Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Messung der Strö- mungsgeschwindigkeit von Gasen sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.

Es ist z. B. aus der DE 32 34 146 A1, DE 196 23 323 A1 oder der DE 27 23 809 A1 bekannt, die Geschwindigkeit von Gasströ- mungen thermisch über die"Flugzeit"zu messen. Ein im Gasstrom angeordneter Sendedraht sendet ein periodisches Wär- mesignal aus. Das Wärmesignal wird von der Strömung transpor- tiert und nach einer"Flugzeit"von einem stromabwärts ange- ordneten Empfangsdraht erfaßt. Die"Flugzeit"bzw. die dazu proportionale Phasenverschiebung des vom Empfangsdraht erfaß- ten Heizsignals ist ein Maß für die Strömungsgeschwindigkeit.

Bei den"Flugzeit-Meßverfahren"wird davon ausgegangen, daß der Zusammenhang zwischen der Flugzeit At und der Strömungs- geschwindigkeit U linear ist. Zur Berechnung der Strömungsge- schwindigkeit gilt die Beziehung At = Ax (1/U), wobei Ax der Abstand zwischen Sende-und Empfangsdraht ist.

Ein aus dem Prospekt"Probes for hot-wire anemometry"der Firma Dantec Measurement Technlogy A/S, Dänemark, bekannter Sensor weist einen Sende-und Empfangsdraht auf, der zur Ver- meidung von Wärmeverlusten jeweils auf den Spitzen zweier in den Gasstrom ragender Zinken montiert ist. Die Montage des Sende-bzw. Empfangsdrahts auf den Spitzen der Zinken ist schwierig. Der Abstand zwischen dem Sende-und Empfangsdraht

kann bei solchen Sensoren kaum reproduzierbar eingestellt werden. Sie müssen deshalb vor ihrem Einsatz kalibriert wer- den. Jeder Sensor besitzt seine spezifische Kalibrierkurve.

Die Auswerteelektronik muß auf jeden Sensor neu abgestimmt werden.

Weitere Sensoren sind aus der DE 196 09 823 A1 und der DE 28 45 661 C2 bekannt. Die Herstellung und/oder Montage dieser Sensoren ist aufwendig.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen einfach und kostengünstig herstellbaren Sensor zur thermischen Messung der Strömungsge- schwindigkeit anzugeben. Der Sensor soll nach einem weiteren Ziel der Erfindung mit hoher Genauigkeit reproduzierbar sein und möglichst nicht individuell kalibriert werden müssen.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1, 13 und 14 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 12 und 15 bis 18.

Nach Maßgabe der Erfindung ist ein Sensor zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit von Gasen vorgesehen, wobei eine mit einem Durchbruch versehene Platine an ihrer Oberseite in der Nähe des Rands des Durchbruchs zwei einander gegenüberliegen- de erste Kontaktelemente und auf ihrer Unterseite in der Nähe des Rands des Durchbruchs zwei einander gegenüberliegende zweite Kontaktelemente aufweist und ein erster den Durchbruch überspannender Draht mit den ersten Kontaktelementen und ein zweiter den Durchbruch überspannender Draht mit den zweiten Kontaktelementen verbunden ist.

Der Sensor ist einfach und kostengünstig herstellbar. Die zeitraubende und schwierige Montage des Sendedrahts bzw. er-

sten Drahts und des Empfangsdrahts bzw. zweiten Drahts auf den Spitzen der Zinken entfällt. Der Sensor kann automati- siert und kostengünstig gefertigt werden. Der Abstand der beiden Drähte ist mit hoher Genauigkeit reproduzierbar. Auf eine individuelle Kalibrierung solchermaßen hergestellter Sensoren kann verzichtet werden.

Der erste und/oder zweite Draht hat zweckmäßigerweise einen Durchmesser von 5-25pm, vorzugsweise von 12, 5pm. Ein sol- cher Draht läßt sich automatisiert kontaktieren.

Nach einem Ausgestaltungsmerkmal weisen die Kontaktelemente den Durchbruch abschnittsweise umgebende Ringsegmente auf, wobei sie vorteilhafterweise zwei erste parallel zueinander orientierte Nuten aufweisen. Sie können zwei weitere Nuten aufweisen, die mit den ersten Nuten einen Winkel von 25- 45°, vorzugsweise von 35°, bilden. Mit der vorgeschlagenen Ausgestaltungsform gelingt es besonders leicht, den Draht mit einer vorgegebenen Zugspannung zu montieren. Damit wird eine für eine hohe Meßgenauigkeit erforderliche Geradlinigkeit des Drahts erreicht. Die Zugspannung kann insbesondere durch die in einem Winkel angeordneten zweiten Nuten aufrechterhalten werden, weil der Draht in diesem Fall mit reibschlüssiger Un- terstützung gehalten wird.

Zweckmäßigerweise sind die die zweiten Nuten begrenzenden Kontaktflächen jeweils über eine erste Leiterbahn mit einem der Ringsegmente verbunden. Jedes der Kontaktelemente kann <BR> <BR> übereinezweiteLeiterbahnmiteinerKontaktstelleverbunden: werden. Die Kontaktstellen können Durchbrüche zur Kontaktie- rung von Drähten aufweisen. Die vorgeschlagene Strukturierung

der Leiterbahnen ermöglicht in der Praxis eine einfach durch- zuführende und fehlerfreie Herstellung der erfindungsgemäßen Sensoren.

Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, daß die Platine eine Länge von 17-23mm, vorzugsweise von 20mm, eine Breite von 5 -10mm, vorzugsweise von 7mm und eine Dicke von 1-3mm, vor- zugsweise von 1, 5mm, aufweist. Der Durchbruch kann einen Durchmesser von 2-5mm, vorzugsweise von 3mm, haben. Der Ab- stand zwischen dem ersten und dem zweiten Draht ist zweckmä- ßigerweise kleiner als 3mm, vorzugsweise etwa 1, 5mm. Ein Sen- sor mit den vorgenannten Dimensionen eignet sich universell zur Messung der Geschwindigkeit einer Gasströmung.

Die zweiten Kontaktelemente können spiegelbildlich zu den er- sten Kontaktelementen ausgebildet sein. Als Spiegelfläche wird in diesem Zusammenhang die große Mittelebene der Platine angesehen.

Stromaufwärts und/oder stromabwärts des Durchbruchs kann ein konisch sich erweiternder Rohrabschnitt vorgesehen sein. Der Rohrabschnitt schließt sich vorzugsweise unmittelbar an die Platine an, wobei sein kleinerer Durchmesser zur Platine ge- wandt ist. Durch die konische Form der Rohrabschnitte wird der Gasstrom beschleunigt. So können auch noch sehr kleine Gasströmungsgeschwindigkeiten gemessen werden. Außerdem eig- net sich ein solchermaßen ausgestalteter Sensor auch zur ex- akten Messung von kleinen Volumenströmen. Schließlich dienen die konischen Rohrabschnitte dem Schutz der Drähte vor mecha- nischer Zerstörung.

Nach weiterer Maßgabe der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Sensors vorgesehen, wobei

der erste Draht in die ersten und zweiten Nuten des ersten Kontaktelements eingelegt, mit einer vorgegebenen Zug- spannung beaufschlagt und nachfolgend kontaktiert, und wobei der zweite Draht in die ersten und zweiten Nuten des zweiten Kontaktelements eingelegt, mit einer vorgegebenen Zugspannung beaufschlagt und nachfolgend kontaktiert wird.

Es ist selbstverständlich auch möglich, mehrere parallel ne- beneinander angeordnete erste und zweite Nuten an dem ersten und zweiten Kontaktelement zur Aufnahme mehrerer nebeneinan- der angeordneter erster und zweiter Drähte vorzusehen. Solche Anordnungen können für bestimmte Meßanfordungen zweckmäßig sein.

Nach einer Alternative ist ein Verfahren zur Herstellung ei- nes erfindungsgemäßen Sensors vorgesehen, wobei a) eine Vielzahl von ersten Kontaktelementen (3) nebenein- ander auf einer Oberseite und eine Vielzahl von zweiten Kon- taktelementen auf einer Unterseite einer Platinenplatte her- gestellt werden, b) ein erster Draht (4) über die Vielzahl der ersten Kon- taktelemente (3) unter Einwirkung einer vorgegebenen Zugspan- nung gelegt, c) nachfolgend kontaktiert, d) ein zweiter Draht (10) über die Vielzahl der zweiten Kontaktelemente unter Einwirkung einer vorgegebenen Zugspan- nung gelegt und e) nachfolgend kontaktiert wird.

Auch bei dieser Verfahrensvariante kann der erste und/oder zweite Draht im ersten und/oder zweiten Kontaktelement gebil- dete erste und ggf. zweiten Nuten gelegt werden. Das erleich- tert die Aufrechterhaltung einer angelegten Zugspannung.

Bei beiden Verfahrensvarianten ist es vorteilhaft, den ersten und den zweiten Draht mit den ersten bzw. zweiten Kontaktele- menten zu verlöten. Die Platine bzw. Platinenplatte kann nach der Kontaktierung des ersten Drahts um 180° gedreht und dann der zweite Draht mit den zweiten Kontaktelementen in Kontakt gebracht werden. Dadurch können weiter die Herstellungskosten gesenkt werden, weil nur eine Vorrichtung zur Zuführung von Draht sowie zu dessen Kontaktierung benötigt wird. Es ist hier das Vorsehen erster und zweiter Nuten möglich, jedoch nicht unbedingt erforderlich.

Bei der zweiten Verfahrensvariante wird die Platinenplatte nach der Kontaktierung des ersten und des zweiten Drahts zweckmäßigerweise in einzelne Platinen teilt. Das Teilen der Platinenplatte in die einzelnen Platinen kann durch Brechen an vorgegebenen Sollbruchstellen oder durch Schneiden mittels geeigneter Schneidvorrichtungen erfolgen.

Die vorgeschlagenen Verfahren können einfach automatisiert werden. Es können hohe Stückzahlen kostengünstig hergestellt werden.

Nachfolgend wird anhand der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Hierin zeigen Fig. 1 eine Platine in Draufsicht und

Fig. 2 eine schematische Schnittansich eines Durchfluß- sensors.

Die in Fig. 1 gezeigte Platine 1 weist einen Durchbruch 2 auf. In der Nähe des Rands des Durchbruchs 2 sind auf der hier gezeigten Oberseite der Platine 1 erste Kontaktelemente 3 angeordnet. Es handelt sich dabei um Strukturen, welche in herkömmlicher Weise durch Ätztechnik hergestellt worden sind.

Auf der (hier nicht gezeigten) Unterseite der Platine 1 sind in spiegelbildlicher Anordnung und Ausgestaltung zweite (hier nicht gezeigte) Kontaktelemente vorgesehen.

Ein erster Draht 4 mit einem Durchmesser von z. B. 15pn über- spannt den Durchbruch 2. Der Durchbruch 2 dient dem Durch- tritt der zu messenden Gasströmung. Er ist von Ringsegmenten 5 der ersten Kontaktelemente 3 umgeben. Die ersten Kontakte- lemente 3 weisen zwei erste parallel zueinander orientierte Nuten 6 auf. In einem Abstand davon sind beidseits zweite Nu- ten 7 vorgesehen, die mit den ersten Nuten 6 einen Winkel von etwa 35° bilden. Kontaktflächen K begrenzen die zweiten Nuten 7. Jede der Kontaktflächen K ist über eine erste Leiterbahn L1 mit einem der Ringsegmente 5 verbunden. Zwei mit einem Ab- stand voneinander angeordnete nebeneinander liegende Ringseg- mente 5 sind jeweils über zweite Leiterbahnen L2 mit Kontakt- stellen 8,9 verbunden.

Der erste Draht 4 ist im Bereich der ersten 6 und/oder zwei- ten Nuten 7 mit den ersten Kontaktelementen 3 mittels einer Lötstelle (hier nicht gezeigt) elektrisch leitend verbunden.

Kontaktstellen 8,9 dienen dem Anschluß des Sensors an eine geeignete Auswerteschaltung. Sie können einen Durchbruch zur Durchführung eines Drahts aufweisen.

In Fig. 2 ist ein Durchflußsensor gezeigt. Stromaufwärts des ersten Drahts 4 und stromabwärts des zweiten Drahts 10 sind jeweils konisch sich erweiternde Rohrabschnitte 11 ange- bracht. Diese liegen jeweils mit ihrer kleinen Öffnung unmit- telbar an der Platine 1 an. Stromaufwärts bzw. stromabwärts liegt an jedem der Rohrabschnitte 11 ein Flansch 12 eines Rohrs 13 an. Ein Konizitätswinkel a beträgt zwischen 5 und 20°, vorzugsweise 14°. Die konischen Rohrabschnitte 11 und die Rohre 13 sind zweckmäßigerweise aus spritzgegossenem Kunststoff hergestellt.

