Title:
REACTIVE SPECIES SUPPLY DEVICE AND SURFACE TREATMENT DEVICE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/002478
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed are a reactive species supply device and a surface treatment device that protect discharge electrode sections from processing gas, and prevent oxidation and lengthen the life thereof. Electrodes (22 to 25) are covered by electrode covers (22P to 25P) and discharge openings (22HL to 25HL and 22HR to 25HR, with 22HL and 25HR being blocked) are provided. In addition, protective gas flow inlets (22Q to 25Q) are provided at a 90° phase-displaced position on the upstream side of the discharge openings (22HL to 25 HL and 22HR to 25HR). The protective gas that is caused to flow in from the protective gas flow inlets (22Q to 25Q) is made to flow around the periphery of the discharge electrode sections (22S to 25S) and flow out into a discharge space. Supply of protective gas to the discharge electrode sections (22S to 25S) can make contact between the discharge electrode sections (22S to 25S) and the processing gas difficult. This enables oxidation of the discharge electrode sections (22S to 25S) to be suppressed and the life thereof to be lengthened.
Inventors:
HORI, Masaru (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
堀 勝 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
KANO, Hiroyuki (2-3-8, Kurozasaizumi, Miyoshi-sh, Aichi 32, 〒4700232, JP)
加納 浩之 (〒32 愛知県みよし市黒笹いずみ二丁目３番地８ ＮＵエコ・エンジニアリング株式会社内 Aichi, 〒4700232, JP)
KAWASUMI, Tetsunori (19, Chausuyama, Yama-machi, Chiryu-sh, Aichi 86, 〒4728686, JP)
川角 哲徳 (〒86 愛知県知立市山町茶碓山１９番地 富士機械製造株式会社内 Aichi, 〒4728686, JP)
YOSHIDA, Naofumi (19, Chausuyama, Yama-machi, Chiryu-sh, Aichi 86, 〒4728686, JP)
堀 勝 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
KANO, Hiroyuki (2-3-8, Kurozasaizumi, Miyoshi-sh, Aichi 32, 〒4700232, JP)
加納 浩之 (〒32 愛知県みよし市黒笹いずみ二丁目３番地８ ＮＵエコ・エンジニアリング株式会社内 Aichi, 〒4700232, JP)
KAWASUMI, Tetsunori (19, Chausuyama, Yama-machi, Chiryu-sh, Aichi 86, 〒4728686, JP)
川角 哲徳 (〒86 愛知県知立市山町茶碓山１９番地 富士機械製造株式会社内 Aichi, 〒4728686, JP)
YOSHIDA, Naofumi (19, Chausuyama, Yama-machi, Chiryu-sh, Aichi 86, 〒4728686, JP)
Application Number:
JP2011/065007
Publication Date:
January 05, 2012
Filing Date:
June 30, 2011
Export Citation:
Assignee:
National University Corporation Nagoya University (1 Furo-cho, Chikusa-ku Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
国立大学法人名古屋大学 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 Aichi, 〒4648601, JP)
NU Eco Engineering Co., Ltd. (2-3-8, Kurozasaizumi Miyoshi-sh, Aichi 32, 〒4700232, JP)
ＮＵエコ・エンジニアリング株式会社 (〒32 愛知県みよし市黒笹いずみ二丁目３番地８ Aichi, 〒4700232, JP)
FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. (19 Chausuyama, Yama-machi Chiryu-sh, Aichi 86, 〒4728686, JP)
富士機械製造株式会社 (〒86 愛知県知立市山町茶碓山１９番地 Aichi, 〒4728686, JP)
HORI, Masaru (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
堀 勝 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
KANO, Hiroyuki (2-3-8, Kurozasaizumi, Miyoshi-sh, Aichi 32, 〒4700232, JP)
加納 浩之 (〒32 愛知県みよし市黒笹いずみ二丁目３番地８ ＮＵエコ・エンジニアリング株式会社内 Aichi, 〒4700232, JP)
国立大学法人名古屋大学 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 Aichi, 〒4648601, JP)
NU Eco Engineering Co., Ltd. (2-3-8, Kurozasaizumi Miyoshi-sh, Aichi 32, 〒4700232, JP)
ＮＵエコ・エンジニアリング株式会社 (〒32 愛知県みよし市黒笹いずみ二丁目３番地８ Aichi, 〒4700232, JP)
FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. (19 Chausuyama, Yama-machi Chiryu-sh, Aichi 86, 〒4728686, JP)
富士機械製造株式会社 (〒86 愛知県知立市山町茶碓山１９番地 Aichi, 〒4728686, JP)
HORI, Masaru (1 Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-sh, Aichi 01, 〒4648601, JP)
堀 勝 (〒01 愛知県名古屋市千種区不老町１番 国立大学法人名古屋大学内 Aichi, 〒4648601, JP)
KANO, Hiroyuki (2-3-8, Kurozasaizumi, Miyoshi-sh, Aichi 32, 〒4700232, JP)
加納 浩之 (〒32 愛知県みよし市黒笹いずみ二丁目３番地８ ＮＵエコ・エンジニアリング株式会社内 Aichi, 〒4700232, JP)
International Classes:
H05H1/24; B01J19/08; B08B7/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
CHUBU PATENT OFFICE (Nagoya-Bldg. Higashikan 7th Floor, 2-25 Meieki 4-chome, Nakamura-ku, Nagoya-sh, Aichi 02, 〒4500002, JP)
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Claims: