PÄßLER, Frank (Ahornstrasse 11, Berlin, 12163, DE)
BUDER, Ulrich (Schareckstrasse 7, Berlin, 12107, DE)
PARROTTO, Davide (Freiburgerstrasse 32, Weil am Rhein, 79576, DE)
KRUSEMARK, Olaf (Neckarweg 11, Kassel, 34131, DE)
THAM, Anh Tuan (Rüdersdorfer Strasse 45, Berlin, 10243, DE)
PÄßLER, Frank (Ahornstrasse 11, Berlin, 12163, DE)
BUDER, Ulrich (Schareckstrasse 7, Berlin, 12107, DE)
PARROTTO, Davide (Freiburgerstrasse 32, Weil am Rhein, 79576, DE)
KRUSEMARK, Olaf (Neckarweg 11, Kassel, 34131, DE)
Patentansprüche:
1. Relativdrucksensor zum Erfassen eines Mediendrucks im Verhältnis zum umgebenden Atmosphärendruck, umfassend: eine Druckmesszelie (10) mit einer Messmembran (11 ) und einem
Sockel (12), wobei eine dem Sockel abgewandte erste Seite der Messmembran mit dem Mediendruck beaufschlagbar ist, und wobei der Sockel eine Referenzluftöffnung (14) aufweist, durch welche die dem Sockel zugewandte zweite Seite der Messmembran mit dem Atmosphärendruck in der Umgebung des Relativdrucksensors beaufschlagbar ist; einen Trägerkörper (2O) 1 durch welchen ein Referenzluftkanal zwischen einem ersten Oberflächenabschnitt und einem zweiten Oberflächenabschnitt des Trägerkörpers verläuft, wobei die Druckmesszelle (10) an dem Trägerkörper (20) mit einer druckfesten Klebung (22) fixiert ist, wobei die Referenzluftöffnung (14) mit dem Referenzluftkanal kommuniziert um einen Referenzluftpfad (18) zur Messmembran zu bilden, wobei die Klebung (22) den Referenzluftpfad (18) umschließt, wobei der Relativdrucksensor weiterhin ein Schirmelement (16) aufweist, welches die Klebung (22) vor einem unmittelbaren Kontakt mit der Referenzluft schützt.
2. Relativdrucksensor nach Anspruch 1 , wobei das Schirmelement ein Rohr umfasst, welches sich durch die Klebung erstreckt.
3. Reiativdrucksensor nach Anspruch 2, wobei das Rohr ein Fortsatz des Sockels ist, und wobei die Referenzluftöffnung durch das Rohr verläuft.
4. Relativdrucksensor nach einem der Ansprüche 2 bis 3, wobei die Druckmesszelle weiterhin eine axiale Anschlagfläche aufweist, welche im wesentlichen senkrecht zur Achse des Rohrs bzw. der Referenzluftöffnung verläuft, und welche ggf. mit der zwischen Hegenden Kiebung die Position der Druckmesszelle bezüglich des Trägerkörpers definiert.
5. Relativdrucksensor nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei sich das Rohr durch den Trägerkörper erstreckt.
6. Relativdrucksensor nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei das Rohr an seinem der Messzelle abgewandten Endabschnitt mit einem Schlauch verbunden ist, durch den die Referenzluft zugeführt wird
7. Relativdrucksensor nach Anspruch 1 , wobei das Schirmelement einen hülsenförmigen Fortsatz aufweist, welcher den
Referenzluftpfad umschließt, und welcher sich von dem Trägerkörper in die Referenzluftöffnung hinein erstreckt.
8. Relativdrucksensor nach Anspruch 7, wobei der Trägerkörper weiterhin eine axiale Anschlagfläche aufweist, welche im wesentlichen senkrecht zur Achse des hülsenförmigen Fortsatzes bzw. der Referenzluftöffnung verläuft, und welche ggf. mit der zwischenliegenden Klebung die Position der Druckmesszelle bezüglich des Trägerkörpers definiert.
9. Relativdrucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Klebung ein Epoxydharz aufweist.
10. Relativdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Schirmelement ein hydrophobes Polymer umfasst, insbesondere ein Silikonpolymer.
11. Relativdrucksensor nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Trägerkörper einen metallischen Werkstoff aufweist.
12. Relativdrucksensor nach Anspruch 1 , wobei die Druckmesszelle einen Halbieitersensor mit einem piezo-resistiven Wandler, einem kapazitiven Wandler oder einem Wandler mit einem optischen oder mechanischen Resonator umfasst. 13. Relativdrucksensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiterhin umfassend, einen hydraulischen Druckmittler mit einem Druckmittlerköφer und einer flexiblen Trennmembran, die an einer Oberfläche des Druckmittlerkörpers unter Bildung einer Druckkammer zwischen dem Druckmittlerkörper und der Trennmembran befestigt ist, wobei der Druckmittlerkörper ferner eine Messzellenkammer aufweist, in weicher die Druckmesszelle angeordnet ist, wobei sich zwischen der Druckkammer und der Messzellenkammer ein hydraulischer Pfad erstreckt, über den die erste Seite der Messmembran mit dem Mediendruck, der auf die Trennmembran einwirkt, beaufschagbar ist. |
Relativdrucksensor
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Relativdrucksensor insbesondere einen Realtivdrucksensor mit verbesserter Feuchtefestigkeit.
Ein gattungsgemäßer Relativdrucksensor zum Erfassen eines Mediendrucks im Verhältnis zum umgebenden Atmosphärendruck, umfasst eine Druckmesszelle mit einer Messmembran und einem Socke!, wobei die dem Sockel abgewandte Seite der Messmembran mit dem Mediendruck beaufschlagbar ist, und wobei der Sockel eine
Referenzluftöffnung aufweist, durch welche die dem Sockel zugewandte Seite mit dem Atmosphärendruck in der Umgebung des Relativdrucksensors beaufschlagbar ist; einen Trägerkörper, durch welchen ein Referenzluftkanal zwischen einem ersten Oberflächenabschnitt und einem zweiten Oberflächenabschnitt des Trägerkörpers verläuft, wobei die Druckmesszelle an dem Trägerkörper mit einer, druckfesten Klebung fixiert ist, wobei die Referenzluftöffnung mit dem Referenzluftkanal kommuniziert um einen Referenzluftpfad zur Messmembran zu bilden, wobei die Klebung den Referenzluftpfad umschließt.
Die Klebung ist drucktragend, d.h. sie muss die Kraft, weiche aufgrund der Differenz zwischen dem Mediendruck und dem Atmosphärendruck auf die Druckmesszelle wirkt im wesentlichen ohne plastische Verformung aufnehmen.
Für drucktragende Verbindungen im Bereich der Aufbau- und Verbindungstechnik von Drucksensoren werden Klebstoffe benötigt, die sich durch Kriechfreiheit und hohe Endfestigkeit auszeichnen. Geeignete Klebstoffe, beispielsweise Epoxyd-Klebstoffe.
Eine Veränderung der mechanischen Eigenschaften der Kiebung könnte aber zu veränderten mechanischen Spannungen am Socke! führen, die auf die Messmembran übertragen werden.
Insoweit als die Referenzluft naturgemäß einen veränderlichen Wassergehalt hat, erweist es sich als Problem, dass die genannten Klebstoffe und deren Grenzflächen zu anderen Materialien eine hohe Feuchteempfindlichkeit aufweisen. Eine Feuchtebeaufschlagung der Klebung mit den damit verbundenen änderungen von Klebstoffeigenschaften kann daher eine Verfälschung der gemessenen Druckwerte zur Folge haben.
Hydrophobe, feuchteundurchlässige Kleb- bzw. Dichtstoffe wie z.B. Silikonkautschuk, eigenen sich hingegen bei hohen Druckbelastungen aufgrund ihrer geringen Festigkeit bzw. ihrer Plastizität nicht zu einer formstabilen drucktragenden, dichten Verklebung der Druckmesszelle mit dem Trägerkörper.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Relativdrucksensor bereitzustellen, der die beschriebenen Nachteile überwindet.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Relativdrucksensor gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1.
Der erfindungsgemäße Relativdrucksensor ist dadurch gekennzeichnet, dass er weiterhin ein Schirmelement aufweist, welches die Klebung vor einem unmittelbaren Kontakt mit der Referenzluft schützt.
Das Schirmelement kann nach einer ersten Ausgestaltung der Erfindung ein Rohr umfassen, welches sich durch die Klebung erstreckt.
Das Rohr kann nach einer Weiterbildung der Erfindung insbesondere ein Fortsatz des Sockels sein, wobei die Referenzluftöffnung des Sockels durch das Rohr verläuft.
Die Druckmesszelle kann weiterhin eine axiale Anschlagfläche aufweisen, welche im wesentlichen senkrecht zur Achse des Rohrs bzw. der Referenzluftöffnung verläuft, und welche ggf. mit der zwischenliegenden Klebung die Position der Druckmesszetle bezüglich des Trägerkörpers definiert.
Das Rohr kann sich in einer Weiterbildung der Erfindung durch den Trägerkörper erstrecken.
Das Rohr kann gemäß einer Weiterbildung der Erfindung an seinem der Messzeile abgewandten Endabschnitt mit einem Schlauch, beispielsweise einem Silikonschlauch, verbunden sein, durch den die Referenziuft zugeführt wird
Nach einer Weiterbildung der Erfindung kann der Trägerkörper einen metallischen Werkstoff aufweisen.
Nach einer zweiten Ausgestaltung der Erfindung kann das Schirmelement einen hülsenförmigen Fortsatz aufweisen, weicher den Referenzluftpfad umschließt, und welcher sich von dem Trägerkörper in die Referenzluftöffnung hinein erstreckt.
Der Trägerkörper kann weiterhin eine axiale Anschlagfläche aufweisen, welche im wesentlichen senkrecht zur Achse des hülsenförmigen Fortsatzes bzw. der Referenzluftöffnung verläuft, und welche ggf. mit der zwischen liegenden Klebung die Position der Druckmesszelle bezüglich
des Trägerkörpers definiert. Zudem kann der Socket bei dieser Ausgestaltung eine zweite axiale, ringförmige Anschlagfiäche aufweisen, welche eine axiale Bezugsposition für die Stirnfläche des hülsenförmigen Fortsatzes bildet. Dies kann dadurch erreicht werden, dass der Sockel bis zur Anschlagsfläche eine Bohrung mit einem Durchmesser aufweist, der größer ist als der Außendurchmesser des hülsenförmigen Fortsatzes, und das sich von der Anschlagfläche eine Bohrung mit einem kleineren Durchmesser als der Außendurchmesser des hülsenförmigen Fortsatzes durch den Sockel erstreckt.
Die Klebung kann nach einer Weiterbiidung der Erfindung ein Epoxydharz aufweisen. Das Schirmelement kann nach einer Ausgestaltung der Erfindung beispielsweise ein hydrophobes Polymer umfassen, insbesondere ein Silikonpolymer, mit welchem beispielsweise ein direkter Kontakt, zwischen dem Referenzluftpfad und der Klebung unterbrochen wird.
Insbesondere bei der zweiten Ausgestaltung der Erfindung kann zwischen der Stirnfläche des hülsenförmigen Fortsatzes und der zweiten Axialen Anschlagfläche ein ringförmiges Schirmelement aus Silikonkautschuk angeordnet sein, um die außerhalb des Schirmelements verlaufende, ringförmige Klebung vor dem Referenzluftpfad zu schützen.
Die Druckmesszelle kann insbesondere einen Halbleitersensor mit einem piezoresistiven Wandler, einem kapazitiven Wandler oder einem Wandler mit einem optischen oder mechanischen Resonator umfassen.
Der Sockel kann in einer Weiterbildung der Erfindung Glas oder einen Halbleiter aufweisen.
Der erfindungsgemäße Refativdrucksensor kann weiterhin einen hydraulischen Druckmittier umfassen mit einem Druckmittlerkörper und einer flexiblen Trennmembran, die an einer Oberfläche des Druckmittlerkörpers unter Bildung einer Druckkammer zwischen dem Druckmittlerkörper und der Trennmembran befestigt ist, wobei der
Druckmittlerkörper ferner eine Messzellenkammer aufweist, in welcher die Druckmesszelle angeordnet ist, wobei sich zwischen der Druckkammer und der Messzellenkammer ein hydraulischer Pfad erstreckt, über den die erste Seite der Messmembran mit dem Mediendruck, der auf die Trennmembran einwirkt, beaufschagbar ist.
Die Erfindung wird nun anhand der in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 : einen Längsschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Relativdrucksensors; Fig. 2: einen Längsschnitt durch einen Relativdrucksensor nach dem Stand der Technik;
Fig. 3: einen Längsschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Relativdrucksensors.
Der in Fig. 1 gezeigte erfindungsgemäße Relativdrucksensor 1 umfasst eine Druckmesszelie 10, die einen piezoresistiven Haibleiterwandlerkern mit einer Messmembran 11 umfasst, wobei der Halbleitersensor mittels anodischen Bondens in seinem Randbereich mit einem Sockel 12 verbunden ist, wobei der Sockel aus Glas gefertigt ist. Der Sockel 12, weist eine durchgehende Referenzluftöffnung 14 auf, in welche ein Endabschnitt eines Glasrohrs 16 eingesetzt ist, wobei das Glasrohr 16 in der Referenzluftöffnung auf seiner Außenseite In den Sockel 12 verschmolzen ist, so dass die Referenzluft ausschließlich über einen
Referenzluftpfad 18, der durch das Giasrohr verläuft, zur Messmembran 11 gelangt.
Der Socke! 12 ist an seiner dem HalbleiterwandJerkern abgewandten Seite mit einem metallischen Trägerkörper 20 mit einer Epoxydharz-Klebung 22, verklebt, wobei sich das Glasrohr 16 durch eine öffnung im Trägerkörper 20 erstreckt. Auf einen durch den Trägerkörper 20 hindurchragenden Endabschnitt des Glasrohrs 16 ist ein Schlauch 24 insbesondere aus Silikonkautschuk aufgesteckt, durch welchen der Referenzluftpfad 18 verläuft. Auf diese Weise ist zuverlässig verhindert, dass die Klebung 22 der Referenzluft ausgesetzt wird.
Der Relativdrucksensor umfasst weiterhin einen hydraulischen Druckmittler mit einem Druckmittlerkörper 30 und einer flexiblen Trennmembran 32, die an einer Oberfläche des Druckmittlerkörpers 30 unter Bildung einer Druckkammer 34 zwischen dem Druckmittierkörper 30 und der Trennmembran 32 befestigt ist, wobei der Druckmittlerkörper ferner eine Messzelienkammer 38 aufweist, in welcher die Druckmesszelle 10 angeordnet ist. Zwischen der Druckkammer 34 und der Messzellenkammer 38 erstreckt sich eine Bohrung 36, über den die dem Sockel 12 abgewandte, erste Seite der Messmembran 11 mit dem Mediendruck, der auf die Trennmembran einwirkt beaufschlagbar ist. Zur Druckübertragung sind die Druckkammer 34, die Bohrung 36 und das freie Volumen der Messzellenkammer 38 mit einer übertragungsflüssigkeit gefüllt. Zur Fixierung der Druckmesszelle bezüglich des Druckmittlers und zum Verschließen der Messzellenkammer 38 ist der Trägerkörper 20 mit einem Druckmittlerkörper 30 verschweißt.