Nach einem weiteren hier nicht gezeigten Ausführungsbeispiel sind die ersten Kontaktelemente 3 der Oberseite nicht spie- gelbildlich zu denen der Unterseite angeordnet. Die Kontakte- lemente sind so ausgeführt, daß der Draht an der Oberseite vorgesehene Draht senkrecht zum an der Unterseite angebrach- ten Draht steht. Diese gekreuzte Anordnung der Drähte ist vor allem dann von Vorteil, wenn im praktischen Einsatz des Sen- sors eine Verkippung desselben in bezug zum Strömungsvektor der zu messenden Strömung oder eine Änderung des Strömungs- vektors nicht ausgeschlossen werden kann. Wegen der Kreuzung der Drähte ist hier immer sichergestellt, daß das gesendete Heizsignal vom Empfangsdraht aufgefangen wird. Bei der paral- lelen Anordnung der Drähte kann es dagegen insbesondere bei hohen Strömungsgeschwindigkeiten vorkommen, daß bei einer schrägen Anströmung des Sensors das Heizsignal nicht vom Emp- fangsdraht aufgefangen wird.

Zur Herstellung des Sensors wird nach einer ersten Verfah- rensvariante zunächst auf der Oberseite der Platine 1 der er- ste Draht 4 in die ersten 6 und zweiten Nuten 7 eingelegt und mit einer vorgegebenen Zugspannung beaufschlagt. Dann wird der erste Draht 4 mittels Löten mit den ersten Kontaktelemen-

ten 3 verbunden. Nachfolgend kann die Platine 1 um 180° ge- dreht und der vorbeschriebene Verfahrensablauf zur Befesti- gung des zweiten Drahts 10 nochmals wiederholt werden.

Nach einer zweiten Verfahrensvariante sind auf einer Obersei- te einer Platinenplatte mittels Ätztechnik nebeneinander eine Vielzahl erster Kontaktelemente 3 hergestellt. Es können meh- rere Zeilen solcher nebeneinander angeordneter erster Kontak- telemente auf der Oberseite der Platinenplatte vorgesehen sein. Auf der Unterseite der Platinenplatte sind in entspre- chender Ausbildung nebeneinander jeweils eine Vielzahl zwei- ter Kontaktelemente mittels Ätztechnik hergestellt. Auch hier können mehrere Zeilen zweiter Kontaktelemente vorgesehen sein. Die ersten und zweiten Kontaktelemente sind so angeord- net, daß der erste bzw. zweite Draht über die gesamte Breite bzw. Länge der Platinenplatte gelegt und mit einer vorgegebe- nen Zugspannung beaufschlagt werden kann. Es kann auch sein, daß der erste und/oder zweite Draht in im ersten und/oder zweiten Kontaktelement gebildete erste ggf. zweiten Nuten ge- legt wird. So kann eine vorgegebene Zugspannung über eine Vielzahl von Kontaktelementen in geeigneter Weise aufrecht erhalten werden. Nachfolgend kann der erste bzw. zweite Draht jeweils mit den ersten und zweiten Kontaktelementen durch Lö- ten kontaktiert werden. Mit dem vorgeschlagenen Verfahren kann eine Vielzahl erster bzw. zweiter Kontaktelemente simul- tan kontaktiert werden. Nach der Kontaktierung der Kontakte- lemente wird zur Herstellung der einzelnen Platinen die Pla- tinenplatte geschnitten.

Anschließend werden die konisch sich verjüngenden Rohrab- schnitte 11 mit ihren kleineren Öffnungen am Durchbruch 2 der Platine 1 angebracht. Diese Anordnung kann dann insgesamt in einem aus zwei (hier nicht gezeigte) Kunststoffhalbschalen

bestehenden Gehäuse aufgenommen werden. Die Kunststoffhalb- schalen liegen mit daran angeformten Rohren 13 jeweils dicht an der größeren Öffnung der Rohrabschnitte 11 an. Die Kuststoffhalbschalen sind zur einfachen Montage mittels einer Rastverbindung miteinander verbindbar. Die Kunststoffhalb- schalen können einstückig mit den Rohren 13 und den konisch sich verlängernden Rohrabschnitten 11 ausgebildet sein.

Auf diese Weise können einfach Sensoren zur Messung der Strö- mungsgeschwindigkeit von Gasen hergestellt werden, bei denen der Abstand der Drähte 4,10 sehr gut reproduzierbar ist. Auf eine Kalibrierung solcher Sensoren kann verzichtet werden.

Bezugszeichenliste 1 Platine 2 Durchbruch 3 erste Kontaktelemente 4 erster Draht 5 Ringsegment 6 erste Nut 7 zweite Nut 8,9 Kontaktstellen 10 zweiter Draht 11 konischer Rohrabschnitt 12 Flansch 13 Rohr L1 erste Leiterbahn L2 zweite Leiterbahn K Kontaktfläche