Die Erfindung bezieht sich auf ein Sensorelement, ein Thermometer, auf ein Verfahren zur Bestimmung einer Temperatur, sowie auf die Verwendung des Verfahrens zur Validierung, Kalibrierung, Justierung und/oder Eichung eines Thermometers.

Derartige Sensorelemente, die beispielsweise zur Erfassung einer Temperatur verwendet werden und beispielsweise aus einem temperaturabhängigen Widerstand bestehen, sind aus einer Vielzahl von Anwendungen, insbesondere der Prozessautomatisierungstechnik bekannt geworden.

So ist beispielsweise aus der Patentanmeldung DE 2251969 A eine Vorrichtung zur Temperaturkonstanthaltung bekannt geworden, bei der ein Transistor als Heizelement und eine Diode mit temperaturabhängigen Eigenschaften aus einer Substanz mit einem anormalen Sprung der elektrischen Leitfähigkeit vorgeschlagen wird.

Ferner ist aus der Offenlegungsschrift DE 2300199 A eine Pulvermasse bestehend aus Widerstandoxiden bekannt geworden. Aus der Offenlegungsschrift DE 2424468 A ist eine temperaturkompensierte

Thermorelaiseinrichtung bekannt geworden, bei der bei einer vorgegebenen

Übergangstemperatur eine plötzliche Impedanzveränderung auftritt.

Aus der Patentschrift DE 243691 1 B ist ferner ein Verfahren zur Herstellung von

Dünnschichtheißleiterelementen auf der Basis von Vanadiumoxid bekannt geworden, bei dem auf ein geeignetes Substrat eine dünne Schicht aufgebracht wird, die überwiegend aus einem Vanadiumoxidmaterial besteht, wobei das Vanadiumoxidmaterial ferner mit Fremdatomen dotiert wurde. Prinzipiell ist es bei der Temperaturmessung ein Problem eine verlässliche

Temperaturmessung zu gewährleisten, bei der beispielsweise keine altersbedingten Drift- Effekte auftreten. Zudem ist es ein notorisches Problem bei der Messung einer

Temperatur den Messaufnehmer, das sogenannte Temperatursensorelement zu validieren, justieren, kalibrieren und/oder zu eichen. Insbesondere in der

Prozessautomatisierungstechnik sind derartige Sensorelemente wie bspw. in

Thermometern oder allgemein Vorrichtungen zur Bestimmung einer Temperatur oftmals derart in den Prozess integriert, dass ein Ausbau einer derartigen Vorrichtung oftmals nur mit größerem Aufwand möglich ist oder besondere Vorrichtungen, wie beispielsweise Einbauarmaturen erfordert, die zu diesem Zweck überhaupt geeignet sind. Bspw. befasst sich die Offenlegungsschrift DE 102010040039 A1 mit der bei der Justierung,

Kalibrierung oder Eichung auftretenden Problemstellungen bei Thermometern.

Ausgehend von dieser aus dem Stand der Technik bekannten Problemstellungen ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine langzeitstabile Kalibrierung, Validierung,

Justierung und/oder Eichung auf besonders einfache insbesondere kompakte Weise zu ermöglichen.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Sensorelement, ein Thermometer umfassend ein Sensorelement, ein Verfahren zur Bestimmung einer Temperatur und die Verwendung des Verfahrens zur Validierung, Kalibrierung, Justierung und/oder Eichung eines Thermometers gelöst.

Hinsichtlich des Sensorelements wird die Aufgabe durch ein Sensorelement gelöst, welches Sensorelement eine erste und eine zweite Messstrecke umfasst, wobei die erste Messstrecke über ein erstes Segment aus einem ersten Material verläuft und die zweite Messstrecke zumindest teilweise über dieses aus dem ersten Material bestehende erste Segment verläuft, wobei die zweite Messstrecke zudem über ein zweite Segment verläuft, welches aus einem zweiten Material besteht, welches zweite Material sich von dem ersten Material unterscheidet.

Das Sensorelement kann bestimmungsgemäß beispielsweise zur Temperaturmessung oder zur Messung einer anderen chemischen und/oder physikalischen Größe verwendet werden. Zur Bestimmung dieser Prozessgröße kann dabei die erste Messstrecke, welche zumindest abschnittsweise aus einem ersten Material besteht verwendet werden.

