Title:
SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2007/052335
Kind Code:
A1
Abstract:
This invention provides a semiconductor pressure sensor which can solve a problem
that, when the pressure of a pressure medium containing a corrosive substance
such as exhaust gas is measured with a semiconductor pressure sensor, an aluminum
electrode, an aluminum wire, and an input/output terminal are attacked by a corrosive
gas, thereby improving the corrosion resistance of a sensor chip, and, at the
same time, can particularly improve the corrosion resistance of a part as a pressure-sensitive
part. The corrosion of an electrode is prevented by providing titanium tungsten
layer and a gold layer on an aluminum electrode as a corrosion site. The corrosion
of a connection wire by a corrosive substance can be prevented by using a gold wire
as the connection wire. The corrosion of an input/output terminal can be prevented
by plating the input/output terminal with gold.
Inventors:
KAMINAGA, Toshiaki (2477, Takaba, Hitachinaka-sh, Ibaraki 62, 3120062, JP)
神永 俊明 (〒62 茨城県ひたちなか市高場２４７７番地 株式会社日立カーエンジニアリング内 Ibaraki, 3120062, JP)
HAYASHI, Masahide (LTD. Automotive Systems 2520, Oazatakaba, Hitachinaka-sh, Ibaraki 03, 3128503, JP)
林 雅秀 (〒03 茨城県ひたちなか市大字高場２５２０番地 株式会社日立製作所 オートモティブシステムグループ内 Ibaraki, 3128503, JP)
UEYANAGI, Katsumichi (Matsumoto Division, 18-1, Tsukama 4-chom, Matsumoto-shi Nagano 21, 3900821, JP)
神永 俊明 (〒62 茨城県ひたちなか市高場２４７７番地 株式会社日立カーエンジニアリング内 Ibaraki, 3120062, JP)
HAYASHI, Masahide (LTD. Automotive Systems 2520, Oazatakaba, Hitachinaka-sh, Ibaraki 03, 3128503, JP)
林 雅秀 (〒03 茨城県ひたちなか市大字高場２５２０番地 株式会社日立製作所 オートモティブシステムグループ内 Ibaraki, 3128503, JP)
UEYANAGI, Katsumichi (Matsumoto Division, 18-1, Tsukama 4-chom, Matsumoto-shi Nagano 21, 3900821, JP)
Application Number:
JP2005/020072
Publication Date:
May 10, 2007
Filing Date:
November 01, 2005
Export Citation:
Assignee:
HITACHI, LTD. (6-6 Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo, 80, 1008280, JP)
株式会社日立製作所 (〒80 東京都千代田区丸の内一丁目６番６号 Tokyo, 1008280, JP)
FUJI ELECTRIC DEVICE TECHNOLOGY CO., LTD. (11-2, Osaki 1-chome Shinagawa-k, Tokyo 32, 1410032, JP)
富士電機デバイステクノロジー株式会社 (〒32 東京都品川区大崎一丁目１１番２号 Tokyo, 1410032, JP)
KAMINAGA, Toshiaki (2477, Takaba, Hitachinaka-sh, Ibaraki 62, 3120062, JP)
神永 俊明 (〒62 茨城県ひたちなか市高場２４７７番地 株式会社日立カーエンジニアリング内 Ibaraki, 3120062, JP)
HAYASHI, Masahide (LTD. Automotive Systems 2520, Oazatakaba, Hitachinaka-sh, Ibaraki 03, 3128503, JP)
株式会社日立製作所 (〒80 東京都千代田区丸の内一丁目６番６号 Tokyo, 1008280, JP)
FUJI ELECTRIC DEVICE TECHNOLOGY CO., LTD. (11-2, Osaki 1-chome Shinagawa-k, Tokyo 32, 1410032, JP)
富士電機デバイステクノロジー株式会社 (〒32 東京都品川区大崎一丁目１１番２号 Tokyo, 1410032, JP)
KAMINAGA, Toshiaki (2477, Takaba, Hitachinaka-sh, Ibaraki 62, 3120062, JP)
神永 俊明 (〒62 茨城県ひたちなか市高場２４７７番地 株式会社日立カーエンジニアリング内 Ibaraki, 3120062, JP)
HAYASHI, Masahide (LTD. Automotive Systems 2520, Oazatakaba, Hitachinaka-sh, Ibaraki 03, 3128503, JP)
International Classes:
G01L9/00; G01L19/06; H01L29/84
Attorney, Agent or Firm:
NITTO INTERNATIONAL PATENT OFFICE P.P.C. (No. 17 Arai Building, 3-3 Shinkawa 1-chom, Chuo-ku Tokyo 33, 1040033, JP)
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