以下、本発明の実施の形態を図面に基づ� ��て説明する。

 図1は、本発明のスクライブ装置の概略構 成を示す平面図、図2はその側面図、図3はそ� ��正面図である。このスクライブ装置は、例� ��ば、大判のマザーガラス基板70を所定の大� �さの複数枚のガラス基板に分断するための� �クライブラインを形成するために使用され� �。本発明のスクライブ装置は、分断される� �ザーガラス基板70が水平状態で載置される基 板支持機構10と、基板支持機構10上に載置さ� �たマザーガラス基板70にスクライブラインを 形成する複数のスクライブヘッド20と、複数� ��スクライブヘッド20のそれぞれが取り付け� �れたヘッド支持部30と、ヘッド支持部30を所� ��方向(直線状態になったヘッド支持部30の取� ��付け方向(直線方向)に垂直な方向)にスライ� ��させるリニアモータ機構40とを有している� �

 基板支持機構10は、ハウジング12内にそれ ぞれが相互に平行に配置された複数のベルト コンベア11を有している。ハウジング12内に� �例えば7台のベルトコンベア11が相互に適当� �間隔をあけて配置されている。各ベルトコ� �ベア11は、周回移動するそれぞれの搬送ベル トの上面が相互に等しい高さの水平状態に配 置されており、従って、各搬送ベルトの上面 上にマザーガラス基板70が水平状態で載置さ� ��る。各ベルトコンベア11は同期して駆動さ� �、マザーガラス基板70が各ベルトコンベア11� ��所定位置上に搬入されて、所定の状態にな� ��ように位置決めされる。その後、マザーガ� ��ス基板70が、基板の厚み方向に深い垂直ク� �ックを形成することが可能な高浸透刃先を� �いてスクライブされると、各ベルトコンベ� �11によって、マザーガラス基板70は次工程に� ��出される。

 ヘッド支持部30は、各ベルトコンベア11上 において、各ベルトコンベア11とは直交する� ��向に沿った水平なビーム状に構成されてお� ��、このヘッド支持部30に、例えば6個のスク� ��イブヘッド20が取り付けられている。各ス� �ライブヘッド20は、基板支持機構10に設けら� ��た7台のベルトコンベア11のそれぞれの間に� ��置するように配置されている。

 各ベルトコンベア11上に配置されたヘッ� �支持部30を各ベルトコンベア11に沿ってスラ� ��ドさせるリニアモータ機構40は、各ベルト� �ンベア11の左右の両側に位置するハウジング 12の側面部上に設けられたレール部41と、ヘ� �ド支持部30の各端部にそれぞれ設けられて各 レール部41に沿ってそれぞれがスライド可能� ��なったスライド部材42とを有している。

 図4(a)は、スクライブヘッド20の側面図、� ��4(b)は、その正面図、図5(a)は、スクライブ� �ッド20の内部構成を示す側面図、図5(b)は、� �の正面図、図5(c)は、図5(b)のA-A線に沿った断 面図である。各スクライブヘッド20はそれぞ� ��同じ構造になっており、図5に示すように、 上部に設けられたサーボモータ21と、このサ� ��ボモータ21の正逆転によって上下方向にス� �イドするスライドブロック25と、スライドブ ロック25のスライドに伴ってスライドブロッ� ��25のスライド方向とは反対方向にスライド� �るバランスブロック27と、スライドブロック 25およびバランスブロック27を上下方向にス� �イド可能に支持するフレーム部材24とを有し ている。スライドブロック25の下端部にはカ� ��ター機構26が保持されており、従って、ス� �イドブロック25は、カッター機構26を保持す� ��保持手段を構成している。

 なお、フレーム部材24には、図4に示すよ� ��に、内部のスライドブロック25およびバラ� �スブロック27を覆うフレームカバー24jが外周 部に設けられている。

 図6(a)は、サーボモータ21の斜視図、図6(b) は、サーボモータ21の正面図である。サーボ� ��ータ21は、図5および図6に示すように、垂直 状態に配置されたモータ本体部21aと、このモ ータ本体部21aから下方に延出した回転軸21bと を有している。サーボモータ21の回転軸21bに� ��、カップリング22によってボールネジ23が連 結されている。ボールネジ23は、サーボモー� ��21の回転軸21bと同軸状態であって、回転軸21 bと一体となって回転するようになっている� �

 図5に示すように、モータ本体部21aの下側 には、フレーム部材24が取り付けられている� ��図7(a)はフレーム部材24の斜視図、図7(b)はそ の正面図である。フレーム部材24は、モータ� ��体部21aの下面に突き合わされる水平な上板� ��24aと、上板部24aにおける一方の側縁部にお� ��て下方に向かって垂直に取り付けられた側� ��部24bと、側板部24bの下端部において上板部2 4aに対向した水平状態に取り付けられた下板� ��24cとを有しており、上板部24aがモータ本体� ��21aの下面にボルトによって固定されている� ��上板部24aと下板部24cは、それぞれ同様の正� ��形状の薄板状に構成されている。

 フレーム部材24の上板部24aにおける中央� �分には開口部24dが設けられており、サーボ� �ータ21の回転軸21bは、この開口部24dを挿通し ている。サーボモータ21の回転軸21bとボール� ��ジ23とを連結するカップリング22は、フレー ム部材24の上板部24aと下板部24cとの間に位置� ��ており、カップリング22に取り付けられた� �ールネジ23も、フレーム部材24における上板� ��24aと下板部24cとの間に位置している。フレ� ��ム部材24の下板部24cには、中央部分に開口� �24eが設けられている。

 フレーム部材24の上板部24aと下板部24cと� �間には、4本のスライドシャフト24fが、垂直� ��態で配置されている。各スライドシャフト2 4fは、それぞれの上端部および下端部が、上� ��部24aおよび下板部24cのそれぞれの開口部24d� ��よび24eの周囲であって、上板部24aと下板部2 4cの各コーナー部近傍に取り付けられている� ��各スライドシャフト24fには、上下方向の中� ��部よりも若干上方位置において正方形の枠� ��に構成された枠部材24gが取り付けられてい� ��。各スライドシャフト24fは、枠部材24gの各� ��ーナー部近傍部分をそれぞれ挿通しており� ��枠部材24gの各コーナー部近傍部分が、各ス� ��イドシャフト24fの上下方向のほぼ中央部に� ��定されている。枠部材24gにおける正面側枠� ��および背面側枠体には、垂直状態になった� ��ニオンギア24hがそれぞれ自由に回転する状� ��で取り付けられている。

 フレーム部材24の各スライドシャフト24f� �は、図5に示すように、枠部材24gよりも下側� ��おいて上下方向にスライドするように、ス� ��イドブロック25が取り付けられており、ま� �、枠部材24gよりも上側において上下方向に� �ライドするようにバランスブロック27が取り 付けられている。

 図8は、スライドブロック25を、その下端� ��に保持されたカッター機構26とともに示す� �視図であり、図9(a)は、その側面図、図9(b)は 、その正面図、図9(c)は、図9(b)のA-A線に沿っ� ��断面図である。スライドブロック25は、前� �各スライドシャフト24fにスライド可能に設� �られた直方体形状のスライドブロック本体� �25aと、このスライドブロック本体部25aから� �方に延出するように設けられた円筒状の連� �部25bとを有している。図5に示すように、前� ��各スライドシャフト24fは、スライドブロッ� ��本体部25aのコーナー部近傍部分を上下方向� ��スライド可能に挿通しており、スライドブ� ��ック本体部25aは、各スライドシャフト24fに� ��って垂直軸を中心とした水平方向に回転す� ��ことなく上下方向にスライド可能になって� ��る。

 図9(c)に示すように、各スライドシャフト 24fによって囲まれたブロック本体部25aの中央 部には、上下方向に貫通する貫通孔25cが設け られており、この貫通孔25cが円筒状の連結部 25bの内部に連通している。ブロック本体部25a の貫通孔25c内には、ブロック本体部25aとは一 体的に結合したナット部材25dが設けられてお り、このナット部材25dがサーボモータ21の回� ��軸21bに連結されたボールネジ23にネジ結合� �れている。従って、サーボモータ21の回転軸 21bの回転によってボールネジ23が回転すると� ��各スライドシャフト24fによって回り止めさ� ��たブロック本体部25aと一体に構成されてい� ��ナット部材25dは、上下方向にネジ送りされ� ��これにより、スライドブロック25のスライ� �ブロック本体部25aが各スライドシャフト24f� �沿って上下方向にスライドする。