Beispielsweise kann die erste Messstrecke über entsprechende (Signal-)Abgriffe, die zum Abgreifen eines Messsignals dienen, definiert werden. Ebenso kann die zweite

Messtrecke durch entsprechende (Signal-)Abgriffe gebildet werden. Vorzugsweise wird dabei die erste und die zweite Messstrecke derart gebildet, dass sich die erste und die zweite Messstrecke zumindest teilweise überlappen. Von besonderem Vorteil ist dabei, dass die zweite Messstrecke zumindest teilweise über das erste Segment als auch über das zweite Segment, welches aus einem gegenüber dem ersten Material verschiedenen Material besteht, verläuft. Dadurch kann eine besonders kompakte Sensorbauform erreicht werden. Insbesondere ist nur eine geringe Anzahl an (Signal-)Abgriffen erforderlich.

In einer Ausführungsform des Sensorelements handelt es sich bei dem ersten Material um Platin beziehungsweise ein platin-haltiges Material. Es kann auch ein anderes Material verwendet werden, das beispielsweise einen temperaturabhängigen

Widerstandswert aufweist.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements handelt es sich bei dem zweiten Material um ein Übergangsmetall, vorzugsweise Vanadium oder ein Vanadiumoxid, beziehungsweise ein Übergangsmetall enthaltendes, vorzugsweise ein Vanadium- oder ein Vanadiumoxid enthaltendes, Material. Bei dem zweiten Material kann es sich allgemein um ein Material handeln, das in Abhängigkeit der Temperatur eine sich ändernde physikalische Eigenschaft, wie beispielsweise elektrische Eigenschaften, wie insbesondere elektrische Leitfähigkeit aufweist. Besonders geeignet für ein derartigen Verwendungszweck sind dabei vanadiumhaltige Materialien, insbesondere

Vanadiumoxide wie Vanadium-ll-oxid, Vanadium-lll-oxid, Vanadium-IV-oxid und/oder Vanadium-V-oxid. In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements verlaufen die erste und die zweite Messstrecke dabei auf demselben Substrat. Bei dem Substrat handelt es sich um einen Träger auf den die Messtrecken beispielsweise aufgebracht sind. Bei den

Messstrecken kann es sich auch um auf das Substrat aufgebrachte Strukturen handeln. Es ist zudem auch möglich, Messstrecken nicht nur an der Oberfläche des Substrat verlaufen, sondern auch durch das Substrat hindurch oder zumindest teilweise durch das Substrat hindurch verlaufen.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements handelt es sich bei dem ersten Segment und bei dem zweiten Segment um eine Dünnfilmschicht und/oder eine

Dickfilmschicht. Diese Schichten weisen eine Schichtdicke vom Nanometerbereich bis in den Mikrometerbereich auf.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements grenzen das erste und das zweite Segment aneinander an.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements erfährt das Material aus dem das zweite Segment besteht bei einer vorgegebenen Temperatur eine Phasenumwandlung. Der Effekt der Phasenumwandlung kann beispielsweise mit der Änderung einer physikalischen Eigenschaft, wie beispielsweise der elektrischen Leitfähigkeit des Materials, aus dem das zweite Segment besteht, einhergehen. Unter Ausnutzung der

Änderung dieser physikalischen Eigenschaft des Materials kann somit eine sich ändernde Eigenschaft dieses zweiten Materials über abtasten, wie beispielsweise beaufschlagen der zweiten Messstrecke mit einem Messsignal, erkannt werden. Dies kann

beispielsweise parallel zum Beaufschlagen der ersten Messstrecke mit einem Messsignal, insbesondere mit demselben Messsignal, stattfinden. Zu diesem Zweck ist lediglich ein zusätzlicher Abgriff über dem zweiten Segment erforderlich. Beispielsweise kann ein erster und ein zweiter Abgriff an dem ersten Segment vorgesehen sein und ein dritter Abgriff an dem zweitem Segment vorgesehen sein. Beispielsweise eine erste Messstrecke zwischen dem ersten und dem zweiten Abgriff gebildet werden während eine zweite Messstrecke zwischen dem ersten und dritten beziehungsweise dem zweiten und dritten Abgriff gebildet wird.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements geht durch die

Phasenumwandung des zweiten Materials, das zweite Material von einem Zustand mit einer ersten elektrischen Leitfähigkeit in einem Zustand mit einer zweiten elektrischen Leitfähigkeit über. Die Änderung der elektrischen Leitfähigkeit kann erfasst und zur Direktion der Phasenumwandlung genutzt werden. Aus der Phasenumwandlung wiederum kann auf die vorliegende Temperatur geschlossen werden. Dadurch steht ein Vergleichstemperaturwert, d. h. ein Referenzwert zur Verfügung, um die von dem

Sensorelement gelieferten Messsignale zu justieren, kalibrieren und/oder zu eichen. Beispielsweise kann durch die Erfassung der Phasenwandlung über die zweite

Messstrecke die Verlässlichkeit der über die erste Strecke erhaltenen Messsignale überprüft und gegebenenfalls korrigiert werden.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements geht das zweite Material durch die Phasenumwandlung von einem Zustand, in welchem das zweite Material elektrisch im Wesentlichen isoliert in einen elektrisch leitfähigen Zustand über. Die Änderungen der elektrischen Leitfähigkeit kann, wie erwähnt, zur Auswertung herangezogen werden.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements wird die erste Messstrecke durch einen ersten Widerstandsabgriff und die zweite Messstrecke durch einen zweiten Widerstandsabgriff gebildet. Die Widerstandsabgriffe können dabei, wie bereits geschildert, an dem ersten Segment und an dem zweiten Segment vorgesehen sein. Diese Widerstandsabgriffe können über Verbindungsleitungen mit einer

Auswerteschaltung beispielsweise einer Auswerteelektronik eines Messgeräts, wie beispielsweise eines Thermometers, verbunden sein.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements ist eine dritte Messstrecke vorgesehen, die zumindest teilweise über die erste und/oder die zweite Messstrecke beziehungsweise das erste und/oder das zweite Segment verläuft, wobei die dritte Messstrecke zudem über ein drittes Segment verläuft, welches dritte Segment aus einem dritten Material besteht, welches dritte Material sich von dem ersten und/oder zweiten Material unterscheidet. Durch die dritte Messstrecke kann somit ein weiterer Kalibrierungspunkt, Justierungspunkt, Validierungs- und/oder Eichpunkt geschaffen werden. Dadurch, dass die Messstrecken sich zumindest teilweise überlappen, kann somit durch eine Abtastung der verschiedenen Messstrecken, d. h. durch das

Beaufschlagen der Messstrecken mit einem Messsignal, ermittelt werden, in welchem Temperaturbereich beispielsweise die momentan in dem Prozess herrschende

Temperatur liegt.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements unterscheidet sich das dritte Segment hinsichtlich der Dotierung des dritten Materials, der Stärke des Segments und/oder der Breite des dritten Segments von dem ersten und/oder dem zweiten

Segment beziehungsweise dem ersten und/oder dem zweiten Material.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements sind die Segmente, d.h. das erste, das zweite und/oder das dritte Segment nebeneinander im Wesentlichen in einer Ebene aneinander angrenzend angeordnet. Die Segmente können dabei beispielsweise auf der Oberfläche eines Substrats angeordnet sein.

In einer weiteren Ausführungsform des Sensorelements sind die Segmente, d.h. das erste, das zweite und/oder das dritte Segment übereinander, vorzugsweise aneinander angrenzend, angeordnet. Die Segmente können dabei also übereinanderliegende

Schichten bilden. Ferner ist es möglich, dass die Segmente sowohl nebeneinander als auch übereinander angeordnet sind. Somit kann eine Vielzahl von Messstrecken und/oder Abgriffmöglichkeiten von Messsignalen an dem Sensorelement gebildet werden. Die verschiedenen Segmente können auch über elektrisch leitfähige

Verbindungsleitungen miteinander verbunden sein, ohne direkt aneinander anzugrenzen.

Hinsichtlich des Thermometers wird die Aufgabe durch ein Thermometer umfassend ein Sensorelement nach einer der vorherigen Ausführungsformen gelöst. Wie bereits erwähnt, kann ein derartiges Thermometer über Anschlussleitungen, die zum

Anschließen des Sensorelements an einer Mess- und/oder Betriebselektronik dienen, umfassen. Ferner kann das Thermometer ein Schutzrohr fassen, in welchem das

Sensorelement angeordnet ist. Das Sensorelement kann auch Bestandteil eines

Messeinsatzes sein, welcher in das Schutzrohr eingeführt werden kann.

