L\'invention concerne principalement les senseurs pyroélectriques, c\'est-à-dire des dispositifs capables de fournir un signal électrique représentant le rayonnement thermique (infrarouge principalement) d\'un corps placé devant le senseur . L\'invention concerne notamment les senseurs matriciels fournissant des signaux électriques représentant une image thermique d\'un corps rayonnant placé devant le senseur ou d\'un paysage rayonnant observé par le senseur.

Pour réaliser de tels senseurs on tend à utiliser maintenant des matériaux pyroélectriques déposés en couche mince sur un substrat de silicium. Le matériau pyroélectrique, lui-même revêtu d\'une couche absorbant les rayons infrarouge, s\'échauffe et engendre des quantités de charges électriques dépendant de cet échauffement; les charges sont reproduites, par couplage capacitif , dans le silicium; des signaux électriques sont ainsi produits dans le silicium et sont traités par des circuits réalisés selon la technologie des circuits intégrés à semiconducteurs , plus précisément des circuits à transfert de charges . Les matériaux pyroélectriques qu\'on utilise sont de préférence ceux qui peuvent être déposés en couches très minces sur des substrats de silicium et ces matériaux présentent malheureusement l\'inconvénient d\'être fortement piézoélectriques, c\'est-à-dire qu\'ils engendrent des charges électriques lorsqu\'ils subissent des déformations mécaniques . Ces charges s\'ajoutent ou se retranchent aux charges engendrées par l\'effet pyroélectrique qu\'on cherche à détecter; elles perturbent fortement le signal utile émis par le senseur. Les déformations mécaniques résultent de l\'environnement et sont transmises à la couche pyroélectrique

par l\'intermédiaire du substrat de silicium et des divers éléments constituant le boîtier du composant.

Pour limiter l\'influence néfaste des déformations ou des vibrations transmises à la couche pyroélectrique, on a déjà proposé de "mosaïquer" la couche pyroélectrique, c\'est-à-dire de la diviser en zones de détection élémentaires séparées les unes des autres . Les zones de détection sont alors de très petites dimensions et sont beaucoup moins sensibles aux déformations transmises par le boîtier. Mais cette solution ne paraît pas suffisante et est difficile à mettre en oeuvre .

On peut aussi envisager de monter le composant sur un support très rigide, tel qu\'une pastille de céramique de plus d\'un centimètre d\'épaisseur. La puce de silicium recouverte de matériau pyroélectrique est montée dans un boîtier ayant des pattes de sortie métalliques rigides, et le boîtier est fixé sur le support épais rigide . Le composant est alors raccordé à l\'extérieur (raccordement à un circuit imprimé) par des nappes de fils souples . La rigidité du support épais du composant et la connexion par fils souples permettent de bien protéger la couche pyroélectrique contre les déformations du boîtier; mais elle présente de gros inconvénients pratiques : d\'une part l\'ensemble du composant encapsulé dans un boîtier va présenter une hauteur nettement plus élevée que la hauteur standard, ce qui empêchera son utilisation dans beaucoup d\'applications . D\'autre part, une connexion par nappes de fils est une connexion non standardisée qui complique nettement le montage des cartes électroniques utilisant le composant.

On pourrait également penser à placer sous le boîtier, à la place du bloc de céramique épais et rigide, une plaquette de matériau souple, mince, empêchant la transmission de déformations ; mais il subsiste le problème du raccordement du composant qui devra encore se faire par une nappe de fils souples ; une connexion classique par pattes soudées à une carte de circuit imprimé risquerait en effet de transmettre les déformations mécaniques de la carte jusqu\'à la couche de matériau

FEUILLE DE REMPLA

pyroélectrique; et de plus, la fixation du composant sur un circuit imprimé par l\'intermédiaire d\'une feuille souple poserait des problèmes délicats .

En dehors de ces solutions qui ont été spécialement étudiées pour résoudre le problème délicat des composants pyroélectriques (erreurs de signal importantes même pour des contraintes faibles exercées sur le boîtier) , on trouve évidemment aussi dans l\'art antérieur des montages destinés à protéger mécaniquement un composant fragile à l\'intérieur d\'un boîtier .

Par exemple, dans l\'art antérieur relatif aux composants semiconducteurs, on a déjà proposé des structures de protection contre les contraintes dans le cas de l\'intégration de tranches entières de silicium de plusieurs dizaines de centimètres carrés de surface ("Wafer Scale Intégration") . Ces tranches sont très fragiles et risquent de se briser lorsque leur surface arrière et la surface de l\'embase sur lesquelles elles reposent présentent des imperfections de planéité : un liquide est alors interposé entre la tranche et le fond pour compenser ces imperfections, et un bloc élastique, appuyé contre le haut du boîtier maintient la puce contre le liquide . La présence de liquide n\'empêche cependant pas la transmission de contraintes et de vibrations à la tranche . Le brevet US-A-4 715 115 décrit une telle structure .

D\'autres solutions consistent par exemple à noyer la puce semiconductrice dans une résine . Mais il semble que dans tous les cas la puce repose directement sur le fond du boîtier, ou en tous cas elle n\'est pas isolée du boîtier du point de vue de la transmission des contraintes et des vibrations .

Pour résoudre au mieux les problèmes engendrés par la piézoélectricité naturelle de la couche de matériau pyroélectrique du senseur, on propose selon l\'invention d\'intercaler, entre la puce portant la couche et le boîtier portant les connexions extérieures du composant, une couche d\'un matériau déformable élastiquement capable d\'absorber sans les transmettre la majeure partie des déformations, contraintes, et

FEUILLE DE REMPLA

vibrations, du boîtier, la puce étant raccordée au boîtier par l\'intermédiaire de fils de connexion souples soudés ; la puce n\'est par ailleurs pas collée, ni soudée directement au boîtier, ni reliée à celui-ci par un élément qui serait lui-même couplé au boîtier d\'une manière telle que les vibrations et contraintes subies par le boîtier seraient transmises à la puce . Des moyens sont prévus pour permettre une soudure des fils de connexion sans qu\'on soit gêné par la présence de la couche déformable .

La couche déformable peut être une feuille souple mince . La hauteur globale du composant ne sera pratiquement pas affectée par la présence de cette feuille mince . Le boîtier peut par ailleurs être de type standard (boîtier céramique multicouche notamment) et ses connexions de sortie sont des connexions standard rigides, à souder sur une carte de circuit imprimé . De préférence, les moyens pour permettre de souder les fils de connexion de la puce à l\'intérieur du boîtier comportent une plaquette de céramique mince sur laquelle est collée ou soudée la puce par sa face arrière, cette plaquette reposant sur la couche déformable, la plaquette débordant latéralement par rapport à la puce pour qu\'un outil puisse prendre appui sur la plaquette pendant l\'opération de soudure . De préférence, des butées sont prévues au fond du boîtier pour limiter l\'écrasement de la couche déformable ou de la feuille souple pendant l\'opération de soudure, la plaquette venant prendre appui sur ces butées au delà d\'une certaine pression exercée par l\'outil au moment de la soudure .

Indépendamment de l\'utilité qu\'elle présente pour faciliter la soudure des fils de connexion, cette plaquette rigide sur laquelle est collée la puce présente l\'intérêt de constituer un ensemble plus rigide, donc d\'autant mieux découplé par rapport aux contraintes subies par le boîtier . La tension exercée par la plaquette rigide sur la puce établit des contraintes fixes et bien contrôlées sur la puce , ce qui est favorable pour la stabilité du signal pyroélectrique dans le cas d\'un composant pyroélectrique .

FEUILLE DE REMPLACEMEN

On peut également envisager que les moyens pour souder les fils de connexion de la puce consistent simplement dans la nature du matériau souple déformable : on choisit un matériau qui devient rigide au dessous d\'une certaine température et on refroidit le composant jusqu\'à cette température pendant l\'opération de soudure de sorte qu\'on n\'est pas gêné pendant cette opération par la souplesse du matériau .