Fig. 2 zeigt kurz einen Relativdrucksensor nach dem Stand der Technik, wobei hier der Druckmittler zur Vereinfachung der Darstellung weggelassen wurde. Hier ist eine Druckmesszelle 210, die einen
Wandlerkern 211 und Glassockei 212 aufweist, mit dem Glassockel mittels einer Epoxydharzklebung 222 an einem Trägerkörper 220 befestigt, der ein Referenzluftrohr 216 umfasst, wobei der Giassockel 212 auf die Stirnfläche des Rohres 216 geklebt ist. Damit ergibt sich, dass die Klebung 222 nicht vor der Referenzluft geschützt ist, sondern vielmehr Bestandteil der Wand des Referenzluftpfads 218 ist. Damit werden die mechanischen Eigenschaften der Kiebung in Abhängigkeit von Feuchtigkeit und Temperatur verändert.
Das in Fig. 3 gezeigte, zweite Ausführungsbeispiel, eines
Relativdrucksensors modifiziert das Konzept der Klebung auf der Stirnfläche eines Referenzluftrohrs. Der Relativdrucksensor umfasst eine Druckmesszelle 110, die einen piezoresistiven Wandlerkern mit Messmembran 111 und einen Siliziumsockel 112 aufweist, wobei der Wandlerkern entlang seines Randbereichs mit dem Siliziumsockel verbunden ist. Der Siliziumsockel 112 umfasst eine durchgehende Bohrung, durch welche Referenzluft zur Messmembran 111 gelangen kann. Die Bohrung weist in einem der Messmembran zugewandten Abschnitt einen ersten Durchmesser auf, an den ein zweiter Abschnitt anschließt, der einen zweiten Durchmesser aufweist, der größer ist als der erste Durchmesser, wobei sich der zweite Abschnitt bis zu einer der Messmembran abgewandten Oberfläche des Siläziumsockels 112 erstreckt. Zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt ist damit eine radiale Stufe gebildet, die als erste axiale Anschlagfläche 114, für die Positionierung der Druckmesszelie 110 bezüglich des
Trägerkörpers 120 dient. Der Trägerkörper umfasst ein Referenzluftrohr 116, welches gewissermaßen als hülsenförmiger Fortsatz gegenüber einer Oberfläche des Trägerkörpers hervorsteht, wobei das Referenzluftrohr in einem Endabschnitt 125 nach einer radialen Stufe einen verringerten Außendurchmesser aufweist, wobei der
Außendurchmesser des Endabschnitts geringer ist, als der zweite
Durchmesser der Bohrung in dem Sitiziumsockei 112. Die radiale Stufe dient als zweite axiale Anschlagfläche 126, durch welche die Position der Druckmesszelle 110 bezüglich des Trägerkörpers 120 festgelegt wird. Der axiale Abstand von der zweiten axialen Anschlagfläche 126 zur Endfläche des Referenzluftrohrs 116 ist ungefähr gleich der Länge des zweiten Abschnitts der Bohrung durch den Siliziumsockel 112.
Zwischen der ersten Anschlagfläche 114 und der Endfläche des Referenzluftrohrs 116 ist eine ringförmige Feuchtebarriere 123 aus Silikonkautschuk vorgesehen. Damit ist eine drucktragende Klebung 122, die zunächst zwischen der Mantelfläche des Endabschnitts 125 des Referenzluftrohrs 116 und der Wand des zweiten Abschnitts der Bohrung und anschließend zwischen der zweiten Anschlagfläche 126 und einer Basisfläche des Siliziumsockels 112 verläuft, vor der feuchten Referenzluft geschützt.
Die drucktragende Klebung umfasst ein Epoxydharz. Insofern, als dieses vor dem Referenzluftpfad 118, der durch die Bohrung und durch das Referenzluftrohr 116 verläuft, mittels der Barriere 123 aus Silikonkautschuk geschützt ist, kann eine feuchteabhängige
Beeinträchtigung der drucktragenden Klebung ausgeschlossen werden.
Next Patent: PRESSURE SENSOR, PARTICULARLY DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR