以下、本発明の実施形態について図面を� ��照しながら説明する。

 (実施形態1)
 図1~図10は本発明の実施形態1に係る基板分� �システムを説明する図であり、図1は、本実� ��形態1の基板分断システムにおける脆性材料 基板の加工ラインを示し、図2は、該脆性材� �基板である液晶パネルのマザー基板Ms(図(a))� ��該マザー基板から得られる短冊基板Ts(図(b)) 、および該短冊基板から得られる液晶パネル 基板Ps(図(c))を示している。また、図3は、上� ��加工ラインに設置されるスクライブ装置を� ��す平面図であり、図4は、図3に示すスクラ� �ブ装置のIV-IV線断面の構造を示す。さらに、 図5(a)は、図3に示すスクライブ装置を図3のV-V 線で示す矢印の方向に見た図、図5(b)は、該� �クライブ装置の可動スクライブ部を示す図� �ある。

 この実施形態1の基板分断システム200は、 2枚の脆性材料基板を貼り合せた貼合せ基板� �分断して、液晶パネルなどに用いるパネル� �板(液晶パネル基板)Psを作成する加工ライン� ��含むものである。

 なお、2枚の脆性材料基板を貼り合せた貼 合せ基板は、液晶パネル、プラズマディスプ レイパネル、有機ELディスプレイパネル等の� ��ラットディスプレイパネルを形成するため� ��、ガラス基板を互いに貼り合せた貼合せ基� ��を含み、さらに、シリコン基板、サファイ� ��基板等にガラス基板を貼り合せた、半導体� ��置の貼合せ基板を含むものであるが、ここ� ��は、液晶パネルのマザー基板を例に挙げて� ��明する。

 この加工ライン(基板分断システム)200は� �液晶パネルのマザー基板Msをこの加工ライン 200上に供給するマザー基板ローダ部200aと、� �ザー基板ローダ部200aから供給されたマザー� ��板Msを分断して短冊基板Tsを作成するマザー 基板分断部200bと、該マザー基板分断部200bで� ��断された短冊基板Tsを90度回転させて下流側 の加工部に搬送する短冊基板回転搬送部200c� �を有している。また、この加工ライン200は� �短冊基板回転搬送部200cから搬送されてきた� ��冊基板Tsを分断して液晶パネル基板Psを作成 する短冊基板分断部200dと、短冊基板分断部20 0dで作成された液晶パネル基板Psを回転させ� �その下流側のパネル基板検査部200fに搬送す� ��パネル基板回転搬送部200eとを有している。 このパネル基板検査部200fは、この加工ライ� �200での加工により作成されたパネル基板の� �法精度などを検査する部分である。

 ここで、図2(a)に示すマザー基板Msは、横� ��向(図2(a)の紙面左右方向)の寸法、つまり加� ��ライン200での搬送方向と平行な方向の寸法� ��2500mmであり、縦方向(図2(a)の紙面上下方向)� ��寸法、つまり加工ライン200の幅方向の寸法� ��2200mmである長方形形状を有し、スクライブ� ��インLm1~Lm6に沿って分断され、3つの短冊基� �Tsとして切り出されるものである。また、図 2(b)に示す短冊基板Tsは、スクライブラインLt1 ~Lt8に沿って分断され、4つのパネル基板Ps(図2 (c)参照)として切り出されるものである。

 また、上記短冊基板回転搬送部200cは、前 記短冊基板を吸着して搬送するものである。 ただし、これは、前記短冊基板をその一端を 把持しながら搬送するものでもよい。

 以下、本実施形態1の加工ラインを構成す る各部の構成について詳しく説明する。

 上記マザー基板ローダ部200aは、図14に示� ��従来の加工ライン100におけるローダ12、給� �ロボット13、およびコンベア14に相当する機� ��を含むものであり、所定の格納場所に格納� ��れているマザー基板Msを上記マザー基板分� �部200bまで搬送するものである。上記マザー� ��板分断部200bは、図14に示す従来の加工ライ� ��100における分断装置1と同様、マザー基板の 表面側基板と裏面側基板とを同時にスクライ ブするスクライブ機構(図15および図16のスク� ��イブ機構4)を有している。さらに、上記短� �基板回転搬送部200cは、図11に示す従来の加� �ライン100における捕捉機構31、コンベア15お� ��び回転テーブル16に相当する機構を含むも� �であり、マザー基板分断部200bによりマザー� ��板Msから切り出された短冊基板Tsを、マザー 基板分断部200bから短冊基板分断部200dまで搬� ��するものである。

 そして、本実施形態1の短冊基板分断部200 dは、図14~図18で説明した従来の加工ライン100 における分断装置1Aの、脆性材料基板の表面� ��よび裏面の同時スクライブを1箇所ずつ行う スクライブ機構4とは異なるスクライブ機構� �有するスクライブ装置1000を備えており、こ� ��スクライブ装置1000は、短冊基板回転搬送部 200c側(ライン上流側)に配置された固定スクラ イブ機構部300と、パネル基板回転搬送部200e� �(ライン下流側)に配置された可動スクライブ 機構部400とを有し、短冊基板Tsに対する表面� ��および裏面側からのスクライブを、2箇所同 時に実行可能に構成されている。

 まず、固定スクライブ機構部300について� ��明する。

 固定スクライブ機構部300は、このスクラ� ��ブ装置1000の設置面Rに固定された固定基台30 1と、該固定基台301上に、上記短冊基板の短� �の寸法に応じた一定の間隔を空けて対向す� �よう取り付けられた一対の部品取付固定ブ� �ック310aおよび310bと、該各ブロック310aおよ� �310b上に固定された対向する一対の縦支柱311a および311bとを有している。また、この対向� �る縦支柱311aおよび311bの間には、固定ガイド 支柱320aおよび320bが上下に平行に位置するよ� ��取り付けられている。これらのガイド支柱3 20aおよび320bのライン下流側の側面にはガイ� �溝321が形成されており、該上側ガイド支柱32 0aおよび下側ガイド支柱320bのガイド溝321には 、該ガイド溝に沿って該両縦支柱の間で横方 向(つまり、加工ラインを横切る方向)にスラ� ��ドする上側横スライド部材322aおよび下側横 スライド部材322bが嵌め込まれている。なお� �上側横スライド部材322aおよび下側横スライ� ��部材322bを駆動する機構は、図示していない が、ガイド支柱320aおよび320bに組み込まれた� ��ニアモータなどにより構成されている。

 また、この上側横スライド部材322aには、 該横スライド部材322aに対して縦方向(鉛直方� ��)にスライド可能となるよう上側縦スライド 部材323aが取り付けられており、この縦スラ� �ド部材323aの下端部には、スクライブヘッド3 31が固定されている。このスクライブヘッド3 31の下面には、チップホルダ332が取り付けら� ��、さらに、該チップホルダ332の先端には、� ��冊基板Tsのスクライブラインに沿ってスク� �イブを行うカッターホイールチップ333が刃� �が下を向くように保持されている。同様に� �上記下側横スライド部材322bには、該横スラ� ��ド部材322bに対して縦方向(鉛直方向)にスラ� ��ド可能となるよう下側縦スライド部材323bが 取り付けられており、この縦スライド部材323 bの上端部には、スクライブヘッド331が固定� �れている。このスクライブヘッド331の上面� �は、チップホルダ332が取り付けられ、さら� �、該チップホルダ332の先端には、カッター� �イールチップ333が刃先が上を向くように保� �されている。なお、上側縦スライド部材323a� ��よび下側縦スライド部材323bを駆動する機構 は、図示していないが、上側横スライド部材 322aおよび下側横スライド部材322bに取り付け� ��れた、モータやソレノイドコイルを利用し� ��電動アクチュエータ、あるいは空気圧や油� ��を利用したアクチュエータなどにより構成� ��れている。

