| JP2011102710 | LIGHT SCATTERING PARTICLE DETECTOR AND FIRE ALARM |
| JP2004347374 | ULTRASONIC FLUID SENSOR |
| WO/2012/004113 | ULTRASONIC PARTICLE MEASURING SYSTEM |
BAARS, Enno (Bruhweg 13, Gerlingen, 70839, DE)
HETZNECKER, Alexander (Ersigstr. 7, Ettlingen, 76275, DE)
DIEHL, Lothar (Panoramastr. 73/2, Gerlingen, 70839, DE)
SCHITTENHELM, Henrik (Gaisburgstr. 33, Stuttgart, 70182, DE)
KRUSE, Peer (Maria Merian Str. 24, Bietigheim-Bissingen, 74321, DE)
BAARS, Enno (Bruhweg 13, Gerlingen, 70839, DE)
HETZNECKER, Alexander (Ersigstr. 7, Ettlingen, 76275, DE)
DIEHL, Lothar (Panoramastr. 73/2, Gerlingen, 70839, DE)
SCHITTENHELM, Henrik (Gaisburgstr. 33, Stuttgart, 70182, DE)
Ansprüche
1. Sensorelement zur Bestimmung einer Gaskomponente oder von Partikeln in einem Messgas, mit einer ersten und einer zweiten Messelektrode (15, 16), dadurch gekennzeichnet, dass die Messelektroden (15, 16) als Interdigitalelektroden ausgeführt sind, wobei die Interdigitalelektroden eine Reihe ineinandergreifender Verzweigungen (15a, 16a) aufweisen sowie jeweils einen Hauptstrang (15b, 16b), mit dem die Verzweigungen (15a, 15b) elektrisch leitend verbunden sind, und wobei die Verzweigungen (15a, 16a) der Interdigitalelektroden im wesentlichen parallel zu einer Längsachse des Sensorelementes (10) ausgerichtet sind.
2. Sensorelement zur Bestimmung einer Gaskomponente oder von Partikeln in einem Messgas, mit einer ersten und einer zweiten Messelektrode (15, 16), dadurch gekennzeichnet, dass die Messelektroden (15, 16) als Interdigitalelektroden ausgeführt sind, wobei die Interdigitalelektroden (15, 16) eine Reihe ineinandergreifender Verzweigungen (15a, 16a) aufweisen sowie jeweils einen Hauptstrang (15b, 16b), mit dem die Verzweigungen (15a, 16a) elektrisch leitend verbunden sind, und wobei die Verzweigungen (15a, 16a) zumindest einer Interdigitalelektrode zumindest bereichsweise mit einem größeren Abstand zu einer Längssymmetrieachse des Sensorelementes (10) positioniert sind als die Elektrodenzuleitung (22, 24) der Interdigitalelektroden.
3. Sensorelement zur Bestimmung einer Gaskomponente oder von Partikeln in einem Messgas, mit einem aus mindestens zwei keramischen Schichten (I Ia, 1 Ib) aufgebauten Sensorkörper und mit einer ersten und einer zweiten Messelektrode (15, 16), wobei die erste und die zweite Messelektrode (15, 16) jeweils eine Elektrodenzuleitung (22, 24) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrodenzuleitung (22) der ersten Messelektrode (15) zumindest bereichsweise in einer anderen keramischen Schichtebene (1 Ib) geführt ist als die Elektrodenzuleitung (24) der zweiten Messelektrode (16).
4. Sensorelement zur Bestimmung einer Gaskomponente oder von Partikeln in einem Messgas, mit einer ersten und einer zweiten Messelektrode (15, 16), wobei die erste und die zweite Messelektrode jeweils eine Elektrodenzuleitung (22, 24) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine der Messelektroden (15) aus zwei Halbelektroden (151, 1511) ausgeführt ist, die lediglich über eine Elektrodenzuleitung (22) elektrisch leitend miteinander verbunden sind.
5. Sensorelement nach einem der Ansprüche 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Messelektroden (15, 16) als Interdigitalelektroden ausgeführt sind.
6. Sensorelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Messelektroden (15, 16) zumindest bereichsweise an einer Außenkante des Sensorelementes (10) positioniert ist.
7. Sensorelement nach einem der Ansprüche 1, 2 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zweier benachbarter Verzweigungen (15a, 16a) derselben Messelektrode zwischen 40 und 200 μm beträgt.
8. Sensorelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Heizelement oder ein Temperaturmessfühler vorgesehen ist.
9. Verfahren zur Herstellung eines Sensorelementes zur Bestimmung einer Gaskomponente oder von Partikeln in einem Messgas, insbesondere eines Sensorelementes nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem mindestens zwei Sensorelemente auf einem gemeinsamen Substrat erzeugt werden und nachfolgend vereinzelt werden, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Vereinzelung mindestens eine Elektrode (15, 16) des Sensorelementes durchtrennt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Elektrode (15, 16) als Interdigitalelektrode mit einer Reihe ineinandergreifender Verzweigungen (15a, 16a) und einem Hauptstrang (15b, 16b), der mit den Verzweigungen (15a, 16a) elektrisch leitend verbunden ist, ausgeführt wird, und dass bei der Vereinzelung mindestens einer der Hauptstränge (15b, 16b) durchtrennt wird.
11. Verwendung eines Sensorelementes nach einem der Ansprüche 1 bis 8 zur Bestimmung von Ruß in Abgasen von Verbrennungsmotoren oder von stationären Verbrennungsanlagen. |
Beschreibung
Titel
Sensorelement eines Gassensors
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Bestimmung einer Gaskomponente oder von Partikeln in einem Messgas sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung nach dem Oberbegriff der unabhängigen Ansprüche.
Stand der Technik
Der effektive Einsatz von Abgasnachbehandlungssystemen setzt deren Kontrolle hinsichtlich ihrer Funktionstüchtigkeit im Dauereinsatz voraus. Dazu werden Sensoren benötigt, mit denen auch im Langzeitbetrieb eine bspw. genaue Ermittlung der aktuell in einem Verbrennungsabgas vorliegenden Partikelkonzentration ermöglicht werden kann. Darüber hinaus soll mittels derartiger Sensoren eine Beladungsprognose beispielsweise eines in einem Abgassystem vorgesehenen Dieselpartikelfilter ermöglicht werden, um eine hohe Systemsicherheit zu erreichen und dadurch kostengünstigere Filtermaterialien einsetzen zu können. Für diese Anwendung sind insbesondere resistive Rußsensoren geeignet, die die Widerstandsänderung einer interdigitalen Elektrodenstruktur aufgrund von Rußanlagerungen zur Detektion des Rußes heranziehen.
So ist aus der DE 10 2004 046 882 Al ein Sensor zur Detektion von Ruß in einem Fluidstrom bekannt, der auf der Basis eines keramischen Substrats ausgeführt ist. Er umfasst zwei voneinander beabstandete, als Interdigitalelektroden ausgeführte Messelektroden, die dem zu untersuchenden Verbrennungsabgas ausgesetzt sind. Lagert sich zwischen den Messelektroden Ruß ab, so kommt es zu einer Reduzierung des Isolationswiderstandes des keramischen Materials. Dies wird detektiert und einer Rußkonzentration im Fluidstrom zugeordnet. Ein Heizelement des Sensors ermöglicht es, die Elektroden bzw. deren Umgebung auf thermischem Wege von abgelagerten Rußpartikeln zu befreien.
Die Herstellung derartiger resistiver keramischer Partikelsensoren erfolgt zunächst auf einem gemeinsamen keramischen Substrat. Abschließend erfolgt eine Vereinzelung der entsprechenden
Sensorelemente. Bedingt durch Fertigungstoleranzen, bspw. bei Aufbringung der Messelektroden des Sensorelementes mittels Siebdruck, werden diese nur in einem begrenzten Bereich der Sensoroberfläche appliziert, um zu verhindern, dass bei der Vereinzelung der Sensorelemente die Leiterbahnen der Elektroden durchtrennt werden und der Sensor betriebsunfähig wird. Aufgrund dieser Toleranzen werden die Elektroden je nach Positionierung innerhalb des Toleranzbereichs mehr oder weniger zentriert auf dem Sensorelement angeordnet. Es hat sich jedoch gezeigt, dass die Sensorfunktionalität eines Sensorelementes eine deutliche Abhängigkeit von der Positionierung der Elektroden auf dem Sensorelements zeigt. Die Fertigungstoleranzen beim Vereinzeln der Sensorelementes führen daher zu einer Exemplarstreuung der resultierenden Sensorelemente.
