周卫国 (中国北京市朝阳区酒仙桥东路1号, Beijing 5, 100015, CN)
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| 利 要 求 书 1、 一种机械手臂装置， 其特征在于， 包括具有第一摇杆（21 )和第二 摇杆（22) 的第一双摇杆机构， 以及具有第三摇杆（23)和第四摇杆（24) 的第二双摇杆机构； 所述第一摇杆（21 )和所述第三摇杆（23) 均以其第一 端铰接于该机械手臂装置的基础部分（0); 所述第二摇杆（22)和所述第四 摇杆（24)分别以其第一端相对应地铰接于所述第一摇杆（21 ) 的第二端和 所述第三摇杆（23) 的第二端； 所述第一摇杆（21 )和所述第三摇杆（23)在驱动部件的作用下绕其各 自的第一端旋转时， 所述第二摇杆（22)和所述第四摇杆（24) 均带动手臂 本体（3) 沿第一滑轨（41 )滑动； 所述第二摇杆（22)与所述第四摇杆（24)形成适当的夹角。 2、 根据权利要求 1 所述的机械手臂装置， 其特征在于， 所述第二摇杆 (22)的第二端通过第一滑块（61 )与所述手臂本体（3)连接， 所述第四摇 杆（24) 的第二端铰接于第二滑块（62)上， 并通过所述第一滑块（61 )与 所述第二滑块（62)之间的弹性机构与手臂本体 (3)连接。 3、 根据权利要求 2所述的机械手臂装置， 其特征在于， 所述弹性机构 为沿所述手臂本体 ( 3 ) 的运动方向伸缩的直线弹簧（ 5 )。 4、 根据权利要求 3 所述的机械手臂装置， 其特征在于， 所述直线弹簧 (5) 的数目为多个。 5、 根据权利要求 4所述的机械手臂装置， 其特征在于， 所述第三摇杆 (23) 的第一端与所述第一摇杆（21 ) 的第一端固定连接。 6、 根据权利要求 5所述的机械手臂装置， 其特征在于， 所述第一摇杆 (21 )和所述第三摇杆（23)具有一体式结构。 7、 根据权利要求 1至 6任一项所述的机械手臂装置， 其特征在于， 所 述第一滑块（61 ) 沿所述第一滑轨（41 )滑动； 所述第一滑块（61 )进一步 安装有第二滑轨（42), 所述第二滑块（62) 沿所述第二滑轨（42)滑动。 8、 根据权利要求 7所述的机械手臂装置， 其特征在于， 所述第一滑轨 (41 ) 大体平行于所述第二滑轨（42)。 9、 一种基片处理系统， 其特征在于， 包括权利要求 1至 8任一项所述 的机械手臂装置。 10、 根据权利要求 9所述的基本处理系统， 其特征在于， 所述基本处理 系统为等离子刻蚀机。 |
本发明涉及自动化传输设备领域， 特别涉及一种用于基片处理系统的机 械手臂装置。 本发明还涉及一种包括上述机械手臂装置的基 片处理系统。 背景技术
随着我国经济建设的快速发展， 市场对于基片的需求量日益增大， 由此 便带动了基片加工行业的迅猛发展。
目前， 用于加工基片的工艺腔的内部一般具有静电卡 盘， 该静电卡盘用 于支撑被加工的基片， 且其下部设有升降装置， 该升降装置上插有用于支撑 基片的顶针。 加工基片时， 一般通过专用的机械手臂将基片送入工艺腔内 ， 并使基片高于静电卡盘的上表面一定距离； 此时， 位于上位的升降装置通过 顶针把机械手上的基片托起， 机械手臂随后退出工艺腔， 而后， 升降装置向 下移动， 把基片平稳地放到静电卡盘上表面后开始加工 ； 加工完成后， 升降 装置向上移动， 将基片托起到一定高度， 机械手臂重新伸入工艺腔内把基片 取走。
由上述基片的加工过程可知， 在基片的加工开始之前， 需要通过机械手 臂将基片送入反应腔室， 而加工完成之后， 同样需要通过利用机械手臂将基 片取出反应腔室。 因此， 机械手臂^^片加工过程中必不可少的设备， 其工 作质量以及工作稳定性的高低，直接影响整个 基片加工系统加工质量的优劣。
基片加工中使用的机械手臂通常为水平搬运机 械手臂， 并且由上述的使 用过程可知， 该机械手臂需要具有伸缩、 旋转、 升降等功能。
请参考图 1 , 图 1为一种典型的机械手臂的原理图。
该种典型的机械手臂包括第一摇杆 11和第二摇杆 12,第一摇杆 11的第 一端连接有电机（图中未示出 ), 其第二端通过第一铰接轴与第二摇杆 12的 第一端铰接， 第二摇杆 12的第二端通过滑块 15安装有手臂 13 , 手臂 13通 过滑块 15可滑动地安装于滑轨 14上，并且能够在滑轨 14的延伸方向上滑动； 上述第一摇杆 11在电机的驱动下， 以第一端与电机的连接点为旋转点摆动， 并带动第二摇杆 12以第一铰接轴为转轴摆动， 从而带动滑块 15进而带动手 臂 13在滑轨 14上滑动， 上述第一摇杆 11和第二摇杆 12既具有连接作用， 又具有传递动力的作用。
在基片加工过程中， 需要机械手具有足够的搬运距离， 因此， 上述第一 摇杆 11和第二摇杆 12均需要具有足够的长度； 同时， 由于基片加工环境的 限制， 机械手能够占用的空间较小， 因而两摇杆需要具有较小的旋转半径。 为了满足上述要求， 上述第一摇杆 11和第二摇杆 12的长度应相等， 并且， 第一摇杆 11的第一端应位于滑轨 14延伸方向的中间位置。
而在机械手臂的伸缩过程中， 在伸缩到某一位置时， 第一摇杆 11 和第 二摇杆 12大体重叠时， 机构的传动角为零， 该位置即为死点位置， 此时， 机 械手臂的有效传动力矩为零， 机构处于不传力位置， 而不利于机械手臂的连 续化传送作业。 众所周知地， 当机构处于死点位置时， 上述第二摇杆 12大致 垂直于机械手臂的伸缩方向。
在上述典型的机械手臂中， 通常利用滑块 15 的惯性带动机械手臂通过 死点位置， 为了使机械手臂顺利通过死点位置， 目前通常通过增加滑块 15 惯性的方式。而在实际的工作过程中，可能由 于各种原因而使得滑块 15失去 了通过死点时所必须具备的惯性，从而导致此 时机械手臂机构无法通过死点； 另外， 在机构调试的过程中， 由于滑块 15的测试速度较慢， 其具备的能量不 足以带动机构通过死点位置； 因此， 在很多情况下， 机械手臂机构可能无法 顺利通过死点位置， 从而导致机构的传动可靠性较低。
综上所述， 如何在保证结构较为简单的情况下， 使机械手臂能够顺利通 过死点位置， 从而提高机械手臂的传动可靠性， 就成为本领域技术人员亟须 解决的问题。 发明内容
本发明的目的是提供一种用于基片处理系统的 机械手臂装置， 其结构较 为简单， 且装置整体不存在死点位置， 具有较高的工作可靠性。 本发明的另 一目的是提供一种包括上述机械手臂装置的基 片处理系统。
为解决上述技术问题， 本发明提供一种机械手臂装置， 包括具有第一摇 杆和第二摇杆的第一双摇杆机构， 以及具有第三摇杆和第四摇杆的第二双摇 杆机构； 所述第一摇杆和所述第三摇杆均以其第一端铰 接于该机械手臂装置 的基础部分； 所述第二摇杆和所述第四摇杆分别以其第一端 相对应地铰接于 所述第一摇杆的第二端和所述第三摇杆的第二 端；
所述第一摇杆和所述第三摇杆在驱动部件的作 用下绕其各自的第一端 旋转时， 所述第二摇杆和所述第四摇杆均带动手臂本体 沿第一滑轨滑动； 所述第二摇杆与所述第四摇杆形成适当的夹角 。
进一步地， 所述第二摇杆的第二端通过第一滑块与所述手 臂本体连接， 所述第四摇杆的第二端通过第二滑块以及所述 第一滑块与所述第二滑块之间 的弹性机构与所述手臂本体连接。 簧。
进一步地， 所述直线弹簧的数目为多个。
进一步地， 所述第三摇杆的第一端与所述第一摇杆的第一 端固定连接。 进一步地， 所述第一摇杆和所述第三摇杆具有一体式结构 。
进一步地， 所述第一滑块沿所述第一滑轨滑动； 所述第一滑块上进一步 安装有第二滑轨， 所述第二滑块沿所述第二滑轨滑动。
进一步地， 所述第一滑轨大体平行于所述第二滑轨。
本发明还提供一种基片处理系统， 包括上述任一项所述的机械手臂装 置。
进一步地， 所述基本处理系统为等离子刻蚀机。
本发明所提供的机械手臂装置， 包括第一双摇杆机构和第二双摇杆机 构； 第一双摇杆机构进一步包括第一摇杆和第二摇 杆， 第一摇杆的第一端铰 接于该机械手臂装置的基础部分， 第二摇杆的第一端与第一摇杆的第二端相 铰接； 第一摇杆在驱动部件的作用下绕其第一端旋转 时， 第二摇杆带动与其 连接的手臂本体沿第一滑轨滑动； 上述第二双摇杆机构进一步包括第三摇杆 和第四摇杆， 第三摇杆通过其第一端铰接于机械手臂装置的 基础部分， 第四 摇杆的第一端与第三摇杆的第二端铰接，第四 摇杆的第二端安装有手臂本体； 第三摇杆在驱动部件的作用下绕其第一端旋转 时， 第四摇杆带动手臂本体沿 第一滑轨滑动； 且第二摇杆和手臂本体的滑动方向所形成的夹 角， 与第四摇 杆和手臂本体的滑动方向形成的夹角不同。
这样， 在传动的过程中， 当第二摇杆与手臂本体的滑动方向形成某一夹 角时， 第一双摇杆机构的输出端 （也即第二摇杆的第二端）输出的第一水平 分力与摩擦力的合力为零， 第二摇杆处于不传力状态， 第一双摇杆机构处于 死点位置； 而此时， 由于第四摇杆与第二摇杆形成适当的夹角， 则第四摇杆 与手臂本体的滑动方向所形成的夹角， 与上述第二摇杆与手臂本体的滑动方 向所形成的夹角不同， 因此， 第二双摇杆机构的输出端 （也即第四摇杆的第 二端）输出的第二水平分力与摩擦力的合力不 为零， 第二双摇杆机构此时能 够传力； 反之， 当第二双摇杆机构处于不传力的死点位置时， 上述第一双摇 杆机构已摆脱先前的死点位置能够传力； 从而使得包括第一双摇杆机构和第 二双摇杆机构的机械手臂装置整体不存在死点 位置， 进而提高了装置的传动 可靠性。
在一种优选的实施方式中， 上述第三摇杆的第一端与第一摇杆的第一端 固定连接。 这样， 第一摇杆与第三摇杆通过同一驱动装置驱动， 从而节省了 一个驱动部件， 不仅简化了装置的结构， 并且降低了生产成本； 同时， 保证 了第一双摇杆机构和第二双摇杆结构的输入动 力相同， 进一步保证了两组双 摇杆机构在不同的时间达到死点位置。
在另一种优选的实施方式中， 上述第二摇杆的第二端通过第一滑块与手 臂本体连接， 第四摇杆的第二端通过第二滑块以及第一滑块 和第二滑块之间 的弹性机构与手臂本体连接。 当手臂本体沿第一滑轨运动时， 上述第二摇杆 与手臂本体运动方向的夹角， 和第四摇杆与手臂本体运动方向的夹角均时刻 变化， 因此， 在手臂本体的运动过程中， 上述第一滑块和第二滑块在手臂本 体运动方向上的距离时刻发生变化； 当运动于前面的双摇杆机构处于死点位 置时， 弹性机构对其施加适当的推力， 以帮助其顺利通过死点位置； 而当运 动于后面的双摇杆机构处于死点位置时， 弹性机构对其施加适当的拉力， 以 帮助其通过死点位置， 从而进一步提高了装置的传动可靠性。
在另一种具体实施方式中， 上述第一滑块沿第一滑轨滑动； 所述第一滑 块上进一步安装有第二滑轨， 第二滑块沿第二滑轨滑动。 这样， 将第二滑轨 固定安装于第一滑块上， 不仅保证了第一滑块和第二滑块的同步运动， 并且 结构较为紧凑， 有效地减少了机械手臂装置的空间占用量。
此外， 本发明提供的基片处理系统， 由于其包括本发明提供的上述机械 手臂装置， 因而其同样不存在死点位置， 且具有较高的工作可靠性。 附图说明
图 1为一种典型的机械手臂装置的原理图；
图 2为本发明所提供机械手臂装置第一种具体实 方式的原理图； 图 3为本发明所提供机械手臂装置第二种具体实 方式的原理图； 图 4为图 3所示机械手臂装置的立体图；
图 5为图 3所示机械手臂装置仰视方向的立体图；
图 6为图 3所示机械手臂装置仰视方向的结构示意图。 具体实施方式
本发明的核心是提供一种用于基片处理系统的 机械手臂装置， 其结构较 为简单， 且装置整体不存在死点位置， 具有较高的工作可靠性。 本发明的另 一核心是提供一种包括上述机械手臂装置的基 片处理系统。
请参考图 2, 图 2为本发明所提供机械手臂装置第一种具体实 方式的 原理图。
在第一种具体实施方式中， 本发明所提供的机械手臂装置， 包括第一双 摇杆机构和第二双摇杆机构；第一双摇杆机构 进一步包括第一摇杆 21和第二 摇杆 22,第一摇杆 21的第一端铰接于该机械手臂装置的基础部分 图未示 ), 第二摇杆 22的第二端铰接于手臂本体 3; 上述第二双摇杆机构进一步包括第 三摇杆 23和第四摇杆 24, 第三摇杆 23通过其第一端铰接于机械手臂装置的 基础部分， 第四摇杆 24的第二端铰接于手臂本体 3; 所述第二摇杆 22和所 述第四摇杆 24分别以其第一端相对应地铰接于第一摇杆 21的第二端和第三 摇杆 23的第二端； 具体为，第二摇杆 22的第一端与第一摇杆 21的第二端相 铰接； 第四摇杆 24的第一端与第三摇杆 23的第二端铰接，第一摇杆 21和第 三摇杆 23在驱动部件的作用下绕其各自的第一端旋转 ， 第二摇杆 22和第 四摇杆 24均带动与其连接的手臂本体 3沿第一滑轨 41滑动； 具体为， 第一 摇杆 21在驱动部件的作用下绕其第一端旋转时， 第二摇杆 22带动与其连接 的手臂本体 3沿第一滑轨 41滑动； 第三摇杆 23在驱动部件的作用下绕其第 一端旋转时， 第四摇杆 24带动手臂本体 3沿第一滑轨 41滑动； 且上述第二 摇杆 22与第四摇杆 24形成适当的夹角。
需要指出的是，上述适当的夹角应该理解为， 在不同的机械手臂装置中， 为通过死点位置而确定的夹角的大小不同， 本领域的技术人员能够根据实时 的工作状况合理地确定上述夹角的大小。
另外，应至少保证两双摇杆机构之一处于死点 位置时， 上述第二摇杆 22 与第四摇杆 24之间形成适当的夹角， 当然，该夹角也可以在手臂本体 3的运 动过程中始终存在。
当上述第二摇杆 22与第四摇杆 24之间形成适当的夹角时， 上述第二摇 杆 22与手臂本体 3的滑动方向形成的第一夹角《, 和第四摇杆 24与手臂本 体 3的滑动方向所形成的第二夹角 不同。
具体地， 上述第二摇杆 22的第二端可以通过第一滑块 61与手臂本体 3 连接， 以提高手臂本体 3直线运动的可靠性， 并简化手臂本体 3与第二摇杆 22之间的安装过程。 相应地， 上述第四摇杆 24的第二端可以通过第二滑块 62以及第一滑块 61和第二滑块 62之间的机构与手臂本体 3连接。
需要指出的是， 本发明所提供的机械手臂装置主要应用于基片 处理系 统， 用于基片的水平传送， 上述驱动部件可以为伺服电机； 显然地， 上述驱 动部件的作用是为机械手臂装置提供动力， 能够实现该功能的本领域中常规 使用的动力元件均可以作为本发明中的驱动部 件。 并且， 当该机械手臂装置 用于基片处理系统中时， 手臂本体 3可以为图 4至图 6所示的端部为 U形托 盘的结构， 被传送的基片支撑于该 U形托盘中； 上述手臂本体 3的结构也不 局限于本发明具体实施方式中所提供的形式， 在基片处理系统中， 其主要作 用是支撑基片， 因此， 能够实现托起基片目的的任何形式的手臂本体 3均可 以作为本发明中手臂本体 3的具体实施方式。
另外， 本发明所提供的机械手臂装置不仅可以用于基 片处理系统， 也可 以应用于其他类型的设备中， 此时， 上述驱动部件应才艮据实际工况中所需的 动力的大小来选择； 并且， 当该机械手臂装置应用于其他类型的设备中时 ， 其手臂本体 3的具体形式应根据设备所使用的场合以及所 运送的零部件的 性质确定。
在传动的过程中， 当第二摇杆 22与手臂本体 3的滑动方向形成第一夹 角 "时， 第一双摇杆机构的输出端（也即第二摇杆 22的第二端）输出的第一 水平分力与摩擦力的合力为零，第二摇杆 22处于不传力状态，第一双摇杆机 构处于死点位置； 而此时， 由于第二摇杆 22与第四摇杆 24形成适当的夹角， 则第四摇杆 24与手臂本体 3的滑动方向所形成的第二夹角 ,和上述第二摇 杆 22与手臂本体 3的滑动方向所形成的第一夹角"不同，第二双 杆机构的 输出端（也即第四摇杆 24的第二端）输出的第二水平分力与摩擦力的 力不 为零， 第二双摇杆机构此时能够传力； 反之， 当第二双摇杆机构处于不传力 的死点位置时， 上述第一双摇杆机构已摆脱前述的死点状态而 能够传力； 从 而使得包括第一双摇杆机构和第二双摇杆机构 的机械手臂装置整体不存在死 点位置， 进而提高了装置的传动可靠性。
上述第一双摇杆机构和第二双摇杆机构的具体 设置方式可以有多种形 式。 例如， 上述第一摇杆 21、 第三摇杆 23的长度可以大体相同， 也可以不 相同。 为了保证第二摇杆 22与手臂本体 3运动方向所形成的第一夹角"， 与 第四摇杆 24与手臂本体 3运动方向所形成的第二夹角 不同， 则第二摇杆 22与第四摇杆 24不应平行安装。
上述第一双摇杆机构所使用的驱动装置， 与第二双摇杆机构所使用的驱 动装置可以不同， 但是为了保证两双摇杆机构之一在处于死点位 置时， 两从 动杆（即第二摇杆 22和第四摇杆 24 )与手臂本体 3运动方向的夹角不同， 因此， 驱动装置应能保证第一摇杆 21和第二摇杆的转动速度同步。
在一种优选的实施方式中， 上述第一滑块 61与第二滑块 62通过弹性机 构连接。 当手臂本体 3沿第一滑轨 41运动时， 上述第二摇杆 22与手臂本体 3运动方向的夹角《 , 和第四摇杆 24与手臂本体 3运动方向的夹角 P均时刻 变化， 因此， 在手臂本体 3的运动过程中， 上述第一滑块 61和第二滑块 62 在手臂本体 3运动方向上的距离时刻发生变化； 当运动于前面的双摇杆机构 处于死点位置时， 弹性机构对其施加适当的推力， 以帮助其顺利通过死点位 置； 而当运动于后面的双摇杆机构处于死点位置时 ， 弹性机构对其施加适当 的拉力， 以帮助其通过死点位置。
上述弹性机构可以为直线弹簧 5 , 具体地， 上述直线弹簧 5应为至少包 括两根弹簧的弹簧系统， 当两双摇杆机构均处于正常运动状态时， 两根弹簧 中的第一弹簧处于压缩状态， 第二弹簧处于伸长状态； 当位于运动前方的双 摇杆机构处于死点位置时， 原本处于压缩状态的第一弹簧释放其压缩力， 并 对处于死点位置的双摇杆机构施加推动力， 以帮助其顺利通过死点位置； 当 位于运动后方的双摇杆机构处于死点位置时， 原本处于伸长状态的第二弹簧 释放其拉伸力， 并对处于死点位置的双摇杆机构施加拉力， 以帮助其顺利通 过死点位置。
上述直线弹簧 5也不局限于包括两根弹簧， 其可以包括两组弹簧， 在两 双摇杆机构均处于正常工作状态时， 其中一组弹簧处于压缩状态， 另一组弹 簧处于伸长状态。
上述直线弹簧 5的材料等参数应根据实际工作中的使用要求 择， 从而 通过材料等参数的选择确定较为合适的弹性系 数的数值， 弹性系数的具体数 值不应受本说明书的限制。
显然地， 上述弹性机构也不局限于直线弹簧 5 , 其主要作用为在任一双 摇杆机构处于死点位置时， 向其施加作用力， 以使机构顺利通过死点位置， 上述第三摇杆 23的第一端与第一摇杆 21的第一端可以固定连接。这样， 第一摇杆 21与第三摇杆 23通过同一驱动装置驱动， 从而节省了一个驱动部 件， 不仅简化了装置的结构， 并且降低了生产成本； 同时， 保证了第一双摇 杆机构和第二双摇杆结构的输入动力相同， 进一步保证了两组双摇杆机构在 不同的时间达到死点位置。
请参考图 3至图 6, 图 3为本发明所提供机械手臂装置第二种具体实 方式的原理图； 图 4为图 3所示机械手臂装置的立体图； 图 5为图 3所示机 械手臂装置仰视方向的立体图； 图 6为图 3所示机械手臂装置仰视方向的结 构示意图。
在第二种具体实施方式中， 上述第一摇杆 21和第三摇杆 23可以具有一 体式结构， 从而保证了第一摇杆 21和第三摇杆 23的同步运动， 使得第一滑 块 61和第二滑块 62的传动力的差别， 仅取决于第二摇杆 22与手臂本体 3 运动方向的夹角《 , 和第四摇杆 24与手臂本体 3运动方向的夹角 的不同， 从而进一步提高了机械手臂装置的传动可靠性 。
上述第一摇杆 21和第三摇杆 23具有一体式结构， 可以具体为， 上述第 一摇杆 21的第二端和第三摇杆 23的第二端通过连杆 7连接； 进一步地， 上 述第一摇杆 21、 第三摇杆 23以及连杆 7可以设置于同一块连接板上， 该连 接板可以大体呈三角形， 第一摇杆 21和第三摇杆 23沿该三角形的两个边设 置。 这样， 不仅保证了机构传动的可靠性， 并且， 以一个连接板替代第一摇 杆 21、 第三摇杆 23以及连杆 7 , 加工制造更为简单， 结构可靠性更高。
在上述具体实施方式的基础上， 还可以对本发明所提供的机械手臂装置 进行进一步的改进。
请继续参考图 3至图 6; 在第三种具体实施方式中， 上述第一滑块 61沿 第一滑轨 41滑动； 第一滑块 61进一步安装有第二滑轨 42, 第二滑块 62沿 第二滑轨 42滑动。这样， 由于第二滑轨 42通过第一滑块 61被固定安装于手 臂本体 3上，从而保证了第二滑轨 42与第一双摇杆机构的同步运动， 而使得 两摇杆机构的死点位置的出现， 仅取决于第二摇杆 22或者第四摇杆 24与手 臂本体 3运动方向的夹角， 进而保证了当第一双摇杆机构处于死点位置的 时 候， 第二双摇杆机构不会处于死点位置， 反之亦然， 从而进一步提高了机械 手臂装置的传动可靠性； 同时， 将第二滑轨 42固定安装于第一滑块 61上， 不仅保证了第一滑块 61和第二滑块 62的同步运动， 并且结构较为紧凑， 有 效地减少了机械手臂装置的空间占用量。
需要指出的是， 上述第二滑轨 42也不局限于安装于手臂本体 3上， 在 满足使用功能的条件下， 上述第二滑轨 42也可以安装于其他适当的位置。
上述第二滑轨 62也不局限于安装于手臂本体 3上， 其也可以安装于其 他能够实现使用功能的位置。
上述第一滑轨 41和第二滑轨 42大体平行设置， 以进一步提高机械手臂 装置的空间利用率和运动可靠性。
除了上述机械手臂装置， 本发明还提供一种包括上述机械手臂装置的基 片处理系统， 该基片处理系统的其他各部分结构请参考现有 技术， 在此不再 赘述。
具体地， 上述基本处理系统为等离子刻蚀机。
以上对本发明所提供的一种基片处理系统及其 机械手臂装置进行了详 上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方 法及其核心思想。 应当指出， 对于本技术领域的普通技术人员来说， 在不脱离本发明原理的前提下， 还可 以对本发明进行若干改进和修饰， 这些改进和修饰也落入本发明权利要求的 保护范围内。