �するとともに、第1の光学素子の屈折率を、� ��2の光学素子の屈折率よりも大きくする。

 具体的には、本発明に係る投影光学系は、
 平面形状の第1の面と、前記第1面に光学的� �平行に配置された平面形状の第2の面とを有� ��る第1の光学素子と、
 前記第2面に平行に配置された平面形状の第 3の面と、凸面形状の第4の面とを有する第2の 光学素子と、
 前記第4の面に凹面を向けて配置された凹面 鏡と、を含み、
 前記第1の光学素子の屈折率が前記第2の光� �素子の屈折率よりも大きいことを特徴とす� �。

 第1の光学素子は、第1の面と第2の面とを� ��する。この第1の面と第2の面とは、互いに� �学的に略平行に形成されている。なお、幾� �学的に略平行に形成されていなくても、光� �的に略平行に形成されていればよい。ここ� �、光学的に平行とは、光路が等しい状態で� �が平行になっていることをいう。具体的な� �材としては、平行平板、直角プリズム、ダ� �プリズム等が含まれる。第1の光学素子の第1 の面に入射した光は、第1の光学素子の第2の� ��から射出でき、また、逆に、第1の光学素子 の第2の面に入射した光は、第1の光学素子の� ��1の面から射出できるように形成されている 。

 第2の光学素子は、第3の面と第4の面とを� ��する。この第3の面は、第1の光学素子の第2� ��面に向かい合うように配置される。第2の光 学素子の第4の面は、凸面からなる。第2の光� ��素子の第3の面に入射した光は、第2の光学� �子の第4の面から射出でき、また、逆に、第2 の光学素子の第4の面に入射した光は、第2の� ��学素子の第3の面から射出できるように形成 されている。

 凹面鏡は、第2の光学素子の第4の面に向� �い合うように、配置される。さらに、凹面� �、第2の光学素子の第4の面と略同心となるよ うに配置される。このようにすることで、第 2の光学素子の第4の面から射出した光を、凹� ��境によって反射させて、第2の光学素子の第 4の面に再入射させることができる。

 さらに、第1の光学素子の屈折率は、第2� �光学素子の屈折率よりも大きくする。

 ダイソン型投影光学系は、通常、マスク� ��の物体面から第1の面まで空気間隔が設けら れている。これにより、第1の面で大きな球� �収差が発生する。従来では、この第1の面で� ��生した大きな球面収差を補正するため、前� ��のようにメニスカスレンズを用いていた。� ��かし、本発明では、第1の面を含む第1の光� �素子の屈折率を大きくすることで、第1の面� ��発生した大きな球面収差を補正するように� ��ている。その際、光学素子の形状は特に限� ��が無い。そこで、本発明では、第1の光学素 子を光学的に平行平板形状にし、第2の光学� �子を平凸形状としている。

 これにより、第1の光学素子の第1の面と� �第2の面と、第2の光学素子の第3の面とがと� �に、平面であるので、構成を簡素にするこ� �ができる。第1の光学素子と第2の光学素子と を密着させる場合、密着が容易になるので、 投影光学系を容易に製造することもできる。

 また、本発明に係る投影光学系は、前記第1 の光学素子の屈折率をn1とし、前記第2の光学 素子の屈折率をn2としたとき、以下の条件を� ��足することが好ましい。
            0<n1-n2≦0.2

 この条件は、良好な結像性能を維持するた� ��の条件である。条件の下限を下回ると、軸� ��色収差または非点収差のどちらかが悪化す� ��ようになる。条件の上限を上回ると、非点� ��差が大きくなりすぎ、結像領域の中間部か� ��周辺部で良好な結像性能を得ることができ� ��くなる。下限を0.01以上とし、上限を0.1とす ると、更に良い結果が得られる。 更に、本� ��明に係る投影光学系は、前記第1の光学素子 の分散をν1とし、前記第2の光学素子の分散� �ν2としたとき、以下の条件を満足すること� �好ましい。
       0<|ν2-ν1|≦30

 この条件は、軸上色収差を良好に補正す� ��ための条件である。0になると、球面収差や 非点収差を補正した状態での色収差の補正が できなくなってしまう。上限を上回ると、球 面収差や非点収差を補正した状態での色収差 の補正が、不足しすぎてしまう。下限を0.1以 上とし、上限を20とすると、更に良い結果が� ��られる。軸上色収差を補正して広い波長範� ��で使用すれば、積算露光量が増えるので、� ��時間で焼付けを行うことができるようにな� ��、半導体製造のスループットが向上する。

 また、本発明に係る投影光学系は、前記� ��1の光学素子及び前記第2の光学素子は紫外� �を透過する材料であることが好ましい。

 光の波動的性質により、波長が短いほど� ��光学系は解像力が良くなる。そこで、波長� ��短い紫外線を利用し、高解像力の投影光学� ��とすることが可能になる。

 また、本発明に係る投影光学系は、前記第1 の面から前記第2の面までの間隔をdpとし、前 記第1の面から前記第4の面までの間隔をdtと� �たとき、以下の条件を満足することが好ま� �い。
      0.1<dp/dt≦0.98

 この条件は、第1の光学素子の適切な形状 及び、球面収差と非点収差とを良好に補正し た状態で色収差を良好に補正するための条件 である。この条件の下限を下回ると、平行平 板の厚さが極端に薄くなってしまい、保持時 の変形が大きくなり、製造が困難になる。ま た、ワーキングディスタンスが非常に短くな ってしまう欠点もある。この条件の上限を上 回ると、第4の面の曲率半径が大きくなり、� �点収差及び軸上色収差の補正が困難になっ� �り、装置が非常に大きくなったりしてしま� �。下限を0.05とし、上限を0.90とすると、更に 良い結果が得られる。

 特に、ν2-ν1が正の値をとる場合は、上記 条件の下限を0.5とすると、第1の光学素子を� �リズムのような様々な形状に加工すること� �容易になるという、更に良い結果を得るこ� �ができる。

 また、本発明に係る投影光学系は、前記� ��1の光学素子がプリズム形状であることが好 ましい。このようにプリズム形状にすると、 図2に示すように、投影光学系の入射側の物� �面と射出側の像面とを分離して配置するこ� �ができるようになる。これにより、レチク� �とウエハとが重なり合うことが無くなり、� �り大きな露光領域を確保することができる� �うになり、且つ操作性が向上する。

 また、本発明に係る投影光学系は、前記� ��面鏡が誘電体多層膜で反射面を形成されて� ��ることが好ましい。誘電体多層膜を使用す� ��ば、所望の波長のみを反射させ、露光波長� ��して用いることができるようになる。尚且� ��、不要な波長が凹面鏡を発熱させることが� ��いので、熱変形の無い安定した投影光学系� ��作ることができる。

 また、本発明に係る投影光学系は、前記� ��2の面と前記第3の面とが密着されているこ� �が好ましい。このように、密着させると、� �光学素子の製造誤差が大きくても、良好な� �像性能を得やすくなる利点がある。

 また、本発明に係る投影光学系は、前記� ��1の光学素子と前記第2の光学素子とは分離� �れていることが好ましい。このような構成� �、可視光から離れた紫外線を利用する場合� �特に有効である。

発明の効果
 良好な結像性能を維持しながら、構成を簡� ��にして、容易に製造することができる。ま� ��、各光学素子を適切に選択することで、色� ��差を良好に補正することもできる。

図示された実施形態の説明
 以下に、本発明に係る実施形態について、� ��面に基づいて説明する。

<<<第1の実施形態>>>
<<構成>>
 図1は、本発明による投影光学系の概念を示 す概略図である。本発明による投影光学系は 、第1の光学素子10と、第2の光学素子20と、凹 面鏡30と、を含む。この図1に示した投影光学 系では、第1の光学素子10の光軸と、第2の光� �素子20の光軸とは、軸Lとして一致するよう� �配置されている。

<第1の光学素子10>
 第1の光学素子10は、略円柱形の形状であり� ��第1の面12と第2の面14とを有する。第1の面12� ��第2の面14とは、ともに略円形に形成され、� ��何学的に平行になるように形成されている� ��

 第1の光学素子10は、可視光から波長365nm� �i線までを透過する。

 後述するように、第1の面12から入射した� ��束は、第2の面14から射出される。また、第2 の面14から入射した光束は、第1の面12から射� ��される。

<第2の光学素子20>
 第1の光学素子10の第2の面14には、第2の光学 素子20である平凸レンズが接合されている。� ��の第2の光学素子20は第3の面22と第4の面24と� ��有する。第3の面22は、略円形に形成され、� ��4の面24は、凸球面形に形成されている。ま� ��、第4の面24の中心が、軸L上で、後述する平 面40上の点Oと一致するように、第2の光学素� �20は配置されている。

 第2の光学素子20は、可視光から波長365nm� �i線までを透過する。第1の光学素子10の屈折� ��は、第2の光学素子20の屈折率よりも大きい� ��

 後述するように、第3の面22から入射した� ��束は、第4の面24から射出される。また、第4 の面24から入射した光束は、第3の面22から射� ��される。

<凹面鏡30>
 第2の光学素子20の第4の面24と向かい合うよ� ��に、凹面鏡30が配置されている。この凹面� �30の反射面32は、光を反射させることができ� ��材料、例えばアルミニウム、又は誘電体多� ��膜によって形成されているものが好ましい� ��

 反射面32は、球面の中心が、軸L上で、後� ��する平面40上の点Oとなるように、凹面鏡30� �配置されている。凹面鏡30をこのように配置 することで、第2の光学素子20の第2の面24と、 凹面鏡30の反射面32とは、同心になるように� �置される。なお、本明細書では、同心とは� �実質的に同心であればよく、完全に曲率の� �心が一致する必要はない。

<<光の進行>>
 物点A及び像点Bを含む平面40と第1の光学素� �10との間には、空気が存在する。同様に、第 2の光学素子20と凹面反射鏡30との間にも、空� ��が存在する。

 この平面40上の1つの物点Aから第1の光学� �子10に向かって発せられた光が辿る光路につ いて説明する。なお、図1に示す光路P1~P4及び R1~R4は、物点Aから発せられた光束のうちの開 口数が最も大きくなるときの光についてのも のである。

 物点Aから発せられた光は、光路P1に示す� ��うに、第1の光学素子10の第1の面12に入射す� ��。第1の面12に入射した光は、光路P2に示す� �うに、空気の屈折率と第1の光学素子10の屈� �率との差に応じて、第1の面12で屈折して、� �1の光学素子10内を進み、第2の面14から射出� �る。図1に示した例では、第1の光学素子10の� ��折率は、空気の屈折率よりも大きいので、� ��1の面12における射出角は、入射角よりも小� ��くなる。

 上述したように、第1の光学素子10と第2の 光学素子20とは接合されているので、第1の光 学素子10の第2の面14から射出した光は、光路P 3に示すように、第1の光学素子10の屈折率と� �2の光学素子20の屈折率とに応じて、第1の光� ��素子10の第2の面14と第2の光学素子20の第1の� ��22との接合面で屈折して、第2の光学素子20� �を進み、第2の面24から射出する。図1に示し� ��例では、第2の光学素子20の屈折率は、第1の 光学素子10の屈折率よりも大きいので、第1の 光学素子10の第2の面14と第2の光学素子20の第1 の面22との接合面における射出角は、入射角� ��りも大きくなる。

 第2の光学素子20の第2の面24から射出した� ��は、光路P4に示すように、第2の光学素子20� �屈折率と空気の屈折率とに応じて第2の面24� �屈折して、第2の光学素子20の第2の面24から� �出され、凹面反射鏡30に達する。図1に示し� �例では、第2の光学素子20の屈折率は、空気� �屈折率よりも大きいので、第2の面24におけ� �射出角は、入射角よりも大きくなる。

 凹面反射鏡30に達した光は、反射面32で反 射し、光路R1に示すように、第2の光学素子20� ��第2の面24に向かって進み、第2の面24に入射� ��る。

 第2の光学素子20の第2の面24に入射した光� ��、光路R2に示すように、第2の光学素子20の� �折率と空気の屈折率とに応じて第2の面24で� �折して、第2の光学素子20内を進み、第1の面2 2から射出する。第2の光学素子20の屈折率は� �空気の屈折率よりも大きいので、第2の面24� �おける射出角は、入射角よりも小さくなる� �

 第2の光学素子20の第1の面22から射出した� ��は、光路R3に示すように、第1の光学素子10� �屈折率と第2の光学素子20の屈折率とに応じ� �、第1の光学素子10の第2の面14と第2の光学素� ��20の第1の面22との接合面で屈折して、第1の� ��学素子10内を進み、第1の面12から射出する� �第2の光学素子20の屈折率は、第1の光学素子1 0の屈折率よりも大きいので、第1の光学素子1 0の第2の面14と第2の光学素子20の第1の面22と� �接合面における射出角は、入射角よりも小� �くなる。

