Sensorvorrichtung zum Bestimmen einer Verschiebung einer Wel ^¬ le

Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zum Bestimmen einer Verschiebung einer Welle entlang ihrer Longitudinalach- se . DE 697 07 536 T2 beschreibt eine Linearpositionserkennungs- vorrichtung vom Induktionstyp, die auf der Basis der Erregung durch ein einphasiges Wechselstromsignal Wechselstromsignale erzeugt und ausgibt, welche mehrphasige Amplitudenfunktions- charakteristika in Reaktion auf eine zu erkennende Linearpo- sition angeben. Hierzu weist die Linearpositionserkennungs- vorrichtung einen zylindrisch geformten Wicklungsabschnitt sowie einen stangenförmigen variablen magnetischen Kopplungs ^¬ abschnitt auf, der zwischen den Wicklungen des Wicklungsab ^¬ schnitts mit einem geeigneten Abstand angeordnet ist.

DE 201 15 060 Ul beschreibt einen nockenwellenlosen Aktuator zur Betätigung eines Hubventils einer Brennkraftmaschine, mit einem oszillierend bewegten, mit dem Hubventil gekoppelten Stößel, wobei auf dem Außenumfang des Stößels ein wenigstens einfach geschlitzter, als separates, vorgefertigtes Teil aus ^¬ gebildeter Targetring befestigt ist, der aus einem Werkstoff auf FE-Basis oder aus einem ferritischen Werkstoff besteht. Ein dem Stößel umgebender induktiv und bei niedrigen Frequen ^¬ zen arbeitender Sensor ist für die Positionsbestimmung des Stößels vorgesehen.

DE 41 20 643 AI betrifft eine Reibungskupplung für Kraftfahr ^¬ zeuge mit einer zwischen zwei Bauteilen einspannbaren Kupp ^¬ lungsscheibe, die drehfest auf einer Getriebewelle sitzt, ei- ner Kupplungsfeder zum Einspannen der Kupplungsscheibe zwi ^¬ schen die beiden Bauteile, einer Kupplungsbetätigungseinrich- tung mit einer kupplungsnahen Nehmereinrichtung, einer kupp- lungsfernen Gebereinrichtung sowie einer dazwischen angeord ^¬ neten Übertragungseinrichtung, wobei in einer kupplungsnahen Nehmereinrichtung ein Wegsensor angeordnet ist, welcher in oder am Nehmerzylinder angeordnet ist. Zum Zweck einer kapa- zitiven Erfassung eines Wegsignals ist ein Ringkolben an sei ^¬ nem Außenumfang mit einer elektrisch leitenden Beschichtung versehen. Der Ringkolben ist in einem Fortsatz aufgenommen, der mit der Beschichtung des Kolbens einen Kondensator bil ^¬ det .

DE 10 2006 031 139 AI betrifft eine Vorrichtung zum berüh ^¬ rungslosen und verschleißfreien Messen der absoluten linearen Position mit planaren Spulen von Geräte-, Maschinen- oder Be ^¬ tätigungselementen im Bereich von 10 mm bis 200 mm, wobei dieses Element selbst die Funktion des Läufers darstellen kann. An zwei in einer Ebene differenziell angeordneten planaren Dreiecksspulen werden die Verluste des elektromagne ^¬ tischen Felds gemessen, die durch Wirbelströme im Läufer ent ^¬ stehen. Diese Verluste sind proportional zu der vom Läufer überdeckten Fläche der Dreiecksspulen und damit proportional zur absoluten Position. In einer zweiten Ebene wird ein zwei ^¬ tes Spulenpaar angeordnet, womit Änderungen des Abstands des Läufers ausgeglichen werden. DE 10 2013 214 358 AI betrifft eine Messvorrichtung für ein manuelles Schaltgetriebe zum Erfassen der Position einer Schaltwelle relativ zu einem Gehäuse umfassend eine Sensoran ^¬ ordnung und ein Sensortarget, wobei die Sensoranordnung einen induktiven Sensor umfasst, mittels dessen eine Erfassung ei- nes Abstandes zwischen dem induktiven Sensor und dem Sensor ^¬ target erfolgt, und das Sensortarget aus einem leitenden Ma ^¬ terial gefertigt ist, wobei die Form des Sensortargets derart gestaltet ist, dass der Abstand zwischen dem induktiven Sen ^¬ sor und dem Sensortarget in Abhängigkeit der Position der Schaltwelle relativ zum Gehäuse variiert. US 4 623 840 A beschreibt einen Aktuator, welcher einen zy ^¬ lindrischen Körper umfasst, auf dessen äußeren Oberfläche ei ^¬ ne Spule geformt ist, und ein Kolben in dem Körper angeordnet ist, welcher als Kern dient. Eine Verschiebung des Kolbens kann mittels einer Detektionsschaltung detektiert werden durch eine Veränderung der Spuleninduktion infolge der Ver ^¬ schiebung des Kolbens.

Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine Sensorvorrichtung zum Bestimmen einer Verschiebung einer Welle entlang ihrer Longi- tudinalachse zu schaffen, die eine hohe Präzision und Zuver ^¬ lässigkeit der Bestimmung der Verschiebung ermöglicht.

Die Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale des unabhängigen Patentanspruchs. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Un ^¬ teransprüchen gekennzeichnet.

Gemäß einem ersten Aspekt zeichnet sich die Erfindung aus durch eine Sensorvorrichtung zum Bestimmen einer Verschiebung einer Welle entlang ihrer Longitudinalachse, die eine Sensor ^¬ einheit umfasst, die radial in einem ersten Abstand zu der Longitudinalachse angeordnet ist. Die Welle ist relativ ver ^¬ schiebbar zu der Sensoreinheit entlang der Longitudinalachse. Die Sensorvorrichtung umfasst ferner ein Detektionselement , das zwischen der Welle und der Sensoreinheit angeordnet ist. Das Detektionselement ist radial in einem zweiten Abstand zu der Longitudinalachse fix mit der Welle gekoppelt. Eine der Longitudinalachse abgewandte Seite des Detektionselements ist bezogen auf eine Ebene senkrecht zu der Longitudinalachse konvex ausgebildet, derart, dass eine Spaltdistanz zwischen dem Detektionselement und der Sensoreinheit über eine Erstre- ckung der Sensoreinheit senkrecht zu der Longitudinalachse unabhängig von einem Kippwinkel der Welle variiert.

Die Sensoreinheit ist ausgebildet, ein Wellenverschiebungs ^¬ signal zu erzeugen, das abhängig ist von einer Verschiebung des Detektionselements relativ zu der Sensoreinheit entlang der Longitudinalachse .

Eine konvexe Ausbildung des Detektionselements hat den Vor- teil, dass ein Einfluss eines Kippwinkels der Welle auf ein durch eine Überlappung des Detektionselements mit einem be ^¬ liebigen Teilbereich der Sensoreinheit eingeschlossenes Volu ^¬ men gering ist im Vergleich zu einer ebenen Ausführung des Detektionselements . Auf diese Weise wird eine hohe Präzision und Zuverlässigkeit der Bestimmung der Verschiebung ermög ^¬ licht. Durch eine hohe Präzision der Sensorvorrichtung auch bei einem Kippen der Welle um den Kippwinkel ist beispiels ^¬ weise eine kippwinkelbegrenzende Führung der Welle lediglich optional. Dadurch kann zum Beispiel eine runde Welle einge- setzt werden, so dass zu einer einfachen und kostengünstigen Herstellung der Sensorvorrichtung beigetragen wird. Ferner trägt eine Verfügbarkeit von Lagern mit wirksamer Abdichtung gegenüber Umgebungsmedien bei runden Wellen zu einer hohen Zuverlässigkeit der Sensorvorrichtung bei.

Das Wellenverschiebungssignal repräsentiert so die Verschie ^¬ bung der Welle bezüglich der Sensoreinheit entlang der Longi ^¬ tudinalachse. Das Wellenverschiebungssignal ist insbesondere genauer zu einer tatsächlichen Verschiebung als bei einer nichtkonvexen Ausbildung des Detektionselements .

