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Title:
RF GENERATOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/149986
Kind Code:
A1
Abstract:
An RF generator has a hollow conductor with a conductive wall. The wall has a first slot, over which a first solid-state switch is arranged in order to apply a radiofrequency electrical voltage across the first slot.

Inventors:
HEID OLIVER (DE)
HUGHES TIMOTHY (DE)
Application Number:
PCT/EP2011/067904
Publication Date:
November 08, 2012
Filing Date:
October 13, 2011
Export Citation:
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Assignee:
SIEMENS AG (DE)
HEID OLIVER (DE)
HUGHES TIMOTHY (DE)
International Classes:
H01P5/12; H01P5/107; H03B5/18; H03B9/14; H05H7/00
Foreign References:
US5084682A1992-01-28
US4283685A1981-08-11
US4234854A1980-11-18
US20070229182A12007-10-04
EP0606870A11994-07-20
Other References:
HEID O ET AL: "Compact Solid State Direct drive RF Linac", 23 May 2010 (2010-05-23), pages 4278 - 4280, XP002658698, ISBN: 978-92-9083-352-9, Retrieved from the Internet [retrieved on 20110908]
Attorney, Agent or Firm:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT (DE)
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Claims:
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WO 2012/149986 PCT/EP2011/067904

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Patentansprüche

1. HF-Generator (100, 1100)

mit einem Hohlleiter (200, 1200) mit einer leitfähigen Wandung (250, 1250) ,

dadurch gekennzeichnet,

dass die Wandung (250, 1250) einen ersten Schlitz (210, 1210) aufweist,

wobei ein erster Festkörperschalter (310, 1310) über dem ersten Schlitz (210, 1210) angeordnet ist, um eine hochfrequente elektrische Spannung über den ersten Schlitz (210, 1210) anzulegen.

2. HF-Generator (100) gemäß Anspruch 1,

wobei der Hohlleiter (200) einen kreisförmigen Querschnitt aufweist.

3. HF-Generator (1100) gemäß Anspruch 1,

wobei der Hohlleiter (1200) einen rechteckigen Querschnitt aufweist.

4. HF-Generator (1100) gemäß Anspruch 3,

wobei der HF-Generator (1100) ausgebildet ist, eine

TE1 O-Schwingungsmode in dem Hohlleiter (1200) anzuregen.

5. HF-Generator (100, 1100) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei der erste Festkörperschalter (310, 1310) in einem Schirmgehäuse (330, 1330) angeordnet ist.

6. HF-Generator (100, 1100) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei der HF-Generator (100, 1100) eine Phasenkontroll- einrichtung (110) umfasst, die dazu ausgebildet ist, ein erstes Phasenkontrollsignal (111) zu erzeugen,

wobei der HF-Generator (100, 1100) ausgebildet ist, dem ersten Festkörperschalter (310, 1310) das erste Phasenkontrollsignal (111) zuzuführen. 2 11 9834

WO 2012/149986 PCT/EP2011/067904

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7. HF-Generator (100, 1100) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei ein zweiter Festkörperschalter (320, 1320) über dem ersten Schlitz (210, 1210) angeordnet ist.

8. HF-Generator (100, 1100) gemäß Anspruch 7,

wobei der erste und der zweite Festkörperschalter (310, 320, 1310, 1320) in einem gemeinsamen Schirmgehäuse (330, 1330) angeordnet sind.

9. HF-Generator (100, 1100) gemäß Anspruch 6 und einem der Ansprüche 7 oder 8,

wobei der HF-Generator (100, 1100) ausgebildet ist, auch dem zweiten Festkörperschalter (320, 1320) das erste

Phasenkontrollsignal (111) zuzuführen.

10. HF-Generator (100) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei die Wandung (250) einen zweiten Schlitz (220) aufweist,

wobei ein dritter Festkörperschalter (410) über dem zweiten Schlitz (220) angeordnet ist. 11. HF-Generator (1100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei ein dritter Festkörperschalter (1410) über dem ersten Schlitz (1210) angeordnet ist.

12. HF-Generator (100, 1100) gemäß einem der Ansprüche 10 oder 11,

wobei der dritte Festkörperschalter (410, 1410) in einem zweiten Schirmgehäuse (430, 1430) angeordnet ist.

13. HF-Generator (100, 1100) gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9 und einem der Ansprüche 10 bis 12,

wobei die Phasenkontrolleinrichtung (110) ferner ausgebildet ist, ein zweites Phasenkontrollsignal (112) zu erzeugen, 2 1109834

WO 2012/149986 PCT/EP2011/067904

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wobei der HF-Generator (100, 1100) ausgebildet ist, dem dritten Festkörperschalter (410, 1410) das zweite Phasenkontrollsignal (112) zuzuführen.

14. HF-Generator (1100) gemäß Anspruch 13,

wobei die Phasenkontrolleinrichtung (110) ausgebildet ist, das erste Phasenkontrollsignal (111) und das zweite Phasenkontrollsignal (112) mit einer Phasenverschiebung von 180° zueinander zu erzeugen.

15. HF-Generator (100, 1100) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche,

wobei der Hohlleiter (200, 1200) an eine Kavität gekoppelt ist.

16. Teilchenbeschleuniger mit einem HF-Generator (100, 1100) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche.

Description:
Beschreibung HF-Generator Die vorliegende Erfindung betrifft einen HF-Generator gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie einen Teilchenbe ¬ schleuniger mit einem HF-Generator gemäß Patentanspruch 16.

Es ist bekannt, HF-Leistung mit Tetroden, Klystrons oder an- deren Vorrichtungen zu erzeugen. Es ist ferner bekannt, HF- Leistung mit Wellenleitern, beispielsweise mit Hohlleitern, zu führen. Bisherige Lösungen sehen vor, die HF-Leistung an einem ersten Ort zu erzeugen und dann mittels eines Wellenleiters an einen zweiten Ort zu transportieren, wo die HF- Leistung, beispielsweise mittels eines Dämpfungsglieds oder eines induktiven Kopplers, beispielsweise in eine Kavität eingekoppelt wird. Bei einer solchen Anordnung treten an den Koppelstellen jedoch notwendigerweise Leistungsverluste auf. Außerdem weisen derartige Anordnungen einen hohen Platzbedarf auf.

Es ist außerdem bekannt, HF-Kavitäten mit integrierten Antriebsvorrichtungen zu versehen, um eine hochfrequente elektromagnetische Schwingung in der Kavität anzuregen. Eine sol- che HF-Kavität ist beispielsweise in der EP 0 606 870 AI be ¬ schrieben .

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung bereitzustellen, bei der die Erzeugung von HF-Leistung und die Weiterleitung der erzeugten HF-Leistung durch dieselbe

Vorrichtung geleistet werden. Diese Aufgabe wird durch einen HF-Generator mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Es ist außerdem Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Teilchenbeschleuniger mit einem derartigen HF-Generator be- reitzustellen . Diese Aufgabe wird durch einen Teilchenbe ¬ schleuniger mit den Merkmalen des Patentanspruchs 16 gelöst. Bevorzugte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben . Ein erfindungsgemäßer HF-Generator umfasst einen Hohlleiter mit einer leitfähigen Wandung, die einen ersten Schlitz aufweist. Dabei ist ein erster Festkörperschalter über dem ersten Schlitz angeordnet, um eine hochfrequente elektrische Spannung über den ersten Schlitz anzulegen. Vorteilhafterweise wird bei diesem HF-Generator die HF-Leistung direkt im die HF-Leistung transportierenden Hohlleiter angeregt. Dadurch reduzieren sich die Komplexität und die Herstellungskosten des HF-Generators. Ein weiterer Vorteil besteht in der Ver ¬ wendung des Festkörperschalters, der gegenüber herkömmlichen Vorrichtungen zur Erzeugung von HF-Leistung eine erhöhte Flexibilität bietet und dabei kompakter und kostengünstiger aus ¬ geführt werden kann.

Bevorzugt weist der Hohlleiter einen kreisförmigen Querschnitt auf. Vorteilhafterweise weisen Hohlleiter mit kreis ¬ förmigem Querschnitt besonders geeignete Schwingungsmoden auf .

In einer anderen Aus führungs form weist der Hohlleiter einen rechteckigen Querschnitt auf. Vorteilhafterweise sind auch Hohlleiter mit rechteckigem Querschnitt gut zur Übertragung von HF-Schwingungen geeignet.

Bevorzugt ist der HF-Generator ausgebildet, eine TEIO-Schwin- gungsmode in dem Hohlleiter anzuregen.

Es ist zweckmäßig, dass der erste Festkörperschalter in einem Schirmgehäuse angeordnet ist. Vorteilhafterweise wird dadurch eine Abstrahlung von HF-Leistung reduziert.

In einer Weiterbildung des HF-Generators umfasst dieser eine Phasenkontrolleinrichtung, die dazu ausgebildet ist, ein erstes Phasenkontrollsignal zu erzeugen. Dabei ist der HF-Ge ¬ nerator außerdem ausgebildet, dem ersten Festkörperschalter das erste Phasenkontrollsignal zuzuführen. Vorteilhafterweise kann der Festkörperschalter die ausgegebene hochfrequente elektrische Spannung dann mit dem Phasenkontrollsignal syn ¬ chronisieren .

In einer bevorzugten Aus führungs form des HF-Generators ist ein zweiter Festkörperschalter über dem ersten Schlitz angeordnet. Vorteilhafterweise kann dann mehr HF-Leistung erzeugt werden. Es ist auch möglich, noch weitere Festkörperschalter parallel zu erstem und zweitem Festkörperschalter über dem ersten Schlitz anzuordnen, um die erzeugte HF-Leistung weiter zu erhöhen.

Bevorzugt sind der erste und der zweite Festkörperschalter i einem gemeinsamen Schirmgehäuse angeordnet. Vorteilhafterwei se wird durch das Schirmgehäuse dann die durch die Festkör ¬ perschalter abgestrahlte HF-Leistung reduziert.

Es ist zweckmäßig, dass der HF-Generator ausgebildet ist, auch dem zweiten Festkörperschalter das erste Phasenkontroll signal zuzuführen. Vorteilhafterweise können der erste und der zweite Festkörperschalter dann synchron zueinander und zum Phasenkontrollsignal HF-Leistung in den Hohlleiter ein- koppeln .

In einer Weiterbildung des HF-Generators weist die Wandung einen zweiten Schlitz auf, wobei ein dritter Festkörperschal ter über dem zweiten Schlitz angeordnet ist. Vorteilhafterweise lässt sich auch dadurch die mit dem HF-Generator erzeugbare HF-Leistung erhöhen.

In einer alternativen Aus führungs form des HF-Generators ist ein dritter Festkörperschalter über dem ersten Schlitz ange ordnet. Vorteilhafterweise kann auch dadurch die mit dem HF Generator erzeugbare HF-Leistung erhöht werden.

Es ist zweckmäßig, dass der dritte Festkörperschalter in einem zweiten Schirmgehäuse angeordnet ist. Vorteilhafterwei se wird dann auch die durch den dritten Festkörperschalter abgestrahlte HF-Leistung reduziert. In einer zusätzlichen Weiterbildung des HF-Generators ist die Phasenkontrolleinrichtung ferner ausgebildet, ein zweites Phasenkontrollsignal zu erzeugen, wobei der HF-Generator aus- gebildet ist, dem dritten Festkörperschalter das zweite Pha ¬ senkontrollsignal zuzuführen. Vorteilhafterweise kann der zweite Festkörperschalter dann eine zum zweiten Phasenkontrollsignal synchrone hochfrequente elektrische Spannung aus ¬ geben .

Besonders zweckmäßig ist, wenn die Phasenkontrolleinrichtung ausgebildet ist, das erste Phasenkontrollsignal und das zwei ¬ te Phasenkontrollsignal mit einer Phasenverschiebung von 180° zueinander zu erzeugen.

In einer Weiterbildung des HF-Generators ist der Hohlleiter an eine Kavität gekoppelt. Vorteilhafterweise kann die durch den HF-Generator erzeugte HF-Leistung dann über den Hohlleiter in die Kavität geleitet werden.

Ein erfindungsgemäßer Teilchenbeschleuniger weist einen HF- Generator der vorgenannten Art auf. Vorteilhafterweise kann die durch den HF-Generator erzeugte HF-Leistung dann zur Beschleunigung geladener Teilchen verwendet werden.

Die Erfindung wird nun anhand der beigefügten Figuren näher erläutert. Dabei zeigen:

Figur 1 eine erste perspektivische Darstellung eines HF-Ge- nerators gemäß einer ersten Aus führungs form;

Figur 2 eine zweite perspektivische Darstellung des HF-Ge ¬ nerators der ersten Aus führungs form; Figur 3 eine Schnittdarstellung des HF-Generators der ersten

Aus führungs form; Figur 4 eine Aufsicht auf den HF-Generator der ersten Ausfüh- rungsform;

Figur 5 eine erste perspektivische Darstellung eines HF- Generators gemäß einer zweiten Aus führungs form;

Figur 6 eine zweite perspektivische Darstellung des HF- Generators der zweiten Aus führungs form; Figur 7 eine Schnittdarstellung des HF-Generators der zweiten

Aus führungs form; und

Figur 8 eine Aufsicht auf den HF-Generator der zweiten Ausführungsform.

