\¥0 2020/175038 1 卩（：17 2020 /004164 明 細 書

発明の名称 ： 樹脂組成物、 樹脂膜、 及び、 電子部品

技術分野

[0001 ] 本発明は、 樹脂組成物、 樹脂膜、 及び、 電子部品に関するものである。 特 に、 本発明は、 電子部品に用いられる絶縁膜などの形成に好 適に使用し得る 樹脂組成物、 当該樹脂組成物からなる樹脂膜、 及び、 当該樹脂膜を備える電 子部品に関するものである。

背景技術

[0002] 液晶表示装置、 有機日 !_表示装置、 集積回路素子、 固体撮像素子などの電 子部品には、 平坦化膜、 保護膜、 絶縁膜等として種々の樹脂膜が設けられて いる。

[0003] 具体的には、 例えば、 特許文献 1では、 エポキシ基と反応する極性基を有 する重合体、 主鎖に脂環構造を有し 3個以上のエポキシ基を有する多官能エ ポキシ化合物を含有してなる架橋剤、 及び感放射線化合物を含有してなる感 放射線組成物が開示されている。 特許文献 1 に記載された感放射線組成物は 、 電気特性、 耐熱形状保持性、 耐熱透明性等、 及び耐薬品性に優れる樹脂膜 を形成することができる。 より具体的には、 エポキシ基と反応する極性基と しては、 プロトン性極性基及び非プロトン性極性基が 挙げられており、 エポ キシ基と反応する極性基を有する重合体の骨 格としては、 環状オレフィン系 重合体、 鎖状オレフィン系重合体、 アクリレート系重合体等が挙げられてい る。

[0004] また、 例えば、 特許文献 2では、 反り抑制性及びスミア除去性に優れると 共に、 表面への高ピール強度の導体層の形成が可能 な硬化物が得られる樹脂 組成物が開示されている。 特許文献 2に記載された樹脂組成物は、 所定の構 造を満たすエポキシ樹脂と、 フエノール系硬化剤、 シアネートエステル系硬 化剤、 及び活性エステル系硬化剤から選択される一 種以上とを含む樹脂組成 物である。 \¥0 2020/175038 2 卩（：17 2020 /004164 先行技術文献

特許文献

[0005] 特許文献 1 :国際公開第 2 0 0 5 / 0 9 6 1 0 0号

特許文献 2 :特開 2 0 1 6 - 7 9 3 6 6号公報

発明の概要

発明が解決しようとする課題

[0006] しかし、 上述したような従来の感放射線組成物又は樹 脂組成物には、 得ら れる樹脂膜の耐熱性及び透明性を高め、 さらに、 パターン化樹脂膜を形成し た場合におけるバターンのコントラスト明瞭 性を高める、 という点で改善の 余地があった。

[0007] そこで、 本発明は、 耐熱性、 透明性、 及びコントラスト明瞭性に優れるパ 夕ーン化樹脂膜を形成可能な、 樹脂組成物を提供することを目的とする。 また、 本発明は、 本発明の樹脂組成物を用いて形成された樹脂 膜、 及び当 該樹脂膜を備える高性能な電子部品を提供す ることを目的とする。

課題を解決するための手段

[0008] 本発明者は、 上記課題を解決することを目的として鋭意検 討を行った。 そ して、 本発明者は、 プロトン性極性基を有する重合体 （ ） と、 所定の架橋 剤 （巳） と、 感放射線化合物 （＜3） としてのキノンジアジド化合物とを含有 する樹脂組成物によれば、 耐熱性及び透明性に優れるとともに、 コントラス 卜明暸性に優れるパターン化樹脂膜を形成可 能になることを見出し、 本発明 を完成させた。

[0009] 即ち、 この発明は、 上記課題を有利に解決することを目的とする ものであ り、 本発明の樹脂組成物は、 プロトン性極性基を有する重合体 （ ） と、 下 式 （1） で表される架橋剤 （巳） と、 感放射線化合物 （＜3） としてのキノン ジアジド化合物と、 を含有することを特徴とする。 〇 2020/175038 卩(：17 2020 /004164

[化 1 ]

〔式 （1） 中、 複数の 8は、 それぞれ独立して、 炭素数 1〜 6のアルキル基 、 及び炭素数 1〜 6のアルコキシ基の何れかを示し、 〇1、 は〇〜 4の 整数、 は〇〜 5の整数をそれぞれ示す。 〕

このように、 樹脂組成物にプロトン性極性基を有する重合 体 （ ） と、 上 記所定の構造を満たす架橋剤 （巳） と、 感放射線化合物 （＜3） としてのキノ ンジアジド化合物とを含有させれば、 耐熱性、 透明性、 コントラスト明瞭性 に優れるパターン化樹脂膜を形成することが 可能となる。

[0010] ここで、 本発明の樹脂組成物において、 前記プロトン性極性基を有する重 合体 （ ） が、 プロトン性極性基を有する環状オレフィン重 合体及びプロト ン性極性基を有するポリアミ ドイミ ド樹脂の少なくとも一方を含む、 ことが 好ましい。 樹脂組成物に環状オレフィン重合体及びプロ トン性極性基を有す るポリアミ ドイミ ド樹脂の少なくとも一方を含有させることに より、 バター ン化樹脂膜を形成した際のコントラスト明瞭 性を一層高めることができる。

[001 1 ] また、 本発明の樹脂組成物において、 前記架橋剤 （巳） の含有質量が、 前 記感放射線化合物 （＜3） としてのキノンジアジド化合物の含有質量の 、 〇.

4倍以上 3 . 1倍以下であることが好ましい。 架橋剤 （巳） 及び感放射線化 合物 （＜3） としてのキノンジアジド化合物の含有質量が 上記所定の関係を満 たす範囲内であれば、 パターン化樹脂膜を形成した際のコントラス ト明瞭性 を一層高めることができる。

[0012] 更に、 本発明の樹脂組成物は、 界面活性剤を更に含有していても良い。 樹 〇 2020/175038 4 卩（：171? 2020 /004164

脂組成物が界面活性剤を含んでいれば、 樹脂組成物の塗工性を向上させるこ とができる。

[0013] 更に、 本発明の樹脂組成物は、 シランカップリング剤を更に含有していて も良い。 樹脂組成物がシランカップリング剤を含んで いれば、 基材上に樹脂 組成物からなる樹脂膜を形成した場合に、 基材と樹脂膜との間の密着性を高 めることができる。

[0014] 更にまた、 本発明の樹脂組成物は、 アルコキシメチル基を 2つ以上有する 化合物及びメチロール基を 2つ以上有する化合物の少なくとも一方を更� �含 有することが好ましい。 樹脂組成物に、 アルコキシメチルを基 2つ以上有す る化合物、 及びメチロール基を 2つ以上有する化合物の少なくとも一方を更 に含有させれば、 得られる樹脂膜の耐薬品性能を高めることが できる。

[0015] また、 この発明は、 上記課題を有利に解決することを目的とする ものであ り、 本発明の樹脂膜は、 上述した何れかの樹脂組成物を用いて形成し たこと を特徴とする。 上述した樹脂組成物を用いて形成される樹脂 膜は、 耐熱性及 び透明性に優れる。 更に、 樹脂膜を形成する際にパターニングした場合 には 、 コントラスト明瞭性に優れる。

[0016] また、 この発明は、 上記課題を有利に解決することを目的とする ものであ り、 本発明の電子部品は、 上述した何れかの樹脂組成物からなる樹脂膜 を備 えることを特徴とする。 上述した樹脂組成物を用いて形成される樹脂 膜は、 耐熱性及び透明性に優れ、 且つ、 パターンを有する場合には当該パターンが コントラスト明瞭性に優れるため、 当該樹脂膜を備える電子部品は、 所期の 機能を十分に発揮することができるため、 高性能である。

発明の効果

[0017] 本発明によれば、 耐熱性、 透明性、 及び、 コントラスト明瞭性に優れるパ 夕ーン化樹脂膜を形成可能な、 樹脂組成物を提供することができる。

また、 本発明によれば、 本発明の樹脂組成物を用いて形成された樹脂 膜、 及び当該樹脂膜を備える高性能な電子部品を 提供することができる。

発明を実施するための形態 〇 2020/175038 5 卩(：171? 2020 /004164

[0018] 以下、 本発明の実施形態について詳細に説明する。 本発明の樹脂組成物は 、 液晶表示装置、 有機日 !_表示装置、 集積回路素子、 固体撮像素子などの電 子部品に備えられうる、 平坦化膜、 保護膜、 絶縁膜等として機能し得る樹脂 膜を形成する際に用いることができる。 中でも、 本発明の樹脂膜は、 耐熱性 、 透明性、 及び、 コントラスト明瞭性に優れるため、 丨 丁〇電極を備える電 子部品に好適に備えられうる。 そして、 本発明の電子部品は、 本発明の樹脂 膜を備えるものである。

[0019] （樹脂組成物）

本発明の樹脂組成物は、 プロトン性極性基を有する重合体 （ ） と、 下式 （1） で表される架橋剤 （巳） と、 感放射線化合物 （＜3） としてのキノンジ アジド化合物と、 を含有することを特徴とする。

[化 2]

( 1 )

〔式 （1） 中、 複数の 8は、 それぞれ独立して、 炭素数 1〜 6のアルキル基 、 及び炭素数 1〜 6のアルコキシ基の何れかを示し、 〇1、 は〇〜 4の 整数、 は〇〜 5の整数をそれぞれ示す。 〕

さらに、 本発明の樹脂組成物は、 任意で、 界面活性剤、 シランカップリン グ剤、 及びアルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物の少なくとも何れか 、 並びに、 その他の添加剤を更に含有し得る。

[0020] なお、 本発明の樹脂組成物は、 プロトン性極性基を有する重合体 （八） 、 上記所定の構造を満たす架橋剤 （巳） 、 及び感放射線化合物 （＜3） としての キノンジアジド化合物を含有しているので、 耐熱性、 透明性、 及びコントラ 〇 2020/175038 6 卩（：171? 2020 /004164

スト明瞭性に優れる樹脂膜を形成すること ができる。 ここで、 本明細書にお いて、 樹脂膜が 「耐熱性に優れる」 とは、 樹脂組成物を用いて形成した樹脂 膜が、 高温条件下に曝した場合に減量し難い （即ち、 加熱減量し難い） とい う性質を有することを意味する。 また、 本明細書において、 樹脂膜が 「コン トラスト明瞭性に優れる」 とは、 樹脂組成物を用いて形成したパターン化樹 脂膜において、 バターンが明瞭であることを意味する。 より具体的には、 樹 脂組成物よりなる塗膜をパターニングして、 パターン化樹脂膜を形成した際 に、 膜として残留すべき部分の残留率が高く、 消失すべき部分の残渣が少な い、 ということを意味する。 例えば、 樹脂組成物がポジ型レジスト組成物と して機能し得る樹脂組成物である場合には、 樹脂組成物よりなる塗膜を露光 し、 潜像パターンを形成し、 現像した際における、 未露光部分の膜の残膜率 が充分に高く、 且つ、 露光部分の膜の残渣が充分に少ない、 ということを意 味する。

[0021 ] ＜プロトン性極性基を有する重合体 （ ） ＞

プロトン性極性基を有する重合体 （ ） とは、 骨格となる構造に対してプ ロトン性極性基が結合してなる重合体である 。 「プロトン性極性基」 とは、 周期律表の第 1 5族又は第 1 6族に属する原子に水素が直接結合している� � 子を含む基をいう。 水素が直接結合する原子は、 好ましくは周期律表の第 1 5族又は第 1 6族の第 2周期若しくは第 3周期に属する原子であり、 より好 ましくは酸素原子、 窒素原子又は硫黄原子であり、 特に好ましくは酸素原子 である。

[0022] このようなプロトン性極性基の具体例として は、 水酸基、 カルボキシル基 （ヒドロキシカルボニル基） 、 スルホン酸基、 リン酸基等の酸素原子を有す る極性基；第一級アミノ基、 第二級アミノ基、 第一級アミ ド基、 第二級アミ ド基 （イミ ド基） 等の窒素原子を有する極性基；チオール基等 の硫黄原子を 有する極性基；等が挙げられる。 これらの中でも、 酸素原子を有するものが 好ましく、 より好ましくはカルボキシル基である。

本発明において、 プロトン性極性基を有する重合体 （ ） に結合している 〇 2020/175038 7 卩（：171? 2020 /004164

プロトン性極性基の数に特に限定はなく、 また、 相異なる種類のプロトン性 極性基が含まれていてもよい。

[0023] また、 プロトン性極性基を有する重合体 （八） の骨格は、 特に限定されな い。 中でも、 得られるパターン化樹脂膜のコントラスト明 瞭性を一層高める 観点から、 骨格としては、 （1） 主鎖に、 環状オレフィン単量体に由来する 環状構造 （脂環又は芳香環） を有する重合体、 及び、 （2） ポリアミ ドイミ ドが好ましい。 なお、 繰り返し単位にアミ ド結合及びイミ ド結合を有する重 合体であっても、 主鎖に環状オレフィン単量体に由来する環状 構造を有する 重合体は、 上記 （1） に記載した、 「主鎖に、 環状オレフィン単量体に由来 する環状構造 （脂環又は芳香環） を有する重合体」 に該当するものとする。

[0024] さらに、 得られるパターン化樹脂膜のコントラスト明 瞭性をより一層高め る観点から、 プロトン性極性基を有する重合体 （八） として、 骨格が、 （1 ） 主鎖に、 環状オレフィン単量体に由来する環状構造 （脂環又は芳香環） を 有する重合体を少なくとも用いること、 換言すれば、 プロトン性極性基を有 する重合体 （ ） が、 プロトン性極性基を有する環状オレフィン重 合体を少 なくとも含むことが好ましい。 以下、 プロトン性極性基を有する重合体 （八 ） としての、 環状オレフィン重合体を 「環状オレフィン重合体 （ 一 ·！） 」 と称し、 プロトン性極性基を有するポリアミ ドイミ ド樹脂を、 「ポリアミ ド イミ ド樹脂 （ _ 2） 」 と称することがある。 なお、 プロトン性極性基を有 する重合体 （ ） としては、 一種の重合体を単独で用いても良いし、 複数種 の重合体を組み合わせて用いても良い。 より具体的には、 プロトン性極性基 を有する重合体 （ ） として、 一種若しくは複数種の環状オレフィン重合体 （八一 1） 又は一種若しくは複数種のポリアミ ドイミ ド樹脂 （八一 2） をそ れぞれ用いても良いし、 一種若しくは複数種の環状オレフィン重合体 （八一 1） と、 一種若しくは複数種のポリアミ ドイミ ド樹脂 （八一2） とを併用し ても良い。 中でも、 上述のように、 プロトン性極性基を有する重合体 （八） が環状オレフィン重合体 （八_ 1） を少なくとも含むことが好ましく、 プロ トン性極性基を有する重合体 （ ） が環状オレフィン重合体 （ _ 1） であ 〇 2020/175038 8 卩（：171? 2020 /004164

ることがより好ましい。

[0025] «環状オレフィン重合体 （ _ 1） »

環状オレフィン重合体 （ _ 1） としては、 1又は 2以上の環状オレフィ ン単量体の重合体、 又は、 1又は 2以上の環状オレフィン単量体と、 これと 共重合可能な単量体との共重合体が挙げられ るが、 本発明においては、 環状 オレフィン重合体を形成 （八_ 1） するための単量体として、 少なくともプ ロトン性極性基を有する環状オレフィン単量 体 （3） を用いることが好まし い。

[0026] プロトン性極性基を有する環状オレフィン単 量体 （ 3） （以下、 単に 「環 状オレフィン単量体 （3） 」 とも称することがある。 ） としては、 特に限定 されることなく、 プロトン性極性基を有する環状オレフィン単 量体 （3） （ 以下、 適宜、 「単量体 （3） 」 という。 ） の具体例としては、 2—ヒドロキ シカルボニルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2—メチルー 2— ヒドロキシカルボニルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2—カル ボキシメチルー 2—ヒドロキシカルボニルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー

5—エン、 2, 3—ジヒドロキシカルボニルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプト

— 5—エン、 2—ヒドロキシカルボニルー 3—ヒドロキシカルボニルメチル ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5 -エン、 3 -メチルー 2 -ヒドロキシカ ルボニルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 3—ヒドロキシメチル

— 2—ヒドロキシカルボニルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2 —ヒドロキシカルボニルトリシクロ [5. 2. 1. 〇 ^2,6 ] デカー 3, 8—ジエ ン、 4—ヒドロキシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデ 力一 9—エン、 4—メチルー 4—ヒドロキシカルボニルテトラシクロ [6.

2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ— 9—エン、 4, 5—ジヒドロキシカルボニルテ トラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ- 9 -エン、 4 -カルボキシメ チルー 4—ヒドロキシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ] ド デカー 9—エン、 1\1— （ヒドロキシカルボニルメチル） ビシクロ [2. 2.

1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 ！\1— （ヒドロキシカ 20/175038 9 卩（：171? 2020 /004164

ルボニルエチル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカ ルボキシイミ ド、 1\1_ （ヒドロキシカルボニルペンチル） ビシクロ [2. 2

. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 1\1— （ジヒドロキ シカルボニルエチル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2 , 3— ジカルボキシイミ ド、 1\1_ （ジヒドロキシカルボニルプロピル） ビシクロ [ 2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 1\1— （ヒド ロキシカルボニルフエネチル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 1\1_ （ヒドロキシカルボニルフエネチル） ビ シクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 — （2— （4—ヒドロキシフエニル） 一 1 — （ヒドロキシカルボニル） エチ ル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 1\!— （ヒドロキシカルボニルフエニル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプト

_ 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド等のカルボキシル基含有環状オレ フィン； 2— （4—ヒドロキシフエニル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5 -エン、 2 -メチルー 2 - （4 -ヒドロキシフエニル） ビシクロ [2. 2 . 1 ] ヘプトー 5—エン、 4— （4—ヒドロキシフエニル） テトラシクロ [ 6. 2. 1. 13,6_ 〇 2,7] ドデカ— 9—エン、 4 -メチルー 4 - （4 -ヒドロ キシフエニル） テトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ² · ⁷ ] ドデカー 9 -エン、

2—ヒドロキシビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2—ヒドロキシ メチルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2—ヒドロキシエチルビ シクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2—メチルー 2—ヒドロキシメチ ルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2, 3—ジヒドロキシメチル ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2— （ヒドロキシエトキシカル ボニル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2—メチルー 2— （ヒ ドロキシエトキシカルボニル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、

2— （ 1 —ヒドロキシー 1 —トリフルオロメチルー 2, 2, 2—トリフルオ ロエチル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エン、 2— （2—ヒドロキ シー 2—トリフルオロメチルー 3, 3, 3—トリフルオロプロピル） ビシク 〇 2020/175038 10 卩（：171? 2020 /004164

口 [2. 2. 1 ] ヘプトー 5 -ェン、 3 -ヒドロキシトリシクロ [5. 2.

1. 〇 ^2,6 ] デカー 4, 8 -ジェン、 3 -ヒドロキシメチルトリシクロ [5. 2 . 1. 〇 ^2,6 ] デカー 4, 8 -ジェン、 4 -ヒドロキシテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ² · ⁷ ] ドデカー 9 -ェン、 4 -ヒドロキシメチルテトラシクロ [6 . 2. 1. 13.6. 02.7] ドデカ— 9—ェン、 4, 5—ジヒドロキシメチルテト ラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² ] ドデカー 9 -ェン、 4 - （ヒドロキシェ トキシカルボニル） テトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 0 ² ] ドデカー 9—ェ ン、 4—メチルー 4— （ヒドロキシェトキシカルボニル） テトラシクロ [6 . 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 0 ² ] ドデカー 9 -ェン、 1\1- （ヒドロキシェチル） ビシク 口 [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—ェンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 1\1— （ ヒドロキシフェニル） ビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—ェンー 2 , 3 - ジカルボキシイミ ド、 等の水酸基含有環状オレフィン等を挙げるこ とができ る。 中でも、 得られる樹脂膜の現像液 （特には、 アルカリ現像液） に対する 溶解性を向上させる観点から、 カルボキシル基含有環状オレフィンが好まし く、 4—ヒドロキシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 0 ² ] ドデ 力一 9 -ェンが特に好ましい。 さらに、 このような好ましい環状オレフィン 単量体 （3） を用いることで、 得られる樹脂膜の表面に 丨 丁〇膜を形成した 場合に、 丨 丁〇膜の表面にしわが生じることを抑制する 性質 （即ち、 「丨 丁 〇しわ抑制性能」 ） を一層高めることもできる。 なお、 環状オレフィン単量 体 （3） としては、 一種又は複数種の単量体を用いることができ る。

[0027] 環状オレフィン重合体 （ _ 1） 中における、 環状オレフィン単量体 （3 ） に由来する単位の含有割合は、 環状オレフィン重合体 （ _ 1） を構成す る全繰り返し単位を 1 00モル％として、 1 0モル％以上が好ましく、 20 モル％以上がより好ましく、 30モル％以上が更に好ましく、 90モル％以 下が好ましく、 80モル％以下がより好ましく、 70モル％以下が更に好ま しい。 環状オレフィン単量体 （ 3） に由来する単位の含有割合を上記範囲と することにより、 得られるパターン化樹脂膜のコントラスト明 瞭性を一層高 めることができる。 〇 2020/175038 11 卩（：171? 2020 /004164

[0028] また、 本発明で用いる環状オレフィン重合体 （ 一 ·！） は、 プロトン性極 性基を有する環状オレフィン単量体 （3） と、 これと共重合可能な単量体 （ 13） とを共重合して得られる共重合体であっても よい。 このような共重合可 能な単量体としては、 プロトン性極性基以外の極性基を有する環状 オレフィ ン単量体 （ 1） 、 極性基を持たない環状オレフィン単量体 （ 2） 、 及び 環状オレフィン以外の単量体 （匕 3） （以下、 適宜、 「単量体 （ 13 1） 」 、 「単量体 （匕 2） 」 、 「単量体 （匕 3） 」 という。 ） が挙げられる。 ここで 単量体 （匕 1） 〜 （匕 3） は、 特性に影響が無い範囲で使用可能である。 そ して、 環状オレフィン重合体 （ _ ·!） は、 単量体 （ ₃ ） と、 単量体 （匕 1 ） とから構成されることが好ましい。 さらに、 下記に列挙する単量体 （匕 1 ） の中でも、 一置換イミ ド基を有する環状オレフィンである、 1^1— （ 2— エチルヘキシル） ービシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2 , 3—ジ カルボキシイミ ドを用いることが好ましい。

[0029] プロトン性極性基以外の極性基を有する環状 オレフィン単量体 （ 1） が 有する、 プロトン性極性基以外の極性基の具体例とし ては、 エステル基 （ア ルコキシカルボニル基及びアリーロキシカル ボニル基を総称していう。 ） 、 置換イミ ド基、 エポキシ基、 ハロゲン原子、 シアノ基、 カルボニルオキ シカルボニル基 （ジカルボン酸の酸無水物残基） 、 アルコキシ基、 カルボニ ル基、 第三級アミノ基、 スルホン基、 アクリロイル基等が挙げられる。 中で も、 プロトン性極性基以外の極性基としては、 エステル基、 1\1_置換イミ ド 基及びシアノ基が好ましく、 エステル基及び 1\1_置換イミ ド基がより好まし く、 1\1_置換イミ ド基が特に好ましい。

[0030] そして、 単量体 （匕 1） の具体例としては、 以下のような環状オレフィン が挙げられる。

エステル基を有する環状オレフィンとしては 、 例えば、 5 -アセトキシビ シクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 2—エン、 5—メ トキシカルボニルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 2—エン、 5—メチルー 5—メ トキシカルボニルビ シクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 2—エン、 9—アセトキシテトラシクロ [6 20/175038 12 卩（：171? 2020 /004164

. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ— 4—エン、 9—メ トキシカルボニルテトラシ クロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ^2,7 ] ドデカー 4—エン、 9—エトキシカルボニル テトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 〇 ^2,7 ] ドデカー 4 -エン、 9-门ープロボ キシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ— 4—エン、

9—イソプロポキシカルボニルテトラシク� � [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデ 力一 4—エン、 9 门 ブトキシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1 13,6

. 0 ^2,7 ] ドデカー 4—エン、 9—メチルー 9—メ トキシカルボニルテトラシク 口 [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ^2,7 ] ドデカー 4 -エン、 9—メチルー 9—エトキシ カルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ^2,7 ] ドデカー 4—エン、 9 - メチルー 9—门ープロポキシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 0 ² · ⁷ ] ドデカー 4—エン、 9—メチルー 9—イソプロポキシカルボニルテトラシ クロ [6. 2. 1. 13,6_ 〇 2,7] ドデカ— 4—エン、

トキシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ² · ⁷ ] ドデカー 4—エン 、 9— （2, 2, 2—トリフルオロエトキシカルボニル） テトラシクロ [6 . 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ^2,7 ] ドデカー 4—エン、 9 -メチルー 9 - （2, 2, 2— トリフルオロエトキシカルボニル） テトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ² · ⁷ ] ドデカー 4 -エン等が挙げられる。

置換イミ ド基を有する環状オレフィンとしては、 例えば、 1\1—フエニ ルビシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド 、 1\1_ （2—エチルヘキシル） _ 1 —イソプロピルー 4—メチルビシクロ [ 2. 2. 2] オクトー 5 -エンー 2, 3 -ジカルボキシイミ ド、 1\1- （2- エチルヘキシル） ービシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2 , 3—ジ カルボキシイミ ド、 1\!_ [ （2—エチルブトキシ） エトキシプロピル] —ビ シクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジカルボキシイミ ド、 — （エンドービシクロ [2. 2. 1 ]ヘプトー 5—エンー 2, 3—ジイルジカ ルボニル） アスパラギン酸ジメチル等が挙げられる。

シアノ基を有する環状オレフィンとしては、 例えば、 9 -シアノテトラシ クロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 〇 ^2,7 ] ドデカー 4 -エン、 9—メチルー 9—シアノ 〇 2020/175038 13 卩（：171? 2020 /004164

テトラシクロ [6. 2. 1. 13.6. 02.7] ドデカ- 4 -ェン、 5 -シアノビシ クロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 2 -ェン等が挙げられる。

ハロゲン原子を有する環状オレフインとして は、 例えば、 9 -クロロテト ラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ- 4 -ェン、 9 -メチルー 9 -ク ロロテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカー 4 -ェン等が挙げられ る。

これらのプロトン性極性基以外の極性基を有 する環状オレフイン単量体 （ 匕 1） は、 それぞれ単独で用いてもよく、 2種以上を組み合わせて用いても よい。

[0031] 極性基を持たない環状オレフイン単量体 （匕 2） の具体例としては、 ビシ クロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 2—ェン （ 「ノルボルネン」 ともいう。 ） 、 5 —ェチルービシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 2—ェン、 5—ブチルービシク 口 [2. 2. 1 ] ヘプトー 2 -ェン、 5 -ェチリデンービシクロ [2. 2.

1 ] ヘプトー 2 -ェン、 5 -メチリデンービシクロ [2. 2. 1 ] へプト_

2 -ェン、 5 -ビニルービシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 2 -ェン、 トリシ クロ [5. 2. 1. 〇 ^2,6 ] デカー 3, 8 -ジェン （慣用名 ：ジシクロペンタジ ェン） 、 テトラシクロ [ 1 〇 2. 1. 0 ² ，”0 ^4,9 ] ペンタデカー 4, 6, 8 , 1 3 -テトラェン、 テトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 0 ² ] ドデカー 4- ェン （ 「テトラシクロドデセン」 ともいう。 ） 、 9 -メチルーテトラシクロ [6. 2. 1. 13.6. 02.7] ドデカ- 4 -ェン、 9 -ェチルーテトラシクロ [ 6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ- 4 -ェン、 9 -メチリデンーテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ- 4 -ェン、 9 -ェチリデンーテトラシク 口 [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² ] ドデカー 4 -ェン、 9 -ビニルーテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカ— 4—ェン、 9—プロべニルーテトラシク 口 [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² ] ドデカー 4 -ェン、 ペンタシクロ [9. 2. 1 . 1 3 ^, 9. 02 ^, 10] ペンタデカ- 5, 1 2 -ジェン、 シクロペンテン、 シクロぺ ンタジェン、 9—フェニルーテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ · ⁶ . 0 ² ] ドデカ -4 -ェン、 テトラシクロ [9. 2. 1. 〇 ² · ¹⁰ . 〇 ³ · ⁸ ] テトラデカー 3, 5 〇 2020/175038 14 卩（：171? 2020 /004164

, 7 , 1 2 -テトラェン、 ペンタシクロ [ 9 . 2 . 1 . 1 ³ . ⁹ . 0 ^{2, 10} ] ペンタ デカー 1 2 -ェン等が挙げられる。

これらの極性基を持たない環状オレフィン単 量体 （匕 2） は、 それぞれ単 独で用いてもよく、 2種以上を組み合わせて用いてもよい。

[0032] 環状オレフィン以外の単量体 （匕 3） の具体例としては、 鎖状オレフィン が挙げられる。 鎖状オレフィンとしては、 例えば、 ェチレン、 プロピレン、

1 —ブテン、 1 —ペンテン、 1 —ヘキセン、 3—メチルー 1 —ブテン、 3 - メチルー 1 —ペンテン、 3—ェチルー 1 —ペンテン、 4—メチルー 1 —ペン テン、 4—メチルー 1 —ヘキセン、 4 , 4—ジメチルー 1 —ヘキセン、 4 ,

4—ジメチルー 1 —ペンテン、 4—ェチルー 1 —ヘキセン、 3—ェチルー 1 —ヘキセン、 1 —オクテン、 1 —デセン、 1 —ドデセン、 1 —テトラデセン 、 1 -へキサデセン、 1 -オクタデセン、 1 -ェイコセン等の炭素数 2〜 2 0の《_オレフィン； 1 , 4—へキサジェン、 4—メチルー 1 , 4—へキサ ジェン、 5—メチルー 1 , 4—へキサジェン、 1 , 7—オクタジェン等の非 共役ジェン等が挙げられる。

これらの環状オレフィン以外の単量体 （匕 3） は、 それぞれ単独で、 又は 、 2種以上を組み合わせて用いることができる� �

[0033] 環状オレフィン重合体 （ _ 1） は、 環状オレフィン単量体 （3） を、 所 望により単量体 （1^ 1） 〜 （匕 3） から選ばれる 1種以上の単量体と共に重 合することにより得られる。 重合により得られた重合体を更に水素化して も よい。 本発明では、 水素添加された重合体も、 プロトン性極性基を有する環 状オレフィン系樹脂に含まれる。

[0034] 環状オレフィン重合体 （ _ 1） は、 プロトン性極性基を有しない環状才 レフィン重合体に、 公知の変性剤を利用してプロトン性極性基を 導入し、 所 望により水素添加を行なう方法によっても得 ることができる。 ここで、 水素 添加は、 プロトン性極性基導入前の重合体に対して行 なってもよい。

また、 環状オレフィン重合体 （ 一 ·！） は、 プロトン性極性基を有する環 状オレフィン重合体に、 更にプロトン性極性基を導入する方法によっ て得て 〇 2020/175038 15 卩（：171? 2020 /004164

もよい。

[0035] «ポリアミ ドイミ ド樹脂 （八一 2） »

プロトン性極性基を有する重合体 （ ） としての、 「ポリアミ ドイミ ド樹 月旨 （ _ 2） 」 は、 繰り返し単位にアミ ド結合及びイミ ド結合を有する重合 体 （即ち、 ポリアミ ドイミ ド樹脂） であって、 プロトン性極性基を有する重 合体である。 なお、 ポリアミ ドイミ ド樹脂 （ _ 2） は、 プロトン性極性基 を有しないポリアミ ドイミ ドに、 公知の変性剤を利用してプロトン性極性基 を導入する方法によっても得ることができる 。 また、 ポリアミ ドイミ ド樹脂 （八一 2） は、 プロトン性極性基を有するポリアミ ドイミ ドに、 更にプロト ン性極性基を導入する方法によって得てもよ い。 よって、 下記列挙に係る各 種ポリアミ ドイミ ドのうち、 プロトン性極性基を有するものは、 そのまま、 或いは更に変性してプロトン性極性基を導入 して用いることができ、 プロト ン性極性基を有さないものは、 公知の変性剤を利用する等して変性してプロ トン性極性基を導入してから、 用いることができる。

[0036] ポリアミ ドイミ ド樹脂 （八一 2） としては、 分岐型構造を有するポリアミ ドイミ ド及び直鎖型構造を有するポリアミ ドイミ ドが挙げられる。 中でも、 ポリアミ ドイミ ドとしては、 分岐型構造を有するポリアミ ドイミ ドが好まし い。 ポリアミ ドイミ ド樹脂 （八一 2） が分岐型構造を有するポリアミ ドイミ ドであれば、 樹脂組成物を用いて形成した樹脂膜の現像液 に対する溶解性を 向上させることができる。

[0037] 分岐型構造を有するポリアミ ドイミ ドとしては、 例えば、 下式 （2） で表 される構造単位と下式 （3） で表される構造単位を有し、 且つ、 下記構造式 （〇〇 、 （13） 及び （ァ） で表される末端構造のいずれか 1個以上を有する 化合物、 下式 （4） で表される化合物、 分岐型構造を有するポリアミ ドイミ ド樹脂 （口 I <3株式会社製、 ユニディック巳1\/1〇 - 7 9 3） 、 分岐型構造を 有するポリアミ ドイミ ド樹脂 （口 丨 〇株式会社製：ユニディック巳1\/1〇 - 1 0 1 5） 、 などが挙げられる。

[0038] 〇 2020/175038 16 卩(：171? 2020 /004164

[化 3]

. · ( 2 )

〔但し、 上記式 （2） 中、 は炭素数 6〜 1 3の環式脂肪族構造を有する有 機基を表す。 〕

[0039] [化 4]

. · ( 3 )

〔但し、 上記式 （3） 中、 1は炭素数 6〜 1 3の環式脂肪族構造を有する有 機基を表し、 Iは数平均分子量が 7 0 0〜 4 5 0 0の線状炭化水素構造を表 す。 〕

[0040] [化 5]

[0041 ] 〇 2020/175038 17 卩(：171? 2020 /004164

[化 6]

^· . ( , ₃ )

[0042] [化 7]

( V )

[0043] [化 8]

〔ただし、 式 （4） 中、 nは 2以上 2 0 0以下の整数である。 〕

[0044] 上記式 （4） で表される構造を有する、 プロトン性極性基を有する環状才 レフィン重合体は、 例えば、 下式 （5） で表されるイソホロンジイソシアネ —トイソシアヌレート体と、 無水トリメッ ト酸とを反応させることにより得 ることができる。 〇 2020/175038 18 2020 /004164

[化 9]

[0045] かかる反応において、 水酸基を 2個以上含有する多官能ポリオールを連鎖 移動剤として添加して、 上記式 （4） の一部構造にウレタン構造を有する部 位を導入してもよい。 ウレタン構造を有する部位を上記式 （4） の一部構造 に導入することにより、 分岐型構造を有するポリアミ ドイミ ドの物性をコン トロールすることができる。 ウレタン構造を有する部位としては、 例えば、 下式 （6） で表される部位が挙げられる。

[0046] [化 10]

〔但し、 上記式 （6） 中、 は炭素数 6〜 1 3の環式脂肪族構造を有する有 機基を表し、 Iは数平均分子量が 7 0 0〜 4 5 0 0の線状炭化水素構造を表 す。 〕

[0047] また、 直鎖型構造を有するポリアミ ドイミ ドとしては、 例えば、 下式 （7 ） で表される化合物、 などが挙げられる。

[0048] \¥0 2020/175038 19 卩（：17 2020 /004164

[化 1 1 ]

〔但し、 上記式 （7） 中、 nは 2以上 4 0 0以下の整数である。 〕

[0049] 前記上記式 （ 7） で表される化合物は、 無水トリメッ ト酸とイソホロンジ イソシアネートとを反応させることにより得 られる。

[0050] ＜架橋剤 （巳） ＞

架橋剤 （巳） は、 樹脂膜中に架橋構造を形成することにより、 樹脂膜の耐 熱性を高めるように作用する化合物である。 さらには、 架橋剤 （巳） により 、 樹脂膜の丨 丁〇しわ抑制性能をも高め得る。 架橋剤 （巳） は下式 （1） で 表される化合物である。

[化 12]

〔式 （1） 中、 複数の 8は、 それぞれ独立して、 炭素数 1〜 6のアルキル基 、 及び炭素数 1〜 6のアルコキシ基の何れかを示し、 〇1、 は〇〜 4の 整数、 は〇〜 5の整数をそれぞれ示す。 〕

[0051 ] ここで、 に含まれうる炭素数 1〜 6のアルキル基としては、 特に限定さ れないが、 例えば、 メチル基、 エチル基、 プロピル基、 プチル基、 ペンチル 基、 ヘキシル基等の直鎖、 分岐鎖又は環状構造を有するアルキル基が挙 げら れる。 この中でも、 炭素数 1〜 6のアルキル基としては、 メチル基、 ェチル \¥0 2020/175038 20 卩（：17 2020 /004164

基が好ましく、 メチル基がより好ましい。

また、 に含まれうる炭素数 1〜 6のアルコキシ基としては、 特に限定さ れないが、 例えば、 メ トキシ基、 エトキシ基、 プロポキシ基、 ブトキシ基、 ペントキシ基、 ヘキソキシ基等の直鎖、 分岐鎖又は環状構造を有するアルコ キシ基が挙げられる。 この中でも、 炭素数 1〜 6のアルコキシ基としては、 メ トキシ基、 エトキシ基、 プロポキシ基が好ましく、 メ トキシ基がより好ま しい。

ここで、 得られる樹脂膜の耐熱性を一層高める観点か ら、 111 , , 、 及 び が全て 「0」 である、 還元すれば、 式 （1） で表される化合物が置換基 を有さないことが好ましい。 この場合、 上記式 （1） において 「[¾」 が結合 しうる位置に全て水素原子が結合している。

[0052] さらに、 式 （1） を満たす架橋剤 （巳） が、 置換基を有さず、 且つ、 2つ のグリシジルエーテル基が所定の位置に結合 してなる、 下記構造を有する化 合物であることが好ましい。 かかる化合物は、 日本化薬社製、

9 1 3」 として市販されている。

[化 13]

[0053] «架橋剤 （巳） の含有量》

そして、 樹脂組成物における、 プロトン性極性基を有する重合体 （ ） 1 0 0質量部に対する、 架橋剤 （巳） の含有量は、 1 5質量部以上であること が好ましく、 3 5質量部以上であることがより好ましく、 2 0 0質量部以下 であることが好ましく、 1 5 0質量部以下であることがより好ましく、 1 1 0質量部以下であることが更に好ましい。 プロトン性極性基を有する重合体 \¥02020/175038 21 卩（：17 2020/004164

（八） に対する架橋剤 （巳） の含有量が上記範囲内であれば、 得られるバタ —ン化樹脂膜のコントラスト明瞭性を一層高 めることができる。

[0054] <感放射線化合物 （〇 >

感放射線化合物 （<3） は、 放射線が照射されると化学反応を引き起こす こ とができる化合物である。 ここで、 放射線としては、 特に限定されることな く、 例えば、 可視光線；紫外線； X線； 9線、 II線、 丨線等の単一波長の光 線； 「 ェキシマレーザー光、 八 「 ェキシマレーザー光等のレーザー光 線；電子線等の粒子線；などが挙げられる。 そして、 感放射線化合物 （〇） としてのキノンジアジド化合物としては、 例えば、 キノンジアジドスルホン 酸ハライ ドとフェノール性水酸基を有する化合物との ェステル化合物を用い ることができる。 感放射線化合物 （ <3） としてのキノンジアジド化合物は、 —種を単独で、 或いは、 2種以上を組み合わせて用いることができる� �

[0055] キノンジアジドスルホン酸ハライ ドとしては、 1 , 2 -ナフトキノンジア ジドー 5—スルホン酸クロクロリ ド、 1 , 2—ナフトキノンジアジドー 4— スルホン酸クロリ ド、 及び 1 , 2 -ベンゾキノンジアジドー 5 -スルホン酸 クロクロリ ド等が挙げられる。

[0056] フェノール性水酸基を有する化合物の代表例 としては、 1 , 1 , 3—トリ ス （2 , 5—ジメチルー 4—ヒドロキシフェニル） _ 3—フェニルプロパン

、 4 , 4， 一 [ 1 - [ 4 - [ 1 - [ 4 -ヒドロキシフェニル] - 1 -メチル ェチル] フェニル] ェチリデン] ビスフェノール等が挙げられる。 他のフェ ノール性水酸基を有する化合物としては、 2 , 3 , 4—トリヒドロキシベン ゾフェノン、 2 , 3 , 4 , 4， ーテトラヒドロキシベンゾフェノン、 2 -ビ ス （4—ヒドロキシフェニル） プロパン、 トリス （4—ヒドロキシフェニル ） メタン、 1 , 1 , 1 —トリス （4—ヒドロキシー 3—メチルフェニル） エ タン、 1 , 1 , 2 , 2 —テトラキス （4—ヒドロキシフェニル） エタン、 ノボラック樹脂のオリゴマー、 フェノール性水酸基を 1つ以上有する化合物 とジシクロペンタジェンとを共重合して得ら れるオリゴマー等が挙げられる 〇 2020/175038 22 卩（：171? 2020 /004164

[0057] 中でも、 感放射線化合物 （〇） としてのキノンジアジド化合物としては、 4 , 4’ 一 [ 1 - [ 4 - [ 1 - [ 4 -ヒドロキシフエニル] - 1 -メチルエ チル] フエニル] エチリデン] ビスフエノールと 6—ジアゾー 5 , 6—ジヒ ドロー 5 -オキソー 1 -ナフタレンスルホン酸クロライ ド （ 1 , 2 -ナフト キノンジアジドー 5 -スルホン酸クロリ ド） とのエステル体を好適に用いる ことができる。

[0058] なお、 本発明の樹脂組成物は、 キノンジアジド化合物以外の感放射線化合 物を含有していても良い。 かかる感放射線化合物としては、 例えば、 アセト フエノン化合物、 トリアリールスルホニウム塩、 及び、 キノンジアジド化合 物以外のアジド化合物を挙げることができる 。 これらは、 一種を単独で、 或 いは、 2種以上を組み合わせて用いることができる� �

[0059] ＜架橋剤 （巳） の含有質量と感放射線化合物 （＜3） としてのキノンジアジド 化合物の含有質量との関係＞

本発明の樹脂組成物は、 架橋剤 （巳） の含有質量が、 感放射線化合物 （0 ） としてのキノンジアジド化合物の含有質量の 、 〇. 4倍以上であることが 好ましく、 1 . 0倍以上であることがより好ましく、 3 . 1倍以下である、 ことが好ましい。 架橋剤 （巳） 及び感放射線化合物 （＜3） としてのキノンジ アジド化合物の含有質量が上記所定の関係を 満たす範囲内であれば、 得られ るパターン化樹脂膜のコントラスト明瞭性を 一層高めることができる。

[0060] ＜アルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物及びメチロール基を 2つ以上 有する化合物＞

アルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物及びメチロール基を 2つ以上 有する化合物は、 得られる樹脂膜の耐薬品性能を高めるように 作用しうる成 分である。 さらに、 かかる効果を一層効率的に発揮する観点から 、 樹脂組成 物が、 少なくともアルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物を含有するこ とが好ましい。

[0061 ] «アルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物»

アルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物としては、 例えば、 2つ以上 〇 2020/175038 23 卩（：171? 2020 /004164

のアルコキシメチル基が芳香環に直接結合 してなるフエノール化合物、 アミ ノ基が 2つ以上のアルコキシメチル基で置換されて� �るメラミン化合物、 2 つ以上のアルコキシメチル基で置換されてな るウレア化合物が挙げられる。

[0062] 2つ以上のアルコキシメチル基が芳香環に直� �結合してなるフエノール化 合物としては、 例えば、 2 , 6 -ジメ トキシメチルー 4 - I -ブチルフエノ —ル、 2 , 6—ジメ トキシメチルー _クレゾールなどのジメ トキシメチル 置換フエノール化合物； 3 , 3’ ， 5 , 5’ ーテトラメ トキシメチルー 4 ,

4， ー ジヒドロキシビフエニル （例えば、 商品名 「丁1\/1〇 IV!—巳 」 、 本州 化学工業社製） 、 1 , 1 -ビス [ 3 , 5 -ジ （メ トキシメチル） 一 4 -ヒド ロキシフエニル] — 1 —フエニルエタンなどのテトラメ トキシメチル置換ビ フエニル化合物； 4 , 4’ ， 4” 一 （エチリデン） トリスフエノール （例えば 、 商品名 「1 ^~ 1 1\/1〇1\/1 -丁？ 1 ^~ 1八？一〇巳」 、 本州化学工業社製） などのヘキ サメ トキシメチル置換トリフエニル化合物；が挙 げられる。

[0063] アミノ基が 2つ以上のアルコキシメチル基で置換されて� �るメラミン化合 物としては、 例えば、 1\1 , 1\1， ージメ トキシメチルメラミン、 1\1 , 1\1， ， ” 一トリメ トキシメチルメラミン、 1\1 , 1\1 , 1\1， ， 1\!” ーテトラメ トキシメ チルメラミン、 1\1 , 1\1 , 1\1’ ， 1\1’ ， 1\1” ーペンタメ トキシメチルメラミン 、 1\1 , 1\1 , 1\1， ， 1\1， ， 1\1” ， 1\1” ーヘキサメ トキシメチルメラミン （例え ば、 商品名 「二カラック 商品名 「二カラック

0 0 、 何れも三和ケミカル社製） 、 あるいはこれらの重合体などが挙 げられる。

[0064] 2つ以上のアルコキシメチル基で置換されて� �るウレア化合物としては、 例えば、 商品名 「二カラック 1\/1乂2 7 0」 、 商品名 「二カラック 1\/1乂2 8 0 」 、 商品名 「二カラック 1\/1乂2 9 0」 （何れも三和ケミカル社製） が挙げら れる。

[0065] «メチロール基を 2つ以上有する化合物»

メチロール基を 2つ以上有する化合物としては、 例えば、 2つ以上のメチ 口ール基が芳香環に直接結合してなるフエノ ール化合物が挙げられる。 〇 2020/175038 24 卩（：171? 2020 /004164

そして、 2つ以上のメチロール基が芳香環に直接結合� �てなるフエノール 化合物としては、 2 , 4 -ジヒドロキシメチルー 6 -メチルフエノール、 2 , 6—ビス（ヒドロキシメチル）一 ークレゾール、 4—夕ーシャリーー2 , 6 —ビス （ヒドロキシメチル） フエノール、 ビス （2—ヒドロキシー3—ヒド ロキシメチルー 5—メチルフエニル） メタン （商品名 「0 1\/1 _巳 丨 P C - F 」 、 旭有機材社製） 、 ビス （4—ヒドロキシー 3—ヒドロキシメチルー 5— メチルフエニル） メタン （商品名 「0 1\/1 -巳 I 〇〇ー 」 、 旭有機材社製）

、 2 , 2—ビス （4—ヒドロキシー3 , 5—ジヒドロキシメチルフエニル） プ ロパン （商品名 「丁 1\/1 -巳 丨 一八」 、 旭有機材社製） などが挙げられる。

[0066] 上述したアルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物及びメチロール基を

2つ以上有する化合物の中でも、 反応性が高いという点より、 アルコキシメ チル基を 2つ以上有する化合物の一種である、 1\1 , 1\1 , 1\1’ ， 1\1’ ， 1\1” ，

|\1” ーヘキサメ トキシメチルメラミンが好ましい。

[0067] [アルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物及びメチロール基を 2つ以上 有する化合物の含有量]

樹脂組成物がアルコキシメチル基を 2つ以上有する化合物及びメチロール 基を 2つ以上有する化合物の双方又は何れか一方� �含む場合における、 これ らの合計含有量は、 プロトン性極性基を有する重合体 （ ） 1 0 0質量部あ たり、 1質量部以上 1 〇〇質量部以下とすることが好ましい。 アルコキシメ チル基を 2つ以上有する化合物及びメチロール基を 2つ以上有する化合物の 合計含有量が上記範囲内であれば、 樹脂膜の耐薬品性能を一層高めることが できる。

[0068] «シランカップリング、 及び界面活性剤»

シランカップリング剤は、 本発明の樹脂組成物を用いて得られる樹脂膜 と 、 当該樹脂膜が形成された基材との間の密着性 を高めるように機能する。 そ して、 シランカップリング剤としては、 特に限定されることなく、 公知のも のを用いることができる （例えば、 特開 2 0 1 5 - 9 4 9 1 〇号参照） 。 よ り具体的には、 シランカップリング剤としては、 グリシドキシプロピルトリ 〇 2020/175038 25 卩（：171? 2020 /004164

メ トキシシラン等のアルコキシシラン類を好適 に用いることができる。

また、 シランカップリング剤の含有量は、 通常、 プロトン性極性基を有す る重合体 （ ） 1 0 0質量部あたり、 〇. 0 1質量部以上 5質量部以下であ る。

[0069] 界面活性剤は、 本発明の樹脂組成物の塗工性を向上させるこ とができる。

界面活性剤としては、 特に限定されることなく、 公知のシリコーン系界面活 性剤、 フッ素系界面活性剤、 ポリオキシアルキレン系界面活性剤、 メタクリ ル酸共重合体系界面活性剤、 及びアクリル酸共重合体系界面活性剤等を用 い ることができる （例えば、 国際公開第 2 0 1 7 / 1 6 3 9 8 1号参照） 。 中 でも、 界面活性剤としては、 オルガノシロキサンポリマー等のシリコーン 系 界面活性剤を好適に用いることができる。

また、 界面活性剤の含有量は、 通常、 プロトン性極性基を有する重合体 （ 八） 1 0 0質量部あたり、 〇. 0 1質量部以上 1質量部以下である。

[0070] なお、 シランカップリング剤及び界面活性剤は、 それぞれ、 一種単独で、 或いは、 2種以上を組み合わせて用いることができる� � また、 樹脂組成物に 配合するシランカップリング剤及び界面活性 剤の量は、 任意に調整し得る。

[0071 ] ＜その他の添加剤＞

本発明の樹脂組成物は、 任意で、 上記以外のその他の添加剤を含有してい ても良い。 かかるその他の添加剤としては、 酸化防止剤、 及び上述した架橋 剤 （巳） とは構造の異なる多官能エポキシ化合物等が 挙げられる。

[0072] «酸化防止剤》

酸化防止剤は、 本発明の樹脂組成物の安定性を高め得る成分 である。 酸化 防止剤としては、 特に限定されることなく、 フエノール系酸化防止剤、 リン 系酸化防止剤、 アミン系酸化防止剤、 ラクトン系酸化防止剤のような、 公知 の酸化防止剤を用いることができる （例えば、 特開 2 0 1 4 - 1 4 9 4 7 7 号参照） 。 なお、 酸化防止剤は、 一種単独で、 或いは、 2種以上を組み合わ せて用いることができる。 また、 樹脂組成物に配合する酸化防止剤の量は、 任意に調整し得る。 〇 2020/175038 26 卩（：171? 2020 /004164

［0073］ «架橋剤 （巳） とは構造の異なる多官能エポキシ化合物》

架橋剤 （巳） とは構造の異なる多官能エポキシ化合物の具 体例としては、 例えば、 ジシクロペンタジエンを骨格とするエポキシ 化合物 （商品名 「1 ^~ 1 ? - 7200」 、 0 I 〇社製） 、 2, 2 -ビス （ヒドロキシメチル） 一 1 -ブ タノールの 1 , 2 -エポキシー4 - （2 -オキシラニル） シクロヘキサン付 加物 （シクロヘキサン骨格及び末端エポキシ基を 有する 1 5官能性の脂環式 エポキシ樹脂、 商品名 「巳 ! ^~ 1 ?巳 3 1 50」 、 ダイセル社製） 、 エポキシ化 3 -シクロヘキセンー 1 , 2 -ジカルボン酸ビス （3 -シクロヘキセニルメ チル） 修飾 カプロラクトン （脂肪族環状 3官能性のエポキシ樹脂、 商品 名 「エポリード◦丁 301」 、 ダイセル社製） 、 ブタンテトラカルボン酸テ トラ （3, 4 -エポキシシクロヘキシルメチル）修飾 カプロラクトン （脂 肪族環状 4官能性のエポキシ樹脂、 商品名 「エボリード〇丁401」 、 ダイ セル社製） 、 3, 4—エポキシシクロヘキセニルメチルー 3’ ， 4’ ーエポ キシシクロヘキセンカルボキシレート （商品名 「セロキサイ ド 2021」 、 「セロキサイ ド 202 1 」 、 ダイセル社製） 、 カプロラクトン変性 3 ’ ， 4’ ーエポキシシクロヘキシルメチルー 3 , 4—エポキシシクロへキサ ンカルボキシレート （商品名 「セロキサイ ド 2081」 、 ダイセル社製） 、

1 , 2 : 8, 9 -ジエポキシリモネン （商品名 「セロキサイ ド 3000」 、 ダイセル社製） 等の脂環構造を有するエポキシ化合物；及び 、 ビスフエノー ル八型エポキシ化合物 （商品名 「」 巳［¾ 827」 、 「」 巳［¾828」 、 「」 巳［¾丫!_ 980」 、 三菱化学社製、 商品名 「巳 I 〇!_ 〇 840」 、 「巳？ 1 〇!_〇 850」 、 0 I 〇社製） 、 ビスフエノール 型エポキシ化合物 （商品名 「」 巳［¾806」 、 「」 巳［¾807」 、 「」 巳 三菱化学社製、 商品名 「巳？ 1 〇!_〇 830」 、 「巳 ? 1 〇!_〇 835」 、 0 I 〇社製） 、 水添ビスフエノール八型エポキシ化 合物 （商品名 「」 巳［¾丫乂8000」 、 「」 巳［¾丫乂8034」 三菱化学社 製、 商品名 「3丁一 3000」 新日鉄住金社製、 商品名 「リカレジン ! ^~ 1巳巳 — 1 00」 新日本理化社製、 商品名 「エポライ ト 4000」 共栄化学社製） 〇 2020/175038 27 卩（：171? 2020 /004164

、 長鎖ビスフェノール八型ェポキシ樹脂 （商品名 「巳乂八一481 6」 、 「 巳乂八-4850- 1 50」 、 「巳乂八-4850- 1 000」 口 I 〇社製 ） 、 巳〇変性ビスフェノール八型ェポキシ化合物 （商品名 「アデカレジン巳 一4000 !_」 、 「アデカレジン巳 一401 0 !_」 、 八〇巳 八社製）

、 フェノールノボラック型多官能ェポキシ化合 物 （商品名 「」 巳 [¾ 1 52」

、 三菱化学社製） 、 1 , 6—ビス （2, 3—ェポキシプロパンー 1 —イルオ キシ） ナフタレンなどのナフタレン骨格を有する多 官能ェポキシ化合物 （商 品名 「1 ^~ 1 ?-40320」 、 〇 I 〇社製） 、 ジシクロペンタジェンジメタノ —ルジグリシジルェーテル （商品名 「アデカレジン巳 一 4000 !_」 、 「 アデカレジン巳 一4088 !_」 、 八〇巳 八社製） 、 グリシジルアミン型 ェポキシ樹脂 （商品名 「商品名 「」 巳 [¾ 630」 、 三菱化学社製、 商品名 「 丁巳丁 [¾八0 -〇」 、 「丁巳丁 [¾八0-乂」 、 三菱ガス化学社製） 、 鎖状ア ルキル多官能ェポキシ化合物 （商品名 「3 [¾-丁!\/1?」 、 阪本薬品工業社製 ） 、 多官能ェポキシポリブタジェン （商品名 「ェボリード 巳 3600」 、 ダイセル社製） 、 （商品名 「ェボリード 巳 4700」 、 ダイセル社製） 、 グリセリンのグリシジルポリェーテル化合物 （商品名 「3 、 阪 本薬品工業社製） 、 ジグリセリンポリグリシジルェーテル化合物 （商品名 「 、 阪本薬品工業社製） 、 ポリグリセリンポリグリシジルェー テル化合物 （商品名 「3 [¾_4〇!_」 、 阪本薬品工業社製） 等の脂環構造を 有さないェポキシ化合物；などを挙げること ができる。 なお、 これらは、 一 種単独で、 或いは複数種を組み合わせて用いることがで きる。

[0074] ＜溶剤＞

本発明の樹脂組成物が任意に含有し得る溶剤 としては、 特に限定されるこ となく、 樹脂組成物の溶剤として公知の溶剤を用いる ことができる。 そのよ うな溶剤としては、 例えば、 直鎖のケトン類、 アルコール類、 アルコールェ —テル類、 ェステル類、 セロソルブェステル類、 プロピレングリコール類、 ジェチレングリコールェチルメチルェーテル などのジェチレングリコール類 、 飽和· ラクトン類、 ハロゲン化炭化水素類、 芳香族炭化水素類、 並びに 〇 2020/175038 28 卩（：171? 2020 /004164

、 ジメチルアセトアミ ド、 ジメチルホルムアミ ド及び 1\1 _メチルアセトアミ ドなどの極性溶媒などが挙げられる （例えば、 国際公開第 2 0 1 5 / 0 3 3 9 0 1号参照） 。

なお、 これらの溶剤は、 一種単独で、 或いは、 2種以上を混合して用いる ことができる。

そして、 樹脂組成物中の溶剤の量は、 特に限定されることなく、 プロトン 性極性基を有する重合体 （ ） 1 0 0質量部に対して、 好ましくは 1 0質量 部以上、 より好ましくは 5 0質量部以上であり、 好ましくは 1 0 0 0 0質量 部以下、 より好ましくは 5 0 0 0質量部以下、 さらに好ましくは 1 0 0 0質 量部以下である。

[0075] ＜樹脂組成物の製造方法＞

本発明の樹脂組成物は、 上述した成分を既知の方法により混合し、 任意に ろ過することで、 調製することができる。 ここで、 混合には、 スターラー、 ボールミル、 サンドミル、 ビーズミル、 顔料分散機、 らい潰機、 超音波分散 機、 ホモジナイザー、 プラネタリーミキサー、 フィルミックスなどの既知の 混合機を用いることができる。 また、 混合物のろ過には、 フィルター等のろ 材を用いた一般的なろ過方法を採用すること ができる。

[0076] （樹脂膜）

本発明の樹脂膜は、 上述した本発明の樹脂組成物を用いて形成し たことを 特徴とする。 本発明の樹脂膜は、 耐熱性、 透明性、 及びコントラスト明瞭性 に優れる。 本発明の樹脂膜中において、 架橋剤 （巳） 及び任意成分として含 有されうるその他の架橋性の化合物が架橋物 となっていても良い。

[0077] ＜樹脂膜の製造方法＞

本発明の樹脂膜は、 樹脂膜を形成する基板上に本発明の樹脂組成 物を使用 して塗膜を形成する工程 （塗膜形成工程） 、 及び、 塗膜を加熱する工程 （硬 化工程） を含む製造方法により、 効率的に製造することができる。 さらに、 必要に応じて、 樹脂膜を形成する際にパターニングを行って 、 パターン化樹 脂膜を得ても良い。 また、 樹脂膜を形成する基板上への塗膜の配設は、 特に 〇 2020/175038 29 卩（：171? 2020 /004164

限定されることなく、 塗布法やフィルム積層法等の既知の方途に従 って行う ことができる。

[0078] «塗膜形成工程》

ここで、 塗布法による塗膜の形成は、 樹脂組成物を基板上に塗布した後、 加熱乾燥 （プリべーク） することにより行うことができる。 なお、 樹脂組成 物を塗布する方法としては、 例えば、 スプレーコート法、 スピンコート法、 口ールコート法、 ダイコート法、 ドクターブレード法、 回転塗布法、 バー塗 布法、 スクリーン印刷法、 インクジヱツ ト法等の各種の方法を採用すること ができる。 加熱乾燥条件は、 樹脂組成物に含まれている成分の種類や配合 割 合に応じて異なるが、 加熱温度は、 通常、 3 0 ~ 1 5 0 ^° 〇、 好ましくは 6 0 〜 1 2 0 ^° 〇であり、 加熱時間は、 通常、 〇. 5〜 9 0分間、 好ましくは 1〜 6 0分間、 より好ましくは 1〜 3 0分間である。

[0079] また、 フィルム積層法による塗膜の形成は、 樹脂組成物を樹脂フィルムや 金属フィルム等の巳ステージフィルム形成用 基材上に塗布し、 加熱乾燥 （プ リベーク） することにより巳ステージフィルムを得た後 、 次いで、 この巳ス テージフィルムを基板上に積層することによ り行うことができる。 なお、 巳 ステージフィルム形成用基材上への樹脂組成 物の塗布及び樹脂組成物の加熱 乾燥は、 上述した塗布法における樹脂組成物の塗布及 び加熱乾燥と同様にし て行うことができる。 また、 積層は、 加圧ラミネータ、 プレス、 真空ラミネ —夕、 真空プレス、 口ールラミネータ等の圧着機を用いて行なう ことができ る。

[0080] 基板上に設けた塗膜のバターニングは、 例えば、 バターニング前の塗膜に 放射線を照射して潜像パターンを形成した後 、 潜像パターンを有する塗膜に 現像液を接触させて/《ターンを顕在化させ� �方法などの公知のパターニング 方法を用いて行うことができる。

[0081 ] ここで、 放射線としては、 感放射線化合物 （＜3） に化学反応を引き起させ ることにより放射線照射部の現像液に対する 溶解性を向上させることができ るものであれば特に限定されることなく、 任意の放射線を用いることができ 〇 2020/175038 30 卩（：171? 2020 /004164

る。 具体的には、 例えば、 可視光線；紫外線； X線； 9線、 II線、 丨線等の 単一波長の光線； ＜ 「 エキシマレーザー光、 八 「 エキシマレーザー光等 のレーザー光線；電子線等の粒子線；などを 用いることができる。 なお、 こ れらの放射線は、 一種単独で、 或いは、 2種以上を混合して用いることがで きる。

また、 放射線をパターン状に照射して潜像パターン を形成する方法として は、 縮小投影露光装置を使用し、 所望のマスクパターンを介して放射線を照 射する方法などの公知の方法を用いることが できる。

そして、 放射線の照射条件は、 使用する放射線に応じて適宜選択されるが 、 例えば、 放射線の波長は

とができ、 また、 照射量は

[0082] また、 現像液としては、 国際公開第 2 0 1 5 / 1 4 1 7 1 9号に記載のア ルカリ性化合物の水性溶液等の既知のアルカ リ現像液を用いることができる そして、 塗膜に現像液を接触させる方法及び条件とし ては、 特に限定され ることなく、 例えば、 国際公開第 2 0 1 5 / 1 4 1 7 1 9号に記載の方法及 び条件を採用することができる。

[0083] なお、 上述したようにしてバターン形成された塗膜 は、 必要に応じて、 現 像残渣を除去するために、 リンス液でリンスすることができる。 リンス処理 の後、 残存しているリンス液を圧縮空気や圧縮窒素 により更に除去してもよ い。

[0084] さらに、 必要に応じて、 樹脂組成物に含有させた感放射線化合物 （＜3） を 失活させるために、 プリーチングエ程を実施しても良い。 プリーチングエ程 では、 塗膜全面に対して、 任意の放射線を照射することもできる。 放射線の 照射には、 上記潜像バターンの形成に例示した方法を利 用することができる 。 さらに、 放射線の照射と同時に、 または照射後に樹脂膜を加熱してもよい 。 プリーチングエ程にて、 感放射線化合物 （＜3） を失活させることにより、 得られる樹脂膜の透明性を一層高めることが できる。 \¥0 2020/175038 31 卩（：17 2020 /004164

[0085] «硬化工程》

硬化工程では、 塗膜を加熱 （ポストべーク） して硬化させて、 樹脂膜を得 る。

[0086] 塗膜の加熱は、 特に限定されることなく、 例えば、 ホッ トプレート、 才一 ブン等を用いて行なうことができる。 なお、 加熱は、 必要に応じて不活性ガ ス雰囲気下で行ってもよい。 不活性ガスとしては、 例えば、 窒素、 アルゴン 、 ヘリウム、 ネオン、 キセノン、 クリプトン等が挙げられる。 これらの中で も窒素とアルゴンが好ましく、 特に窒素が好ましい。

[0087] ここで、 硬化工程にて塗膜を加熱する際の温度は、 1 0 0 ^° 〇以上であるこ とが好ましく、 2 0 0 ^° 〇以上であることが好ましく、 2 5 0 ^° 〇以上であるこ とがより好ましい。 本発明の樹脂組成物を使用すれば、 塗膜を加熱する際の 温度が 1 0 0 °〇以上、 好ましくは 2 0 0 °〇以上と高温である場合にも、 良好 に成膜することができる。 さらに、 硬化工程にて塗膜を加熱する際の温度の 上限は特に限定されないが、 4 0 0 °〇以下であることが好ましい。

なお、 硬化工程にて塗膜を加熱する時間は、 塗膜の面積や厚さ、 加熱に使 用する機器等に応じて適宜選択することがで きるが、 例えば、 1 0〜 1 2 0 分間とすることができる。

[0088] そして、 かかる硬化工程を経た樹脂膜は、 波長 4 0 0 _n の光の透過率が

9 0 %以上であることが好ましい。 なお、 「透過率」 は、 実施例に記載した 方法に従って測定することができる。

[0089] （電子部品）

本発明の電子部品は、 上述した本発明の樹脂組成物からなる樹脂膜 を備え る。 そして、 本発明の電子部品は、 耐熱性、 透明性、 及びコントラスト明瞭 性に優れる本発明の樹脂膜を備えているため 、 高性能である。

[0090] ＜電子部品の種類＞

本発明の電子部品の種類は、 特に限定されない。 例えば、 本発明の樹脂膜 が、 耐熱性及び透明性優れ、 更に、 パターン化樹脂膜とした際のコントラス 卜明瞭性に優れることから、 本発明の電子部品は、 丨 丁〇電極等の透明電極 〇 2020/175038 32 卩（：171? 2020 /004164

と本発明の樹脂膜とが積層配置されてなる 電子部品でありうる。 また、 例え ば、 本発明の樹脂膜は、 半導体デバイスに備えられる再配線層の層間 絶縁膜 であっても良い。

実施例

[0091 ] 以下、 本発明について実施例に基づき具体的に説明 するが、 本発明はこれ ら実施例に限定されるものではない。 なお、 以下の説明において、 量を表す 「％」 及び 「部」 は、 特に断らない限り、 質量基準である。

実施例及び比較例において、 樹脂膜の I 丁 0しわ抑制性能、 加熱減量、 透 過率、 現像容易性、 及び残膜率は、 それぞれ以下の方法を使用して評価した

[0092] < I 丁〇しわ抑制性能 >

ガラス基板 （コーニング社製、 コーニング 1 7 3 7） 上に実施例、 比較例 で得た樹脂組成物をスピンコート法により塗 布し、 ホッ トプレートを用いて 1 2 0 °◦で 2分間加熱乾燥 （プリべーク） して、 塗膜を形成した。 形成した 塗膜の全面に対して、 大気雰囲気下、 9線 （4 3 6 _n m） 、 II線 （4 0 5 _n ） 、 及び丨線 （3 6 5 1^ 01） の波長の光を発する高圧水銀ランプを用いて 、 1 5 0 0 」/〇〇! ² の紫外線を照射し、 塗膜に含有される感放射線化合物 （〇） を失活させるプリーチングエ程を実施した。 次いで、 才ーブンを用い て、 窒素雰囲気下、 3 0 ^° 〇から 1 0 ^° 〇/分で 3 0 0 ^° 〇まで昇温後、 3 0 0 ^° 〇 で 6 0分間加熱するポストべークを行うことで、 膜厚 2 の樹脂膜を形成 した。 この樹脂膜上に、 丨 丁〇透明電極をスパッタリング装置 （芝浦エレテ ック社製、 〇 3 - 4巳？一1_ 1_」 、 ステージ温度 3 0

°〇） により 4 0 の膜厚で形成した。 得られた I 丁〇透明電極付きの積層 体のガラス基板を 1 . 5〇 角に切断して試験片を作製した。 作製した試験 片のガラス基板側を 2 7 0 °〇で加熱したホッ トプレート上に 5分置いた後、 室温まで冷却した。 次いで、 試験片の丨 丁 0透明電極側表面を光学顕微鏡 （

1 0 0倍） で観察し、 しわ部分の面積の、 樹脂膜表面の全面積 （1 . 5〇〇! X 1 . 5〇〇!） に対する割合を算出し、 以下の基準で評価した。 なお、 しわ 〇 2020/175038 33 卩（：171? 2020 /004164

部分の面積は、 光学顕微鏡で得られた画像を二値化処理して 抽出した。

八 ：樹脂膜の表面にしわの発生なし。

巳 ：樹脂膜の表面にしわの発生はあるが、 しわ部分の面積が樹脂膜表面の 全面積の 1 /2未満。

〇 ：樹脂膜の表面にしわの発生があり、 しわ部分の面積が樹脂膜表面の全 面積の 1 /2以上。

＜加熱減量＞

スパッタリング装置 （芝浦エレテック社製、 「丨 一1\/1 丨 丨 丨 6 「 〇 3 - 4巳 一 !_ !_」 ） を用いて、 アルミニウム薄膜が 1 00 n mの膜厚で形成さ れたシリコンウェハ上に、 実施例、 比較例で得た樹脂組成物をスビンコート した後、 ホッ トプレートを用いてシリコンウェハを 1 20 ^° 〇で 2分間加熱し た （塗膜形成工程） 。 形成した塗膜の全面に対して、 大気雰囲気下、 9線 （ 4361^ 01） 、 11線 （4051^ 111） 、 の波長の光を 発する高圧水銀ランプを用いて、 1 5〇〇 の紫外線を照射し、 塗 膜に含有される感放射線化合物 （〇 を失活させるプリーチングエ程を実施 した。 次いで、 窒素雰囲気下、 30 ^° 〇から 1 0 ^° 〇/分で 300 ^° 〇まで昇温後 、 300°〇で 60分間の条件で熱処理させることで樹脂膜を� ��て、 膜厚 2 の樹脂膜を片面に備える積層体を得た （硬化工程） 。

得られた積層体を〇. 5 〇 I /!_の塩酸水溶液に浸潰し、 シリコンウェ ハと樹脂膜の間に位置するアルミニウム薄膜 を塩酸水溶液にて溶解させるこ とで樹脂膜をシリコンウェハから剥離した。 次いで剥離した樹脂膜を水洗し 、 乾燥した。 乾燥後の樹脂膜を示差熱熱重量同時測定装置 （セイコーインス ツル社製、 丁〇/0丁 6200） を用いて、 窒素雰囲気下、 昇温速度 1 0 °〇/分の条件で 300 °〇まで到達させ、 300 °〇で 1時間保持した際の、 3 00°〇到達時の試料の質量 〇及び 300°〇の保持終了時の試料の質量 1 をそれぞれ測定して、 それらの値から加熱減量の値： （ 〇— 〇 / 〇 X 1 〇〇 （%） を算出し、 以下の基準で評価した。 加熱減量が少ないほど、 樹脂膜が耐熱性に優れることを意味する。 〇 2020/175038 34 卩（：171? 2020 /004164

八 ： 300°〇における加熱減量が 1 %未満。

巳 ： 300°〇における加熱減量が 1 %以上 3%未満。

0 : 300°〇における加熱減量が 3%以上。

＜光線透過率＞

ガラス基板 （コーニング社製、 コーニング 1 737） 上に実施例、 比較例 で得た樹脂組成物をスピンコート法により塗 布し、 ホッ トプレートを用いて 1 20°◦で 2分間加熱乾燥 （プリべーク） して、 膜厚 2 の塗膜を形成し た （塗膜形成工程） 。 形成した塗膜の全面に対して、 大気雰囲気下、 9線 （ 4361^ 01） 、 11線 （4051^ 111） 、 の波長の光を 発する高圧水銀ランプを用いて、 1 5〇〇 の紫外線を照射し、 塗 膜に含有される感放射線化合物 （〇 を失活させるプリーチングエ程を実施 した。 次いで、 才ーブンを用いて、 窒素雰囲気下、 30 ^° 〇から 1 0 ^° 〇/分で 300°〇まで昇温後、 300°〇で 60分間加熱するボストべークを行うこと で、 樹脂膜とガラス基板とからなる積層体を得た （硬化工程） 。

得られた積層体について、 分光光度計 V - 560 （日本分光社製） を用い て波長 400 n の光における光線透過率 （％） を測定した。

なお、 樹脂膜の光線透過率 （％） は、 樹脂膜が付いていないガラス基板を ブランクとして、 樹脂膜の厚みを 2 とした場合の換算値で算出し、 以下 の基準で評価したところ、 全ての例で得られた樹脂膜が 評価であった。 八 ：光線透過率が 90%以上。

巳 ：光線透過率が 90%未満。

[0093] ＜現像容易性＞

シリコンウェハ上に、 各実施例及び各比較例において作製した感放 射線樹 脂組成物をスピンコートした後、 ホッ トプレートを用いて 1 20 ^° 〇で 2分間 プリべークして、 厚さ 3 の樹脂膜を形成した。 かかる樹脂膜を試料とし て、 9線 （4361^ 01） 、 11線 （4051^ 111） 、 及び I線 （ 365 の 波長の光を発する高圧水銀ランプを用い、 5 にて、 樹脂膜の 表面の一部を露光部、 他の一部が未露光部となるような態様で、 露光を行っ 〇 2020/175038 35 卩（：171? 2020 /004164

た。 そして、 露光後の試料を 2 3 °〇の 2 . 3 8 %テトラメチルアンモニウム ヒドロキシド水溶液 （アルカリ現像液） にて 6 0秒間浸潰した後、 超純水で 3 0秒間リンスを行い、 現像後の試料の表面状態を目視にて観察した 。 その 結果、 全ての例において、 樹脂膜の露光部に該当する領域が完全に溶解 して いることを確認した。 なお、 現像容易性に欠く樹脂膜では、 現像後の試料の 表面状態を観察した場合に露光部の樹脂膜の 不溶解、 あるいは膨潤が発生す ることがある。 このような現象が生じない樹脂膜が、 ポジ型の樹脂膜として の現像容易性に優れるものと判断することが できる。 全ての例において得ら れた樹脂膜が現像容易性に優れていたことを 、 表 1 にて、 「 」 評価として 示す。

［0094］ ＜残膜率＞

上記現像容易性の評価の際に得た、 露光後の試料について、 未露光部の膜 厚 （丁 0） を測定した。 また、 上記現像容易性の評価の際に得た、 現像後の 試料について、 膜厚 （丁 1） を測定した。 膜厚は、 接触式の膜厚測定器を用 いて測定した。 得られた測定値から、 下式に従って残膜率 （［¾） を算出した 残膜率 （ = （現像後の膜厚 （丁 1） ） / （現像前の膜厚 （丁〇） ） X 1 0 0 （%）

そして、 得られた残膜率 （ の値を以下の基準に従って評価した。 残膜 率 （［¾） の値が大きい程、 現像後に残留すべき膜部分の不所望な溶解が 抑制 されていることを表す。 よって、 本項目に従って評価した 「残膜率」 が高く 、 且つ、 上記項目に従って評価した 「現像容易性」 が高い場合に、 パターン 化樹脂膜のコントラスト明瞭性が高いことを 意味する。

八 ：残膜率 （［¾） が 8 5 %以上であった。

巳 ：残膜率 （［¾） が 7 0 %以上 8 5 %未満であった。

〇 :残膜率 （［¾） が 7 0 %未満であった。

［0095］ （合成例 1 : プロトン性極性基を有する環状オレフイン重 合体 （ _ 1） の 合成） 〇 2020/175038 36 卩（：171? 2020 /004164

1\1—置換イミ ド基を有する環状オレフィンとしての 1\1— （2—ェチルヘキ シル） ービシクロ [2. 2. 1 ] ヘプトー 5—ェンー 2, 3—ジカルボキシ イミ ド 40モル％、 及びプロトン性極性基を有する環状オレフィ ンとしての 4—ヒドロキシカルボニルテトラシクロ [6. 2. 1. 1 ³ . ⁶ . 0 ² . ⁷ ] ドデカー 9—ェン 60モル％からなる単量体混合物 1 00部、 1 , 5—へキサジェン 2部、 （1 , 3 -ジメシチルイミダゾリンー 2 -イリデン） （トリシクロへ キシルホスフィン） ベンジリデンルテニウムジクロリ ド （〇 「 9.

. , 第 1巻， 953頁， 1 999年 に記載された方法で合成した） 0. 02 部、 及びジェチレングリコールェチルメチルェー テル 200部を、 窒素置換 したガラス製耐圧反応器に仕込み、 攪拌しつつ 80 ^° 〇にて 4時間反応させて 重合反応液を得た。

そして、 得られた重合反応液をオートクレープに入れ て、 1 50 ^° 〇、 水素 圧 4 IV! ₃ で、 5時間攪拌して水素化反応を行い、 プロトン性極性基を有す る環状オレフィン重合体 （ _ 1） としての水添重合体を含む重合体溶液を 得た。 得られた環状オレフィン重合体 （ _ 1） の重合転化率は 99. 7%

、 ポリスチレン換算重量平均分子量は 7, 1 50、 数平均分子量は 4, 69 〇、 分子量分布は 1. 52、 水素添加率は、 99. 7%であった。 また、 得 られた環状オレフィン重合体 （ 一 ·！） の重合体溶液の固形分濃度は 34.

4質量％であった。

[0096] （実施例 1）

合成例 1で得られたプロトン性極性基を有する環状� �レフィン重合体 （八 - 1） の溶液 29 1部 （環状オレフィン重合体 （ _ 1） として 1 00部）

、 下式を満たす架橋剤 （巳） としての化合物 （日本化薬社製、 9 1 3） 30部、 感放射線化合物 （〇 としての、 4, 4’ - [1 - [4- [

1 — [4—ヒドロキシフェニル] — 1 —メチルエチル] フェニル] エチリデ ン] ビスフェノールと 6—ジアゾー 5, 6—ジヒドロー 5—オキソー 1 —ナ フタレンスルホン酸クロライ ド （1 , 2—ナフトキノンジアジドー 5—スル ホン酸クロリ ド） とのェステル体 （2. 0モル体） （美源スペシャリティケ \¥02020/175038 37 卩（：17 2020 /004164

ミカル社製、 製品名 「丁 八520」 ） 35部、 界面活性剤としてのオルガ ノシロキサンポリマー （信越化学社製、 製品名 「＜ ？ 34 1」 ） 〇. 1部 、 シランカツプリング剤としてのグリシドキシ プロピルトリメ トキシシラン 社製、 製品名 「〇 3 ? 6040」 ） 1部、 酸化防止剤 として、 ペンタエリズリ トールーテトラキス ［3— （3, 5—ジー 6 「 —ブチルー 4—ヒドロキシフエニル） プロピオナート］ （商品名 「丨 「 93 n o x 1 01 0 F F」 、 巳八 3 社製） 2咅0、 並びに、 溶剤としてのジエチ レングリコールエチルメチルエーテル （東邦化学社製、 製品名 「巳 01\/1-3」 ） 1 08部を混合し、 溶解させた後、 孔径〇. 45 のポリテトラフルオ ロエチレン製フィルターでろ過して、 樹脂組成物を調製した。

そして、 得られた樹脂組成物を用いて形成した塗膜の 丨 丁〇しわ抑制性能

、 加熱減量、 光線透過率、 現像容易性、 及び残膜率を評価した。 結果を表 1 に^^す。

［化 14］

［0097］ （実施例 2, 3, 6）

架橋剤 （巳） の配合量及び溶剤の配合量を表 1 に示す通りにそれぞれ変更 した以外は実施例 1 と同様にして、 樹脂組成物を調製した。

そして、 得られた樹脂組成物を用いて、 実施例 1 と同様の評価を行った。 結果を表 1 に示す。

［0098］ （実施例 4）

プロトン性極性基を有する環状オレフィン重 合体 （ _ 1） に代えて、 分 岐型構造を有するポリアミ ドイミ ド樹脂のプロピレングリコールメチルエー 〇 2020/175038 38 卩（：171? 2020 /004164

テルアセタート及び n—ブタノール混合溶液 2 2 9部 （0 丨 （3社製、 ユニデ ィック巳1\/1〇 - 7 9 3、 カルボキシル基を有する分岐型ポリアミ ドイミ ド樹 月旨 （ 一 2） として 1 0 0部） を用い、 架橋剤 （巳） 及び溶剤の配合量をそ れぞれ表 1 に示す通りに変更した以外は実施例 1 と同様にして、 樹脂組成物 を調製した。

そして、 得られた樹脂組成物を用いて、 実施例 1 と同様の評価を行った。 結果を表 1 に示す。

[0099] （実施例 5）

架橋剤 （巳） の配合量を 4 0部とし、 さらに、 アルコキシメチル基を 2つ 以上有する化合物 （口） として 1\1 , 1\1 , 1\1’ ， 1\1’ ， 1\1” ， 1\1” ーヘキサメ トキシメチルメラミン （製品名 「二カラック 、 三和ケミ カル社製） 1 0部を配合し、 溶剤の配合量を 1 4 4部に変更した以外は、 実 施例 1 と同様にして、 樹脂組成物を調製した。

そして、 得られた樹脂組成物を用いて、 実施例 1 と同様の評価を行った。 結果を表 1 に示す。

[0100] （比較例 1）

架橋剤 （巳） を配合せず、 これに代えて、 架橋剤 （巳） とは構造の異なる 多官能エポキシ化合物である、 ブタンテトラカルボン酸テトラ （3 , 4 -エ ポキシシクロヘキシルメチル）修飾 カプロラクトン （ダイセル社製、 製品 名 「エボリード〇丁4 0 1」 ） 4 0部を配合し、 溶剤の配合量を 1 2 6部に 変更した以外は、 実施例 1 と同様にして、 樹脂組成物を調製した。

そして、 得られた樹脂組成物を用いて、 実施例 1 と同様の評価を行った。 結果を表 1 に示す。

[0101 ] （比較例 2）

架橋剤 （巳） を配合せず、 これに代えて、 架橋剤 （巳） とは構造の異なる 多官能エポキシ化合物である、 ビスフエノール八型エポキシ化合物 （三菱ケ ミカル社製、 「8 2 8巳 !_」 ） 6 0部を配合し、 溶剤の配合量を 1 2 6部に 変更した以外は、 実施例 1 と同様にして、 樹脂組成物を調製した。 \¥0 2020/175038 39 卩（：17 2020 /004164

そして、 得られた樹脂組成物を用いて、 実施例 1 と同様の評価を行った。 結果を表 1 に示す。

[01 02]

〔¾二

〇 2020/175038 41 卩（：171? 2020 /004164

[0103] 表 1 より、 プロトン性極性基を有する重合体 （ ） と、 特定の構造を満た す架橋剤 （巳） と、 感放射線化合物 （＜3） としてのキノンジアジド化合物 （ 丁 5 2 0） を含有する実施例 1〜 6の樹脂組成物によれば、 耐熱性 （加 熱減量が少ない） 及び透明性に優れる樹脂膜を形成することが できたことが 分かる。 さらに、 実施例 1〜 6では、 パターン化樹脂膜を形成した際の現像 容易性及び残膜率が共に高いレベルで両立可 能であったことから、 コントラ スト明瞭性に優れるバターン化樹脂膜を形成 することができたことが分かる 。 また、 表 1 より、 特定の構造を満たす架橋剤 （巳） を含有しない樹脂組成 物を用いた比較例 1〜 2の場合には、 得られる樹脂膜の耐熱性を実施例と同 レベルまで高めることができなかったことが 分かる。 また、 比較例 1〜 2で は、 残膜率の評価が＜3評価となっており、 コントラスト明瞭性に優れるバタ —ン化樹脂膜を形成することができなかった ことが分かる。

産業上の利用可能性

[0104] 本発明の樹脂組成物によれば、 耐熱性、 透明性、 及びコントラスト明瞭性 に優れる樹脂膜を形成することができる。

また、 本発明によれば、 本発明の樹脂組成物を用いて形成された樹脂 膜、 及び当該樹脂膜を備える高性能な電子部品を 提供することができる。