In einer vorteilhaften Ausgestaltung gemäß dem ersten Aspekt ist eine Krümmung der der Longitudinalachse abgewandten Seite des Detektionselements in der Ebene senkrecht zu der Longitu- dinalachse im Wesentlichen gleich einer Krümmung eines Krei ^¬ ses in dieser Ebene ausgebildet, dessen Radius dem zweiten Abstand des Detektorelements zu der Longitudinalachse ent ^¬ spricht . Die konvexe Ausbildung des Detektionselements mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Oberflächenkrümmung um die Longitudinalachse hat den Vorteil, dass ein durch die Überlappung des Detektionselements mit dem beliebigen Teilbe ^¬ reich der Sensoreinheit eingeschlossenes Volumen im Wesentli ^¬ chen unabhängig von einem Kippwinkel der Welle ist, sodass eine hohe Präzision und Zuverlässigkeit der Bestimmung der Verschiebung ermöglicht wird.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung gemäß dem ers ^¬ ten Aspekt ist das Detektionselement als Plättchen ausgebil ^¬ det .

Im Falle, dass das Plättchen einem Magnetfeld ausgesetzt ist, ist eine Dämpfung, die das Magnetfeld durch das Plättchen er ^¬ fährt, repräsentativ für die Verschiebung des Detektionsele- ments bezüglich der Sensoreinheit.

Zusätzlich ist beispielsweise eine transformatorische Rück ^¬ wirkung repräsentativ für die Verschiebung des Detektionsele ^¬ ments bezüglich der Sensoreinheit. Dadurch wird ein einfaches Bestimmen der Verschiebung der Welle entlang ihrer Longitudi- nalachse ermöglicht.

Das Plättchen ist dazu beispielsweise aus einem leitfähigen Material ausgebildet. In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung gemäß dem ers ^¬ ten Aspekt ist das Detektionselement als Leiterschleife aus ^¬ gebildet .

Im Falle, dass die Leiterschleife einem Magnetfeld ausgesetzt ist, ist eine transformatische Rückwirkung repräsentativ für die Verschiebung des Detektionselements bezüglich der Sensor ^¬ einheit. Dadurch wird ein einfaches Bestimmen der Verschie ^¬ bung der Welle entlang ihrer Longitudinalachse ermöglicht. Die Leiterschleife ist dazu beispielsweise aus einem leitfä ^¬ higen Material derart ausgebildet, dass ein Leiter der Lei- terschleife zumindest einen Teilbereich des Detektionsele- ments umrandet.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung gemäß dem ers- ten Aspekt umfasst die Sensoreinheit eine Erregerspule und mindestens eine Empfängerspule. Die Erregerspule und die min ^¬ destens eine Empfängerspule sind derart ausgebildet, dass ein durch die Erregerspule erzeugtes magnetisches Feld abhängig von der Verschiebung des Detektionselements bezüglich der Sensoreinheit eine jeweilige Spannung in der mindestens einen Empfängerspule induziert.

Eine derartige Anordnung ermöglicht ein kostengünstiges und präzises Bestimmen der Verschiebung der Welle entlang ihrer Longitudinalachse .

Die Sensoreinheit ist ausgebildet, abhängig von der jeweili ^¬ gen Spannung das Wellenverschiebungssignal zu erzeugen. In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung gemäß dem ers ^¬ ten Aspekt ist das Detektionselement als Permanentmagnet aus ^¬ gebildet. Die Sensoreinheit umfasst einen Hall-Sensor, der abhängig von der Verschiebung des Permanentmagneten bezüglich der Sensoreinheit von einem durch den Permanentmagneten her- vorgerufenen Magnetfeld durchsetzt ist.

Eine derartige Ausbildung hat den Vorteil, dass zur Bestim ^¬ mung der Verschiebung der Welle entlang ihrer Longitudina ^¬ lachse lediglich das Bestimmen des Magnetfelds des Permanent- magneten erforderlich ist, so dass zu einer einfachen Her ^¬ stellung der Sensorvorrichtung beigetragen wird.

Die Sensoreinheit ist ausgebildet, abhängig von der Hall- Spannung des Hall-Sensors das Wellenverschiebungssignal zu erzeugen. In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung gemäß dem ers ^¬ ten Aspekt ist das Detektionselement als Permanentmagnet aus ^¬ gebildet. Die Sensoreinheit umfasst ein magneto-resistives Sensorelement, das abhängig von der Verschiebung des Perma- nentmagneten bezüglich der Sensoreinheit von einem durch den Permanentmagneten hervorgerufenen Magnetfeld durchsetzt ist.

Eine derartige Ausbildung hat den Vorteil, dass zur Bestim ^¬ mung der Verschiebung der Welle entlang ihrer Longitudina- lachse lediglich das Bestimmen des Magnetfelds des Permanent ^¬ magneten erforderlich ist, so dass zu einer einfachen platz ^¬ sparenden Herstellung der Sensorvorrichtung beigetragen wird.

Die Sensoreinheit ist ausgebildet, abhängig von einem elekt- rischen Widerstand des magneto-resistiven Sensorelements das Wellenverschiebungssignal zu erzeugen.

Das magneto-resistive Sensorelement ist beispielsweise als anisotroper Magnetwiderstand (AMR) , als Riesenmagnetowider- stand (GMR) , oder als magnetischer Tunnelwiderstand (TMR) ausgebildet .

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung gemäß dem ers ^¬ ten Aspekt ist das Detektionselement als mindestens eine ers- te Elektrode eines Kondensators ausgebildet. Die Sensorein ^¬ heit umfasst mindestens eine zweite Elektrode des Kondensa ^¬ tors .

Die Sensoreinheit ist ausgebildet, abhängig von einer Kapazi- tät des Kondensators das Wellenverschiebungssignal zu erzeu ^¬ gen .

Gemäß einem zweiten Aspekt zeichnet sich die Erfindung aus durch ein Abgasrückführungsventil, das zur Steuerung eines Abgasflusses im Abgasstrang einer Brennkraftmaschine angeord ^¬ net ist. Das Abgasrückführungsventil umfasst einen Einlass sowie einen Auslass .

Ferner umfasst das Abgasrückführungsventil einen Ventilsitz mit einem Ventilteller, der mit einer als Ventilstange ausge ^¬ bildeten Welle gekoppelt ist, so dass dessen Position bezüg ^¬ lich des Ventilsitzes durch eine Verschiebung der Welle ent ^¬ lang ihrer Longitudinalachse einstellbar ist.

Das Abgasrückführungsventil ist dazu ausgebildet, den Abgas- fluss von dem Einlass zu dem Auslass abhängig von der Positi ^¬ on des Ventiltellers bezüglich des Ventilsitzes zu steuern.

Das Abgasrückführungsventil umfasst ferner eine Sensorvor ^¬ richtung zum Bestimmen der Verschiebung der Welle gemäß dem ersten Aspekt .

Durch die präzise und zuverlässige Bestimmung der Verschie- bung der Welle und die dadurch ermöglichte präzise Abgasrück ^¬ führung wird zu einem effizienten Betrieb der Brennkraftma- schine beigetragen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind im Folgenden anhand der schematischen Zeichnungen erläutert. Es zeigen:

Figur 1 eine Frontansicht eines ersten Ausführungsbeispiels einer Sensorvorrichtung zum Bestimmen einer Ver ^¬ schiebung einer Welle entlang ihrer Longitudina ^¬ lachse,

Figur 2 die Sensorvorrichtung gemäß Figur 1 in einer Drauf ^¬ sicht ,

Figur 3 eine Frontansicht eines zweiten Ausführungsbei ^¬ spiels einer Sensorvorrichtung zum Bestimmen der Verschiebung der Welle entlang ihrer Longitudina ^¬ lachse, Figur 4 die Sensorvorrichtung gemäß Figur 3 in einer Drauf ^¬ sicht und Figur 5 eine Draufsicht eines dritten Ausführungsbeispiels einer Sensorvorrichtung zum Bestimmen der Verschie ^¬ bung der Welle entlang ihrer Longitudinalachse .

Elemente gleicher Konstruktion oder Funktion sind figuren- übergreifend mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

Figur 1 und Figur 2 zeigen jeweils eine Sensorvorrichtung 1 zum Bestimmen einer Verschiebung T einer Welle 3 entlang ih ^¬ rer Longitudinalachse L aus unterschiedlichen Perspektiven. In Figur 1 ist eine Frontansicht der Sensorvorrichtung 1 dar ^¬ gestellt, mit der Longitudinalachse L senkrecht zur Bildebe ^¬ ne .