 スライドブロック本体部25aにおける正面� ��の側面および背面側の側面には、上下方向� ��延びる下側ラック25xがそれぞれ設けられて� ��る。各下側ラック25xは、図5(b)に示すように 、スライドブロック本体部25aの上方に設けら れた枠部材24gの各ピニオンギア24hにそれぞれ 噛み合っており、スライドブロック本体部25a が上方にスライドすることによって、各ピニ オンギア24hが所定方向に回転し、下方にスラ イドすることによって、各ピニオンギア24hが 反対方向に回転する。

 図10は、枠部材24gよりも上側において、� �レーム部材24の各スライドシャフト24fに上下 方向にスライド可能に取り付けられたバラン スブロック27の斜視図、図11(a)は、その側面� �、図11(b)は、その平面図、図11(c)は、その正� ��図である。バランスブロック27は、前記各� �ライドシャフト24fにスライド可能に設けら� �た直方体形状のバランスブロック本体部27a� �、このバランスブロック本体部27aにおける� �面側の側面および背面側の側面にそれぞれ� �けられた上側ラック27bとを有している。

 バランスブロック本体部27aにおける水平� ��向の中央部分には、ボールネジ23が挿通す� �貫通孔27cが形成されており、貫通孔27cを挿� �したボールネジ23が、前述したように、バラ ンスブロックの下方に配置されたスライドブ ロック25のナット部材25dにネジ結合している� ��バランスブロック本体部27aにおけるコーナ� ��部近傍部分には、フレーム部材24の各スラ� �ドシャフト24fが上下方向にスライド可能に� �通しており、従って、バランスブロック本� �部27aは、各スライドシャフト24fによって、� �直軸を中心とした水平方向に回転すること� �く上下方向にスライド可能になっている。

 正面側および背面側の各上側ラック27bは� ��バランスブロック本体部27aの下側に設けら� ��た正面側および背面側の各ピニオンギア24h� ��それぞれ噛み合うように、バランスブロッ� ��本体部27aよりも下方に延出している。正面� ��および背面側の各上側ラック27bは、図5(b)に 示すように、スライドブロック25に設けられ� ��正面側および背面側の各下側ラック25xとは� ��各ピニオンギア24hを挟んでそれぞれのギア� ��が相互に対向した状態になっており、従っ� ��、各上側ラック27bおよび各下側ラック25xは� ��それぞれのピニオンギア24hに対して水平方� ��の両側の各側部にそれぞれ噛み合っている� ��

 前述のように、各ピニオンギア24hは、ス� ��イドブロック本体部25aと一体となってスラ� ��ドする下側ラック25xによって所定方向に回� ��すると、各ピニオンギア24hに噛み合った上� ��ラック27bは、下側ラック25xのスライド方向� ��は反対方向(すなわち、スライドブロック本 体部27aのスライド方向とは反対方向)にスラ� �ドする。従って、スライドブロック25および バランスブロック27は、相互に接近する方向� ��よび相互に離隔する方向にスライドするこ� ��になる。なお、バランスブロック27の重量� �、カッター機構26を保持するスライドブロッ ク25に加わる全荷重とほぼ等しくなっている� ��

 スライドブロック25は、駆動手段である� �ーボモータ21によって回転されるボールネジ 23によって上下方向にスライドされるが、ス� ��イドブロック25の上下方向へのスライド時� �は、バランスブロック27が反対方向にスライ ドするために、バランスブロック27の重量分� ��け、ボールネジ23に加わるスライドブロッ� �25の荷重が軽減されることになる。その結果 、スライドブロック25を上下方向にスライド� ��せるためのサーボモータ21に加わるスライ� �ブロック25等の荷重が軽減される。この場合 、スライドブロック25を含む保持手段に加わ� ��全荷重は、バランスブロック27の全重量と� �ぼ等しくなっていることから、カッター機� �26のカッターホイールチップによるガラス基 板70の表面に対する荷重(スクライブ荷重)を� �0」に軽減することができる。その結果、サ� ��ボモータ21は、そのサーボ制御によって、� �ライドブロック25の上下方向位置を高精度で 位置決めすることができる。

 このように、スライドブロック25等に加� �る荷重を、バランスブロック27、下側ラック 25xおよび上側ラック27b、ピニオンギア24h等に よって軽減することができる。

 なお、ボールネジ23のリード角は、スラ� �ドブロック25のスライドブロック本体部25aが 上方および下方の両方向に対する荷重伝達効 率が等しくなるように45°に設定することが� �ましいが、通常、30~40°に構成されている。

 また、フレーム部材24には、図4に示すフ� ��ームカバー24jが設けられているために、フ� ��ーム部材24の内部に塵埃等が進入すること� �防止される。従って、各スライドシャフト24 fに塵埃が付着することによって、スライド� �ロック25およびバランスブロック27の上下方� ��へのスライドが阻害されるおそれがなく、� ��ライドブロック25およびバランスブロック27 は各スライドシャフト24fに沿って円滑にスラ イドされる。これにより、サーボモータ21の� ��ーボ制御によるスライドブロック25の上下� �向位置の位置決め精度を安定して高精度に� �持することができる。

 なお、ガラス基板70の表面に凹凸が存在� �る場合には、スクライブ荷重が軽減される� �ともにスライドブロック25が円滑に上下方向 にスライドすることから、ガラス基板70の表� ��の凹凸に対して応答性よく追従することに� ��る。

 図12は、スライドブロック25に設けられた 連結部25bの下端部の断面図である。連結部25b の下端部は、フレーム部材24の下板部24cに設� ��られた開口部24e内を挿通しており、その下� ��部に、カッター保持部材25hによってカッタ� ��機構26が保持されている。連結部25bの下端� �内には、カッター保持部材25hの上部が挿入� �れており、このカッター保持部材25hの上部� �、連結部25b内に設けられた軸受25gによって� �連結軸25bに対して回転可能に保持されてい� �。カッター保持部材25hは、連結部25bから下� �に延出しており、従って、連結部25bが挿通� �た下板部24cの下方に延出している。カッタ� �機構26は、カッター保持部材25hの下端部に保 持されている。

 フレーム部材24における下板部24cの下面� �は、円筒状の内部カバー24iが取り付けられ� �いる。内部カバー24iは、下板部24cに設けら� �た開口部24eの周囲に同心状態で設けられて� �り、連結部25bの下端面が内部カバー24i内に� �置している。

 カッター機構26は、カッター保持部材25h� �下端部内に保持されたチップホルダー26aと� �このチップホルダー26aの下端部において水� �軸によって回転可能に設けられたカッター� �イールチップ26bとを有している。カッター� �イールチップ26bは、円板状のディスク体の� �周縁部に等間隔でカッターチップが埋め込� �れることによって構成されており、ディス� �体の回転によって、ディスク体の外周淵部� �設けられた各カッタチップが順次ガラス基� �70に圧接されることにより、基板内部に垂直 クラックの発生を伴うスクライブラインがガ ラス基板70の表面に沿って形成される。ディ� ��ク体を有するカッターホイールチップ26bは� ��前述のように、各スクライブヘッド20毎に� �チップホルダー26aを介してスライドブロッ� �25に保持されている。

 フレーム部材24の下板部24cに取り付けら� �た円筒状の内部カバー24iは、スライドブロ� �ク25における連結部25bの下端部およびカッタ ー保持部材25hの周囲を覆っている。カッター 保持部材25hの下端部は、内部カバー24iから下 方に延出している。また、スライドブロック 25における連結部25bの下端部には、内部カバ� ��24iから下方に延出したカッター保持部材25h� ��下端部を覆うカッターカバー25jが取り付け� ��れている。

 図13は、カッターカバー25jの斜視図であ� �、図14(a)は、カッターカバー25jの側面図、図 14(b)は、その底面図、図14(c)は、その正面図� �ある。図12~図14に示すように、カッターカバ ー25jは、円柱状のカバー本体部25kと、このカ バー本体部25kの外周面とは一定の間隔を形成 した状態でカバー本体部25kに対して嵌合状態 になったオーバーラップ部25mとを有している 。カバー本体部25kの底面は、オーバーラップ 部25mの底部に連結されている。スライドブロ ック25における連結部25bの下端面に取り付け� ��れた内部カバー24iは、カバー本体部25kとオ� ��バーラップ部25mとの間隙内に挿入されてい� ��。カバー本体部25kの外周面と内部カバー24i� ��内周面とは適当な間隔が形成されるととも� ��、内部カバー24iの外周面とオーバーラップ� ��25mとの内周面との間にも適当な間隔が形成� ��れており、カバー本体部25kと内部カバー24i� ��内周面との間隙と、オーバーラップ部25mと� ��部カバー24iの外周面との間隙が相互に連通� ��た状態になっている。

