Bauelemente

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur pulvermetallurgischen Herstellung eines thermoelektrischen Bauelements oder zumindest eines Halbzeugs desselben.

Ein thermoelektrisches Bauelement ist ein Energiewandler, welcher thermische Energie unter Ausnutzung des von Peltier und Seebeck beschriebenen thermoelektrischen Effekts in elektrische

Energie umsetzt. Da der thermoelektrische Effekt reversibel ist, kann jedes thermoelektrisches

Bauelement auch zur Umsetzung von elektrischer Energie in thermische Energie genutzt werden: so genannte Peltier-Elemente dienen unter elektrischer Leistungsaufnahme zum Kühlen bzw.

Wärmen von Objekten. Peltier-Elemente verstehen sich daher auch als thermoelektrische

Bauelemente im Sinne der Erfindung. Thermoelektrische Bauelemente, die zur Umwandlung von thermischer Energie in elektrische Energie dienen, werden oft als thermoelektrische Generatoren

(TEG) bezeichnet.

Technisch ausgeführte thermoelektrische Bauelemente umfassen mindestens ein aus zwei Thermoschenkeln gebildetes Thermopaar aus thermoelektrisch aktivem Material und eine das Thermopaar tragende und umschließende, elektrisch nach außen hin isolierende Hülle.

In der Literatur ist eine Vielzahl von thermoelektrisch aktiven Materialien beschrieben. Für den kommerziellen Einsatz eignen sich beispielsweise Legierungen aus der Klasse der halbleitenden Wismuttelluride (insbesondere mit zusätzlichen Anteilen von Selen und/oder Antimon) aus welchen sich - einerseits p-leitend und andererseits n-leitend dotiert - ein Thermopaar aufbauen lässt.

Weitere thermoelektrisch aktive Stoffklassen sind: Halb-Heusler-Materialien, verschiedene Silizide (insbesondere Magnesium, Eisen), verschiedene Telluride (Blei, Zinn, Lanthan, Antimon, Silber), Skutterudite, verschiedene Antimonide (Zink, Cer, Eisen, Ytterbium, Mangan, Cobalt, Wismut; teilweise auch als Zintl-Phasen bezeichnet), TAGS, Siliziumgermanide, Clathrate (insbes. auf Germanium-Basis). Neben diesen Halbleitermaterialien lassen sich thermoelektrische

Bauelemente auch aus Kombinationen der meisten gewöhnlichen Metalle herstellen, wie dies z. B. bei handelsüblichen Thermoelementen zur Temperaturmessung der Fall ist, z. B. Ni-CrNi. Jedoch sind die so erzielbaren sog. Gütezahlen (thermoelektrische„Wirkungsgrade") deutlich geringer als bei den genannten Halbleitermaterialien.

Konventionelle thermoelektrische Bauelemente bestehen üblicherweise aus massiven Quadern aus thermoelektrisch aktiven Halbleitern sowie harten, zumeist keramischen, elektrisch isolierenden Umhüllungen. Soweit massive Quader eingesetzt werden, werden diese aus massiven Ingots herausgesägt. Da Ingots oft Fehlstellen oder Lunker enthalten, ist es üblich, diese erst zu Pulver zu vermählen und das Pulver zu einem hochverdichteten Wafer zu sintern. Aus dem dichten, hohlraumarmen Wafer werden dann nach Bedarf quaderförmige TE-Schenkel herausgesägt.

Aus der WO2008061823A1 ist es bekannt, ein Halbzeug für ein thermoelektrisches Bauelement herzustellen, indem in ein flächiges poröses Substrat thermoelektrisches Material als Pulver eingebracht wird. Die Thermoschenkel des hergestellten Bauelements erstrecken sich senkrecht zur Substratebene.

Ein weiteres pulvermetallurgisches Verfahren zur Herstellung von thermoelektrischen

Bauelementen ist aus der DE102012205087A1 bekannt. Die Verpressung des pulverförmig bereitgestellten Aktivmaterials erfolgt innerhalb der Löcher einer perforierten Matrize, die zu einem Bestandteil des hergestellten thermoelektrischen Bauelements wird, nämlich zum Substrat.

Der Nachteil dieses Verfahren ist darin zu sehen, dass diese Matrize notwendigerweise aus einem thermisch und elektrisch isolierenden Werkstoff bestehen muss, da sie als Substrat in dem TEG verbleibt. Zugleich muss die Matrize während des Pressens der Grünlinge hohe mechanische Belastungen ertragen, was die Wahl des thermisch und elektrisch isolierenden Substratmaterials einschränkt.

Ein verbessertes Verfahren zur pulvermetallurgischen Herstellung thermoelektrischer Bauelemente ist aus der WO2015/043824A1 bekannt. Bei diesem Verfahren wird das pulverförmige

Aktivmaterial in einer außerhalb des Substrats angeordneten Form zu Grünlingen verpresst, die Grünlinge aus der Form heraus in vorgesehene Löcher des Substrats eingedrückt und darin zu Thermoschenkeln versintert.

Nachteil dieses Verfahrens ist, dass die außerhalb des Substrats angeordnete Form, in der das Aktivmaterial zu den Grünlingen verpresst wird, fluchtend mit den Löchern des Substrats, in welche die Grünlinge eingepresst werden, angeordnet werden muss. Für diese Ausrichtung und für die Überführung der Grünlinge aus der Form in das Substrat ist eine Sondermaschine erforderlich, welche eigens für diesen Zweck entwickelt und hergestellt werden muss. Dadurch steigen die Investitionskosten für eine nach diesem Verfahren produzierende Fertigungsstraße erheblich. Darüber hinaus unterliegen die Grünlinge einem Sinterschwund, also einer Verringerung des Volumens im Zuge des Sintervorgangs. Dadurch verkürzen sich die Thermoschenkel innerhalb des Substrats, wodurch diese nur noch schwierig zu kontaktieren sind. In der Regel muss

überstehendes Substratmaterial abgeschliffen werden, um einen bündigen Abschluss der Thermoschenkel mit der Oberfläche des Substrats zu erreichen, was die Voraussetzung für eine sichere elektrische Kontaktierung ist. Dieser Prozessschritt erhöht die Fertigungskosten. Ein weiterer grundsätzlicher Nachteil des in WO2015/043824A1 beschriebenen Verfahrens ist, dass es keine individuelle Gewichtskontrolle der Schenkel erlaubt. Dies erschwert die Einhaltung enger Spezifikationsgrenzen der Homogenität der Schenkeldichte. Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zu Grunde, ein pulverbasiertes Verfahren zur Herstellung eines thermoelektrischen Bauelements bzw. eines entsprechenden Halbzeugs anzugeben, welches mit standardisierten Maschinen durchgeführt werden kann, um die Investitionskosten zu senken und die Prozessstabilität zu erhöhen. Zudem sollen Nachbearbeitungsschritte zur Egalisierung von Substrat und Thermoschenkel bestenfalls vermieden werden. Zur Erleichterung der Qualitätssicherung soll eine Gewichtskontrolle der einzelnen Thermoschenkel bzw. deren Grünlinge möglich sein.

Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren mit den folgenden Schritten: a) Bereitstellen eines im Wesentlichen ebenen Substrats aus einem elektrisch und thermisch isolierenden Substratmaterial, durch welches sich im Wesentlichen senkrecht zur

Substratebene ausgerichtete Durchgangslöcher erstrecken;

b) Bereitstellen von pulverförmigem, thermoelektrisch aktivem Aktivmaterial;

c) Verpressen des Aktivmaterials zu Grünlingen, wobei das Verpressen in einer von dem Substrat verschiedenen Form erfolgt;

d) Einsetzen der Grünlinge in die Durchgangslöcher des Substrats, sodass innerhalb eines jeden Durchgangslochs entlang dessen Achse sich je ein Grünling durch das Substrat hindurch erstreckt;

e) Anordnen des Substrats mit den darin eingesetzten Grünlingen zwischen zwei im

Wesentlichen ebenen Elektroden, sodass beide Elektroden und das Substrat im

Wesentlichen parallel zueinander ausgerichtet sind;

f) Kontaktieren der Stirnseiten der Grünlinge mit den Elektroden, sodass über die Grünlinge zwischen den beiden Elektroden eine Verbindung geschaffen wird, die sowohl einen elektrischen Strom, als auch einen mechanischen Kraftfluss überträgt;

g) Beaufschlagen der Grünlinge mit einem zwischen den Elektroden fließenden elektrischen

Strom, sodass innerhalb des thermoelektrischen Aktivmaterials Wärme hervorgerufen wird; h) Beaufschlagen der Grünlinge mit einer zwischen den Elektroden wirkenden Druckkraft, sodass das thermoelektrische Aktivmaterial unter Druck gerät;

i) Sintern der Grünlinge zu Thermoschenkeln unter Einwirkung des Drucks und der Wärme; k) Planieren des Substrats und der darin aufgenommen Thermoschenkel durch Annähern der

Elektroden unter Beibehaltung ihrer Parallelität, sodass die Thermoschenkel bündig mit dem Substrat abschließen, wobei etwaiger axialer Versatz der Grünlinge in dem Substrat sowie Sinterschwund ausgeglichen wird.

Ein solches Verfahren ist Gegenstand der Erfindung. Eine Grundidee der Erfindung besteht darin, die Prozessschritte des Verpressens, des Einsetzens und des Sinterns auf unterschiedlichen Maschinen durchzuführen, um für möglichst viele

Verfahrensoperationen standardisierte Maschinen verwenden zu können.

Eine wesentlicher Aspekt der Erfindung besteht darin, dass das Versintern und das Egalisieren in einem Arbeitsschritt erfolgt, indem zum Substrat planparallel angeordnete, ebene Sinterelektroden verwendet werden, welche dem Sinterschwund folgend dem Substrat angenähert werden. Die Grünlinge sind dementsprechend mit einem Übermaß zu versehen, welches mit dem

Sinterschwund ausgeglichen wird. Am Ende des Sintervorgangs gibt der Abstand der Elektroden sowohl die Substratstärke als auch die Länge der Thermoschenkel vor. Dies stellt einen bündigen Abschluss der Thermoschenkel mit dem Substrat ohne weitere Nacharbeitung sicher.

Ein weiterer Rationalisierungsvorteil kann dadurch erschlossen werden, indem mehrere Substrate mit eingesetzten Grünlingen zu einem Stapel zusammengefasst werden, wobei sich die Substrate innerhalb des Stapels parallel zueinander erstrecken und jeweils zwischen zwei innerhalb des Stapels benachbarten Substraten eine im Wesentlichen ebene Trennplatte eingelegt ist, welche sich parallel zu den Substraten erstreckt und welche eine elektrisch leitfähige und Kraft übertragende Verbindung zwischen den Grünlingen der benachbarten Substrate herstellt, und dass der gesamte Stapel zwischen den beiden Elektroden angeordnet wird. Mit Hilfe der Trennplatte können in einem Sintervorgang auf einer Sintermaschine eine Vielzahl von Halbzeugen (also Substrate mit eingesetzten Thermoschenkeln) produziert werden.

Bei dem eben beschriebenen Sammelverfahren können mehrere Substrate mit eingesetzten Grünlingen einzeln bzw. gestapelt in einer Ebene zwischen den beiden Elektroden angeordnet werden. Dadurch wird die Fertigung weiter rationalisiert.

Die ebenen Elektroden bzw. die Trennplatten bestehen vorzugsweise aus Graphit, da dieser Stoff gut den elektrischen Strom leitet, die hohen Sintertemperaturen erträgt und nicht an dem thermoelektrischen Aktivmaterial anhaftet. Graphit hat die Eigenschaft, dass seine mechanische Festigkeit mit der Temperatur ansteigt. Um diesen Effekt zu nutzten sieht eine Weiterbildung der Verfahrensführung vor, dass die Grünlinge zum Kontaktieren mit einer ersten Druckkraft beaufschlagt werden, dass dann die Grünlinge unter Einwirkung der ersten Druckkraft mit Strom beaufschlagt werden, bis die aus Graphit bestehenden Elektroden bzw. Trennplatten eine Temperatur erreicht haben, bei welcher die aus Graphit bestehenden Elektroden bzw. Trennplatten eine erhöhte Tragfähigkeit bzw. Bruchlast aufweisen, welche oberhalb der ersten Druckkraft liegt, und dass die Grünlinge sodann mit der zweiten Druckkraft beaufschlagt werden, welche oberhalb der ersten Druckkraft und unterhalb der erhöhten Tragfähigkeit bzw. Bruchlast liegt. Die zum Verpressen erforderlich zweite Druckkraft wird also erst eingestellt, wenn die Elektroden bzw. die Trennplatten temperaturbedingt eine ausreichende Festigkeit erreicht haben. Bis zum Erreichen dieser Temperatur wird lediglich mit der ersten, niedrigeren Druckraft beaufschlagt.

Das vorliegende Verfahren ist bestimmt für Verarbeitung von thermoelektrischen Aktivmaterial, bei welchem es sich um eine Legierung handelt, welche ausgewählt ist aus der Klasse der

Wismuttelluride, Bleitelluride, Zinkantimonide, Silizide, Skutterudite, Halb-Häusler-Materialien. Nanoscaliges Silicum kann ebenfalls als Aktivmaterial eingesetzt werden. Besonders bevorzugt ist Wismuttellurid (Bi2Te3). Beim Verpressen des pulverförmigen Aktivmaterials zu den Grünlingen wird das pulverförmigen Aktivmaterial verdichtet. Vorzugsweise wird das Pulver aber nicht bis zu der (theoretischen) Reindichte verdichtet, sondern lediglich bis zu einer ersten Pressdichte, welche zwischen 75 % und 85 % der Reindichte des Aktivmaterials entspricht. Die Reindichte versteht sich als die Dichte es ideal massiven Körpers aus dem eingesetzten Aktivmaterial. Die Reindichte von technischen Wismuttellurid-Legierungen beträgt beispielsweise 6.9 g/cm ³ . Da die erste Pressdichte geringer ist als die Reindichte, ist der Grünling porös. Die erste Pressdichte ist wiederum denknotwendig größer als Schüttdichte des pulverförmigen Aktivmaterials, da das Pulver beim Pressen verdichtet wird. Die Schüttdichte des eingesetzten Pulvers liegt vorzugsweise zwischen 30 % und 50 % der Reindichte.

Um die erste Pressdichte zu erreichen, sind die Partikelgrößenverteilung des pulverförmigen Aktivmaterials und der Pressdruck in der Tablettenpresse entsprechend zu wählen. Konkret für den Fall, dass Wismuttellurid als Aktivmaterial verwendet wird, sollte dieses vor dem Verpressen eine mittlere Partikelgröße dso zwischen 3 μιτι und 30 μιτι aufweisen; der Druck, bei dem das thermoelektrische Aktivmaterial zu den Grünlingen verpresst wird, sollte dann zwischen 541 MPa und 955 MPa betragen. Die Partikelgrößenverteilung wird durch statische Laserlichtstreuung gemäß Mie-Theorie bestimmt. Dieses Analyseverfahren ist in DIN-ISO 13320 angeben; die Nassmessung ist anzuwenden. Ein geeignetes Messgerät ist das Laser-Streulichtspektrometer HORIBA LA 950 von Retsch Technology GmbH, Haan (Germany). Der Druck, der beim

Verpressen des Pulvers von der Tablettenpresse aufgewendet wird, kann an der Tablettenpresse abgelesen werden. Dazu wird die Kraft an dem Stempel zum Beispiel mit einer Kraftmessdose (Dehnungsmesstreifen) bestimmt und zu der Stempelfläche in das Verhältnis gesetzt.

Die Länge der Grünlinge sollte zwischen 105 % und 150 % der Stärke des Substrats im planierten Zustand entsprechen. Dies bedeutet, dass die in das Substrat eingesetzten Grünlinge aus dem Substrat hervorstehen, was einen guten mechanischen und elektrischen Kontakt mit den

Elektroden bzw. den Trennplatten ermöglicht. Der Sinterschwund lässt dann die Thermoschenkel auf Substratstärke schrumpfen, sodass eine nachträgliche Egalisierung nicht erforderlich ist. Die beim Sintern in den Grünlingen eingestellte Temperatur sollte zwischen 50 % bis 70 % der Schmelztemperatur des Aktivmaterials entsprechen. Die Schmelztemperatur hängt von dem eingesetzten Aktivmaterial ab. Bei Wismuttellurid liegt die Schmelztemperatur bei 573°C. Sofern eine Legierung aus der Klasse der Wismuttelluride eingesetzt wird, liegt die optimale

Sintertemperatur folglich zwischen 287°C und 401 °C, abhängig von der konkreten Legierung.

In den Grünlingen selbst kann die Temperatur kaum gemessen werden. Hilfsweise wird beim Sintern die Temperatur mit einem Thermometer an den Elektroden gemessen. Gesteuert wird die Sintertemperatur durch den elektrischen Strom, mit welchem die Grünlinge beaufschlagt werden.

Sofern Wismuttelluride als Aktivmaterial verwendet werden, sollten die Grünlinge beim Sintern mit elektrischem Strom in der folgenden Größenordnung beaufschlagt werden:

Stromdichte bezogen auf die Querschnittsfläche der Grünlinge: 10 kA/m ² bis 100 kA/m ² Dauer der Beaufschlagung: 600 s bis 1 100 s

Eintrag elektrische Energie / Einwaage Aktivmaterial: 150 kJ/g bis 250 kJ/g

Der Strom kann als Wechselstrom mit einer Frequenz im Bereich von 20 Hz bis 100 Hz angelegt werden. Wechselstrom mit normaler Netzfrequenz von 50 Hz oder 60 Hz ist geeignet. Es ist auch möglich, Gleichstrom zu verwenden.

Durch die Beaufschlagung mit elektrischem Strom erhitzen sich die Elektroden und die Grünlinge auf Temperaturen zwischen 300°C bis 400°C. Die Temperatur kann in den Elektroden gemessen und als Regelgröße genutzt werden. Die hohe Temperatur bewirkt die Versinterung des

Aktivmaterials. Der gesinterte Grünling entspricht dem Thermoschenkel. Da durch das Versintern der elektrische Widerstand des Aktivmaterials sinkt, steigt die thermoelektrische Aktivität der versinterten Schenkel gegenüber den porösen Grünlingen.

Für jedes Thermopaar sind je zwei unterschiedlich leitende thermoelektrische Aktivmaterialien notwendig, die elektrisch miteinander verbunden werden, wobei das erste Aktivmaterial z. B. p- leitend und das zweite Aktivmaterial n-leitend ist, oder umgekehrt. Unterschiedlich bedeutet hier, dass die beiden Aktivmaterien einen unterschiedlichen Seebeck-Koeffizienten aufweisen. P- und n- leitende Halbleiter sind als Aktivmaterialien besonders bevorzugt, da ihre Seebeck-Koeffizienten unterschiedliche Vorzeichen (negativ bei n-Leitern, positiv bei p-Leitern) aufweisen und daher der numerische Unterschied der Seebeck-Koeffizienten besonders groß ist. Dies erhöht die Effizienz des thermoelektrischen Bauelements.

In einer ersten Variante dies Herstellungsverfahrens werden beide Aktivmaterialien nacheinander zu den jeweiligen Grünlingen verpresst und eingesetzt. Das bedeutet, es werden erst Grünlinge aus p-leitenden Material erzeugt und in das Substrat eingesetzt und sodann das n-leitende Aktivmaterial verarbeitet. Dadurch werden die Umrüstzeiten der Maschine reduziert.

Selbstverständlich kann auch erst das n-leitende Material verarbeitet werden gefolgt von dem p- leitenden Material. Eine zweite und bevorzugte Variante sieht es indes vor, dass zwei Tablettenpressen verwendet werden, eine erste für das p-leitende Aktivmaterial und eine zweite für das n-leitende Aktivmaterial. Die gegenüber der ersten Variante verdoppelten Investitionskosten amortisieren sich rasch durch Reduktion der Umrüstzeiten: Da innerhalb eines Thermoschenkels n- und p-leitende Materialien nicht vermischt werden dürfen, ist es zwingend erforderlich, die Maschine beim Materialwechsel gründlich zu reinigen. Insbesondere bei der Verwendung von komplexen Rundläuferpressen fallen die Rüstzeiten dadurch sehr lang aus. Bei der Verwendung von zwei Maschinen, die jeweils sortenrein betrieben werden, entfallen die Rüstzeiten und die Maschinennutzungsdauer verlängert sich deutlich. Darüber hinaus bewirkt die Verwendung dedizierter Pressen für n-leitendes und p- leitendes Aktivmaterial eine Qualitätsverbesserung, da Kontamination der Schenkel durch

Fremdmaterial weitgehend ausgeschlossen wird.

Die Druckkraft, die auf den Grünlingen beim Versintern lastet, ist deutlich niedriger als der Druck zuvor beim Verpressen des Pulvers zu den Grünlingen. Vorzugsweise werden die Grünlinge beim Beaufschlagen mit der zwischen den Elektroden wirkenden Druckkraft auf eine zweite Pressdichte verdichtet, welche zwischen 90 % und 97 % der Reindichte des Aktivmaterials entspricht. Die Dichte der Grünlinge unmittelbar vor dem Sintern wird folglich nochmal erhöht, die theoretische Reindichte (Definition wie oben) jedoch nicht eingestellt. Im Falle von Wismuttellurid sollte der Grünling mit einer Druckkraft beaufschlagt werden, welche zu einem Druck zwischen 10 MPa bis 50 MPa in dem thermoelektrischen Aktivmaterial führt.

Kaltes Graphit hat normalerweise eine Druckfestigkeit von 60 MPa bis 120 MPa. Deswegen sollten Graphitelektroden / Trennplatten erst auf einen Temperatur von etwa 300°C aufgeheizt werden, bevor die endgültige Druckkraft angelegt wird. Bei dieser Temperatur haben die Graphitelemente die notwendige Bruchfestigkeit erreicht, um den Sinterdruck schadlos zu ertragen. Die Heizrate zum Einstellen der Temperatur sollte etwa 50 K/min betragen.

Die in diesem Verfahren eingesetzten Grünlinge können unterschiedliche geometrische Gestalten aufweisen. Zunächst kommt eine allgemeine Zylinderform in Betracht. Diese muss nicht zwangsläufig auf einer kreisförmigen Grundfläche basieren, sie kann auch elliptisch, rechteckig, quadratisch oder hexagonal sein. Es sind auch zylindrische Grünlinge einsetzbar, die auf einem regelmäßigen oder unregelmäßigen n-Eck basieren. Besonders bevorzugt weisen die Grünlinge jedoch eine kreiszylindrische Gestalt auf. Neben einer Zylinderform können die Grünlinge auch leicht kegelförmig sein. Dies bedeutet, dass die Grundfläche in axialer Richtung abnimmt, der Grünling sich verjüngt. Der Vorteil eines sich verjüngenden Grünlings besteht darin, dass er in dem Durchgangsloch des Substrats klemmend festsitzt und bei Handhabung des Substrats mit eingesetztem Grünling nicht herausfällt. Der Kegelwinkel ist dementsprechend so zu wählen, dass eine ausreichende Klemmkraft zwischen Substrat und eingesetztem Grünling entsteht. Gleichwohl darf der Kegelwinkel nicht zu steil sein, um das Substrat nicht unter Keilwirkung zu spalten. Ein geeigneter Kegelwinkel hängt auch von dem Reibungskoeffizient und damit von der Materialpaarung ab. Dieselbe Wirkung kann auch erzielt werden durch ein sich verjüngendes Durchgangsloch oder dadurch, dass die Grünlinge mit einem radialen Übermaß in die Durchgangslöcher eingesetzt werden (Presspassung).

Um kreiszylindrische Grünlinge gut in das Substrat einsetzen zu können, sollten diese stirnseitig jeweils eine Fase aufweisen. Dies gilt umso mehr, wenn die Grünlinge ein radiales Übermaß aufweisen. Dank der Fase platzt beim Einsetzten der Grünlinge auch kein Material ab (Scharfe Kanten brechen leicht ab). Die Grünlinge sind auch unempfindlicher gegenüber Beschädigung durch Stöße. Schließlich ist auch die Gefahr der Ausbildung eines„Pilzkopfes" (bzw. einer „Nietenbildung") des Überstands beim Versintern herabgesetzt.

Die Grünlinge können auch mit einer glatten Oberfläche versehen werden, damit sie gut in die Löcher des Substrats hineingleiten. Die Oberflächenqualität der Grünlinge ist durch die Form, die Dosiergüte und dem Druck beim Verpressen vorgegeben. Vorzugsweise weist die Mantelfläche der Grünlinge einen gemäß DIN 4766 T2 bestimmten Mittenrauwert R _a zwischen 12 μητι und 24 μητι auf.

Ein wesentlicher Vorteil des hier beschriebenen Verfahrens besteht darin, dass die Grünlinge auf einer standardisierten Maschine außerhalb des Substrats verpresst werden können. Hierfür eignen sich überraschenderweise von der Stange erhältliche Tablettenpressen, wie sie in der

pharmazeutischen Industrie eingesetzt werden, um pulverförmige Arzneimittel zu tablettieren. Dieser Befund ist deshalb überraschend, da Tablettenpressen für die Verarbeitung von pharmazeutischen Formulierungen bestimmt sind, die sich chemisch und physikalisch signifikant von thermoelektrischem Aktivmaterial unterscheiden. So etwa weist Wismuttellurid eine mit üblichen Arzneistoffen verglichen äußerst große Dichte auf.

Gleichwohl erreichen Tablettenpressen in Exzenter- oder Rundläufer-Bauweise ohne Modifikation die für die Verpressung von thermoelektrischen Aktivmaterial zu Grünlingen erforderlichen Pressdrücke und können aus dem Aktivmaterial mit hoher Geschwindigkeit große Mengen Grünlinge vollautomatisch herstellen. Anstatt mit Arzneimitteln wird die Tablettenpresse mit pulverförmigen thermoelektrischem Aktivmaterial beschickt. Die Stempelpresskräfte sind so einzustellen, dass die erforderlichen Pressdrücke (700 MPa bis 1200 MPa bei Bi2Te3) in der Form erreicht werden. Es sind entsprechend hochbelastbare Stempel zu wählen. Im Ergebnis kann die aufwändige Neuentwicklung einer Sondermaschine durch die Anschaffung einer unmittelbar verfügbaren Tablettenpresse umgangen werden.

Eine geeignete Tablettenpresse in Rundläuferbauweise ist Typ 1200i von Fette Compacting GmbH, Schwarzenbek (Germany). Wie oben ausgeführt, werden vorzugsweise zwei

Tablettenpressen angeschafft, um n- und p-dotierte Grünlinge getrennt zu produzieren. Ein weiterer Vorteil von pharmazeutischen Tablettenpressen ist, dass diese von Hause aus mit exakt arbeitenden Dosiereinrichtungen ausgerüstet sind; die Einwaage des Aktivmaterials in die Form erfolgt damit„out-of-the-box" hochgenau. Die Dosierung erfolgt über eine Volumenmessung.

Ein weiterer Vorteil des Einsatzes von vereinzelten, ex situ auf der Tablettenpresse hergestellten Grünlingen ist, dass fehlerhafte Grünlinge leichter ausgesondert und deren Aktivmaterial durch Aufmahlen rezykliert werden können. Werden die Grünlinge in situ (also im Substrat) verpresst oder massenhaft direkt aus der Form in das Substrat überführt, können einzelne, fehlverpresste Grünlinge in das Substrat gelangen und die Qualität des späteren TEG mindern. Eine Tablettenpresse stößt die Grünlinge ungeordnet aus. Zum einzelnen Einsetzen der Grünlinge in das Substrat kann eine kommerziell erhältliche Vereinzelungs- und Fördereinrichtung eingesetzt werden, wie sie normalerweise zum Einsetzen von Tabletten in Blisterverpackungen genutzt werden. Vorzugsweise werden Fördermaschinen mit Piezo-Aktuatoren verwendet oder

Schwingförderer. Geeignete Maschinen sind bei der Firma Harro Höflinger Verpackungsmaschinen GmbH, Allmersbach im Tal, Germany erhältlich. Es können auch andere Bestückungsautomaten verwendet werden oder die Grünlinge werden von Hand in das Substrat eingesetzt.

Grundsätzlich eröffnet das erfindungsgemäße Verfahren die Möglichkeit, aus einer breiten Palette von möglichen Substratmaterialien zu wählen. Zur Steigerung der Effizienz des thermoelektrischen Generators sollte möglichst ein Substratmaterial gewählt werden, was in einem hohen Maße thermisch und elektrisch isoliert. Allerdings muss das Substratmaterial auch preisgünstig verfügbar sein, um die Wirtschaftlichkeit sicherzustellen. Weiterhin muss das Substratmaterial eine für den weiteren Fertigungsweg und die spätere Nutzung im thermoelektrischen Bauelement geeignete Temperatur(wechsel-)beständigkeit aufweisen. Eine gewisse mechanische Festigkeit muss ebenfalls gegeben sein.

Als besonders wirtschaftliches Substratmaterial bieten sich Verbundwerkstoffe an, die aus anorganischen Rohstoffen und Bindemitteln aufgebaut sind. Bei den anorganischen Rohstoffen handelt es sich vorzugsweise um Glimmer, Perlite, Phlogopite, oder um Muscovite. Als Bindemittel wird vorzugsweise Silikon, Silikonharz und/oder Epoxidharz verwendet. Mit diesen Materialien lassen sich insbesondere als Schichtwerkstoff aufgebaute Substrate laminieren. Als Substrat bestens geeignet sind die unter dem Markennamen Miglasil® und Pamitherm® erhältlichen Isolationsplatten der Schweizer Firma von Roll AG. Es handelt sich dabei um Laminate, die aus Silikon-gebundenen Muscoviten aufgebaut sind. Dieses temperaturstabile Isolationsmaterial lässt sich hervorragend im erfindungsgemäßen Prozess verarbeiten.

Bei der Verwendung von laminierten Substratmaterialien aus anorganischen Rohstoffen und Bindern ist die Einhaltung von geeigneten Maschinenparametern während der mechanischen Bearbeitung wichtig, um Beschädigungen des Materials zu vermeiden. So sollte beim spanenden Lochen von Pamitherm-Platten mit Vollhartmetallbohrern eine Schnittgeschwindigkeit im Bereich von 0.3 m/s bis 1.5 m/s eingehalten werden. Bei einem Bohrerdurchmesser von 4 mm bedeutet dies Drehzahlen von ca. 1500 /min bis 7500 /min. Der Vorschub sollte im Bereich von 50 mm/min bis 250 mm/min liegen. Es können ebenso auch spezielle für Laminate entwickelte Bohrer und Fräsbohrer verwendet werden.

Als Alternative zum Bohren besteht auch die Möglichkeit, das Substrat spanlos zu lochen, etwa mit einem Schneidstempel.

Das Substrat wird als ebenes Material verwendet mit einer Stärke zwischen 1 mm und 10 mm. Bevorzugt liegt die Stärke zwischen 1.5 mm und 4 mm, ganz besonders bevorzugt zwischen 2 mm und 3 mm. Pamitherm®-Platten werden in dieser Schichtstärke angeboten.

Das Verfahren soll nun anhand von schematischen Zeichnungen näher erläutert werden. Hierfür zeigen:

Figur 1 : Bereitstellen eines Substrats;

Figur 2a bis 2f: Bereitstellen von Aktivmaterial und Verpressen des Aktivmaterials zu

Grünlingen;

Figur 3: Einsetzen der Grünlinge in das Substrat;

Figur 4: Anordnen des Substrats zwischen zwei Elektroden;

Figur 5: Kontaktieren der Stirnseiten der Grünlinge mit den Elektroden;

Figur 6: Beaufschlagen der Grünlinge mit Strom und Druckkraft zwecks Sintern der

Grünlinge zu Thermoschenkeln;

Figur 7: Planieren des Substrats und der Thermoschenkel durch Annähern der

Elektroden;

Figur 8: Halbzeug;

Figur 9: thermoelektrisches Bauelement;

Figur 10: Variante: Stapelweise Anordnung mehrerer Substrate zwischen zwei

Elektroden mit Hilfe von Trennplatten;

Figur 1 1 ; Sintern des Stapels. Zunächst wird ein Substrat 1 bereitgestellt. Bei dem Substrat 1 handelt es sich um eine im ebene Platte aus Pamitherm®. Dabei handelt es sich um ein thermisch und elektrisch isolierendes Laminat welches aus Silikon-gebundenen Muscoviten aufgebaut ist. Die Flächengröße und -form hängt von Einsatzzweck des späteren TEG ab. Beispielsweise können rechteckige Platten der Größe 52 mm x 52 mm verwendet werden. Die Materialstärke der Pamitherm®-Platte beträgt 2 mm. Die Größenverhältnisse in den Zeichnungen sind nicht maßstäblich.