 第1の光学素子10の第1の面12から射出した� ��は、光路R4に示すように、空気の屈折率と� �1の光学素子10の屈折率とに応じて、第1の面1 2で屈折して、平面40に向かって進み、平面40� ��の1つの点Bに達する。第1の光学素子10の屈� �率は、空気の屈折率よりも大きいので、第1� ��面12における射出角は、入射角よりも大き� �なる。

 上述したように、第2の光学素子20の第2の 面24と、凹面反射鏡30の反射面32とが、実質的 に同心になるように、第2の光学素子20と凹面 反射鏡30とは配置されているので、点Aから発 せられた光は、凹面反射鏡30の反射面32によ� �て反射されて、点Oを中心として対称な位置� ��ある像点Bに達する。したがって、点Aに物� �が位置する場合には、その物体の像は、点O� ��中心として対称な位置である点Bに形成され る。

 上述したように、第1の光学素子10の屈折� ��と、第2の光学素子20の屈折率との相違によ� ��て、光が第1の光学素子10から第2の光学素子 20へ入射するとき、及び光が第2の光学素子20� ��ら第1の光学素子10へ入射するときに、光を� ��折させる。このように光を屈折させること� ��より、第1の光学素子10の屈折率と、第2の光 学素子20の屈折率との相違によって、像面湾� ��を少なくすることができる。

<<<第2の実施形態>>>
 図2は、本発明による第1の実施形態とは異� �る投影光学系の概念を示す概略図である。� �実施形態による投影光学系は、第1の光学素� ��である第1プリズム110a及び第2プリズム110bと 、第2の光学素子120と、凹面鏡130と、を含む� �これらの第1の光学素子110a及び110bと、第2の� ��学素子120と、凹面鏡130との各々は、支持部� ��(図示せず)によって筐体150に所定の配置と� �るように支持されている。

<第1プリズム110a及び第2プリズム110b(第1の� �学素子)>
 第1の光学素子である第1プリズム110a及び第2 プリズム110bの各々は、略三角柱形の形状の� �リズムである。

 第1の光学素子である第1プリズム110aは、� ��1の面112aと第2の面114aと第3の面116aとを有す� ��。第1の面112aと第2の面114aとは、これらのな す角が略直角となるように形成されている。 また、第1の面112aと第3の面116aとのなす角が� �略45度となるように、かつ、第2の面114aと第3 の面116aとのなす角が、略45度となるように形 成されている。

 第1の光学素子である第2プリズム110bは、� ��1の面112bと第2の面114bと第3の面116bとを有す� ��。第1の面112bと第2の面114bとは、これらのな す角が略直角となるように形成されている。 また、第1の面112bと第3の面116bとのなす角が� �略45度となるように、かつ、第2の面114bと第3 の面116bとのなす角が、略45度となるように形 成されている。

 このようにすることで、第1の光学素子で ある第1プリズム110aの第1の面112aと第2の面114a とを、光学的に略平行にすることができる。 また、同様に、第1の光学素子である第2プリ� ��ム110bの第1の面112bと第2の面114bとを、光学� �に略平行にすることができる。

 また、第1の光学素子である第1プリズム11 0aの第2の面114aと、第1の光学素子である第2プ リズム110bの第2の面114bとは、1つの平面を形� �するように、いわゆる面一となるように配� �されている。

 第1の光学素子第1プリズム110a及び第2プリ ズム110bの各々は、紫外線を透過する材料か� �なる。

 後述するように、第1の光学素子である第 1プリズム110aの第1の面112aから入射した光束� �、第3の面116aによって反射されて、第2の面11 4aから射出される。また、第1の光学素子であ る第2プリズム110bの第2の面114bから入射した� �束は、第3の面116bによって反射されて、第1� �面112bから射出される。ここでは直角プリズ� ��形状を示したが、場合によっては、ダハ面� ��有したプリズムでも良い。

<第2の光学素子120>
 第1の光学素子である第1プリズム110aの第2の 面114aと、第1の光学素子である第2プリズム110 bの第2の面114bとには、第2の光学素子120であ� �平凸レンズが接合されている。この第2の光� ��素子120は第3の面122と第4の面124とを有する� �第3の面122は、略円形に形成されている。以� ��では、第1の面122の半分側(図2の左半分側)を 第1の面122aと称し、第1の面122の残りの半分側 (図2の右半分側)を第1の面122bと称する。第2の 光学素子120の第2の面124は、凸球面形に形成� �れている。第1の面122aが第1の光学素子110aの� ��2の面114aと接合するように、第1の面122bが第 1の光学素子110bの第2の面114bと接合するよう� �、第1の光学素子110aと、第1の光学素子110bと� ��第2の光学素子120とは配置されている。

 第2の光学素子120は、第1の光学素子10の屈 折率は、第2の光学素子20の屈折率よりも大き い。

 後述するように、第1の面122aから入射し� �光束は、第2の面124から射出される。また、� ��2の面124から入射した光束は、第1の面122bか� ��射出される。

 上述したように、第1の光学素子110aの第2� ��面114aと、第1の光学素子110bの第2の面114bと� �は、第2の光学素子120が接合されているが、� ��差に影響しない程度ならば、第2の光学素子 120を第1の光学素子110aや第1の光学素子110bか� �離隔した位置に配置してもよい。

<凹面鏡130>
 第2の光学素子120の第4の面124と向かい合う� �うに、凹面鏡130が配置されている。凹面鏡13 0の反射面132は、光を反射させることができ� �材料、例えばアルミニウム又は誘電体多層� �によって形成されているものが好ましい。

 反射面132が、第2の光学素子120の第2の面12 4と同心になるように配置されている。なお� �本明細書では、同心とは、実質的に同心で� �ればよい。

<<光の進行>>
 図2に示すように、第1の光学素子110aの第1の 面112aから離隔した位置に、第1の面112aと向か い合うように、かつ、平行に、入射面140aが� �置づけられている。この入射面140aには、レ� ��クル等の被投影物体が配置される。レチク� ��は、プリント配線体や半導体デバイスのウ� ��ハを製造するときに、導体パターン等のパ� ��ーンを基板に形成するために用いられるフ� ��トマスクをいう。

 光源(図示せず)から発せられた光は、入� �面140aに位置づけられたレチクル等の被投影� ��体を介して、第1の光学素子110aの第1の面112a に入射する。第1の面112aに入射する光は、第1 の実施例で示した光路P1に相当する。

 第1の面112aに入射した光は、上述したよ� �に、第3の面116aによって反射されて、第2の� �114aから射出される。第1の光学素子110aの第1� ��面112aに入射して、第2の面114aから射出され� ��光は、第1の実施例で示した光路P2に相当す� ��。

 上述したように、第1の光学素子110aと第2� ��光学素子120とは接合されているので、第2の 面114aから射出された光は、直ちに、第2の光� ��素子120の第1の面122aに入射する。第2の光学� ��子120の第1の面122aに入射する光は、第1の実� ��例で示した光路P3と同様に、第1の光学素子1 10aの屈折率と第2の光学素子120の屈折率との� �に応じて、第1の光学素子110aの第2の面114aと� ��2の光学素子120の第1の面122aとの接合面で屈� ��する。図2に示した例では、図1に示した例� �同様に、第2の光学素子120の屈折率は、第1の 光学素子110aの屈折率よりも大きいので、第1� ��光学素子110aの第2の面114aと第2の光学素子120 の第1の面122aとの接合面における射出角は、� ��射角よりも大きくなる。第2の光学素子120の 第1の面122aに入射した光は、第2の光学素子120 内を進み、第2の面124から射出する。

 第2の光学素子120の第2の面124から射出し� �光は、第1の実施例で示した光路P4と同様に� �第2の光学素子120の屈折率と空気の屈折率と� ��応じて第2の面124で屈折する。図2に示した� �では、図1に示した例と同様に、第2の光学素 子120の屈折率は、空気の屈折率よりも大きい ので、第2の面124における射出角は、入射角� �りも大きくなる。第2の光学素子120の第2の面 124から射出された光は、凹面反射鏡130に達す る。

 凹面反射鏡130に達した光は、反射面132で� ��射し、第1の実施例で示した光路R1と同様に� ��第2の光学素子120の第2の面124に向かって進� �、第2の面124に入射する。

 第2の光学素子120の第2の面124に入射した� �は、第1の実施例で示した光路R2と同様に、� �2の光学素子120の屈折率と空気の屈折率とに� ��じて第2の面124で屈折する。第2の光学素子12 0の屈折率は、空気の屈折率よりも大きいの� �、第2の面124における射出角は、入射角より� ��小さくなる。第2の光学素子120の第2の面124� �ら入射した光は、第2の光学素子120内を進み� ��第1の面122bから射出する。

 第2の光学素子120の第1の面122bから射出し� ��光は、第1の実施例で示した光路R3と同様に� ��第1の光学素子110bの屈折率と第2の光学素子1 20の屈折率とに応じて、第1の光学素子110bの� �2の面114bと第2の光学素子120の第1の面122bとの 接合面で屈折する。第2の光学素子120の屈折� �は、第1の光学素子110bの屈折率よりも大きい ので、第1の光学素子110bの第2の面114bと第2の� ��学素子120の第1の面122bとの接合面における� �出角は、入射角よりも小さくなる。第1の光� ��素子110bの第2の面114bに入射した光は、上述� ��たように、第3の面116bによって反射されて� �第1の光学素子110b内を進み、第1の面112bから� ��出する。この光は、第1の実施例で示した光 路R3に相当する。

 図2に示すように、第1の光学素子110bの第1 の面112bから離隔した位置には、第1の面112bと 向かい合うように、かつ、平行に、射出面140 bが位置づけられている。第1の光学素子110bの 第1の面112bから射出した光は、射出面140bに達 する。

<数値実施例>
 以下に、本発明による投影光学系の具体的� ��数値実施例を示す。

 各表のレンズデータ中、最も左側の列は� ��番号を、左から二番目の列(r)は曲率半径を� ��左から三番目の列(d)は面間隔を、左から四� ��目の列(nd)はd線での屈折率を、左から五番� �の列(νd)はd線基準の分散値を、それぞれ示� �。

 各実施例とも、g線(波長435.8nm)、h線(波長4 04.7nm)及びi線(365.0nm)で色収差補正を行ってい� ��。

 また、第1の光学素子の形状は、第2の実施� �態のところで述べた様に、プリズム形状
にしてもかまわない。

<第1数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第1の 光学素子L1、第2の光学素子L2及び凹面鏡Mから 構成され、物像平面Bで倍率-1の共役関係を形 成している。更に、第1の光学素子L1は平行平 面の第1の面及び第2の面から形成され、第2の 光学素子L2は平面の第3の面及び凸面の第4の� �から形成され、第1の光学素子Llの第2の面と� ��2の光学素子L2の第3の面とはオプティカルコ ンタクトにより密着している。尚、この密着 面は分離可能で、その際は、物像平面から第 1面までの距離が変化するだけで、性能は殆� �変わらない。以下の表1に、本実施例の諸デ� ��タを示す。図3は本実施例による投影光学系 の断面図であり、図4は本実施例による投影� �学系の諸収差図である。図4の諸収差図から� ��かる様に、諸収差は良好に補正されている� ��

<第2数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第1の 光学素子L1、第2の光学素子L2及び凹面鏡Mから 構成され、物像平面Bで倍率-1の共役関係を形 成している。更に、第1の光学素子Llは平行平 面の第1の面及び第2の面から形成され、第2の 光学素子L2は平面の第3の面及び凸面の第4の� �から形成され、第1の光学素子L1と第2の光学� ��子L2は分離されている。以下の表2に、本実� ��例の諸データを示す。図5は本実施例による 投影光学系の断面図であり、図6は本実施例� �よる投影光学系の諸収差図である。図6の諸� ��差図から分かる様に、諸収差は良好に補正� ��れている。

<第3数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第1の 光学素子L1、第2の光学素子L2及び凹面鏡Mから 構成され、物像平面Bで倍率-1の共役関係を形 成している。更に、第1の光学素子L1は平行平 面の第1の面及び第2の面から形成され、第2の 光学素子L2は平面の第3の面及び凸面の第4の� �から形成され、第1の光学素子L1と第2の光学� ��子L2は分離されている。以下の表3に、本実� ��例の諸データを示す。図7は本実施例による 投影光学系の断面図であり、図8は本実施例� �よる投影光学系の諸収差図である。図8の諸� ��差図から分かる様に、諸収差は良好に補正� ��れている。

<第4数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第1の 光学素子L1、第2の光学素子L2及び凹面鏡Mから 構成され、物像平面Bで倍率-1の共役関係を形 成している。更に、第1の光学素子L1は平行平 面の第1の面及び第2の面から形成され、第2の 光学素子L2は平面の第3の面及び凸面の第4の� �から形成され、第1の光学素子L1と第2の光学� ��子L2は分離されている。以下の表4に、本実� ��例の諸データを示す。図9は本実施例による 投影光学系の断面図であり、図10は本実施例� ��よる投影光学系の諸収差図である。図10の� �収差図から分かる様に、諸収差は良好に補� �されている。

<第5数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第1の 光学素子Ll、第2の光学素子L2及び凹面鏡Mから 構成され、物像平面Bで倍率-1の共役関係を形 成している。更に、第1の光学素子L1は平行平 面の第1の面及び第2の面から形成され、第2の 光学素子L2は平面の第3の面及び凸面の第4の� �から形成され、第1の光学素子L1の第2の面と� ��2の光学素子L2の第3の面とはオプティカルコ ンタクトにより密着されている。尚、この密 着面は分離可能で、その際は、物像平面から 第1面までの距離が変化するだけで、性能は� �ど変わらない。以下の表5に、本実施例の諸� ��ータを示す。図11は本実施例による投影光� �系の断面図であり、図12は本実施例による投 影光学系の諸収差図である。図12の諸収差図� ��ら分かる様に、諸収差は良好に補正されて� ��る。

<第6数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第3の 光学素子L3、第1の光学素子L1、第2の光学素子 L2及び凹面鏡Mから構成され、物像平面Bで倍� �-1の共役関係を形成している。更に、第3の� �学素子L3は平行平板形状であり、第1の光学� �子L1は平行平面の第1の面及び第2の面から形� ��され、第2の光学素子L2は平面の第3の面及び 凸面の第4の面から形成されている。そして� �第3の光学素子L3の一方の面と第1の光学素子L 1の第1の面とはオプティカルコンタクトで密� ��され、第1の光学素子L1の第2の面と第2の光� �素子L2の第3の面とはオプティカルコンタク� �で密着されている。尚、これらの密着面は� �離可能で、その際は、物像平面から第1面間� ��での距離が変化するだけで、性能は殆ど変� ��らない。以下の表6に、本実施例の諸データ を示す。図13は本実施例による投影光学系の� ��面図であり、図14は本実施例による投影光� �系の諸収差図である。図14の諸収差図から分 かる様に、諸収差は良好に補正されている。

<第7数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第1の 光学素子L1、第2の光学素子L2及び凹面鏡Mから 構成され、物像平面Bで倍率-1の共役関係を形 成している。更に、第1の光学素子L1は平行平 面の第1の面及び第2の面から形成され、第2の 光学素子L2は平面の第3の面及び凸面の第4の� �から形成され、第1の光学素子L1と第2の光学� ��子L2は分離されている。以下の表7に、本実� ��例の諸データを示す。図15は本実施例によ� �投影光学系の断面図であり、図16は本実施例 による投影光学系の諸収差図である。図16の� ��収差図から分かる様に、諸収差は良好に補� ��されている。

<第8数値実施例>
 本実施例に開示される投影光学系は、第1の 光学素子L1、第2の光学素子L2及び凹面鏡Mから 構成され、物像平面Bで倍率-1の共役関係を形 成している。更に、第1の光学素子L1は平行平 面の第1の面及び第2の面から形成され、第2の 光学素子L2は平面の第3の面及び凸面の第4の� �から形成され、第1の光学素子L1と第2の光学� ��子L2は分離されている。以下の表8に、本実� ��例の諸データを示す。図17は本実施例によ� �投影光学系の断面図であり、図18は本実施例 による投影光学系の諸収差図である。図18の� ��収差図から分かる様に、諸収差は良好に補� ��されている。

 10,110a,110b 第1の光学素子
 12,112a,112b 第1の光学素子の第1の面
 14,114a,114b 第1の光学素子の第2の面
 20,120 第2の光学素子
 22,122a,122b 第2の光学素子の第1の面
 24,124 第2の光学素子の第2の面
 30,130 凹面反射鏡(反射手段)
 32,132 反射面(凹曲面、凹球面)
 B 物像平面
 L1 第1の光学素子
 L2 第2の光学素子
 M 凹面鏡