Title:
RELAY DEVICE USING CONDUCTIVE FLUID
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2007/026678
Kind Code:
A1
Abstract:
A relay device using a conductive fluid and having an excellent switching response is
provided. The relay device is formed by bonding a semiconductor substrate to
an insulator substrate, and mainly comprises a stacked layer body having an interior
space, at least two contact points exposed to the interior space, a diaphragm portion
facing the interior space, conductive fluid sealed in the interior space, and
an actuator for elastically deforming the diaphragm portion. The diaphragm portion
is provided on the semiconductor substrate, so that the drive force of the actuator
necessary for elastically deforming the diaphragm portion can be reduced and
the volume change of the interior space can be obtained with a fast response. This
volume change causes the positional displacement of the conductive fluid in
the interior space, thereby forming a conduction state or non-conduction state
between the contact points.
Inventors:
YOKOYAMA, Koji (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
横山 浩司 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
UOTOME, Riichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
魚留 利一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
FURUKUBO, Eiichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
古久保 英一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
KAKIMOTO, Katsumi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
横山 浩司 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
UOTOME, Riichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
魚留 利一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
FURUKUBO, Eiichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
古久保 英一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
KAKIMOTO, Katsumi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
Application Number:
JP2006/316946
Publication Date:
March 08, 2007
Filing Date:
August 29, 2006
Export Citation:
Assignee:
MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD. (1048, Oaza-Kadoma Kadoma-shi Osaka, 86, 5718686, JP)
松下電工株式会社 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 Osaka, 5718686, JP)
YOKOYAMA, Koji (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
横山 浩司 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
UOTOME, Riichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
魚留 利一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
FURUKUBO, Eiichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
古久保 英一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
松下電工株式会社 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 Osaka, 5718686, JP)
YOKOYAMA, Koji (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
横山 浩司 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
UOTOME, Riichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
魚留 利一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
FURUKUBO, Eiichi (1048, Oaza-Kadom, Kadoma-shi Osaka 86, 5718686, JP)
古久保 英一 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 松下電工株式会社内 Osaka, 5718686, JP)
International Classes:
H01H57/00; H01H29/02
Attorney, Agent or Firm:
NISHIKAWA, Yoshikiyo et al. (Hokuto Patent Attorneys Office, Umeda-Daiichiseimei Bldg. 5F,, 12-17, Umeda 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi Osaka 01, 5300001, JP)
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