 また、上記部品取付固定ブロック310aおよ び310bには、該縦支柱311aおよび311bの下流側に 位置するよう補助支柱341aおよび341bが取付ら� ��ており、これらの補助支柱341aおよび341bに� �り固定支持テーブル342が取り付けられてい� �。この支持テーブル342は、その表面に形成� �れ、空気の噴出あるいは吸入を行うための� �口を有し、ラインの上流側から送られてく� �短冊基板の加工時には、該短冊基板を吸着� �定し、また短冊基板の移送時には該短冊基� �を空気流により若干浮上させる構造となっ� �いる。また、この支持テーブル342の上流側� �は、該支持テーブル342に対向するよう分割� �持テーブル343が複数配置されている。なお� �これらの分割支持テーブル343は、固定基台30 1上に設けられた支持部材(図示せず)により該 固定基台301上に固定されており、上記固定支 持テーブル342と同様、その表面に形成され、 空気の噴出あるいは吸入を行うための開口(� �示せず)を有し、ラインの上流側から送られ� ��くる短冊基板の加工時には、該短冊基板を� ��着固定し、また短冊基板の移送時には該短� ��基板を空気流により若干浮上させる構造と� ��っている。

 また、各分割支持テーブル343の上流側に� ��、ローラ344aが取り付けられたフレーム部材 344が短冊基板Tsの移送方向に沿って設けられ� ��いる。このローラ344aは、移送される短冊基 板の下面と当接して該短冊基板Tsを支持する� ��のである。

 ここで、上記固定スクライブ機構部300に� ��ける固定スクライブ機構は、部材310a、310b� �311a、311b、320a、320b、322a、322b、323a、323b、331 、332、333により構成されている。

 次に、可動スクライブ機構部400について� ��明する。

 この可動スクライブ機構部400は、このス� ��ライブ装置1000の設置面Rに固定された固定� �台401と、該固定基台401上に、上記短冊基板Ts の幅方向の寸法に応じた一定の間隔を空けて 対向するよう取り付けられた一対のレール部 材402aおよび402bと、該レール部材402aおよび402 b上に該レール部材に沿って移動可能となる� �う取り付けられた一対の部品取付可動ブロ� �ク410aおよび410bと、該各ブロック410aおよび41 0b上に固定された対向する一対の縦可動支柱4 11aおよび411bとを有している。

 ここで、上記レール部材402aの両端側には 、該レール部材402a上にこれに平行に配置さ� �たシャフト部材414aを回転可能に支持する軸� ��部材412aおよび413aが配置されており、下流� �の軸受部材412aには該シャフト部材414aを回転 させるモータ415aが取り付けられている。ま� �、このシャフト部材414aはその表面にねじ山� ��形成したものであり、部品取付可動ブロッ� ��410aを貫通して配置されている。また、この シャフト414aは、その回転により、上記部品� �付可動ブロック411aが上記レール部材402a上を 移動するよう、該可動ブロック410aの内部に� �り付けられたナット部材(図示せず)と螺合し ている。また、上記レール部材402bの両端側� �は、該レール部材402b上にこれに平行に配置� ��れたシャフト部材414bを回転可能に支持する 軸受部材412bおよび413bが配置されており、下� ��側の軸受部材412bには該シャフト部材414bを� �転させるモータ415bが取り付けられている。� ��た、このシャフト部材414bはその表面にねじ 山を形成したものであり、部品取付可動ブロ ック411bを貫通して配置されている。また、� �のシャフト414bは、その回転により、上記部� ��取付可動ブロック411bが上記レール部材402b� �を移動するよう、該可動ブロック411bの内部� ��取り付けられたナット部材(図示せず)と螺� �している。

 また、この対向する縦可動支柱411aおよび 411b間には、可動ガイド支柱420aおよび420bが上 下に平行に位置するよう取り付けられている 。これらのガイド支柱420aおよび420bのライン� ��流側の側面にはガイド溝421が形成されてお� ��、該上側可動ガイド支柱420aおよび下側可動 ガイド支柱420bのガイド溝421には、該ガイド� �に沿って該両縦可動支柱の間で横方向(つま� ��、加工ラインを横切る方向)にスライドする 上側横スライド部材422aおよび下側横スライ� �部材422bが嵌め込まれている。なお、上側横� ��ライド部材422aおよび下側横スライド部材422 bを駆動する機構は、図示していないが、ガ� �ド支柱420aおよび420bに組み込まれたリニアモ ータなどにより構成されている。

 また、この上側横スライド部材422aには、 該横スライド部材422aに対して縦方向(鉛直方� ��)にスライド可能となるよう上側縦スライド 部材423aが取り付けられており、この縦スラ� �ド部材423aの下端部には、スクライブヘッド4 31が固定されている。このスクライブヘッド4 31の下面には、チップホルダ432が取り付けら� ��、さらに、該チップホルダ432の先端には、� ��ッターホイールチップ433が刃先が下を向く� ��うに保持されている。同様に、上記下側横� ��ライド部材422bには、該横スライド部材422b� �対して縦方向(鉛直方向)にスライド可能とな るよう下側縦スライド部材423bが取り付けら� �ており、この縦スライド部材423bの上端部に� ��、スクライブヘッド431が固定されている。� ��のスクライブヘッド431の上面には、チップ� ��ルダ432が取り付けられ、さらに、該チップ� ��ルダ432の先端には、カッターホイールチッ� ��433が刃先が上を向くように保持されている� ��なお、上側縦スライド部材423aおよび下側縦 スライド部材423bを駆動する機構は、図示し� �いないが、上側横スライド部材422aおよび下� ��横スライド部材422bに取り付けられた、モー タやソレノイドコイルを利用した電動アクチ ュエータ、あるいは空気圧や油圧を利用した アクチュエータなどにより構成されている。

 また、上記部品取付可動ブロック410aおよ び410bには、該縦支柱411aおよび411bの上流側に 位置するよう、これらのブロック410a及び410b� ��跨るよう横支柱441が取付られており、この� ��支柱441の中央部分には一対の縦支持支柱451a および451bが対向するよう取り付けられ、こ� �一対の縦支持支柱には可動支持テーブル442� �、上記部品取付可動ブロックとともに移動� �るよう取り付けられている。この可動支持� �ーブル442は、その表面に形成され、空気の� �出あるいは吸入を行うための開口を有し、� �インの上流側から送られてくる短冊基板の� �工時には、該短冊基板を吸着固定し、また� �冊基板の移送時には該短冊基板を空気流に� �り若干浮上させる構造となっている。また� �この可動支持テーブル442の下流側には、該� �動支持テーブル442の側縁に沿って移動する� �上下の横スライド部材422a及び422bに取り付け られたスクライブヘッド431が位置している。

 ここで、上記可動スクライブ機構部400に� ��ける可動スクライブ機構は、部材410a、410b� �411a、411b、420a、420b、422a、422b、423a、423b、431 、432、433により構成されている。

 また、上記レール部材402aおよび402bの内� �には、上側可動ガイド支柱420aおよび下側可� ��ガイド支柱420bのほぼ中間の高さ位置に位置 するように一対のガイド部材460aおよび460bが� ��レール部材402aおよび402bと平行に設けられ� �おり、該ガイド部材460aおよび460bはそれぞれ ガイド部材支持フレーム461aおよび461bに取り� ��けられている。これらのガイド部材支持フ� ��ーム461aおよび461bの下流側端は、固定基台40 1に取り付けられた縦固定支柱462aおよび462bに より支持されており、上記ガイド部材支持フ レーム461aおよび461bの上流側端は、固定基台4 01に取り付けられた縦固定支柱463aおよび463b� �より支持されている。

 そして、上記ガイド部材支持フレーム461a および461bの上流側端面には、ブラケット464a� ��よび464bによりスプロケット465aおよび465bが� ��転可能に取り付けられている。また、上記� ��プロケット465aおよび465bに対向するよう、� �記固定基台401の上流側端面には、ブラケッ� �466aおよび466bによりスプロケット467aおよび46 7bが回転可能に取り付けられている。

 これらの上下に対向する一対のスプロケ� ��ト465aおよび467aには1つのチェーン470aが掛け られており、該チェーン470aの一端は、固定� �台401内に設けられた油圧あるいは空気圧シ� �ンダ480aのシリンダロッド481aに連結されてい る。また、上下に対向する一対のスプロケッ ト465bおよび467bには、他の1つのチェーン470b� �掛けられており、該チェーン470bの一端は、� ��記チェーン470aと同様、固定基台401内に設け られた油圧あるいは空気圧シリンダ480b(図5参 照)のシリンダロッド481bに連結されている。

 そして、一対のチェーン470aおよび470bに� �、これらに跨るよう一定間隔でローラ支持� �ー491が取り付けられており、各ローラ支持� �ー491には、ブラケット494によりローラ493が� �転可能に取り付けられている。

 ここで、上記複数のローラ支持バー491の� ��ちの、上記横支柱441の最も近くに位置する� ��持バー491は、上記横支柱441上に取り付けら� ��た一対の縦補助支柱451aおよび451bの上端部� �一対の連結片483aおよび483bにより連結されて おり、また、この横支柱441の最も近くに位置 する支持バー491の両端には、上記一対のチェ ーン470aおよび470bの他端が固定されている。

 そして、上記一対のチェーン470aおよび470 bの一端は、これに接続されたシリンダロッ� �481aおよび481bにより、チェーンを引っ張る方 向に付勢されており、常に、チェーン467aお� �び467bに一定の張力が印加されるようになっ� ��いる。

 また、上記ガイド部材460aおよび460bの上� �上に位置するローラ支持バー491に取り付け� �れているローラ493は、このスクライブ装置10 00の上流側から送られてくる短冊基板Tsの下� �に当接して、該短冊基板Tsを支持する支持面 (支持領域)を形成するものとなっている。

 次に、動作について説明する。

 この加工ライン(基板分断システム)200で� �、マザー基板ローダ部200aにより、液晶パネ� ��のマザー基板Msがこの加工ライン200上に供� �されると、マザー基板ローダ部200aから供給� ��れたマザー基板Msは、マザー基板分断部200b� ��分断されて短冊基板Tsが作成される。ここ� �は、図2(a)に示すマザー基板Msは、スクライ� �ラインLm1~Lm6に沿って分断され、3つの短冊基 板Tsとして切り出される。

 このマザー基板分断部200bで分断された短 冊基板Tsは、短冊基板回転搬送部200cにより90� ��回転させられて下流側の短冊基板分断部200d に搬送される。この加工ライン200では、短冊 基板回転搬送部200cから搬送されてきた短冊� �板Tsは、短冊基板分断部200dにより分断され� �液晶パネル基板Psが作成される。ここでは、 図2(b)に示す短冊基板Tsは、スクライブライン Lt1~Lt8に沿って分断され、4つの液晶パネル基� ��Ps(図2(c)参照)として切り出される。

 この短冊基板分断部200dで作成された液晶 パネル基板Psは、パネル回転搬送部200eにより 回転させられてその下流側のパネル基板検査 部200fに搬送される。このパネル基板検査部20 0fでは、この加工ライン200で作成されたパネ� ��基板Psの寸法精度などが検査される。

 以下、本実施形態1の加工ラインを構成す る各部の動作について詳しく説明する。

 上記マザー基板ローダ部200aは、図14に示� ��従来の加工ライン100におけるローダ12、給� �ロボット13、およびコンベア14に相当する機� ��を含むものであり、このマザー基板ローダ� ��200aでは、所定の格納場所に格納されている マザー基板Msが上記マザー基板分断部200bまで 搬送される。

 上記マザー基板分断部200bでは、図14に示� ��従来の加工ライン100における分断装置1と同 様にして、マザー基板の表面側基板と裏面側 基板とに同時にスクライブラインが形成され る。

 さらに、上記短冊基板回転搬送部200cは、 図14に示す従来の加工ライン100における捕捉� ��構31、コンベア15および回転テーブル16に相� ��する機構を含むものであり、マザー基板分� ��部200bによりマザー基板Msから切り出された� ��冊基板Tsが、マザー基板分断部200bから短冊� ��板分断部200dまで搬送される。

 そして、本実施形態1の短冊基板分断部200 dは、図14~図18で説明した従来の加工ライン100 における分断装置1Aの、脆性材料基板の表面� ��よび裏面の同時スクライブを1箇所ずつ行う スクライブ機構4とは異なるスクライブ機構� �有するスクライブ装置1000を備えており、こ� ��スクライブ装置1000では、固定スクライブ機 構と可動スクライブ機構とにより、短冊基板 Tsに対する表面側および裏面側からのスクラ� ��ブが、2箇所同時に実行される。

 まず、図3、図4、図6および図7を用いて、 固定スクライブ機構と可動スクライブ機構と の間の距離を調整する動作について説明する 。

 この距離の調整は、スクライブする短冊� ��板から切り出す液晶パネル基板Psの寸法に� �じて行われ、具体的には、液晶パネル基板Ps のサイズ、つまりスクライブラインLt1とLt2と の間の間隔に基づいて行われる。なお、スク ライブラインLt3とLt4との間隔、スクライブラ インLt5とLt6との間隔、スクライブラインLt7と Lt8との間隔が、スクライブラインLt1とLt2との 間の間隔と等しいことは言うまでもない。

 例えば、図6および図7では、固定スクラ� �ブ機構300のスクライブヘッド331と、可動ス� �ライブ機構400のスクライブヘッド431との間� �を広げるために、可動ブロック410aおよび410b を、図3及び図4に示す位置から紙面右側に移� ��した状態を示している。この可動ブロック4 10aおよび410bの移動は、モータ415aおよび415bに より回転シャフト414aおよび414bを回転させる� ��とにより行われる。

 このとき、可動ブロック410aおよび410bの� �動により、可動ブロックの部材441を介して� �結されているローラ支持バー491が右方向に� �動することとなり、これにより、チェーン� �材470aおよび470bが紙面右側に引っ張られるこ ととなる。この結果、固定スクライブ機構の スクライブヘッド331と可動スクライブ機構の スクライブヘッド431との間には、さらに、ロ ーラ支持バー491が出現することとなり、これ により、固定スクライブ機構のスクライブヘ ッド331と可動スクライブ機構のスクライブヘ ッド431との間には、短冊基板Tsから作成すべ� ��液晶パネル基板Psのサイズに応じた、短冊� �板を支持するのに必要な基板支持領域が形� �される。

 このようにして、固定スクライブ機構の� ��クライブヘッド331と可動スクライブ機構の� ��クライブヘッド431との間の距離を調整した� ��、短冊基板Tsのスクライブが行われる。

 図8、図9および図10はこのスクライブ動作 を説明する図であり、これらの図では、特に 、可動スクライブ機構でのスクライブヘッド 431の動きを示しているが、固定スクライブ機 構でのスクライブヘッド331の動きも全く同様 である。

 まず、可動スクライブ機構では、上下の� ��スライド部材423aおよび423bが、矢印で示す� �うに、それぞれのスクライブヘッド431のカ� �ターチップが短冊基板Tsの表面および裏面に 当接可能な位置まで縦方向に移動する(図9(a)� ��よび(b))。このとき、固定スクライブ機構で は、上下の縦スライド部材323aおよび323bが、� ��8に示すように、それぞれのスクライブヘッ ド331のカッターチップが短冊基板Tsの表面お� ��び裏面に当接可能な位置まで縦方向に移動� ��る。