 図12に示すように、カッターカバー25jの� �バー本体部25k内をカッター保持部材25hが挿� �しており、カッター保持部材25hの下端部は� �カバー本体部25kの底面から下方に延出して� �る。カバー本体部25kの底面には、保護ロー� �部材25pが設けられている。図13および図14に� ��すように、保護ローラ部材25pは、カバー本� ��部25kから下方に延出したカッター保持部材2 5hの下端部を覆う円筒状の保護カバー部25qを� ��している。保護カバー部25qの内部には、カ� ��ター保持部材25hが挿入されており、カッタ� ��保持部材25hの下端部から下方に延出したチ� ��プホルダー26aの下端部は、保護カバー部25q� ��底面に設けられた開口部25t(図12参照)を貫通 して下方に延出している。なお、開口部25tと チップホルダー26aとの間には適当な間隔が形 成されている。

 図13および図14に示すように、保護カバー 部25qの水平方向の両側には、ローラ保持部25r がそれぞれ設けられている。各ローラ保持部 25rは、垂直状態に配置されたカッターホイー ルチップ26bの軸方向とは直交する方向(カッ� �ーホイールチップ26bの移動方向)の両側に設� ��られており、各ローラ保持部25rには、水平� ��によって回転可能に保持された保護ローラ2 5sがそれぞれ設けられている。従って、各保� ��ローラ25sは、それぞれカッターホイールチ� ��プ26bとは平行な状態になっており、カッタ� ��ホイールチップ26bがガラス基板70の表面を� �動する際の前方および後方にそれぞれ位置� �ている。各保護ローラ25sのそれぞれの下端� �は、カッターホイールチップ26bの下端部に� �して、スクライブするガラス基板70の厚さ以 下の間隔、例えば、0.5mm程度の間隔をあけた� ��態で上方に位置している。

 図9(c)に示すように、スライドブロック25� ��おけるスライドブロック本体部25aおよび連� ��部25bには、圧縮エアーが通流するエアー流� ��25wが設けられている。スライドブロック25� �設けられたエアー流路25wに圧縮エアーが流� �すると、連結部25bの周壁部に上下方向に沿� �て設けられたエアー流路25wを通って、連結� �25bの下端面から、保護カバー部25rにおける� �バー本体部25kと、このカバー本体部25k内に� �入されたカッター保持部材25hとの間隙内に� �入する。そして、カバー本体部25kとカッタ� �保持部材25hとの間隙内を通流した圧縮エア� �は、保護カバー部25qの底面に設けられた開� �部25tと、チップホルダー26aとの間の間隙を� �って下方に噴出される。

 なお、上記の実施形態では、サーボモー� ��21が、カッター機構26のカッターホイールチ ップ26bをガラス基板70に圧接させるための駆� ��手段を構成しており、ボールネジ23、スラ� �ドブロック25、バランスブロック27、フレー� ��部材24がカッター機構26を保持する保持手段 を構成している。

 このような構成の本発明のスクライブ装� ��によってガラス基板70をスクライブする動� �について説明する。

 基板支持機構10の各ベルトコンベア11上に 、例えば厚さが0.4mmのガラス基板70が水平状� �で搬入されると、各ベルトコンベア11が同期 して駆動されて、各ベルトコンベア11におけ� ��所定位置にガラス基板70が搬送される。そ� �後、ガラス基板70は、各ベルトコンベア11上� ��おいて所定の位置になるように位置決めさ� ��る。

 その後、サーボモータ21の回転が停止さ� �て、各スクライブヘッド20が取り付けられた ヘッド支持部30が、リニアモータ機構40によ� �て、各ベルトコンベア11の長手方向に沿って 移動されて、各スクライブヘッド20のカッタ� ��ホイールチップ26bは、ガラス基板70の上面� �おける側縁部に対向した状態とされる。

 このような状態になると、各スクライブ� ��ッド20において、サーボモータ21が正転駆動 される。これにより、サーボモータ21の回転� ��21bに連結されたボールネジ23が、回転軸21b� �一体となって同方向に回転される。ボール� �ジ23には、ナット部材25dがネジ結合されてい るが、ナット部材25dはスライドブロック本体 部25aと一体になっており、スライドブロック 本体部25aが4本のスライドシャフト24fにより� �ボールネジ23の回転によって回転しない状態 で上下方向にスライド可能になっていること から、ボールネジ23にネジ結合されたナット� ��材25dが下方にネジ送りされて、スライドブ� ��ック本体部25aとともに下方へとスライドさ� ��る。

 スライドブロック本体部25aが各スライド� ��ャフト24fに沿って下方にスライドされるこ� ��によって、スライドブロック本体部25aに取� ��付けられた各下側ラック25xも一体となって� ��方にスライドされる。これにより、各下側� ��ック25xに噛み合った各ピニオンギア24hが所� ��方向に回転される。そして、各ピニオンギ� ��24hが所定方向へ回転することにより、各ピ� ��オンギア24hに噛み合ったバランスブロック2 7の各上側ラック27bが上方にスライドする。� �れにより、バランスブロック27は、各スライ ドシャフト24fに沿って、スライドブロック25� ��下降速度に等しい上昇速度で上方へとスラ� ��ドする。

 このように、スライドブロック25の下降� �際してバランスブロック27が上昇され、しか も、バランスブロック27の荷重がスライドブ� ��ック25に加わる全荷重にほぼ等しくなって� �ることによって、カッターホイールチップ26 bによるガラス基板70の表面に対する圧接力で あるスクライブ荷重を、ほぼ「0」にするこ� �ができる。

 また、スライドブロックを下降させるた� ��のボールネジ23には、スライドブロック25の 荷重が加わらないために、サーボモータ21の� ��ーボ制御によって、スライドブロック25の� �下方向位置を高精度で調整することができ� �。従って、サーボモータ21のサーボ制御によ って、スライドブロック25の上下方向位置、� ��なわち、スライドブロック25の下端部のカ� �ター機構26におけるカッターホイールチップ 26bの下端位置を、高精度で位置決めすること ができる。

 また、カッターホイールチップ26bの下端� ��置を高精度で位置決めすることができるこ� ��から、ガラス基板70に対するスクライブ荷� �は、ガラス基板70におけるスクライブされる 表面(上面)からの下降距離に比例する。従っ� ��、カッターホイールチップ26bの下端位置が� ��ガラス基板70の表面から所定の距離だけ下� �した状態になるように、サーボモータ21をサ ーボ制御することによって、ガラス基板70の� ��面に対するカッターホイールチップ26bのス� ��ライブ荷重を所定の値に制御することがで� ��る。

 カッターホイールチップ26bがガラス基板7 0の表面に圧接された状態になると、サーボ� �ータ21は、上述のように、カッターホイール チップ26bの下端位置が、ガラス基板70の表面� ��ら所定の距離だけ下降した状態になるよう� ��制御された状態で、各スクライブヘッド20� �取り付けられたヘッド支持部30が、リニアモ ータ機構40によって、各ベルトコンベア11の� �手方向に沿って移動される。ヘッド支持部30 が移動されることにより、各カッターホイー ルチップ26bは、予め設定された所定のスクラ イブ荷重によってガラス基板70に圧接された� ��態で、ガラス基板70の表面を各ベルトコン� �ア11の長手方向に沿って転動する。これによ り、ガラス基板70には、各スクライブヘッド2 0のカッターホイールチップ26bによって、各� �ルトコンベア11の長手方向に沿ったスクライ ブラインがそれぞれ形成される。

 この場合、ガラス基板70の表面に凹凸が� �在する場合には、カッターホイールチップ26 bは、その凹凸に対して応答性よく追従する� �とになり、安定したスクライブ動作を行な� �ことができる。

 このようなスクライブ工程において、各� ��ッター機構26におけるチップホルダー26aと� �保護ローラ部材25pの底面に設けられた開口� �25tとの間から下方に向けて圧縮エアーが噴� �される。これにより、カッターホイールチ� �プ26bによるガラス基板70のスクライブによっ て生じる粉塵が周囲に吹き飛ばされることに なり、カッターホイールチップ26bは、ガラス 基板70に付着した粉塵によってスクライブ方� ��が変化するおそれがなく、所定のスクライ� ��予定ラインに沿った状態で正確にスクライ� ��ラインを形成することができる。

 この場合、フレーム部材24には、内部の� �ライドブロック25、バランスブロック27およ� ��スライドシャフト24fを覆うフレームカバー2 4jが設けられていることから、このフレーム� ��バー24jによって、粉塵がフレーム部材24の� �部に進入することが防止される。しかも、� �スクライブヘッド20の下端部には、内部カバ ー24iおよびカッターカバー25jが設けられてお り、しかも、内部カバー24iとカッターカバー 25jのオーバーラップ部25mとがオーバーラップ した状態になっていることから、吹き飛ばさ れた粉塵が、フレーム部材24の下側からも内� ��に進入するおそれがない。その結果、スラ� ��ドブロック25およびバランスブロック27のス ライドが、フレーム部材24の各スライドシャ� ��ト24fに付着した塵埃によって阻害されるお� ��れがなく、円滑にスライドされる。

 この場合、内部カバー24iはフレーム部材2 4に設けられており、カッターカバー25jはス� �イドブロック25に設けられているために、両 者は相互にスライドすることになるが、内部 カバー24iはカッターカバー25jに対して適当な 間隔が形成された状態に配置されているため に、スライドブロック25の円滑なスライドが� ��害されるおそれもない。

 また、各スクライブヘッド20の下端部に� �、保護ローラ部材25pが設けられており、カ� �ターホイールチップ26bの転動方向の前方に� �護ローラ25sが配置されていることから、カ� �ターホイールチップ26bのスクライブ方向の� �方において、ガラス基板70の一部がすでに除 去された状態なっていることによって段差が 存在する場合にも、保護ローラ25sがガラス基 板70の下側の搬送ベルト上面に接した状態に� ��ることにより、ガラス基板70の表面からカ� �ターホイールチップ26bが脱落することが防� �される。これにより、ガラス基板70の側縁部 等がカッターホイールチップ26bによって破損 することが防止される。

 なお、上記実施形態では、バランスブロ� ��ク27をスクライブブロック25に対して反対方 向にスライドさせるために、下側ラック25xお よび上側ラック27bと、ピニオンギア24hとを用 いる構成であったが、このような構成に限ら ず、ボールネジ23の回転によって、バランス� ��ロック27をスクライブブロック25に対して反 対方向にスライドさせるようにしてもよい。 例えば図15に示すように、下側ラック25xおよ� ��上側ラック27bと、ピニオンギア24hとを用い� ��ことなく、バランスブロック27のバランス� �ロック本体部27aにおける貫通孔27cに、ボー� �ネジ23にネジ結合する第2ナット部材27dを、� �ライドブロック本体部27aの下端部において� �ライドブロック本体部27aとは一体構造とな� �ように嵌合させる。この場合、第2ナット部� ��27dは、スライドブロック25に設けられたナ� �ト部材25d(以下、第1ナット部材25dとする)と� �逆ネジ構造になっており、ボールネジ23の回 転によって、第1ナット部材25dとは反対方向� �ネジ送りされる構成になっている。

 なお、図15に示すスライドヘッド20の構成 では、バランスブロック27およびスライドブ� ��ック25をそれぞれ三角柱状に形成してフレ� �ム部材24に設けられた3本のスライドシャフ� �24fにスライド可能に設けられている。その� �の構成は、図4~図13に示されたスライドヘッ� ��20と同様の構成になっている。

 このような構成のスクライブヘッド20で� �、サーボモータ21によって回転されるボール ネジ23によって、第1ナット部材25dおよび第2� �ット部材27dが相反する方向にネジ送りされ� �ことから、カッターホイールチップ26bによ� �ガラス基板70の表面に対する圧接力であるス クライブ荷重を軽減することができる。従っ て、スライドブロック25を上下方向にスライ� ��させるためのサーボモータ21のサーボ制御� �よってスライドブロック25の上下方向位置を 高精度で位置決めすることができる。

 なお、上記各実施形態では、保持手段を� ��成するスライドブロック25とバランスブロ� �ク27とを、ラックおよびピニオンギアによっ て、または、ボールネジと一対の逆ネジ構造 のナット部材とによって、相反する方向にス ライドさせる構成を説明した。しかし、本発 明は、このような構成に限定されない。本発 明は、駆動手段であるサーボモータ21によっ� ��スライドブロック25が、カッター機構26をガ ラス基板70の表面に圧接される第1の方向に移 動されたことに応答して、バランスブロック 27が、駆動手段であるサーボモータ21によっ� �反対方向である第2の方向に移動される構成� ��ある限り、任意の構成を有し得る。

 さらに、保持手段は、スライドブロック2 5およびバランスブロック27が、駆動手段であ るサーボモータ21によって、第1の方向および 第2の方向にそれぞれ移動される構成に限定� �れない。保持手段が、カッター機構26による ガラス基板の表面に対するスクライブ荷重を 保持手段に加わる荷重よりも小さくすること が可能である限り、保持手段は任意の構成を 有し得る。

 なお、スクライブラインを形成する脆性� ��料基板70としては、1枚のガラス基板に限ら� ��、一対のガラス基板が貼り合わされた貼り� ��わせガラス基板であってもよく、また、ガ� ��ス基板でなくてもよい。

 さらに、前記スクライブ装置20では、ヘ� �ド支持部30に多数のスクライブヘッド20を設� ��て、ガラス基板70に対して複数のスクライ� �ラインを同時に形成する構成であったが、� �クライブヘッドが1つだけであってもよいこ� ��は言うまでもない。さらには、図16(a)およ� �(b)に示すように、ヘッド支持部30に一対のス クライブヘッド20を設けて、各スクライブヘ� ��ド20をヘッド支持部30に沿ってスライドさせ る構成としてもよい。なお、このスクライブ 装置では、各スクライブヘッド20の下方に、� ��ラス基板70の下面におけるスクライブライ� �の両側部分を保持する補助ローラ50が設けら れている。

 図16に示すスクライブ装置では、貼り合� �せガラス基板に対してスクライブラインを� �成するために特に好適に使用することがで� �る。このスクライブ装置では、各スクライ� �ヘッド20のカッターホイールチップ26cによっ てスクライブラインを形成すると同時に、下 方に配置された補助ローラ50によって貼り合� ��せガラス基板を所定の圧接力で保持するこ� ��によって、スクライブラインを構成する垂� ��クラックを下方に向かって伸展させること� ��でき、これによってスクライブラインを貼� ��合わせガラス基板における上側のガラス基� ��の上面から下面に達した状態に形成するこ� ��ができる。

 このようなスクライブ装置では、貼り合� ��せガラス基板における上側のガラス基板が� ��スクライブラインの形成と同時に分断され� ��状態になることから、上側のガラス基板に� ��ける不要部分が脱落するおそれがある。し� ��しながら、この場合にも、脱落した部分に� ��して、カッターホイールチップ26cの前方に� ��置された保護ローラ25sが下側のガラス基板� ��上面に接した状態になり、カッターホイー� ��チップ26cが上側のガラス基板から脱落する� ��とを防止することができ、カッターホイー� ��チップ26cによる上側のガラス基板および下� ��のガラス基板の損傷等を確実に防止するこ� ��ができる。

 なお、貼り合わせガラス基板の各基板に� ��クライブラインを形成する場合には、貼り� ��わせガラス基板の下側にも、同様のスクラ� ��ブヘッドを設けて、貼り合わせガラス基板� ��上下の各基板を同時にスクライブする構成� ��してもよい。

 以上、本発明の好ましい実施形態を用い� ��本発明を例示してきたが、本発明は、この� ��施形態に限定して解釈されるべきものでは� ��い。本発明は、特許請求の範囲によっての� ��その範囲が解釈されるべきであることが理� ��される。当業者は、本発明の具体的な好ま� ��い実施形態の記載から、本発明の記載およ� ��技術常識に基づいて等価な範囲を実施する� ��とができることが理解される。本明細書に� ��いて引用した特許、特許出願および文献は� ��その内容自体が具体的に本明細書に記載さ� ��ているのと同様にその内容が本明細書に対� ��る参考として援用されるべきであることが� ��解される。