Die Sensorvorrichtung 1 umfasst zum Bestimmen der Verschie- bung T der Welle 3 in einem ersten Abstand A radial zu der

Longitudinalachse L eine Sensoreinheit 5. Beispielsweise ist eine der Longitudinalachse L zugewandte Seite der Sensorein ^¬ heit 5 bezogen auf eine Ebene senkrecht zu der Longitudina ^¬ lachse L tangential zu einem Kreis angeordnet, dessen Radius dem ersten Abstand A entspricht.

Zwischen der Sensoreinheit 5 und der Welle 3 ist ferner ein Detektionselement 7 angeordnet, das in einem zweiten Abstand R radial zu der Longitudinalachse L beispielsweise mit einem Kopplungselement 9 fix mit der Welle gekoppelt ist. Das Kopp ^¬ lungselement 9 ist beispielsweise als KunstStoffdorn ausgebil ^¬ det, der die Welle 3 von dem Detektionselement 7 beispiels ^¬ weise elektrisch entkoppelt. Beispielsweise weist das Detektionselement 7 an seiner der

Longitudinalachse L zugewandten Seite mindestens eine Ausneh ^¬ mung auf, die zu einer formschlüssigen Kopplung mit dem Kopp- lungselement 9 ausgebildet ist. Zu diesem Zweck ist das De ^¬ tektionselement 7 beispielsweise auf dem Kopplungselement 9 umsprit zt . In einer Neutralstellung der Welle 3, beispielsweise im Fal ^¬ le, dass in der Ebene senkrecht zu der Longitudinalachse L eine Achse durch einen Mittelpunkt des Detektionselements 7 und die Longitudinalachse L senkrecht auf der Sensoreinheit 5 steht, beziehungsweise ein Kippwinkel der Welle 3 zwischen dieser Achse und einer Oberflächennormalen der Sensoreinheit 5 Null Grad beträgt, ist das Detektionselement 7 beispiels ^¬ weise parallel zu der Sensoreinheit 5 angeordnet.

Eine Spaltdistanz B zwischen einer der Longitudinalachse L abgewandten Seite des Detektionselements 7 und der der Longi ^¬ tudinalachse L zugewandten Seite der Sensoreinheit 5 ist in der Ebene senkrecht zu der Longitudinalachse L in einem Be ^¬ reich W einer Überlappung des Detektionselements 7 in Neut ^¬ ralstellung der Welle 3 und der Sensoreinheit 5 konstant.

Figur 2 zeigt die Sensorvorrichtung 1 gemäß dem ersten Aus ^¬ führungsbeispiel in einer Draufsicht, mit der Longitudina ^¬ lachse L parallel zu der Bildebene. Die Sensoreinheit 5 ist dazu ausgebildet, ein Wellenverschiebungssignal zu erzeugen, das abhängig ist von einer Verschiebung des Detektionsele- ments 7 relativ zu der Sensoreinheit 5 entlang der Longitudi ^¬ nalachse L. In der Neutralstellung der Welle 3 repräsentiert das Wellenverschiebungssignal die Verschiebung T der Welle 3 bezüglich der Sensoreinheit 5 entlang der Longitudinalachse L.

Beispielsweise durch Vibrationen oder ein Kippen der Sensor ^¬ vorrichtung 1 kann der Kippwinkel der Welle 3 einen von Null verschiedenen Wert annehmen. In diesem Fall ist die Spaltdistanz B zwischen der der Longitudinalachse L abgewand ^¬ ten Seite des Detektionselements 7 und der der Longitudina ^¬ lachse L zugewandten Seite der Sensoreinheit 5 in dem Bereich W abhängig von dem Kippwinkel . Insbesondere ist das Wellen ^¬ verschiebungssignal so beispielsweise mit einem Messfehler behaftet . Ein zweites Ausführungsbeispiel (Figur 3) unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel gemäß Figur 1 daher durch eine Ausbildung des Detektionselements 7. Das Detektionsele- ment 7 ist an seiner der Longitudinalachse L abgewandten Sei ^¬ te bezogen auf die Ebene senkrecht zu der Longitudinalachse L konvex ausgebildet. Insbesondere ist eine Krümmung der der

Longitudinalachse L abgewandten Seite des Detektionselements in der Ebene senkrecht zu der Longitudinalachse L gleich ei ^¬ ner Krümmung eines Kreises in dieser Ebene, dessen Radius den zweiten Abstand R des Detektionselements 7 zu der Longitudi- nalachse L entspricht. In vorteilhafter Weise ist so in dem

Bereich W die Spaltdistanz B unabhängig von dem Kippwinkel .