Hinsichtlich des Verfahrens wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Bestimmung einer Temperatur gelöst, wobei einer ersten Messstrecke über ein erstes Segment verläuft, welches erste Segment aus einem ersten Material besteht, wobei ein zweite Messstrecke vorgesehen ist, die zumindest teilweise über das erste Segment verläuft und wobei die zweite Messstrecke zudem über ein zweites Segment verläuft, welcher aus einem zweiten Material besteht, dass sich von dem ersten Material unterscheidet, wobei ein erstes Messsignal über der ersten Messstrecke abgegriffen wird und wobei ein zweites Messsignal über der zweiten Messstrecke abgegriffen wird. Das Verfahren kann zur Ermittlung der Phasenübergangs und somit zur Ermittlung der Temperatur werden. Da diese Temperatur bei einem Bekannten und vor allen Dingen reproduzierbaren

Temperaturwert stattfindet, kann diese Temperatur zur Justierung, Kalibrierung und/oder Eichung des über die erste Messstrecke abgegriffenen Messsignals verwendet werden. Die erste Messstrecke dient also allgemein beispielsweise dazu, ein eine Temperatur entsprechendes Messsignal bereitzustellen. Die erste Messstrecke besteht aus diesem Zweck wie bereits erläutert vorzugsweise aus einem temperaturabhängigen Widerstand. Zur Erzeugung des ersten und des zweiten Messsignals kann die erste und die zweite Messstrecke mit einem entsprechenden Messsignal beaufschlagt werden. Die erste und die zweite Messstrecke befinden sich dabei vorzugsweise auf demselben Substrat.

Hinsichtlich der Verwendung wird die Aufgabe durch die Verwendung des Verfahrens zur Validierung, Kalibrierung, Justierung und/oder Eichung eines Thermometers gelöst.

Das vorgeschlagene Sensorelement kann somit zu Selbstüberwachungszwecken eines Thermometers verwendet werden. Es wird dadurch eine

Temperaturüberwachungsvorrichtung ermöglicht, die das vorgeschlagene Sensorelement umfasst. Das Sensorelement kann dabei aus mehreren Dünnfilmbeschichtungen, die eine Stärke zwischen 0,5μιη und 20μιη aufweisen bestehen. Diese Dünnfilmbeschichtungen können auf einem dielektrischen Substrat wie beispielsweise einer Aluminiumoxid- haltigen Keramik oder einem sogenannten Low Temperature Compound oder einem High Temperature Compound ausgeprägt werden. Die Schichten grenzen dabei vorzugsweise unmittelbar an ihre jeweiligen Ränder an, beziehungsweise überlappen sich.

Es wird auch vorgeschlagen, dass sich dabei dotierte und undotierte Dünnfilmschichten aus Vanadiumoxiden überlappen, wobei mindestens eine der Vanadiumoxid-haltigen Dünnfilmschicht auf demselben Substrat mit wenigstens einer anderen metallischen Dünnfilmschicht im elektrisch leitfähigen Kontakt steht. Ferner können auch eine oder mehrere erste Messstrecken aus einem temperaturabhängigen Widerstandselement auf demselben Substrat vorgesehen sein. An diesem Dünnfilmsegment beziehungsweise an diese Dünnfilmsegmente können Dünnfilmsegmente aus Vanadiumoxid leitfähig mittels unmittelbaren Schichtkontakts angrenzen. Dabei kann das Dünnfilmsegment auf dem sich die erste Messstrecke befindet ebenso wie das Dünnfilmsegment auf dem sich die zweite Messstrecke befindet mit zwei oder mehreren Anschlüssen elektrisch kontaktiert werden, wobei wenigstens ein Abgriff zur Bestimmung des elektrischen Widerstands sich über das erste Dünnfilmsegment erstreckt, welches einen temperaturabhängigen Widerstand aufweist und wobei wenigstens ein weiterer Abgriff an dem zweiten

Dünnfilmsegment vorgesehen ist, welches bei einer vorgegebenen Temperatur einen Phasenübergang erfährt.

Bei den Abgriffen kann es sich beispielsweise um elektrische Kontakte handeln, die vorzugsweise an den Rand der Substrate beziehungsweise an den Rand der ersten beziehungsweise der zweiten Messstrecke beziehungsweise an den Rand der ersten und/oder des zweiten Segments geführt sind.

Die erste Messstrecke ist dabei bevorzugt als mäanderförmige Messstrecke

beispielsweise in Form einer auf das Substrat aufgebrachten Struktur ausgebildet. Das Substrat kann eine Vorder- und eine Rückseite aufweisen, wobei auf der Rückseite des vorzugsweise dielektrischen Substrats mehrere stufenförmig übereinander liegende Vadiumoxidschichten mit unterschiedlicher Dotierung angeordnet sind. Anstelle der unterschiedlichen Dotierung kann auch eine unterschiedliche Stärke und/oder Breite der Vanadiumoxidschichten vorgesehen sein. Durch diesen schicht- beziehungsweise stufenförmigen Aufbau kann ein Messsignal von zirka 40 bis 10 000 Ohm vorliegen, so dass bei der jeweiligen Phasenübergangstemperaturen eine abgestufte

Widerstandsveränderung auftritt.

Anstelle des schichtweisen Aufbaus kann auch ein nebengeordneter Aufbau der

Segmente erfolgen, bei der auf der Rückseite des dielektrischen Substrats mehrere parallel geschaltete Schichten beispielsweise unterschiedliche Dotierung nebeneinander angeordnet sind. Diese Schichten können beispielsweise randständig kontaktiert sein, sodass bei einer Temperaturveränderung über die jeweiligen

Phasenübergangstemperaturen hinweg eine deutliche stufenförmige Zu- beziehungsweise Abnahme des resultierenden Gesamtwiderstand der Anordnung erfolgt.

Vanadiumoxid beziehungsweise Vanadiumoxiddünnfilm bezeichnet ein Vanadiumoxid beziehungsweise Vandiumoxidfilm mit einem bestimmten stöchiometrischen Vanadium zu Sauerstoffverhältnis. Ein derartiges Material weist undotiert bei Erhitzung von tiefen Temperaturen auf einen Bereich von zirka 60°C eine kristallstrukturbedingte Umwandlung von einem dielektrischen quasi halbleitenden Zustand in einen Zustand mit elektrischer Leitfähigkeit auf, womit eine Widerstandsänderung verbunden ist. Beim Abkühlvorgang von Temperaturen über 60°C tritt der umgekehrte Vorgang auf, der eine

Widerstandserhöhung hervorruft. Mittels Dotierungszuschlägen können unterschiedliche Umwandlungstemperaturen erreicht werden. Beispielsweise kann eine Dotierung mittels Wolfram, Niob, Molybden, Phosphor, Fluorid erfolgen, um die Umwandlungstemperatur auf unter 60°C zu verschieben. Ferner kann eine Dotierung mit Titan, Zinn, Aluminium oder Gallium erfolgen, um die Umwandlungstemperatur auf über 60°C zu verschieben. Dabei sind auch Dotierungen und Mischungen von Dotierungen verschiedener der genannten Elemente möglich.

Durch das vorgeschlagene Sensorelement beziehungsweise das Thermometer, welches ein derartiges Sensorelement umfasst, kann eine in-Situ-Überwachung der

Widerstandtemperaturmessung erfolgen. Ferner können über einen Messbereich verteilt mehrere Referenztemperaturen vorgesehen sein, die durch unterschiedliche

Dotierungszuschläge und/oder Dotierungsverhältnisse festgelegt werden können. Eine derartige miniaturisierte beziehungsweise halbminiaturisierte Bauform kann in heutzutage übliche Thermometerarmaturen eingesetzt werden.

Die Aufgabe wird ferner durch ein Sensorelement gelöst, wobei das Sensorelement eine Messstrecke umfasst, die aus zumindest zwei aneinander grenzenden Segmenten besteht, welche Segmente, bevorzugt aus unterschiedlichen Materialien bestehen, wobei zumindest eines der Segmente eine Phasenübergangstemperatur in einem für die Validierung, Justierung, Kalibrierung und/oder Eichung des Sensorelements relevanten Bereich aufweist.

In einer Ausführungsform dieses Sensorelements weist das Sensorelement eine erste Messtrecke auf, die zur Bestimmung der Temperatur anhand eines

temperaturabhängigen Widerstandselements dient, wobei das Sensorelement zudem eine zweite Messstrecke umfasst, die aus zumindest zwei aneinander grenzenden Segmenten besteht, welche Segmente, bevorzugt aus unterschiedlichen Materialien bestehen, wobei zumindest eines der Segmente eine Phasenübergangstemperatur in einem für die Validierung, Justierung, Kalibrierung und/oder Eichung der erste

Messtrecke, d.h. des temperaturabhängigen Widerstandselements, relevanten Bereich aufweist.

