以下に、本発明をその実施の形態を示す� ��面に基づいて詳細に説明する。図2は、本発 明の実施の形態に係る薄膜太陽電池のスクラ イブ装置の構成を示す模式図である。図2に� �すように、本実施の形態に係る薄膜太陽電� �のスクライブ装置は、略水平方向(Y方向)に� �動することができ、しかも90度及び角度θ回� ��することが可能なテーブル18を備えている� �

 テーブル18を挟んで設けてある両側の支� �柱20、20と、X方向に延在するガイドバー21と� ��構成されるブリッジ19は、テーブル18上をま たぐように設けてある。ホルダ支持体23は、� ��イドバー21に形成したガイド22に沿って移動 することができ、モータ24の回転によりX方向 に移動する。

 ホルダ支持体23には、スクライブヘッド7� ��設けてあり、スクライブヘッド7の下部には 、テーブル18上に載置される太陽電池基板Wの 薄膜表面をスクライブ加工する刃先8を保持� �るホルダ9が設けてある。

 また、X方向及びY方向に移動することが� �能な台座12、13上に、カメラ10、11が載置され ている。台座12、13はX方向に延在する支持台1 4に設けてあるガイド15に沿って移動する。カ メラ10、11は、手動操作で上下動することが� �き、撮像の焦点を調整することができる。� �メラ10、11で撮像された画像はモニタ16、17に 表示される。

 テーブル18の上に載置された太陽電池基� �W表面には、位置を特定するためのアライメ� ��トマークが記載されており、カメラ10、11に よりアライメントマークを撮像することによ り、太陽電池基板Wの位置を調整する。具体� �には、テーブル18の上に載置された太陽電池 基板W表面のアライメントマークを、カメラ10 、11により撮像し、アライメントマークの位� ��を特定する。特定されたアライメントマー� ��の位置に基づいて、太陽電池基板Wの載置時 の方向ずれを検出し、テーブル18を所定角度� �回転させることで修正する。

 そして、テーブル18をY方向に所定ピッチ� ��移動させる都度、スクライブヘッド7を下降 させて刃先8を太陽電池基板W表面に押し付け� ��状態でX方向へ移動させることで、太陽電池 基板Wの表面をX方向にスクライブ加工する。� ��陽電池基板Wの表面をY方向にスクライブ加� �する場合には、テーブル18を90度回転させた� ��態で、同様の動作を行うことで対応する。

 スクライブヘッド7の先端部分には、太陽 電池基板Wの表面の薄膜を剥離するための刃� �8が設けてある。図3は、従来の薄膜太陽電池 のスクライブ装置の刃先の構成を示す斜視図 である。

 図3に示すように、刃先8’は、円筒形状� �有しており、先端部分で所定のテーパーを� �して先細り形状となっている。また先端部� �では太陽電池基板Wの薄膜を剥離させる表面� ��を確保するべく円筒形状の中心線に略直行� ��る方向に切断され、先端部分が円錐台形状� ��なっている。すなわち、円筒形状部分では� ��面形状が半径r1の円形であるのに対して、� �錐台形状部分の先端では断面形状が半径r1よ り小さい半径r2の円形となっている。斯かる� ��状の刃先8’を太陽電池基板Wの表面の薄膜� �押し付けながら、スクライブ予定ラインに� �ってスクライブヘッド7をY方向へ相対的に移 動させることでスクライブ加工する。

 図4は、従来の刃先8’を用いた場合のス� �ライブラインの形成状態を示す模式図であ� �。図4に示すように従来の刃先8’を用いた場 合、破線で示すスクライブ予定ライン41を維� ��することはできているものの、余分に剥離� ��れている部分が散在する状態となっていた� ��

 そこで本実施の形態では、刃先8の形状を シリンドリカル形状に変更した。図5は、本� �施の形態に係る薄膜太陽電池のスクライブ� �置の刃先8の構成を示す斜視図である。

 図5に示すように、本実施の形態に係るス クライブ装置の刃先8は、先端部分がいわゆ� �シリンドリカル形状を有している。すなわ� �刃先8のX方向に直交する面での断面形状は、 先端部分にて半径Rの半円形状をしており、� �先8を太陽電池基板Wの表面の薄膜に押し付け ながら、スクライブヘッド7をX方向へ相対的� ��移動させることでスクライブ加工する。

 図6は、本実施の形態に係る刃先8を用い� �場合のスクライブラインの形成状態を示す� �式図である。図6に示すように従来の刃先8’ を用いた場合に比べて、破線で示すスクライ ブ予定ライン41をより正確にトレースするこ� ��ができており、余分に剥離されている部分� ��格段に減少する。これは、刃先8がシリンド リカル形状を有していることから、刃先8を� �陽電池基板Wに押し付けて相対的に移動させ� ��場合、表面の薄膜に対する押圧力は、刃先� ��央から刃先外側へ向かうにつれて次第に小� ��くなることから、薄膜が剥離する境界にて� ��圧力が滑らかに変化するためである。した� ��って、境界部分にて意図しない大きな剥離� ��生じることがなく、所望のスクライブ予定� ��インに沿って薄膜を剥離させることができ� ��。

 また、スクライブ予定ラインの線幅も容� ��に調整することができる。すなわち、刃先8 がシリンドリカル形状を有していることから 、刃先8のX方向に直交する面での断面形状で� ��る半円形状の半径Rを増減すること、及び刃 先8の押圧力の増減により、所望の線幅でス� �ライブラインを形成することができる。

 スクライブヘッド7の刃先8の材質は、ダ� �ヤモンド(単結晶ダイヤモンド、焼結ダイヤ� ��ンド(PCD)等)でも良いし、超硬合金であって� ��良い。超硬合金にて刃先8を形成した場合、 ダイヤモンドにて形成した場合に比べて低い 押圧力にて同等の剥離を生じさせることがで き、スクライブ加工する線幅を幅広く調整す ることが可能となる。

 なお、上述した実施の形態では、スクラ� ��ブヘッド7をX方向に移動させることでスク� �イブ加工を実行しているが、スクライブヘ� �ド7と太陽電池基板Wとが相対的に移動するこ とができれば足りることから、太陽電池基板 Wが固定された状態でスクライブヘッド7をX方 向及びY方向に移動させても良いし、スクラ� �ブヘッド7を移動させること無く、太陽電池� ��板WのみをX方向及びY方向に移動させても良� ��。いずれの場合であっても、シリンドリカ� ��形状の刃先8の先端部分が太陽電池基板Wに� �触する線の方向に刃先8を相対的に移動させ� ��よう刃先8の取り付け方向を変更すれば良い 。

 また、本発明の趣旨の範囲内であれば多種� ��変形、置換等が可能であることは言うまで� ��ない。