Das Substrat 1 wird mit einer Vielzahl von Durchgangslöchern 2 versehen, welche sich senkrecht zur Ebene des Substrats 1 durch das Substrat hindurch erstrecken. Da Pamitherm®-Platten ungelocht ausgeliefert werden, sind die Durchgangslöcher 2 hineinzubohren. Dies erfolgt mit einem Hartmetallbohrer. Die Durchgangslöcher haben entsprechend einen kreisförmigen Querschnitt mit 4.07 mm Durchmesser. Gleichwohl können auch andere Querschnittsformen für die

Durchgangslöcher vorgesehen sein, wie etwa hexagonal, um die Packungsdichte zu steigern. Die mittlere Packungsdichte bei Kreislöchern mit 4.07 mm Durchmesser beträgt zwischen zwei und drei Durchgangslöcher pro Quadratzentimeter Substratfläche bei einer Stegbreite von 2mm. In den Figuren sind vereinfachend acht Durchgangslöcher 2 dargestellt.

Die Figuren 2a bis 2f zeigen schrittweise den zyklischen Ablauf der Herstellung eines Grünlings 3 auf einer Tablettenpresse 4. Die Tablettenpresse ist vereinfacht in Exzenter-Bauweise dargestellt.

Zum Herstellen der Grünlinge 3 wird zunächst wird ein pulverförmiges thermoelektrisches

Aktivmaterial 5 bereitgestellt. Dabei handelt es sich um Wismuttellurid-Pulver mit einer

Partikelgröße dso von etwa 8 μιτι. Das Pulver wird in einen Einfülltrichter 6 der Tabletten presse 4 bereitgestellt; vgl. Fig. 2a.

Die Tabletten presse 4 dosiert eine voreingestellte Menge von etwa 200 mg des Wismuttellurid- Pulvers 5 in eine Form 7; vgl. Fig. 2b. Die Form 7 ist Teil der Tablettenpresse 4 und wird von den Herstellern von Tablettenpressen meist als„Matrize" bezeichnet. Dieser Begriff wird hier bewusst nicht gebraucht, da einige Hersteller von thermoelektrischen Generatoren den hier als Substrat bezeichneten Teil eines TEG als Matrix oder Matrize bezeichnen. In der hier verwendeten Terminologie bezeichnet der Begriff„Form" stets einen den Teil der Tablettenpresse und„Substrat" stets einen Teil des TEG.

Die Form 7 ist nach unten von einem Unterstempel 9 verschlossen ist. Die Form 7 ist

kreiszylindrisch mit einem Durchmesser etwa entsprechend dem Durchmesser der

Durchgangslöcher 2. Die Länge der Grünlinge variiert zwischen 2.2 mm und 2.6 mm. Das entspricht also zwischen 1 10 % bis 135 % der Substratstärke. Die Grünlinge weisen also gegenüber dem Substrat ein axiales Übermaß auf. Ggf. kann der Durchmesser der Form 7 geringfügig größer sein als der der Durchgangslöcher 2, um Grünlinge mit einem radialen

Übermaß zu produzieren.

Nach Befüllung der Form mit Aktivmaterial wird der Einfülltrichter 6 beiseite gezogen; vgl. Figur 2c.

Ein linear geführter Oberstempel 10 verdichtet das Pulver 5 innerhalb der Form 7 zu einem kreiszylindrischen Grünling 3 (Figur 2d). Die Stempelkraft liegt bei etwa 8.5 kN. Daraus resultiert innerhalb der Form ein Druck von 676 MPa. Sodann fährt der Oberstempel 10 zurück. Der Unterstempel 9 folgt ihm und drückt dabei den Grünling 3 aus der Form 7 heraus (Figur 2e).

Schließlich fährt der Einfülltrichter 6 in seine vorherige Position über der Form zurück und wirft dabei den Grünling 3 aus der Tablettenpresse 4 aus. Der ausgestoßene Grünling 3 wird in einem Sammelgefäß 1 1 ungeordnet gesammelt (Fig. 2f). Der Unterstempel 9 wird wieder herab gefahren, sodass die Maschine wieder in die in Figur 2a dargestellten Ausgangsstellung gelangt. Der Einfülltrichter 6 wird erneut Aktivmaterial 5 befüllt.

Auf der Tablettenpresse 4 werden die Schritte 2a bis 2f in hoher Geschwindigkeit wiederholt, sodass eine Vielzahl von Grünlingen nacheinander produziert werden kann. Da jeweils dieselbe Form 7 verwendet wird und das Pulver genau dosiert werden kann, sind die Grünlinge von gleichbleibender Qualität hinsichtlich Maßhaltigkeit, Dichte und Oberflächenqualität. Etwaige Fehlpressungen werden aussortiert. Um die Produktionsgeschwindigkeit zu steigern, kann anstelle der schematisch dargestellten Exzenterpresse eine Rundläuferpresse verwendet werden. Eine Rundläuf erpresse weist eine Vielzahl von Oberstempeln, Unterstempeln und Formen auf, die kreisförmig auf einem rotierenden Läufer angeordnet sind. Die Ober- und Unterstempel werden entlang einer feststehenden Kulisse geführt, um die axiale Hubbewegung der Stempel relativ zur Form zu erzeugen. Die Presskräfte werden von Druckrollen auf die Stempel aufgebracht. Derartige Rundläuferpressen werden in der industriellen Produktion von pharmazeutischen Tabletten verwendet und sind auf große

Durchsatzgeschwindigkeit optimiert.

Da die beiden Schenkel eines Thermopaares möglichst unterschiedliche Seebeck-Koeffizienten aufweisen müssen, um eine hohe Thermospannung zu erzeugen, werden zwei unterschiedliche Sorten von thermoelektrischen Aktivmaterials verpresst, nämlich einmal n-dotiertes Wismuttellurid und einmal p-dotiertes. Somit werden nacheinander zwei unterschiedliche Sorten von Grünlingen auf derselben Presse produziert, einmal die aus n-dotierten Aktivmaterial und einmal aus p- dotierten Aktivmaterial. Damit sich Reste des n-dotiertem Aktivmaterials nicht in den p-dotierten Grünlingen wiederfinden, muss die Maschine zwischendurch gründlich gesäubert werden. Um dies zu vermeiden, können die p- und n-dotierten Aktivmaterialien auch auf getrennten Maschinen verarbeitet werden.

Figur 3 zeigt zwei Sammelgefäße 1 1 p und 1 1 n die jeweils gefüllt sind mit einer Vielzahl von p- dotierten Grünlingen 3p bzw. n-dotierten Grünlingen 3n. Die Grünlinge 3n, 3p befinden sich sortenrein, aber geometrisch ungeordnet in den jeweiligen Sammelgefäße 1 1 n, 1 1 p.

Die Grünlinge 3n, 3p werden aus den jeweiligen Sammelgefäßen 1 1 p, 1 1 n entnommen und einzeln in die Durchgangslöcher 2 des Substrats 1 eingesetzt, sodass sich die Grünlinge axial durch die Durchgangslöcher und damit senkrecht zur Substratebene erstrecken. Hierfür wird ein pharmazeutischer Bestückungsautomat verwendet (nicht dargestellt). Alternativ können die Grünlinge 3n. 3p von Hand in das Substrat 1 eingesetzt werden.

Es werden alternierend p- und n-dotierte Grünlinge 3p, 3n nebeneinander angeordnet. Jeweils ein benachbarter p- und n-dotierter Grünling bilden später ein Thermopaar. Es ist unerheblich, ob erst alle Grünlinge einer Sorte eingesetzt werden und danach die andere Sorte oder jeweils abwechselnd oder reihenweise oder in einem anderen beliebigen Muster.

Sodann wird das Substrat 1 mit den eingesetzten Grünlingen 3 zwischen zwei im Wesentlichen ebenen Elektroden 12a, 12b angeordnet; vgl. Figur 4. Es ist wichtig, dass das Substrat 1 , die erste Elektrode 12a und die zweite Elektrode 12b jeweils parallel zueinander ausgerichtet sind.

Unwichtig ist hingegen, ob die Stirnseiten der eingesetzten Grünlinge 3 in einer gemeinsamen Ebene liegen. Wie aus Figur 4 erkennbar ist, sind die Grünlinge mit uneinheitlichen axialen Versatz in das Substrat 1 eingebracht, weswegen ihre Stirnseiten nicht in einer Ebene liegen. Grund dafür ist, dass der Bestückungsautomat nicht so genau arbeitet, dafür aber schnell.

Gemäß der Erfindung werden die Stirnseiten der Grünlinge mit Hilfe der Elektroden in eine Ebene gebracht. Dafür werden die beiden Elektroden 12a, 12b jeweils um den Weg Δχ aufeinander zu bewegt unter Beibehaltung ihrer Parallelität. Dabei kontaktieren die ebenen Elektroden die Stirnseiten der Grünlinge und richten diese in der Ebene der jeweils die Stirnseite kontaktierende Elektrode 12a, 12b aus. In Figur 5 ist zu erkennen, dass die Grünlinge 3n, 3p nunmehr allesamt in einer Ebene liegen.

Da die Stirnseiten aller Grünlinge 3n, 3p unmittelbar an den Elektroden 12a, 12b anliegen, kann über die Grünlinge zwischen den Elektroden sowohl ein elektrischer Stromkreis, als auch ein mechanischer Kraftfluss geschlossen werden.

Dies geschieht in Figur 6. Beide Elektroden werden jeweils mit einer axial zu den Grünlingen ausgerichteten, in Richtung des Substrats 1 wirkenden Kraft F beaufschlagt. Diese ist unter Berücksichtigung der kontaktierten Stirnflächen der Grünlinge so bemessen, dass auf das Aktivmaterial eine mechanische Druckspannung von 30 MPa wirkt. Zudem wird eine

Wechselspannung AC mit 50 Hz zwischen den Elektroden angelegt, deren Spannung so bemessen ist, dass unter Berücksichtigung der kontaktierten Stirnflächen der Grünlinge ein Wechselstrom mit einer Stromdichte von 50 kA/m ² durch die Grünlinge fließt.

Aufgrund des ohmschen Widerstands des Aktivmaterials heizen sich Grünlinge bis zu einer Temperatur zwischen 300 °C und 400°C auf, in dem Bereich wo auch die optimale

Sintertemperatur liegt. Unter der mechanischen Druckeinwirkung versintern die einzelnen Partikel der Grünlinge, sodass aus dem verpressten Pulvermaterial ein fester Sinterkörper wird. Die versinterten Grünlinge stellen die Thermoschenkel 13 dar.

Beim Versintern verdichten sich die Grünlinge, sodass die Thermoschenkel entsprechend ein kleineres Volumen aufweisen (Sinterschwund). Um trotz des fortschreitenden Sinterschwunds den elektrischen und mechanischen Kontakt zwischen den Grünlingen 3 und den Elektroden 12 aufrecht zu erhalten, werden die beiden Elektroden 12a, 12b dem Sinterschwund folgend in Richtung des Substrats 1 , jeweils um die Wegstrecke Ay unter Beibehaltung ihrer Parallelität nachgeführt (Figur 7).

Die Länge der Grünlinge 3 ist unter Berücksichtigung des Sinterschwundes so gewählt, dass die Thermoschenkel 13n, 13p nach dem Sintern bündig mit dem Substrat 1 abschließen; vgl. Figur 8. Bei der Materialkombination Pamitherm® / Wismuttellurid sollte das Übermaß der Grünlinge etwa 15% der Substratstärke betragen, damit während des Sinterns die Grünlinge auf Substratstärke schrumpfen. Auf diese Weise erübrigt sich ein späteres separates Planieren des Werkstücks. Außerdem wird durch Begrenzung der Wegstrecke Ay verhindert, dass das Substrat 1 zwischen den beiden Elektroden 12a, 12b eingezwängt und komprimiert wird. Etwaige Elastizität des

Substratmaterials könnte andernfalls eine Rückstellung des Substrats über die Stirnflächen der Thermoschenkel hinaus bewirken, was die spätere Kontaktierbarkeit der Thermoschenkel erschwert. Vielmehr wird direkt aus dem Sinterprozess ein Halbzeug 14 des späteren

thermoelektrischen Bauelements erhalten, welches beidseitig plan ist und bei dem die Stirnflächen der Thermoschenkel 13 mit der Oberfläche des Substrats auf beiden Seiten fluchten. Das Halbzeug 14 ist in Figur 8 dargestellt.

Um aus dem Halbzeug ein thermoelektrisches Bauelement 15 zu fertigen, ist es erforderlich, die Thermoschenkel paarweise zu Thermopaaren 16 zusammenzufassen. Jeweils ein Thermo- schenke! 13p aus p-dotiertem Aktivmaterial und ein Thermoschenkel 13n aus n-dotiertem

Aktivmaterial bilden ein Thermopaar 16. Darüber hinaus müssen die Thermopaare 16 in Serie verschaltet werden. Beides geschieht mit Hilfe von elektrisch und thermisch gut leitfähigen Kontaktbrücken 17, die auf die Stirnseiten Thermoschenkel 13n, 13p wechselseitig aufgelötet werden (Figur 9). Das so erhaltene thermoelektrische Bauelement 15 ist so bereits funktionsfähig: Wenn das Substrat 1 zwischen einer Wärmequelle und einer Wärmesenke platziert wird, sodass über die Kontaktbrücken und durch die Thermoschenkel 13 hindurch Wärme von der einen Seite des Substrats auf die andere fließt, kann an den einseitig freien Kontaktbrücken 17+, 17- eine Thermospannung abgegriffen werden. Das thermoelektrische Bauelement 15 arbeitet dann als thermoelektrischer Generator. Umgekehrt kann durch Anlegen einer elektrischen Spannung an die einseitig freien Kontaktbrücken 17+, 17- ein Wärmefluss von der kalten Seite des Substrats auf die warme Seite induziert werden (Peltier-Element). Damit kein elektrischer Kurzschluss entsteht, wäre das gesamte thermoelektrische Bauelement 15 noch mit einer thermisch leitenden und elektrisch isolierenden Hülle zu versehen, welche es auch vor mechanischer Beschädigung schützt (nicht dargestellt).

In Figur 10 ist eine besonders rationelle Verfahrensvariante gezeigt, in der mehrere Substrate 1 i, I ii und 1 iii mit eingesetzten Grünlingen gleichzeitig versintert werden. Hierfür werden die drei Substrate 1 i, I ii und 1 iii zwischen den beiden Elektroden 12a und 12 b angeordnet. Zwischen dem innen liegenden Substrat I ii und den beiden außen liegenden Substraten 1 i und 1 iii wird jeweils eine ebene Trennplatte 18a, 18b eingelegt. Ein Stapel 19 entsteht. Die beiden ebenen

Trennplatten 18a, 18b bestehen wie die Elektroden 12a, 12b aus Graphit. Alle Substrate 1 i, I ii und 1 iii, beide Elektroden 12a, 12b und beide Trennplatten 18a, 18b sind planparallel zueinander ausgerichtet und bilden einen Stapel 19.

Der Stapel 19 wird in einem Arbeitsgang gesintert und dadurch drei Halbzeuge gleichzeitig hergestellt (Figur 1 1 ). Das Sintern des Stapels 19 erfolgt wie zu Figur 6 geschildert. Es können auch mehrere Substrate mit eingesetzten Grünlingen gleichzeitig dem Sinterprozess unterworfen werden, ohne sie zu stapeln. Dafür werden die Substrate in einer Ebene nebeneinander liegend zwischen die Elektroden eingelegt. Dies spart die Trennplatten, erfordert aber Elektroden, die einen größeren Flächeninhalt aufweisen als ein einzelnes Substrat. Gezeichnet ist diese Variante der Erfindung nicht.

Eine Kombination beider Anordnungen ist ebenfalls möglich.

Unabhängig von der Anordnung und der Anzahl der Substrate zwischen den Elektroden kann der Sinterprozess im Übrigen so gesteuert werden, dass die Grünlinge zunächst mit einer Kraft Fi beaufschlagt werden, die kleiner ist als eine Kraft Rkait, welche der Bruchlast der Elektroden 12a,b bzw. der Trennplatten 18a,b im kalten Zustand (Raumtemperatur To) entspricht. Sodann wird die Wechselspannung angelegt und dadurch die Grünlinge auf eine Temperatur T _gre nz aufgeheizt, die niedriger liegt als die Sintertemperatur Tsinter-, bei der sich aber die Bruchlast der Graphitelemente auf Rheiß erhöht. Erst nach Erreichen der höheren mechanischen Festigkeit wird die Kraft auf F2 erhöht, aus welcher der erforderliche mechanische Sinterdruck resultiert. Nach Erreichen des Sinterdrucks wird die Temperatur auf die benötigte Sintertemperatur Tsinter erhöht und der Sintervorgang unter diesen Bedingungen durchgeführt. Es gelten also diese beiden

Zusammenhänge:

To ^ Tgrenz ^ Tsinter (2)

Diese Vorgehensweise lässt beim Sintern von einzelnen Substraten (Fig. 6), mehreren Substraten nebeneinander ohne Trennplatten oder auch von Stapeln mit Trennplatten (Fig. 1 1 ) anwenden. Maßgeblich ist immer die geringste Bruchlast der eingesetzten Graphitelemente.

Bezugszeichenliste

1 Substrat

1 i erstes Substrat (außen liegend)

I ii zweites Substrat (innen liegend)

1 iii drittes Substrat (außen liegend)

2 Durchgangslöcher

3 Grünling

3n n-dotierter Grünling

3p p-dotierter Grünling

4 Tablettenpresse

5 thermoelektrisches Aktivmaterial in Pulverform (Βΐ2Ϊβ3)

6 Einfülltrichter

7 Form

8 nicht vergeben

9 Unterstempel

10 Oberstempel

1 1 Sammelgefäß (allgemein)

1 1 n Sammelgefäß für n-dotierte Grünlinge

1 1 p Sammelgefäß für p-dotierte Grünlinge

12a erste Elektrode

12b zweite Elektrode

Δχ Weg der Elektroden beim Kontaktieren

Ay Weg der Elektroden beim Sintern

F Kraft

AC Wechselspannung

13 Thermoschenkel

13n Thermoschenkel aus n-dotiertem Aktivmaterial

13p Thermoschenkel aus p-dotiertem Aktivmaterial 14 Halbzeug

15 thermoelektrisches Bauelement

16 Thermopaar

17 Kontaktbrücke

17 ⁺ einseitig freie Kontaktbrücke

17 ^" einseitig freie Kontaktbrücke

18a erste Trennplatte

18b zweite Trennplatte

19 Stapel