Die Ausführungsformen für dieses Sensorelement können entsprechend denen des weiter oben genannten Sensorelements gewählt werden.

Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 : eine schematische Darstellung eines Sensorelements in einer Ausführungsform der vorgeschlagenen Erfindung, Fig. 2: eine weitere Ausführungsform eines Sensorelements gemäß der vorgeschlagenen Erfindung,

Fig. 3: eine weitere Ausführungsform eines Sensorelements gemäß der vorgeschlagenen Erfindung.

Fig. 4: einen Querschnitt durch eine Ausführungsform des Sensorelements gemäß der vorgeschlagenen Erfindung, Fig. 5: einen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform des Sensorelements gemäß der vorgeschlagenen Erfindung,

Fig. 6: eine schematische Darstellung einer Ausführungsform gemäß der

vorgeschlagenen Erfindung, in einer Draufsicht, und

Fig. 7: ein schematische Darstellung mehrere Segmente zw. zwischen einem ersten und einem zweiten Abgriff zum Abgreifen eines Messsignals.

Fig. 1 zeigt eine erste und eine zweite auf einem Substrat 3 aufgebrachte Messstrecken. Zu diesem Zweck ist ein erstes Dünnfilmsegment 1 und ein zweites Dünnfilmsegment 2 auf das Substrat 3 aufgebracht. Diese beiden Dünnfilmsegmente 1 , 2 grenzen unmittelbar aneinander an beziehungsweise überlappen sich. Die erste Messstrecke verläuft dabei vollständig über das erste Dünnfilmsegment 1 von einem ersten zu einem zweiten Abgriff 4, 6, die mit dem ersten Dünnfilmsegment 1 verbunden sind. Zwischen diesem ersten und dem zweiten Abgriff 4, 6 befindet sich also die erste Messstrecke. Die zweite Messstrecke befindet sich zwischen einem dritten und einem vierten Abgriff 7, 5 auf dem Substrat 3. Der dritte Abgriff 7 ist ebenfalls mit dem ersten Dünnfilmsegment 1 verbunden, während der vierte Abgriff 5 auf dem zweiten Dünnfilmsegment 2 vorgesehen ist. Das Material aus dem das erste Dünnfilmsegment 1 besteht ist gemäß dem vorliegenden

Ausführungsbeispiel Platin während das Material aus dem das zweite Dünnfilmsegment 2 besteht vorzugsweise aus Vanadium beziehungsweise Vanadiumoxid besteht. Aufgrund der bekannten Phasenübergangstemperatur des zweiten Dünnfilmsegments 2 ist es möglich im Falle beispielsweise eines sprunghaften Anstiegs der elektrischen Leitfähigkeit entlang der zweiten Messstrecke eine Referenztemperatur nämlich die

Phasenübergangstemperatur des zweiten Dünnfilmsegments 2 als Bezugspunkt zur Validierung, Justierung, Kalibrierung und/oder Eichung des vermittels der ersten

Messstrecke erhaltenen Temperatursignals zu erhalten. Bei dem Substrat 3 kann es sich beispielsweise um ein Aluminiumoxid enthaltende Keramik handeln. Beispielsweise kann zur Herstellung eines derartigen Sensorelements vorgesehen sein, zunächst das erste Dünnfilmsegment 1 auf das Substrat 3 aufzubringen und

anschließend das zweite Dünnfilmsegment 2 auf das Substrat 3 aufzubringen und dabei das erste Dünnfilmsegment 1 zumindest abschnittsweise zu überlappen. Dieser ist durch Bezugszeichen 8a in Figur 1 gekennzeichnet.

Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform des vorgeschlagenen Sensorelements, wobei die erste Messstrecke durch einen Vierpunktmesssignalabgriff 4, 6 kontaktiert ist. Die zweite Messstrecke kann dabei teilweise zwischen dem ersten Abgriff und dem zweiten Abgriff der Vierpunktmessanordnung 4, 6 gebildet werden. Ebenso wie in der Ausführungsform gemäß Fig. 1 ist dabei das erste Dünnfilmsegment 1 in einem elektrisch leitfähigen Kontakt mit dem zweiten Dünnfilmsegment 2. In der Ausführungsform gemäß Fig. 2 kann eine Validierung, Justierung, Kalibrierung und/oder Eichung der Messsignale des Sensorelements bereits durch das Vorsehen von lediglich drei Signalabgriffen 4, 6, 5an dem Sensorelement durchgeführt werden.

Zur Herstellung eines Sensorelements wie es beispielsweise in Fig. 2 dargestellt ist kann zunächst das zweite Dünnfilmsegment 2, das bei einer vorgegebenen und bekannten Temperatur ein Phasenübergang erfährt, zuerst auf das Substrat 3 aufgebracht werden und anschließend das erste Dünnfilmsegment 1 auf das Substrat 3 aufgebracht werden, wobei das erste Dünnfilmsegment 2 derart auf das Substrat 3 aufgebracht wird, dass es das zweite Dünnfilmsegment 2 zumindest abschnittsweise überlappt. Dieser Bereich ist in Figur 2 mit Bezugszeichen 8b gekennzeichnet. Fig. 3 zeigt eine weitere Ausführungsform der vorgeschlagenen Erfindung bei der das erste und das zweite Dünnfilmsegment 1 , 2 sich nicht überlappen jedoch randständig miteinander verbunden sind. Zudem kann wie beispielsweise in Fig. 3 gezeigt, ein Abgriff 9 zum Abgreifen eines Messsignals über der zweiten Messstrecke oder über der ersten Messstrecke an einem Kontaktpunkt zwischen dem ersten und dem zweiten

Dünnfilmsegment 1 , 2 vorgesehen sein. Ein weiterer Kontaktpunkt 5 kann beispielsweise gemäß dem Ausführungsbeispiel in Fig. 3 insbesondere an einem gegenüberliegenden Ende des zweiten Dünnfilmsegments 2 vorgesehen sein. Weitere Abgriffe 4, 6, 7 können beispielsweise an dem ersten Dünnfilmsegment 1 vorgesehen sein, um ein Messsignal mit dem, das erste Dünnfilmsegment 1 beaufschlagt wird abzugreifen.

Fig. 4 zeigt einen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform des Sensorelements gemäß der vorgeschlagenen Erfindung. Dabei befindet sich die erste Messstrecke auf einer Vorderseite des Substrats 3 während sich eine zweite Messstrecke auf der, der Vorderseite gegenüberliegende Seite des Substrats 3, d. h. der Rückseite des Substrats 3 angeordnet ist. Die ersten Messtrecken können dabei wie in Fig. 4 gezeigt aus einem mäanderförmigen auf der Vorderseite angebrachten Messwiderstands zwischen den Abgriffen 4 und 6 bestehen, während auf der Rückseite des Substrats 3 mehrere

Schichten 12, 13, 14, 15 von Dünnfilmsegmenten übereinander angeordnet sind. Die Schichten 12, 13, 14, 15 sind dabei, wie in Fig. 4 gezeigt über einen leiterbahn-artigen Kontakt 10 elektrisch leitfähig miteinander verbunden. Die Schichten 12, 13, 14, 15 können dabei vorzugsweise aus einem Vanadiumoxid mit unterschiedlicher Dotierung bestehen, eine unterschiedliche Stärke oder Breite aufweisen, so dass bei dem jeweiligen Umwandlungspunkt der jeweiligen Schicht 12, 13, 14, 15 eine abgestufte

Widerstandsveränderung zwischen dem Kontaktpunkt 9 auf der Schicht 13 und einem zweiten (leiterbahn-artigen) Abgriff 10 erfolgt. Vorzugsweise weist gem. dem

Ausführungsbeispiel in Figur 4 die unterste Schicht 13 die niedrigste

Phasenübergangstemperatur auf, während die über der Schicht 13 liegenden Schichten 12, 14, 15 sukzessive höhere Phasenübergangstemperaturen aufweisen.

Anstelle des punktförmigen Abgriffs 9 an der Schicht 13 kann ebenfalls ein leiterbahnartiger Abgriff, der sämtliche Schichten 12, 13, 14, 15 kontaktiert vorgesehen sein.

Die erste und die zweite Messtrecke überlappen sich hierbei nicht. Vielmehr ist neben der ersten Messstrecke, bspw. auf der Vorderseite des Substrats, eine zweite Messtrecke, bspw. auf der Rückseite des Substrats oder neben der ersten Messstrecke auf der Vorderseite des Substrats, vorgesehen. Die zweite Messstrecke besteht dabei aus Segmenten wie bspw. Schichten die einen Phasenübergang bei unterschiedlichen Temperaturen aufweisen. Diese Segmente grenzen vorzugsweise, wie in Figur 4 oder Figur 5 gezeigt, aneinander an, liegen also bevorzugt nebeneinander bzw. übereinander, so dass ein stufenförmiger Verlauf bspw. des Widerstands oder einer anderen Messgröße zwischen einem ersten und einem zweiten Abgriff in Abhängigkeit der Temperatur bzw. des durchlaufenen Temperaturbereichs entsteht. Fig. 5 zeigt einen Querschnitt gemäß einer weiteren Ausführungsform des

Sensorelements bei der ebenfalls auf der Vorderseite des Substrats 3 ein

mäandrierendes Widerstandselement 1 1 aufgebracht ist, wobei der Rückseite des Substrats 3 nebeneinander angeordnete Dünnfilmsegmente 12, 13, 14, 15 vorgesehen sind, die über einen elektrischen Abgriff 10 mit einem Messsignal 10 abgetastet werden können. Über den leiterbahn-artigen Abgriff 10 sind die Segmente 12, 13, 14, 15 miteinander verbunden. Der leiterbahn-artige Abgriff 1 10 wiederum ist über die Segmente 12, 13, 14, 15 von einem zweiten leiterbahn-artigen Abgriff getrennt. In Abhängigkeit der vorliegenden Temperatur bzw. der daher vorliegenden Phase der Segmente 12, 13, 14, 15 ergibt sich damit eine sich ändernde elektrische Leitfähigkeit zwischen den Abgriffen 10.

Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform des Sensorelements in einer Draufsicht auf die Vorderseite des Substrats 3, wobei zur Veranschaulichung auch die auf der Rückseite angeordneten Segmente 12, 13, 14, 15 dargestellt sind. Auf der Rückseite des dielektrischen Substrats 3 sind mehrere parallel geschaltete Dünnfilmschichten unterschiedlicher Dotierungen nebeneinander angeordnet, die jeweils randständig miteinander über einen leiterbahn-artigen Abgriff kontaktiert sind, so dass bei einer Temperaturveränderung über die jeweilige Umschlagstemperatur, d.h.

Phasenübergangstemperatur, hinaus eine deutliche stufenförmige Zu- beziehungsweise Abnahme des resultierenden Gesamtwiderstands über die Dünnfilmschichten zu verzeichnen ist. Auch gemäß diesem Ausführungsbeispiel verlaufen die erste Messtrecke (über die meandrierende Leiterbahn 1 1 ) und die zweite Messstrecke (zwischen den durch die Segmente 12, 13, 14, 15 getrennten Abgriffen 10) getrennt voneinander.

Figur 7 zeigt einen Querschnitt durch mehrere nebeneinander zwischen einem ersten und einem zweiten leiterbahn-artigen Abgriff 10 angeordnete Segmente 12, 13, 14, 15. Die Segmente 12, 13, 14, 15 bestehen jeweils aus einem Material die bei einer bestimmten Temperatur einen Phasenübergang erfahren in dessen Folge sich die elektrischen Eigenschaften des jeweiligen Materials ändert. Dabei unterscheiden sich die

Temperaturen bei denen der Phasenübergang in einem Segment auftritt vorzugsweise voneinander, so dass ein Stufenförmiger verlauf bspw. des Widerstands oder einer anderen elektrischen Größe des zwischen dem ersten und dem zweiten Abgriff 10 abgegriffenen Messsignals erfolgt.

Bezugszeichenliste

Erste Dünnfilmschicht

Zweite Dünnfilmschicht

Substrat

Erster Abgriff

Dritter Abgriff

Zweiter Abgriff

Vierter Abgriff

a Erste Dünnfilmschicht über zweiter Dünnfilmschichtb Zweite Dünnfilmschicht über erster Dünnfilmschicht

Punktförmiger Abgriff

0 Leiterbahn-artiger Abgriff

1 Meandrierende Leiterbahn

2 Erstes Segment (vorzugsweise Dünnfilmschicht)3 Zweites Segment (vorzugsweise Dünnfilmschicht)4 Drittes Segment (vorzugsweise Dünnfilmschicht)5 Viertes Segment (vorzugsweise Dünnfilmschicht)