Figur 1 zeigt eine schematische perspektivische Darstellung eines HF-Generators 100 gemäß einer ersten Aus führungs form. Der HF-Generator 100 dient zur Erzeugung hochfrequenter elektromagnetischer Wellen mit hoher Leistung. Die durch den HF-Generator 100 erzeugte HF-Leistung kann beispielsweise in einem Teilchenbeschleuniger zur Beschleunigung geladener Teilchen genutzt werden.

Der HF-Generator 100 umfasst einen Hohlleiter 200. Der Hohl- leiter 200 ist im Wesentlichen hohlzylindrisch ausgebildet und besteht aus einem elektrisch leitenden Material, bevorzugt aus einem Metall. Die axiale Richtung des zylindrischen Hohlleiters 200 legt eine Längsrichtung 201 fest. Senkrecht zur Längsrichtung 201 erstreckt sich eine radiale Richtung 202. Der Hohlleiter 200 weist einen kreisförmigen Querschnitt auf. Der Hohlleiter 200 könnte jedoch auch einen elliptischen oder einen anderen Querschnitt aufweisen.

Eine Mantelfläche des zylindrischen Hohlleiters 200 wird durch eine Wandung 250 gebildet. Wird in dem Hohlleiter 200 eine elektromagnetische Schwingungsmode angeregt, so fließen in der Wandung 250 orts- und zeitabhängige elektrische Strö ¬ me. Der räumliche und zeitliche Verlauf dieser elektrischen Ströme hängt von der im Hohlleiter 200 angeregten Schwingungsmode ab, lässt sich berechnen und ist unter Fachleuten bekannt . Die Wandung 250 des Hohlleiters 200 des HF-Generators 100 weist einen ersten Schlitz 210 und einen zweiten Schlitz 220 auf. Die Schlitze 210, 220 sind an Positionen der Wandung 250 angeordnet, an denen ein großer elektrischer Strom fließt, wenn im Hohlleiter 200 eine gewünschte Schwingungsmode ange- regt ist. Der Verlauf der Schlitze 210, 220 ist dabei senk ¬ recht zur Richtung des Stromflusses orientiert. Im darge ¬ stellten Beispiel sind die Schlitze 210, 220 parallel zur Längsrichtung 201 orientiert. Die Schlitze 210, 220 könnten jedoch auch anders orientiert sein.

Am ersten Schlitz 210 in der Wandung 250 des Hohlleiters 200 ist eine erste Gruppe 300 von Festkörperschaltern angeordnet. Im dargestellten Beispiel umfasst die erste Gruppe 300 einen ersten Festkörperschalter 310 und einen zweiten Festkörper- Schalter 320. Die erste Gruppe 300 könnte jedoch auch lediglich einen Festkörperschalter 310 umfassen. In der Regel wird die erste Gruppe 300 jedoch mindestens zwei Festkörperschal ¬ ter 310, 320 umfassen. Die Festkörperschalter 310, 320 weisen jeweils einen ersten

Ausgangsanschluss 311 und einen zweiten Ausgangsanschluss 312 auf (Figur 3) und sind dazu ausgebildet, zwischen den Aus ¬ gangsanschlüssen 311, 312 eine hochfrequente elektrische Spannung anzulegen und einen hochfrequenten elektrischen Strom zu schalten. Die Festkörperschalter 310, 320 können hierzu beispielsweise Festkörpertransistoren aufweisen. Die Festkörperschalter 310, 320 können jedoch auch anders aufgebaut sein. Der Begriff Festkörperschalter ist in diesem Sinne nicht einschränkend zu verstehen.

Der erste Festkörperschalter 310 und der zweite Festkörperschalter 320 sind jeweils so elektrisch leitend mit einem Ab ¬ schnitt der Wandung 250 auf einer ersten Seite 211 des ersten Schlitzes 210 und einem Abschnitt der Wandung 250 auf einer zweiten Seite 212 des ersten Schlitzes 210 verbunden, dass die Festkörperschalter 310, 320 eine hochfrequente elektrische Spannung über den ersten Schlitz 210 anlegen können. Da- durch können in der Wandung 250 fließende elektrische Ströme angeregt werden, die wiederum eine Schwingungsmode im Hohl ¬ leiter 200 anregen.

Über dem zweiten Schlitz 220 der Wandung 250 des Hohlleiters 200 des HF-Generators 100 ist eine zweite Gruppe 400 von

Festkörperschaltern angeordnet, die im dargestellten Beispiel einen dritten Festkörperschalter 410 und einen vierten Festkörperschalter 420 umfasst. Auch die zweite Gruppe 400 kann mehr oder weniger als zwei Festkörperschalter 410, 420 umfas- sen. Auch mittels der Festkörperschalter 410, 420 der zweiten Gruppe 400 können elektrische Ströme in der Wandung 250 des Hohlleiters 200 angeregt werden, die wiederum eine Schwin ¬ gungsmode im Hohlleiter 200 anregen. In der in Figur 4 gezeigten Aufsicht auf den HF-Generator 100 ist erkennbar, dass die Wandung 250 des Hohlleiters 200 des HF-Generators 100 einen in Figur 1 nicht sichtbaren dritten Schlitz 230 und einen in Figur 1 nicht sichtbaren vierten Schlitz 240 aufweist. Der dritte Schlitz 230 liegt dem ersten Schlitz 210 in radialer Richtung 202 gegenüber. Der vierte Schlitz 240 liegt dem zweiten Schlitz 230 in radialer Richtung 202 gegenüber. Über dem dritten Schlitz 230 ist eine dritte Gruppe 500 von Festkörperschaltern angeordnet. Über dem vierten Schlitz 240 ist eine vierte Gruppe 600 von Fest- körperschaltern angeordnet.

Die Wandung 250 des Hohlleiters 200 kann weitere Schlitze um ¬ fassen, über denen jeweils ebenfalls Gruppen von Festkörperschaltern angeordnet sind. Alle Schlitze sind dabei so an der Wandung 250 des Hohlleiters 200 angeordnet, dass mit den

Festkörperschaltern Ströme in der Wandung 250 angeregt werden können, die zur Anregung der gewünschten Schwingungsmode im Hohlleiter 200 führen. Figur 2 zeigt eine weitere schematische perspektivische Dar ¬ stellung des HF-Generators 100. Figur 2 zeigt, dass die erste Gruppe 300 von Festkörperschaltern 310, 320 am ersten Schlitz 210 der Wandung 250 des Hohlleiters 200 in einem ersten

Schirmgehäuse 330 angeordnet ist. Entsprechend sind die Fest ¬ körperschalter 410, 420 der zweiten Gruppe 400 in einem zweiten Schirmgehäuse 430 angeordnet. Die Schirmgehäuse 330, 430 bestehen aus einem elektrisch leitenden Material, bevorzugt aus einem Metall. Die Schirmgehäuse sind elektrisch leitend mit der Wandung 250 verbunden und dienen dazu, eine durch die Festkörperschalter 310, 320, 410, 420 abgestrahlte elektromagnetische Leistung abzuschirmen. Dadurch reduzieren sich die Abstrahlungsverluste des HF-Generators 100. Außerdem re- duziert sich dadurch ein möglicher Störeinfluss des HF-Gene ¬ rators 100 auf andere Geräte in der Umgebung des HF-Genera ¬ tors 100.

In der schematischen Darstellung der Figur 2 sind die Schirm- gehäuse 330, 430 in radiale Richtung 202 außen geöffnet. Die ¬ se Darstellung wurde jedoch lediglich der Übersichtlichkeit halber gewählt. Bevorzugt umschließen die Schirmgehäuse 330, 430 die Festkörperschalter 310, 320, 410, 420 vollständig. Die über dem dritten Schlitz 230 angeordnete dritte Gruppe 500 von Festkörperschaltern befindet sich in einem dritten Schirmgehäuse 530. Die über dem vierten Schlitz 240 angeordnete vierte Gruppe 600 von Festkörperschaltern befindet sich in einem vierten Schirmgehäuse 630.

Figur 3 zeigt in schematischer Darstellung einen zur Längsrichtung 201 senkrechten Schnitt durch den HF-Generator 100. Erkennbar ist der als Hohlzylinder ausgebildete Hohlleiter 200 mit seiner Wandung 250. Die Wandung 250 weist den ersten Schlitz 210 und den dritten Schlitz 230 auf. Der dritte

Schlitz 230 liegt dem ersten Schlitz 210 in radialer Richtung 202 gegenüber. Über dem ersten Schlitz 210 ist die erste Gruppe 300 von Festkörperschaltern 310, 320 angeordnet. Die erste Gruppe 300 von Festkörperschaltern 310, 320 ist in dem ersten Schirmgehäuse 330 angeordnet. Sichtbar ist lediglich der erste Fest- körperschalter 310. Der erste Festkörperschalter 310 weist einen ersten Ausgangsanschluss 311 und einen zweiten Ausgangsanschluss 312 auf. Der erste Ausgangsanschluss 311 ist leitend mit einem Abschnitt der Wandung 250 auf der ersten Seite 211 des ersten Schlitzes 210 verbunden, während der zweite Ausgangsanschluss 312 elektrisch leitend mit einem Ab ¬ schnitt der Wandung 250 auf der zweiten Seite 212 des ersten Schlitzes 210 verbunden ist. Der zweite Festkörperschalter 320 und alle weiteren Festkörperschalter der ersten Gruppe 300 weisen entsprechende Ausgangsanschlüsse 311, 312 auf, die entsprechend mit der Wandung 250 verbunden sind. Die gilt auch für die Festkörperschalter der übrigen Gruppen 400, 500, 600.

