Title:
SEMICONDUCTOR INSPECTING APPARATUS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/001867
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a semiconductor inspecting apparatus which is provided with an inspecting unit, a detecting unit, and a processing unit, which processes an image on the basis of reflection light detected by the detecting unit, and which inspects the surface of the subject to be inspected. The processing unit is provided with an image distribution control unit, which distributes the image, and an image processing unit, which processes the image distributed by the image distribution control unit. The image distribution control unit has: an image buffer counter, which counts the input image quantity of the image; a distribution control table, which stores information relating to the image; and a distribution timing control circuit, which determines distribution start timing of the image on the basis of the input image quantity and the information relating to the image obtained from the distribution control table.
Inventors:
SAKURAI, Yuichi (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
桜井 祐市 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
TOBA, Tadanobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
鳥羽 忠信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
YASUMOTO, Hideki (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES Corporation 882 Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
桜井 祐市 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
TOBA, Tadanobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
鳥羽 忠信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
YASUMOTO, Hideki (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES Corporation 882 Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
Application Number:
JP2011/002751
Publication Date:
January 05, 2012
Filing Date:
May 18, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
SAKURAI, Yuichi (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
桜井 祐市 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
TOBA, Tadanobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
鳥羽 忠信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
SAKURAI, Yuichi (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
桜井 祐市 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
TOBA, Tadanobu (HITACHI LTD., 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
鳥羽 忠信 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 横浜研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
International Classes:
H01L21/66; G01B11/00; G01B15/00; G01N21/956; G01N23/225; G06T1/20
Attorney, Agent or Firm:
INOUE, Manabu et al. (6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-k, Tokyo 20, 〒1008220, JP)
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Claims: