以下、図1に示す搬送ロボット1のロボッ� �アーム2に連結されるロボットハンド3に本発 明を適用した実施の形態について説明する。 即ち、搬送ロボット1は、上述した従来技術� �同様、搬送室Aに設けられ、ロボットアーム2 の先端に、図2に示す如く、ギヤボックス2aを 介して第1の実施の形態のロボットハンド3が� ��り付けられている。

 このロボットハンド3は、基板Sが処理室Cで� ��温に加熱される場合があることから、耐熱� ��を有し、それに加えて、摩擦係数が大きい� ��料、例えばAl ₂ O ₃ 、Si0 ₂ やSiC等の板材で形成されている。また、ロボ ットハンド3は、ギヤボックス2aに連結される 基端部4から二股状に分岐して先方に延びる� �対のフィンガー部5を備えている。

 基端部4と両フィンガー部5の先端部とに� �、基板Sの下面外周部がその周方向3箇所で着 座可能な第1の座面6が設けられている(図3参� �)。第1の座面6の内周には、下方への段差7が� ��成されている。そして、通常は基板Sの外周 部以外の下面がロボットハンド3から浮くよ� �にしている。

 また、第1の座面6の外周には、上方への� �差8が形成されている。これにより、ロボッ� ��ハンド3の移動停止時に基板Sに慣性力が作� �しても、基板Sの外周縁が段差8に当接して、 ロボットハンド3に対する基板Sの位置ずれが� ��止される。

 ところで、第1の座面6の外周の段差8を垂� ��に形成した場合には、ロボットハンド3で基 板Sを受け取る際に、基板Sが少しでも芯ずれ� ��ていると、基板Sの下面外周部が段差8の上� �載って第1の座面6に着座しなくなる。そのた め、基板Sの芯ずれを矯正する調芯作用が得� �れるように、段差8に傾斜を付けることが望� ��れる。この場合、段差8に傾斜を単純に付け たのでは、ロボットハンド3の移動停止時に� �性力で基板Sの外周縁が段差8を一気に乗り越 えてしまう可能性がある。そのため、段差8� �階段状に複数の段8a、8b、8cを付けている。� �れによれば、基板Sの外周縁が下の段8aを乗� �越えても、その上の段8bへの当接で勢いが減 じられ、慣性力で基板Sの外周縁が段差8を乗� ��越えることを有効に防止できる。

 ここで、基板Sがフラット又は上方に凸状 に反っている場合には、上述したように段差 8により基板Sの位置ずれを防止できる。然し� ��基板Sが図3に仮想線で示す如く下方に凹状� �反った場合には、基板Sの外周縁が第1の座面 6の外周の段差8に上向きに傾斜した状態で当� ��する。そのため、ロボットハンド3を高速で 動作させた場合、ロボットハンド3の移動停� �時に慣性力で基板Sの外周縁が段差8を乗り越 えてしまう可能性がある。

 そこで、基板Sの外周部から離れたロボッ トハンド3の部分であるフィンガー部5,5の分� �箇所の内縁部の上面に、基板Sの中心に向け� ��下方に傾斜した第2の座面9を設けている。� �れにより、基板Sに凹状の反りを生じた場合� ��は、第2の座面9に基板Sの下面が着座する。� ��のため、第2の座面9による摩擦抵抗で基板S� ��位置ずれが抑制される。

 このように第1の実施の形態によれば、基 板Sに凸状、凹状何れの反りを生じても、ロ� �ットハンド3で基板Sを位置ずれしないように 安定に支持できる。そのため、搬送ロボット 1の動作速度を速くしてスループットの向上� �図ることができる。また、上記従来技術の� �うにばね部材等をロボットハンドに取り付� �る必要がないため、低コスト化を図ること� �できる。その上、ロボットハンド3の移動停� ��後に、上記従来例のようなばね部材の振動� ��減衰を待つ必要がなく、直ちに基板Sの受け 渡しを行うことができ、一層のスループット の向上を図ることができる。

 尚、第1の実施の形態では、第2の座面9を� ��ボットハンド3に一体に形成しているが、ロ ボットハンド3にゴム等の摩擦係数の大きな� �料を貼り付けて第2の座面9を形成することも 可能である。また、図4に示すように、階段� �の各段8a、8b,8cの基板Sの外周縁と接触する部 分をアール面8dとしてもよい。これによれば� ��基板Sに対する成膜処理で基板Sの外周縁に� �で膜が回り込んで成膜された場合に、基板S� ��外周縁の膜が擦れて剥がれ落ちることを防� ��できる。

 次に、図5乃至図7を参照して第2の実施の� ��態のロボットハンド30について説明する。� �ボットアーム2の先端にギヤボックス2aを介� �て取り付けられるロボットハンド30は、上記 第1の実施の形態と同様、耐熱性を有し、か� �、摩擦係数が大きい材料で形成される。そ� �て、ギヤボックス2aに連結される基端部31と� ��基端部31から二股状に分岐して先方に延び� �一対のフィンガー部32,32とを備えている。

 ロボットハンド30の上面には、基板Sの外� ��より小さな所定径の同一円周Cに沿って帯状 にのびる、上方に突出する突条33が設けられ� ��いる。そして、基板Sを円周Cと同心で突条33 に着座させるようにしている。尚、突条33は� ��円周C上の複数部分、即ち、基端部31と一対� ��フィンガー部32,32との3つの部分に分離して� ��けられている。また、本実施の形態では、� ��条33をロボットハンド30に一体成形している が、ロボットハンド30とは別体のゴム等で突� ��33を形成し、ロボットハンド30の上面に突条 33を取り付けてもよい。但し、耐熱性を考慮� ��ると、本実施の形態のようにロボットハン� ��30に突条33を一体成形することが望ましい。

 ところで、基板Sに対する成膜処理で、図 6に示す如く、基板Sの下面外周部にまで膜Sa� �回り込んで成膜されることもある。そのた� �、基板Sの下面外周部が突条33に着座すると� �基板Sの下面外周部の膜Saが擦られて剥落す� �可能性がある。そして、突条33の上面と基板 Sとの間に剥落した膜が存在すると、この膜� �コロの役目をして、摩擦力が極端に低下し� �しまい、基板Sの位置ずれを生じやすくなる� ��

 そこで、本実施の形態では、前記円周Cの 径を、基板Sに対する成膜処理で膜Saが回り込 んで成膜される可能性がある基板Sの下面外� �部よりも径方向内方の基板Sの下面部分が突� ��33に着座するように設定している。これに� �れば、基板Sの下面外周部の膜Saが突条33に擦 られて剥落することがなく、上記の不具合を 防止できる。

 また、本実施の形態では、突条33の上面� �、図6に示す如く径方向外方及び径方向内方� ��向けて下り勾配の付いた曲面33aに形成され� ��いる。これによれば、基板Sが図6に実線で� �す如く上方に凸状に反っている場合は、基� �Sの下面が突条33の上面の径方向外側の曲面33 aに線接触する。一方、基板Sが図5(b)に仮想線 で示す如く下方に凹状に反っている場合は、 基板Sの下面が突条33の上面の径方向内側の曲 面33aに線接触する。従って、基板Sに凸状、� �状の何れの反りを生じても、基板Sを位置ず� ��しないように安定に支持できる。尚、フラ� ��トな基板Sも自重で下方に凹状に撓み、基板 Sの下面が突条33の上面の径方向内側の曲面33a に線接触して、安定に支持される。

 ところで、ロボットハンド30に突条33を一 体成形する場合には、突条33の上面の径方向� ��側の曲面33aと径方向内側の曲面33aとを夫々� ��方向外方と径方向内方とから研磨加工する� ��とが必要になる。この際、突条33の上面の� �方向中間に平坦面が残るか、径方向外側の� �面33aと径方向内側の曲面33aとが突条33の上面 の径方向中間で交わって稜線が形成されてし まうことがある。このような稜線が形成され ると、基板Sの下面に傷が付き易くなる。そ� �で、本実施の形態では、突条33の上面の径方 向中間に若干の平坦面33bが残るように、曲面 33aの研磨加工を行うこととした。これによれ ば、稜線が形成されることはなく、傷付きを 防止できる。

 また、本実施の形態では、基端部31と一� �のフィンガー部32,32とに分離して設けた各突 条33の端面を図7に示す如く傾斜面33cに形成し ている。ここで、ロボットハンド30が図7に仮 想線で示す如く反っていたりすると、各突条 33の端面と上面との成すエッジが基板Sの下面 に点接触し、基板Sの下面に傷が付く可能性� �ある。然し、各突条33の端面を傾斜面33cに形 成すれば、各突条33の端面と上面との成すエ� ��ジの角度が鈍角になり、基板Sに下面に傷が 付き難くなる。尚、傾斜面33cは曲面状に形成 してもよい。

 また、第2の実施の形態では、ロボットハ ンド30に第1の実施の形態の段差8を設けてい� �いが、このような段差をロボットハンド30に 設けてもよい。