En général les matériaux à base de silicone conviennent bien . La feuille souple peut être trouée par endroits si on

10 désire augmenter sa souplesse . La répartition et les dimensions des trous permettent d\'ajuster l\'aptitude de la feuille à être déformée, pour un type de matériau et une épaisseur donnée .

Un autre aspect sous lequel il faut envisager l\'invention est celui du procédé de fabrication d\'un senseur pyroélectrique :

*- -* ce procédé est caractérisé en ce qu\'on intercale une feuille de matériau souple entre une puce recouverte d\'une couche pyroélectrique et un boîtier; puis on soude des fils de connexion entre la puce et le boîtier. Dans l\'art antérieur on a toujours considéré qu\'il fallait placer la puce sur un support rigide

20 avant d\'effectuer la soudure des fils .

L\'invention est principalement destinée à réaliser des senseurs pyroélectriques en raison du problème très spécifique que pose la forte sensiblilité piézoélectrique de la couche pyroélectrique, mais on comprendra qu\'elle peut aussi s\'appliquer

²⁵ par extension à d\'autres composants présentant des problèmes de même nature, c\'est-à-dire dans lesquels les déformations de la puce peuvent perturber le fonctionnement du dispositif d\'une manière très gênante .

30 D\'autres caractéristiques et avantages de l\'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels :

- la figure 1 représente à titre d\'exemple la constitution d\'une puce formant le coeur d\'un senseur pyroélectrique monolithique ;

FEUILLE DE REMPLACE

- la figure 2 représente un montage classique de puce dans un boîtier céramique; la figure 3 représente un montage de senseur pyroélectrique monolithique en boîtier céramique selon un mode de réalisation préféré de l\'invention.

La figure 1 représente schématiquement la constitution d\'une puce semiconductrice constituant un senseur pyroélectrique monolithique . Des détails sur la constitution interne d\'un tel senseur monolithique peuvent être trouvés dans la demande de brevet FR 90 15 476.

La puce comporte essentiellement un substrat de silicium 10 dans lequel sont formés, selon les technologies usuelles en matière de circuit intégrés à transfert de charge, les circuits de lecture et de transmission des charges électriques engendrées par effet pyroélectrique dans chaque zone élémentaire d\'image du senseur. Ces circuits de lecture 12, représentés d\'une manière symbolique, comportent des diodes, des électrodes isolées du substrat, des registres à transfert de charges, des connexions, etc . , et enfin des plots de contact pour la transmission de signaux vers l\'extérieur de la puce ou pour la transmission de tensions d\'alimentation de l\'extérieur vers la puce .

Les plots de contact sont désignés par la référence 14.

La puce est recouverte, en dehors des plots de contact 14, par une couche isolante 16, en général du polyimide d\'une dizaine de micromètres d\'épaisseur. Cette couche est elle-même recouverte d\'une couche pyroélectrique 18, et des électrodes inférieures 20 sont interposées localement (une électrode inférieure par point d\'image) entre la couche isolante 16 et la couche pyroélectrique 18. Des traversées conductrices 22 sont prévues de place en place à travers la couche 16 pour relier chaque électrode inférieure à un circuit de lecture 12 correspondant .

FEUILLE DE REMPLACEMENT

La couche pyroélectrique peut être mosaïquée, c\'est-à-dire divisée en carrés élémentaires correspondant à chaque point image, ou être uniforme .

Une électrode supérieure 24, par exemple en aluminium, permet de définir le potentiel de la surface supérieure de la couche pyroélectrique .

Enfin, une couche 26, absorbante pour les rayons infrarouge, est déposée en surface de la couche pyroélectrique (si cette couche est conductrice, elle peut servir d\'électrode supérieure) . Cette couche 26 est par exemple en aluminium noir, ou chrome noir ou titane noir.

La couche pyroélectrique est en matériau à faible conductivité thermique (inférieur à 1 /m. °K ou même 0, 2 W/m . °K) , par exemple du PVFD ou un matériau composite pyroélectrique comprenant une charge minérale dans un polyimide . L\'épaisseur de la couche peut être d\'environ 10 micromètres .

Cette description est donnée à titre indicatif pour faire comprendre la constitution possible de la puce constituant le coeur d\'un senseur monolithique .

Dans l\'art antérieur, cette puce serait montée dans un boîtier de la manière représentée à la figure 2.

Le boîtier est par exemple un boîtier de céramique multicouche 30 présentant une cavité dans le fond de laquelle est collée ou soudée la puce. La puce est reliée aux broches extérieures 32 du composant par l\'intermédiaire de fils de connexion souples 34 soudés entre les plots de contact 14 de la puce et des plages conductrices 36 faisant partie d\'un ensemble de conducteurs sérigraphiés et cocuits dans le boîtier de céramique, ces conducteurs étant reliés aux broches extérieures 32. La cavité est fermée par un couvercle 38 transparent aux rayons infra rouge et de préférence opaque aux rayons lumineux, par exemple un couvercle de germanium filtrant les longueurs d\'onde au dessous de 2 micromètres .

Cette structure de l\'art antérieur est, comme on l\'a dit plus haut, très sensible aux contraintes mécaniques subies par le

composant . Ces contraintes se traduisent par une perturbation des signaux représentant l\'image thermique détectée par le senseur .

Le montage du senseur selon un mode de réalisation préféré de l\'invention est représenté en coupe à la figure 3.

On utilise un boîtier qui peut être de même nature que celui de la figure 2 , c\'est-à-dire par exemple en céramique multicouche . Il a de préférence des dimensions normalisées, notamment en hauteur, de manière à pouvoir être monté sur une carte de circuit imprimé d\'une manière tout-à-fait standard .

La puce est de préférence collée ou soudée par des moyens classiques (colle conductrice, soudure eutectique, soudure à l\'argent "silver-glass" , etc . ) sur une plaquette de support 40, mince et rigide, qui peut être en céramique métallisée ou même en métal conducteur (molybdène ou alliage à base d\'invar revêtu de cuivre) .

Cette plaquette 40 repose sur une feuille mince 42 d\'un matériau déformable élastiquement, par exemple une feuille souple de silicone de quelques centaines de micromètres d\'épaisseur. La puce n\'est en contact rigide par ailleurs avec aucun point du boîtier, ni avec aucun point susceptible de transmettre directement ou indirectement les contraintes et vibrations subies par le boîtier .

L\'ensemble de la plaquette rigide 40 et de la feuille déformable 42 constitue un système de suspension particulièrement efficace : la plaquette améliore la rigidité de la puce et limite donc les déformations mécaniques de la couche pyroélectrique, et la feuille déformable élastiquement limite la transmission à la puce et donc à la couche pyroélectrique des contraintes subies par le boîtier . Par ailleurs la liaison électrique par fils souples empêche la transmission de contraintes par les fils .

Du fait que la puce est rigidement fixée à la plaquette 40, elle subit une contrainte contrôlée (dépendant de la nature des matériaux de la plaquette et de la puce) . Cette contrainte contrôlée établit une référence stable et contrôlée du niveau de

FEUILLE DE

noir du signal pyroélectrique . D\'autre part, plus l\'ensemble de la puce et de la plaquette est rigide , meilleur est le découplage mécanique entre le boîtier (isolé de cet ensemble par la couche déformable 42) et la puce . La feuille souple 42 peut être percée de trous ou de fentes réparties sur sa surface, pour augmenter sa souplesse : le rapport entre la surface de trous et la surface totale peut aller jusqu\'à 50% si on le désire .

On a trouvé expérimentalement que la présence d\'une telle feuille pouvait diviser par 30 la composante piézoélectrique du signal électrique fourni par le senseur .

Toutefois, le montage de la figure 3 doit permettre la soudure des fils de connexion 34 entre les plots 14 de la puce et les plages conductrices 36 sérigraphiées et cocuites dans le boîtier. Or cette soudure s\'effectue en pratique par ultra- sons, ce qui serait a priori incompatible avec la présence d\'un support souple sous la puce .

C\'est pourquoi, on a prévu selon l\'invention des moyens qui autorisent la soudure, même une soudure de fils d\'aluminium ar ultra- sons, malgré la présence de la couche déformable 42.

La manière la plus simple de résoμdre le problème consiste à prévoir que le fond du boîtier porte des butées 44, par exemple une butée à chaque coin, contre lesquelles peut venir s\'appuyer la surface inférieure de la plaquette 40 lorsqu\'on exerce sur la surface supérieure de la plaquette la pression nécessaire pour l\'opération de soudure des fils sur les plots de contact 14 de la puce . L\'application d\'une pression sur la plaquette comprime et déforme la feuille souple 42 jusqu\'à permettre la mise en contact de la plaquette et des butées . A titre d\'exemple indicatif, l\'épaisseur E de la feuille souple non comprimée est de quelques centaines de micromètres (par exemple 500 micromètres) et la butée s\'élève (à partir du fond du boîtier) d\'une hauteur H inférieure d\'environ 100 micromètres à l\'épaisseur E.

Le jeu E-H ainsi ménagé entre l\'épaisseur de la feuille et la hauteur des butées est alors suffisant pour absorber les contraintes en cours d\'utilisation sans que la plaquette vienne en contact avec les butées, mais pas trop élevé de sorte que ce jeu disparaît lorsque la pression de maintien de la plaquette pendant la soudure par ultrasons est appliquée à la surface supérieure de la plaquette . La valeur de ce jeu dépend de la souplesse du matériau et de la pression exercée pendant la soudure; il est typiquement de quelques dizaines de micromètres jusqu\'à 100 ou 20O micromètres .

La plaquette comporte en principe des parties débordantes par rapport à la puce (par exemple une zone débordante sur toute sa périphérie) de manière qu\'un outil de maintien puisse appuyer sur cette partie débordante sans appuyer sur la puce, pendant qu\'une tête de soudure ultrasonique vient souder sur les plots de contact 14 de la puce des fils d\'aluminium.

Une autre manière de procéder, n\'utilisant pas de butées, peut consister à refroidir le composant (puce, boîtier, et feuille souple) jusqu\'à une température où la rigidité de la feuille souple devient suffisamment élevée pour supporter sans déformation ou presque la pression exercée par les outils de maintien pendant la soudure des fils de connexion. On fera attention de procéder dans une ambiance suffisamment sèche pour éviter toute condensation de vapeur d\'eau incompatible avec la soudure ultrasonique de l\'aluminium.

On peut donc procéder à un montage de la puce dans lequel on fixe d\'abord la puce sur une plaquette, on place une feuille souple au fond du boîtier et on soude les fils de connexion entre d\'une part la puce et d\'autre part des plages conductrices faisant partie du boîtier .

Dans des cas exceptionnels, on n\'utilisera ni butées au fond de la cavité ni refroidissement pendant la soudure, mais on choisira un matériau dont la souplesse permette à la fois un bon découplage mécanique lors de l\'utilisation et une résistance à la pression exercée lors de la soudure .

FEUILLE DE REMP

Enfin, on peut envisager aussi que le blocage de la puce pendant la soudure soit effectué par un outillage spécifique (cales) retiré après l\'opération de soudure .

Si la consommation de puissance du senseur est élevée (capteurs matriciels à nombreux points d\'image) , on pourra charger la feuille souple avec un matériau bon conducteur thermique (cuivre, poudre de nitrure d\'aluminium, etc . ) .

Le montage de composant ainsi décrit est particulièrement adapté à la réalisation de composants à coût réduit, par exemple des imageurs thermiques à senseurs pyroélectriques pour des applications automobiles .