Aufgabe und Vorteile der Erfindung
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Sensorelement für Sensoren zur Bestimmung einer Gaskomponente oder von Partikeln in einem Messgas bzw. ein Verfahren zu dessen Herstellung bereitzustellen, dessen Sensorfunktionalität im wesentlichen unabhängig von Fertigungstoleranzen während der Vereinzelung der Sensorelemente ist.
Diese Aufgabe wird durch ein Sensorelement bzw. ein Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen der unabhängigen Ansprüche in vorteilhafter Weise gelöst.
Dies beruht insbesondere darauf, dass die Messelektroden des Sensorelementes so auf einer Oberfläche des Sensorelementes positioniert sind, dass diese während des Vereinzelungsprozesses der Sensorelemente gezielt durchtrennt werden können, ohne in ihrer Funktion beeinträchtigt zu werden. Aus diesem Grund ist es möglich, die Messelektroden des Sensorelementes bewusst bis zur Außenkante des Sensorelementes zu führen. Auf diese Weise wird zum einen eine Exemplarstreuung durch den Vereinzelungsprozess vermieden und zum zweiten steigt die Sensorempfindlichkeit überproportional an, da eine Vergrößerung des sensitiven Bereichs erreicht wird und darüber hinaus die Sensitivität von Elektroden im Bereich der Außenkante eines Sensorelementes aufgrund der günstigen Ansrömbedingungen für ein zutretendes Messgas besonders ausgeprägt ist.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen des vorliegenden Sensorelements bzw. Verfahrens zum Herstellen desselben ergeben sich aus den Unteransprüchen.
So ist von Vorteil, wenn die Messelektroden als Interdigitalelektroden ausgeführt sind, deren Verzweigungen einen Abstand zwischen 40 und 200 μm aufweisen. Auf diese Weise ist zuverlässig
gewährleistet, dass auch geringe Partikelkonzentrationen in einem überschaubaren Zeitraum detektiert werden können.
Weiterhin ist von Vorteil, wenn das Sensorelement ein Heizelement bzw. einen Temperaturmessfühler aufweist. Auf diese Weise ist eine zeitweilige Beheizung und Regenerierung des Sensorelementes möglich sowie eine Temperaturkompensation der mit dem Sensorelement ermittelten Messsignale.
Das beschriebene Sensorelement ist vorteilhaft einsetzbar zur Bestimmung von Ruß in Abgasen von Verbrennungsmotoren oder von stationären Verbrennungsanlagen.
Ausführungsbeispiele
Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden, darauf Bezug nehmenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen
Figur 1 die schematische Darstellung eines Sensorelementes zur Bestimmung von
Partikeln gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel in einer Explosionsdarstellung und
Figur 2 die schematische Darstellung eines Sensorelementes zur Bestimmung von
Partikeln gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel in einer Aufsicht.
Die in den Figuren 1 und 2 verwendeten Bezugszeichen bezeichnen, soweit nicht anders angegeben, stets funktionsgleiche Bau- und Systemkomponenten.
In Figur 1 ist ein prinzipieller Aufbau einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt. Mit 10 ist ein keramisches Sensorelement bezeichnet, das der Bestimmung einer Partikelkonzentration, wie beispielsweise der Rußkonzentration, in einem das Sensorelement umgebenden Gasgemisch dient. Das Sensorelement 10 umfasst beispielsweise eine Mehrzahl von keramischen Schichten 1 Ia und I Ib, die einen planaren keramischen Körper bilden. Sie bestehen vorzugsweise aus einem elektrisch isolierenden Material wie beispielsweise Aluminiumoxid, bariumhaltigem Aluminiumoxid oder Cerdioxid. In einer alternativen Ausführungsform sind die keramischen Schichten aus einem sauerstoffionenleitenden Festelektrolytmaterial, wie beispielsweise mit Y 2 O 3 stabilisiertem oder teilstabilisiertem Zrü 2 ausgeführt, wobei in diesem Fall alle elektrisch leitfähigen Zuleitungen für Messelektroden oder ggf. Heizelement bzw. Temperaturfühler durch nicht dargestellte Isolierschichten aus einem elektrisch isolierenden keramischen Material gegenüber dem
umgebenden Festelektrolytmaterial isoliert sind. Eine weitere Möglichkeit besteht in der Verwendung sogenannte Low Temperature Cofϊred Ceramics (LTCC) als Material der keramischen Schichten.
Die integrierte Form des planaren keramischen Körpers des Sensorelements 10 wird durch Zusammenlaminieren der mit Funktionsschichten bedruckten keramischen Folien und anschließendem Sintern der laminierten Struktur in an sich bekannter Weise hergestellt.
Auf einer Großfläche des Sensorelementes sind beispielsweise zwei Messelektroden 15, 16 aufgebracht, die vorzugsweise als ineinander verzahnte Interdigitalelektroden ausgebildet sind. Die Verwendung von Interdigitalelektroden als Messelektroden 15, 16 ermöglicht eine besonders genaue Bestimmung des elektrischen Widerstandes bzw. der elektrischen Leitfähigkeit des sich zwischen den Messelektroden 15, 16 befindenden Oberflächenmaterials.
Zur Kontaktierung der Messelektroden 15, 16 sind im Bereich eines dem Gasgemisch abgewandten Ende des Sensorelements Kontaktflächen 18, 20 vorgesehen, die durch Elektrodenzuleitungen 22, 24 mit den Messelektroden 15, 16 verbunden sind.
Während des Betriebs des Sensorelementes 10 wird an die Messelektroden 15, 16 eine Spannung angelegt. Da die Messelektroden 15, 16 bspw. auf der Oberfläche der elektrisch isolierenden keramischen Schicht I Ia aufgebracht sind, kommt es zunächst im wesentlichen zu keinem Stromfluss zwischen den Messelektroden 15, 16. Enthält ein das Sensorelement 10 umströmendes Messgas elektrisch leitfähige Partikel, insbesondere Ruß, so lagern sich diese auf der Oberfläche der keramischen Schicht 1 Ia ab. Da Ruß eine bestimmte elektrische Leitfähigkeit aufweist, kommt es bei ausreichender Beladung der Oberfläche der keramischen Schicht 1 Ia mit Ruß zu einem ansteigenden Stromfluss zwischen den Messelektroden 15, 16, der mit dem Ausmaß der Beladung korreliert.
Wird nun an die Messelektroden 15, 16 eine vorzugsweise konstante Gleich- oder Wechselspannung angelegt und der zwischen den Messelektroden 15, 16 auftretende Stromfluss ermittelt, so kann eine Impedanz- oder Kapazitätsänderung erfasst und die Beladung des Sensorelementes mit Ruß detektiert werden. Weiterhin kann aus dem Integral des Stromflusses über der Zeit auf die abgelagerte Partikelmasse bzw. auf den aktuellen Partikelmassenstrom, insbesondere Rußmassenstrom, und auf die Partikelkonzentration im Gasgemisch geschlossen werden. Mit dieser Messmethode wird die Konzentration all derjenigen Partikel in einem Gasgemisch erfasst, die die elektrische Leitfähigkeit des sich zwischen den Messelektroden 15, 16 befindenden keramischen Materials positiv oder negativ beeinflussen.
Das Aufbringen der Elektrodenstrukturen der Messelektroden 15,16 auf die keramische Schicht I Ia kann direkt per Siebdruck in Cofiretechnik oder auch im Nachgang zur Herstellung des keramischen Grundträgers durch anschließendes Einbrennen der Struktur durch Postfiring erfolgen. Der Vorteil des Postfϊring liegt in der zusätzlichen Verwendbarkeit weiterer Materialien, die eine Sinterung im Rahmen des Cofiring bei ca. 1400 0 C nicht überstehen würden. Zur Aufbringung der Messelektroden 15,16 mittels Postfiring bieten sich Beschichtungsprozesse an, die berührungslos arbeiten, wie z.B. Inkj et-Techniken.
Das Sensorelement 10 weist weiterhin vorzugsweise ein nicht dargestelltes keramisches Heizelement auf, das in Form einer elektrischen Widerstandsleiterbahn ausgeführt ist und der Aufheizung des Sensorelementes 10 insbesondere auf die Temperatur des zu bestimmenden Gasgemischs bzw. zum Abbrand der auf den Großflächen des Sensorelementes abgelagerten Rußpartikel dient. Die Widerstandsleiterbahn ist vorzugsweise in Form eines Mäanders ausgebildet. Durch Anlegen einer entsprechenden Heizspannung an die Widerstandsleiterbahn kann die Heizleistung des Heizelementes entsprechend reguliert werden.
Darüber hinaus kann das Sensorelement 10 einen nicht dargestellten Temperaturmessfühler umfassen, der vorzugsweise in Form einer elektrischen Widerstandsleiterbahn ausgeführt ist oder alternativ als Thermoelement, NTC- bzw. PTC-Widerstand. Der Temperaturmessfühler dient der Messung der Temperatur des Gasgemischs und wird u.a. zur Korrektur des temperaturabhängigen gemessenen Widerstandes des sich zwischen den Messelektroden 15,16 befindenden keramischen Materials bzw. zur Korrektur der Diffusionsanlagerung verwendet.
Wird das Sensorelement in einem Sensor zur Bestimmung der Rußkonzentration in einem Abgassystem eingesetzt und existiert in diesem System ein separater Abgastemperatursensor oder alternativ ein Steuergerät mit einem als Kennfeld hinterlegten Temperaturmodell, so kann auf einen in das Sensorelement integrierten Temperaturmessfühler verzichtet werden.
Die Herstellung des Sensorelementes 10 erfolgt, indem zunächst mehrere keramische Sensorelemente auf einem gemeinsamen keramischen Substrat erzeugt und nachfolgend vereinzelt werden. Bedingt durch Fertigungstoleranzen bei der Herstellung der Sensorelemente, bspw. bei der Aufbringung der Messelektroden 15, 16 mittels Siebdruck, steht bei üblichen Sensorelementen nur ein begrenzter Bereich der Sensoroberfläche zur Verfügung, da bei überschreitung dieses Bereichs die Gefahr besteht, dass die leitfähigen Pfade der Messelektroden bei der nachfolgenden Vereinzelung der Sensorelemente beschädigt werden und es zu einem Totalausfall des Sensorelementes kommt.
Demgegenüber erfolgt die Anordnung der Messelektroden 15, 16 bzw. der Elektrodenzuleitungen 22 oder 24 bei einem Sensorelement gemäß der Erfindung in einer Weise, dass es bei Durchtrennung der leitfähigen Pfade einer der Messelektroden 15, 16 nicht zu einer Beeinträchtigung der Funktionalität der Messelektroden 15, 16 kommt. Die Messelektroden 15, 16 sind vorzugsweise als Interdigitalelektroden ausgeführt, wobei die Interdigitalelektroden eine Reihe ineinandergreifender Verzweigungen 15a, 16a aufweisen sowie jeweils einen Hauptstrang 15b, 16b, mit dem die Verzweigungen 15a, 16a elektrisch leitend verbunden sind, und wobei die Verzweigungen der Interdigitalelektroden 15a, 16a im wesentlichen parallel zu einer Längsachse des Sensorelementes 10 ausgerichtet sind. Dabei werden vorzugsweise die Hauptstränge 15b, 16b bis an die zu einer Längsachse des Sensorelementes 10 parallelen Außenkante der keramischen Schicht 1 Ia geführt und somit über die gesamte Breite des Sensorelementes 10 positioniert, sodass sie bei Vereinzelung des Sensorelementes 10 durchtrennt werden. Dabei kommt es jedoch nicht, wie bei üblichen Sensorelementen, zu einem Ausfall der entsprechenden Messelektrode, sondern es werden lediglich einzelne Verzweigungen 15a, 16a abgetrennt. Daraus ergeben sich minimale Unterschiede der Sensorelemente hinsichtlich ihrer Messelektroden 15, 16, die sich um maximal eine Verzweigung 15a, 16a unterscheiden, wodurch die Größe des sensitiven Bereichs um den Abstand zweier Verzweigungen 15a, 16a der ca. 40 bis 200 μm, insbesondere 60 bis 170 μm betragen kann, abweichen kann.
Der besondere Vorteil dieser Elektrodenanordnung besteht darin, dass der sensitive Bereich des Sensorelementes 10 gebildet durch die ineinander greifenden Messelektroden 15, 16 maximiert wird und dass der sensitive Bereich insbesondere auch in den Bereich der Außenkanten der keramischen Schicht I Ia erweitert wird, der für die Sensitivität des Sensorelementes 10 von hoher Bedeutung ist.
Um diese Elektrodenanordnung zu realisieren, wird vorzugsweise mindestens eine der Elektrodenzuleitungen 22, 24 in einer anderen Schichtebene des Sensorelementes 10 geführt, beispielsweise in der Schichtebene der keramischen Schicht I Ib. Die Kontaktierung der in einer anderen Schichtebene des keramischen Sensorelementes 10 geführten Elektrodenzuleitung 22 erfolgt mittels Durchkontaktierungen, um die elektrische Verbindung der Elektrodenzuleitung 22 mit der Kontaktstelle 20 bzw. der Messelektrode 15 zu gewährleisten.
Weiterhin werden die Elektrodenzuleitungen 22, 24 vorzugsweise mit einem Sicherheitsabstand zu den Außenkanten des Sensorelementes 10 auf der keramischen Schicht I Ia, I Ib aufgebracht, da bei einer Durchtrennung derselben die zugehörige Messelektrode 15,16 funktionsuntüchtig würde. Auf diese Weise weisen die Verzweigungen 15a, 16a zumindest bereichsweise einen größeren Abstand zu einer Längssymmetrieachse des Sensorelementes 10 auf als die Elektrodenzuleitungen 22, 24.
Eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist Figur 2 dargestellt. Dabei ist vorzugsweise eine der beiden Messelektroden 15, 16 in Form von zwei Teilelektroden 151, 1511 ausgeführt. Beide Teilelektroden 151, 1511 weisen eine gemeinsame Elektrodenzuleitung 22 auf, die sich beispielsweise im Bereich der Messelektrode 15 verzweigt, wobei jede Teilelektroden 151, 1511 durch eine Verzweigung kontaktiert wird. Die beiden Teilelektroden 151, 1511 sind dabei derart auf der Oberfläche der keramischen Schicht I Ia positioniert, dass insbesondere mittig zwischen den beiden Teilelektroden 151, 1511 die Elektrodenzuleitung 24 der zweiten Messelektrode 16 geführt werden kann, ohne dass es zu einem elektrischen Kontakt mit einer der beiden Teilelektroden 151, 1511 kommt. Da sich jedoch die Elektrodenzuleitungen 22, 24 bei dieser Anordnung der Messelektroden 15,16 kreuzen, sind beide Elektrodenzuleitungen 22, 24 zumindest in dem Bereich, indem sie sich kreuzen in verschiedenen Schichtebenen des Sensorelementes 10 geführt oder zumindest durch eine isolierende keramischen Schicht voneinander getrennt aufgebracht. Eine alternative Lösungen sieht vor, dass jede der Teilelektroden 151, 1511 eine separate Elektrodenzuleitung aufweist und somit drei Kontaktstellen zur Kontaktierung der Messelektroden 151, 1511, 16 vorgesehen sind.
Das Sensorelement gemäß vorliegender Erfindung eignet sich insbesondere zur Bestimmung der Rußkonzentration in Abgasen von Verbrennungsmotoren oder stationären Verbrennungseinrichtungen wie Heizanlagen, Turbinen oder Kraftwerken. Es eignet sich jedoch auch zur Bestimmung der Partikelkonzentration in Fluiden, wie sie beispielsweise in der chemischen Industrie zum Einsatz kommen.