Das Detektionselement 7 ist beispielsweise als leitendes Plättchen ausgebildet. Die Sensoreinheit 5 umfasst beispiels- weise eine Erregerspule 11, sowie zwei Empfängerspulen 13, 15, die beispielsweise auf eine Leiterplatte aufgedruckt sind .

Beispielsweise wird die Erregerspule 11 von einem Wechsel- ström durchflössen. Ein durch die Erregerspule 11 erzeugtes magnetisches Feld erfährt abhängig von der Verschiebung des Detektionselements 7 eine Dämpfung, beispielsweise infolge von Wirbelströmen in dem Plättchen. Mittels den Empfängerspu ^¬ len 13, 15, in denen jeweils durch das durch die Erregerspule 11 erzeugte magnetische Feld eine Spannung induziert wird, wird das Wellenverschiebungssignal erzeugt.

Beispielsweise zur Kompensation einer Verschiebung der Welle 3 in der Ebene senkrecht zu der Longitudinalachse L weist je- weils ein Leiter der Empfängerspulen 13, 15 in dem Bereich W in einer Ebene parallel der Sensoreinheit 5 gleichzeitig eine Komponente senkrecht zu der Longitudinalachse L sowie eine Komponente parallel zu der Longitudinalachse L auf (Figur 4) .

In vorteilhafter Weise kann so beispielsweise durch ein Dif- ferenzsignal der Empfängerspulen 13, 15 das Wellenverschie ^¬ bungssignal zudem mit besonders hoher Auflösung ermittelt werden. Insbesondere durch die konvex ausgebildete Seite des Detektionselements 7 wird eine derartige Ausbildung der Lei ^¬ ter der Empfängerspulen 13, 15 und damit ein präzises Bestim- men der Verschiebung T im Wesentlichen unabhängig von dem Kippwinkel der Welle 3 ermöglicht.

Ein drittes Ausführungsbeispiel (Figur 5) unterscheidet sich von dem zweiten Ausführungsbeispiel dadurch, dass die Sensor- einheit mit zwei Elektrodenflächen 16, 17 ausgebildet ist. Diese sind über das als leitfähiges Plättchen ausgebildete Detektionselement 7 kapazitiv gekoppelt und bilden eine von der Verschiebung des Detektionselements 7 relativ zu der Sen ^¬ soreinheit 5 entlang der Longitudinalachse L abhängige Kapa- zität. In Verbindung mit Brückenelementen 181, 182, 183 er ^¬ gibt sich eine Vollbrücke 18, deren mittels Spannungsmesser 184 messbare Diagonalspannung abhängig ist von der Verschie ^¬ bung des Detektionselements 7, wobei die Brückenelemente 181, 182 jeweils als Widerstand ausgebildet sind und eine Wider- Standshalbbrücke ergeben und das Brückenelement 183 als Fest ^¬ wert-Kapazität ausgebildet ist. Zusätzlich ist eine Brücken ^¬ versorgung 185 mit der Vollbrücke 18 gekoppelt.

Dies hat den Vorteil, dass das Detektionselement 7 nicht elektrisch kontaktiert werden muss und somit keine bewegten Leitungen verbaut werden müssen. Ferner ist das Detektionse- lement 7 an seiner der Longitudinalachse L abgewandten Seite bezogen auf die Ebene senkrecht zu der Longitudinalachse L konvex ausgebildet, so dass die Diagonalspannung die Ver- Schiebung T der Welle 3 bezüglich der Sensoreinheit 5 entlang der Longitudinalachse L im Wesentlichen unabhängig von dem Kippwinkel repräsentiert. Abhängig von einer Dimensionie- rung der Brückenelemente 181, 182, 183 hat die Diagonalspan ^¬ nung nur einen vernachlässigbaren Offset der Amplitude, was eine fehlerarme Weiterverarbeitung, beispielsweise mittels Differenzverstärker ermöglicht.