Figur 4 zeigt eine schematische Aufsicht auf den HF-Generator 100. Erkennbar ist der Hohlleiter 200 mit der ersten Gruppe 300 von Festkörperschaltern 310, 320, der zweiten Gruppe 400 von Festkörperschaltern 410, 420, der dritten Gruppe 500 von Festkörperschaltern und der vierten Gruppe 600 von Festkörperschaltern .

Es wurde bereits ausgeführt, dass die in der Wandung 250 des Hohlleiters 200 fließenden elektrischen Ströme orts- und zeitabhängig sind. Die an den Orten der Schlitze 210, 220, 230, 240 der Wandung 250 fließenden elektrischen Ströme wei- sen daher zu jedem Zeitpunkt voneinander abweichende Phasenlagen auf. Daher müssen die Gruppen 300, 400, 500, 600 von Festkörperschaltern die elektrischen Ströme mit unterschiedlichen Phasenlagen anregen. Die Festkörperschalter einer jeder einzelnen Gruppe 300, 400, 500, 600 müssen den elektri- sehen Strom dabei synchron zueinander schalten.

Der HF-Generator 100 weist eine nur schematisch dargestellte Phasenkontrolleinrichtung 110 auf, die dazu ausgebildet ist, eine Mehrzahl von Phasenkontrollsignalen 111, 112, 113, 114 zu erzeugen. Die Phasenkontrollsignale 111, 112, 113, 114 weisen jeweils die gleiche Frequenz, jedoch voneinander abweichende Phasenlagen auf. Das erste Phasenkontrollsignal 111 wird der ersten Gruppe 300 von Festkörperschaltern zugeführt. Das zweite Phasenkontrollsignal 112 wird der zweiten Gruppe 400 von Festkörperschaltern zugeführt. Das dritte Phasenkontrollsignal 113 wird der dritten Gruppe 500 von Festkörperschaltern zugeführt. Das vierte Phasenkontrollsignal 114 wird der vierten Gruppe 600 von Festkörperschaltern zugeführt. Falls der HF-Generator 100 weitere Gruppen von Festkörperschaltern umfasst, die über weiteren Schlitzen der Wandung 250 des Hohlleiters 200 angeordnet sind, so gibt die Phasen- kontrolleinrichtung 110 weitere Phasenkontrollsignale aus, die den weitere Gruppen von Festkörperschaltern zugeführt werden .

Jeder der Festkörperschalter der Gruppen 300, 400, 500, 600 ist dazu ausgebildet, die von ihm über die Ausgangsanschlüsse 311, 312 ausgegebene Spannung synchron zu dem ihm zugeführten Phasenkontrollsignal 111, 112, 113, 114 zu schalten. Die Festkörperschalter der ersten Gruppe 300 regen in der Wandung 250 also einen elektrischen Strom synchron zum ersten Phasenkontrollsignal 111 an. Die Festkörperschalter der zweiten Gruppe 400 regen einen elektrischen Strom synchron zum zweiten Phasenkontrollsignal 112 an. Die Festkörperschalter der dritten Gruppe 500 und der vierten Gruppe 600 verhalten sich entsprechend . Durch die Wahl der Positionen, an denen die Schlitze 210,

220, 230, 240 in der Wandung 250 des Hohlleiters 200 vorgesehen sind und durch die Wahl der Phasenbeziehungen der Phasenkontrollsignale 111, 112, 113, 114 zueinander wird festge ¬ legt, welche Schwingungsmode im Hohlleiter 200 des HF-Gene- rators 100 angeregt werden kann.

Es ist ebenfalls möglich, anstelle der getrennten Schlitze 210 und 220 bzw. 230 und 240 jeweils einen einzigen durchge- henden Schlitz auf jeder Seite des Hohlleiters 200 vorzuse ¬ hen. An jedem der Schlitze können dann eine oder mehrere Gruppen von Festkörperschaltern angeordnet sein. Figur 5 zeigt eine schematische perspektivische Darstellung eines HF-Generators 1100 gemäß einer zweiten Aus führungs form. Der HF-Generator 1100 dient zur Erzeugung hochfrequenter elektromagnetischer Wellen mit hoher Leistung. Auch die durch den HF-Generator 1100 erzeugte HF-Leistung kann beispielswei- se in einem Teilchenbeschleuniger zur Beschleunigung geladener Teilchen genutzt werden.

Der HF-Generator 1100 umfasst einen Hohlleiter 1200, der im Wesentlichen hohlzylindrisch ausgebildet ist und aus einem elektrisch leitenden Material, bevorzugt aus einem Metall, besteht. Die axiale Richtung des zylindrischen Hohlleiters 1200 legt eine Längsrichtung 1201 fest. Der Hohlleiter 1200 weist einen rechteckigen Querschnitt auf. Eine Mantelfläche des zylindrischen Hohlleiters 1200 wird durch eine Wandung 1250 gebildet. Wird in dem Hohlleiter 1200 eine elektromagnetische Schwingungsmode angeregt, so fließen in der Wandung 1250 orts- und zeitabhängige elektrische Strö ¬ me, deren räumlicher und zeitlicher Verlauf sich berechnen lässt und unter Fachleuten bekannt ist.

An einer in Längsrichtung 1201 verlaufenden Schmalseite 1260 des Hohlleiters 1200 weist die Wandung 1250 einen ersten Schlitz 1210 auf. Eine in Figur 5 nicht sichtbare, der

Schmalseite 1260 gegenüberliegende, weitere Schmalseite des Hohlleiters 1200 weist einen dritten Schlitz 1230 auf. Der erste Schlitz 1210 und der dritte Schlitz 1230 verlaufen beide in Längsrichtung 1201. Wird im Hohlleiter 1200 eine elektromagnetische Schwingungsmode angeregt, so fließen in der Wandung 1250 des Hohlleiters 1200 elektrische Ströme, die senkrecht zu den Schlitzen 1210, 1230 orientiert sind. Umge ¬ kehrt können durch Anregung von senkrecht zu den Schlitzen 1210, 1230 verlaufenden elektrischen Strömen in der Wandung 1250 elektrische Schwingungsmoden im Hohlleiter 1200 angeregt werden .

Figur 6 zeigt, dass am ersten Schlitz 1210 eine erste Gruppe 1300 von Festkörperschaltern angeordnet ist, die einen ersten Festkörperschalter 1310, einen zweiten Festkörperschalter 1320 und weitere Festkörperschalter umfasst. Die erste Gruppe 1300 von Festkörperschaltern 1310, 1320 ist in einem ersten Schirmgehäuse 1330 angeordnet, das die erste Gruppe 1300 von Festkörperschaltern vollständig umschließt. Außerdem ist am ersten Schlitz 1210 eine zweite Gruppe 1400 von Festkörperschaltern angeordnet, die einen dritten Festkörperschalter 1410, einen vierten Festkörperschalter 1420 und weitere Festkörperschalter umfasst. Die zweite Gruppe 1400 von Festkör- perschaltern 1410, 1420 ist in einem zweiten Schirmgehäuse 1430 angeordnet, das die Festkörperschalter 1410, 1420 der vierten Gruppe 1400 in alle Raumrichtungen umschließt. Entsprechend sind am dritten Schlitz 1230 eine dritte Gruppe 1500 von Festkörperschaltern in einem dritten Schirmgehäuse 1530 und eine vierte Gruppe 1600 von Festkörperschaltern in einem vierten Schirmgehäuse 1630 angeordnet.

Im Unterschied zum HF-Generator 100 der ersten Ausführungsform sind beim HF-Generator 1100 der zweiten Aus führungs form somit an jedem Schlitz 1210, 1230 mehrere Gruppen 1300, 1400, 1500, 1600 von Festkörperschaltern angeordnet. Alternativ wä ¬ re es jedoch auch möglich, anstelle des ersten Schlitzes 1210 zwei getrennte Schlitze vorzusehen und die erste Gruppe 1300 am ersten dieser Schlitze und die zweite Gruppe 1200 am zwei- ten dieser Schlitze anzuordnen. Auch der dritte Schlitz 1230 könnte entsprechend durch zwei oder mehr getrennte Schlitze ersetzt werden. Es wäre ebenfalls möglich, am ersten Schlitz 1210 und am dritten Schlitz 1230 jeweils mehr als zwei Gruppen von Festkörperschaltern vorzusehen. Jede der Gruppen 1300, 1400, 1500, 1600 kann eine beliebige Anzahl von Festkörperschaltern umfassen. Die Festkörperschalter des HF-Generators 1100 der zweiten Aus führungs form entsprechen in Aufbau und Funktionsweise denen des HF-Generators 100 der ersten Aus führungs form. Figur 7 zeigt in schematischer Darstellung einen Schnitt durch den HF-Generator 1100. Erkennbar ist, dass jeder der Festkörperschalter der Gruppen 1300, 1400, 1500, 1600 mit Abschnitten der Wandung 1250 auf beiden Seiten des der jeweiligen Gruppe 1300, 1400, 1500, 1600 zugeordneten Schlitzes 1210, 1230 verbunden ist, um eine hochfrequente elektrische Spannung über den jeweiligen Schlitz 1210, 1230 anzulegen. Der Aufbau des HF-Generators 1100 entspricht insoweit dem des HF-Generators 100 der ersten Aus führungs form. Figur 8 zeigt eine schematische Aufsicht auf den HF-Generator 1100. Erkennbar ist der Hohlleiter 1200 mit der ersten Gruppe 1300 von Festkörperschaltern 1310, 1320, der zweiten Gruppe 1400 von Festkörperschaltern 1410, 1420, der dritten Gruppe 1500 von Festkörperschaltern und der vierten Gruppe 1600 von Festkörperschaltern.

Der HF-Generator 1100 weist außerdem die Phasenkontrollein- richtung 110 auf, die bereits im Zusammenhang mit dem HF- Generator 100 der ersten Aus führungs form erläutert wurde. Die in der Wandung 1250 des Hohlleiters 1200 fließenden elektrischen Ströme sind orts- und zeitabhängig. Wird in dem Hohl ¬ leiter 1200 beispielsweise eine TE1 O-Schwingungsmode ange ¬ regt, so ist der am Ort der ersten Gruppe 1300 von Festkörperschaltern fließende elektrische Strom zu jedem Zeitpunkt genau um 180° phasenversetzt gegenüber dem am Ort der zweiten Gruppe 1400 von Festkörperschaltern fließenden Strom. Entsprechendes gilt für die dritte Gruppe 1500 von Festkörper ¬ schaltern und die vierte Gruppe 1600 von Festkörperschaltern. Die Phasenkontrolleinrichtung 110 ist dazu ausgebildet, die Phasenkontrollsignale 111, 112, 113, 114 zu erzeugen. Das erste Phasenkontrollsignal 111 wird der ersten Gruppe 1300 von Festkörperschaltern zugeführt. Das zweite Phasenkontroll- signal 112 wird der zweiten Gruppe 1400 von Festkörperschal ¬ tern zugeführt. Das dritte Phasenkontrollsignal 113 wird der dritten Gruppe 1500 von Festkörperschaltern zugeführt. Das vierte Phasenkontrollsignal 114 wird der vierten Gruppe 1600 von Festkörperschaltern zugeführt.

Die Phasenkontrollsignale 111, 112, 113, 114 weisen jeweils die gleiche Frequenz auf, sind jedoch gegeneinander phasenversetzt. Soll im Hohlleiter 1200 des HF-Generators 1100 bei- spielsweise eine TE1 O-Schwingungsmode angeregt werden, so sind das erste Phasenkontrollsignal 111 und das zweite Pha ¬ senkontrollsignal 112 um 180° gegeneinander versetzt. Ent ¬ sprechend sind auch das dritte Phasenkontrollsignal 113 und das vierte Phasenkontrollsignal 114 um 180° gegeneinander phasenverschoben.

Die in den Hohlleitern 200, 1200 der HF-Generatoren 100, 1100 angeregte elektromagnetische Leistung wird durch die Hohllei ¬ ter 200, 1200 in Längsrichtung 201, 1201 transportiert. An einem Längsende des jeweiligen Hohlleiters 200, 1200 kann die elektromagnetische Leistung aus dem Hohlleiter 200, 1200 ausgekoppelt werden. Beispielsweise kann an einem Längsende des Hohlleiters 200, 1200 eine Kavität angeordnet sein, in die die durch den HF-Generator 100, 1100 erzeugte HF-Leistung eingekoppelt wird. Geeignete Koppelelemente sind aus dem

Stand der Technik bekannt. Die durch den HF-Generator 100, 1100 erzeugte HF-Leistung kann auch in einem Teilchenbeschleuniger zur Beschleunigung geladener Teilchen verwendet werden. In diesem Fall kann der Hohlleiter 200, 1200 des HF- Generators 100, 1100 beispielsweise an eine Kavität des Teil ¬ chenbeschleunigers gekoppelt sein.