 その後、可動スクライブ機構における上� ��の縦スライド部材423aおよび423bが、矢印で� �すように、短冊基板Tsの幅方向に同時に移動 する(図8、図10(a)および(b))。このとき、固定� ��クライブ機構における上下の縦スライド部� ��323aおよび323bも、可動スクライブ機構の縦� �ライド部材423aおよび423bと同様に、短冊基板 Tsの幅方向に同時に移動する。これにより、� ��えば、短冊基板Tsの、図2(b)のLt1およびLt2で� ��す位置で、表面および裏面側のスクライブ� ��インが同時に形成されることとなる。

 その後、短冊基板分断部200dでは、上記ス クライブ装置1000によりスクライブラインが� �成された短冊基板Tsが、その後段の分断装置 (図示せず)により分断されて、液晶パネル基� ��Psが形成される。この液晶パネル基板Psは、 パネル基板回転搬送部200eによりパネル基板� �査部200fに搬送される。

 このように本実施形態1では、短冊基板分 断部200dを構成するスクライブ装置1000におい� ��、基台上に固定して設けられ、液晶パネル� ��マザー基板Msなどの脆性基板を貼り合せて� �る貼合せ基板の表面及び裏面に同時に第1の� ��クライブラインを形成する固定スクライブ� ��構と、該基台上に移動可能に設けられ、該� ��合せ基板の表面及び裏面に同時に、該第1の スクライブラインと平行な第2のスクライブ� �インを形成する可動スクライブ機構とを備� �、該固定スクライブ機構及び可動スクライ� �機構を、該第1及び第2のスクライブラインが 同時に形成され、かつ該第1及び第2のスクラ� ��ブラインの間隔が、該両機構の離間距離に� ��り調整されるよう構成したので、脆性基板� ��貼り合せてなる貼合せ基板の表面および裏� ��に、それぞれ2箇所同時にスクライブライン を形成することができ、これにより、液晶パ ネルのマザー基板などの貼合せ基板から所定 数の液晶パネル基板Psを切り出すのに要する� ��工時間を短縮することができる。

 また、この実施形態1では、上記スクライ ブ装置1000において、固定スクライブ機構に� �る第1のスクライブラインの形成位置と、可� ��スクライブ機構による第2のスクライブライ ンの形成位置との間に、該第1及び第2のスク� ��イブラインの離間距離に応じた範囲で、前� ��貼合せ基板(短冊基板Ts)を支持する支持領域 を形成する、部材470a、470b、491、493などから� ��る支持領域形成機構を有するので、第2のス クライブ機構を移動させた場合でも、常に、 短冊基板を支持する領域を適切に形成するこ とができる。

 また、この実施形態1では、上記スクライ ブ装置1000において、固定スクライブ機構と� �動スクライブ機構との間に設けられ、貼合� �基板を支持する支持台としての固定支持テ� �ブル342及び可動支持テーブル442を有し、該� �れらの支持テーブルを、吸入空気流あるい� �噴出空気流が発生するよう形成された複数� �開口を有し、該貼合せ基板の移送時には、� �噴出空気流により該支持テーブル上で該貼� �せ基板を持ち上げるように支持し、該貼合� �基板のスクライブ時には、該支持テーブル� �該貼合せ基板を吸着固定する構成としたの� �、スクライブ時には短冊基板を位置ずれし� �いように固定し、短冊基板の搬送時には、� �の搬送を容易にすることができる。

 具体的には、上記固定スクライブ機構に� ��るスクライブ領域の下流側には、該スクラ� ��ブ領域に近接して、前記貼合せ基板を支持� ��る固定支持テーブル342を設け、また該スク� ��イブ領域の上流側には分割支持テーブル343� ��設け、該固定支持テーブル342および分割支� ��テーブル343を、吸入空気流あるいは噴出空� ��流が発生するよう形成された複数の開口を� ��し、該貼合せ基板の移送時には、該噴出空� ��流により該支持テーブル上で該貼合せ基板� ��持ち上げるように支持し、該貼合せ基板の� ��クライブ時には、該支持テーブルに該貼合� ��基板を吸着固定する構造としているので、� ��定スクライブ機構によるスクライブを、短� ��基板をそのスクライブ領域近傍でしっかり� ��定して行うことができる。また、可動スク� ��イブ機構によるスクライブ領域の下流側に� ��、該スクライブ領域に近接して、貼合せ基� ��を支持する可動支持テーブル442を設け、該� ��動支持テーブル442を、吸入空気流あるいは� ��出空気流が発生するよう形成された複数の� ��口を有し、該貼合せ基板の移送時には、該� ��出空気流により該支持台上で該貼合せ基板� ��持ち上げるように支持し、該貼合せ基板の� ��クライブ時には、該可動支持台に該貼合せ� ��板を吸着固定する構造としているので、可� ��スクライブ機構によるスクライブを、その� ��クライブ領域近傍で貼合せ基板をしっかり� ��定して行うことができる。

 なお、本実施形態1では、基板分断システ ムとして、短冊基板にスクライブラインを形 成するスクライブ装置を、短冊基板の2箇所� �その表面および裏面に同時にスクライブラ� �ンを形成する構成としたものを示したが、� �基板分断システムは、マザー基板にスクラ� �ブラインを形成するスクライブ装置をも、� �ザー基板の2箇所でその表面および裏面に同� ��にスクライブラインを形成する構成とした� ��のでもよく、このような基板分断システム� ��実施形態2として説明する。

 (実施形態2)
 この実施形態2の基板分断システムは、実施 形態1における基板分断システムにおけるマ� �ー基板分断部200bとして、図3~図5に示す構成� ��スクライブ装置を用いたものである。

 このように本実施形態2においても、マザ ー基板のスクライブ装置において、基台上に 固定して設けられ、マザー基板の表面及び裏 面に同時に第1のスクライブラインを形成す� �固定スクライブ機構と、該基台上に移動可� �に設けられ、該マザー基板の表面及び裏面� �同時に、該第1のスクライブラインと平行な� ��2のスクライブラインを形成する可動スクラ イブ機構とを備え、該固定スクライブ機構及 び可動スクライブ機構を、該第1及び第2のス� ��ライブラインが同時に形成され、かつ該第1 及び第2のスクライブラインの間隔が、該両� �構の離間距離により調整されるよう構成し� �ので、脆性基板を貼り合せてなる貼合せ基� �であるマザー基板の表面および裏面に、そ� �ぞれ2箇所同時にスクライブラインを形成す� ��ことができ、これにより、液晶パネルのマ� ��ー基板Msなどの貼合せ基板から所定数の短� �基板Tsを切り出すのに要する加工時間を短縮 することができる。

 なお、上記実施形態2では、基板分断シス テムにおけるマザー基板分断部200bおよび短� �基板分断部200dの両方に、図3~図5に示す構成� ��スクライブ装置を用いたものを示したが、� ��記基板分断システムは、マザー基板分断部2 00bのみに、図3~図5に示す構成のスクライブ装 置を用いたものでもよい。

 以上のように、本発明の好ましい実施形� ��を用いて本発明を例示してきたが、本発明� ��、この実施形態に限定して解釈されるべき� ��のではない。本発明は、特許請求の範囲に� ��ってのみその範囲が解釈されるべきである� ��とが理解される。当業者は、本発明の具体� ��な好ましい実施形態の記載から、本発明の� ��載および技術常識に基づいて等価な範囲を� ��施することができることが理解される。本� ��細書において引用した特許文献は、その内� ��自体が具体的に本明細書に記載されている� ��と同様にその内容が本明細書に対する参考� ��して援用されるべきであることが理解され� ��。