以下、本発明の実施の形態を図面に基づ� ��て詳細に説明する。図1はロッドが前進限位 置に突出した不作動状態のショックアブソー バを示す断面図であり、図2はロッドが後退� �位置に移動した作動状態のショックアブソ� �バを示す断面図である。

 このショックアブソーバ10は円筒形状の� �状ケース11を有しており、筒状ケース11の基� ��部は端壁12により閉塞され、先端部は開口� �部となっている。筒状ケース11の外周面には 雄ねじ13が形成されており、ショックアブソ� ��バ10は雄ねじ13により空気圧作動機器等にね じ止めされるようになっている。

 筒状ケース11に形成された収容孔14内には ホルダー15が組み込まれており、ホルダー15� �筒状ケース11の先端側から収容孔14内に挿入� ��れる。ホルダー15は収容孔14の内周面に接触 する外周面を有するカバー部15aを有し、カバ ー部15aには小径部15bを介してフランジ部15cが 一体となっている。ホルダー15のカバー部15a� ��より収容孔14内には液体収容室16が区画され ている。カバー部15aと筒状ケース11の内周面� ��の間をシールするために、カバー部15aの外� ��面に形成された環状溝にはOリングからなる シール部材17が装着されている。

 ホルダー15の径方向中心部にはロッド貫� �孔18が形成されており、ロッド貫通孔18には� ��ッド21が軸方向に往復動自在に組み付けら� �ている。ロッド21はホルダー15により支持さ� ��、ロッド21の先端部は筒状ケース11の外部に 突出するようになっている。

 ロッド21の基端部にはピストン22が装着さ れており、ピストン22によって液体収容室16� �筒状ケース11の基端部側のばね室16aと先端部 側のアキュムレータ室16bとに仕切られる。ロ ッド21の外周面とピストン22の内周面との間� �は隙間23が形成され、ロッド21にはピストン2 2に対して先端部側にフランジ24が一体に設け られており、ピストン22に対して基端部側に� ��環状のばね受け25が嵌合されている。ピス� �ン22はフランジ24とばね受け25との間で僅か� �軸方向に移動自在となっている。ピストン22 の両側は隙間23を介して連通するとともにピ� ��トン22の外周面と筒状ケース11の内周面との 間の僅かな隙間により連通しており、ピスト ン22のばね受け側の端面には放射状に複数本� ��溝22aが形成されている。

 ばね受け25のフランジ部25aと端壁12との間 には圧縮コイルばね26がばね部材として組み� ��まれており、この圧縮コイルばね26により� �ッド21にはその先端部が筒状ケース11の先端� ��から突出する方向、つまり前進方向にばね� ��が加えられている。

 液体収容室16内にはシリコーンオイル等� �作動オイルが衝撃吸収用の液体Lとして封入� ��れている。液体収容室16内に液体Lを注入す� ��ために、端壁12には外部に連通する液体注� �孔27が形成されている。液体注入孔27には止� ��ねじ28が取り付けられるようになっており� �筒状ケース11内の液体収容室16に液体Lを注入 した後に、液体注入孔27に止めねじ28がねじ� �合される。液体注入孔27からの液体Lの漏れ� �防止するためにシール部材29が止めねじ28に� ��り取り付けられるようになっている。

 ホルダー15にはアキュムレータ室16bに位� �させてアキュムレータ30が組み込まれている 。アキュムレータ30は、例えば独立気泡型の� ��ポンジ等により構成されており、ロッド21� �外部から衝撃力が加わることによりロッド21 がばね力に抗して後退移動すると、ロッド21� ��液体Lの中に入り込み、ピストン22が液体収� ��室16内を移動するので、アキュムレータ30は 、ばね室16a内からピストン22の外周面と筒状� ��ース11の内周面との間の隙間を介してアキ� �ムレータ室16b内に入り込む液体Lにより収縮� ��る。これにより、液体Lの移動によりロッド 21に加わる衝撃力が緩和される。一方、ロッ� ��21に加わる外力が解除されてロッド21が前進 移動すると、ロッド21は圧縮コイルばね26の� �ね力により前進移動する。これにより、ば� �室16aの容積が大きくなるので、アキュムレ� �タ室16b内の液体Lがばね室16a内に流れてアキ� ��ムレータ30は膨張する。

 ロッド21が前進移動する際には、アキュ� �レータ室16b内の液体Lはピストン22の外側の� �ならず、隙間23から溝22aを介してばね室16a内 に流れることになる。これに対し、ロッド21� ��後退移動する際には、ばね室16a内の液体Lは 、ピストン22の端面がフランジ24に接触する� �で、ピストン22の外側つまりピストン22と筒� ��ケース11の内周面との間の隙間を介して流� �することになる。したがって、ロッド21が後 退移動する際には液体Lの流れの抵抗がロッ� �21に加えられるのに対し、ロッド21が前進移� ��する際にはロッド21は迅速に移動すること� �なる。

 筒状ケース11の先端部つまり開口部には� �ロック状のロッドカバー31が取り付けられ、 このロッドカバー31と筒状ケース11の内周面� �の間をシールするためにロッドカバー31に形 成された環状溝にはOリングからなるシール� �材32が装着されている。

 ホルダー15のカバー部15aの先端側端面に� �成された環状溝には、液体収容室16内の液体 をシールして外部に液体Lが漏れるのを防止� �るために内側シール部材33が装着されている 。ロッドカバー31の先端側端面に形成された� ��状溝には、外部からショックアブソーバ10� �内部に液体や気体が漏入するのを防止する� �めに外側シール部材34が装着されている。

 内側シール部材33としてはリップパッキ� �が用いられている。この内側シール部材33で あるリップパッキンは、図2に示されるよう� �、環状の基部33aとこれの内周部に一体とな� �て軸方向に伸びる内周リップ33bと基部33aの� �周部に一体となって内周リップ33bに沿って� �方向に伸びる外周リップ33cとを有している� �両方のリップ33b,33cの間には環状の隙間が設� ��られ、この隙間は、内周リップ33bの先端に� ��動面に対して圧着させる方向の圧力を加え� ��れる開口部となっている。内側シール部材3 3としてのリップパッキンは、図示するよう� �断面がほぼU字形状となったUパッキンである が、リップパッキンとしてはこれに限られる ことなく、Vパッキン、LパッキンおよびJパッ キン等を使用することができる。外側シール 部材34も同様のリップパッキンが用いられて� ��る。

 内側シール部材33と外側シール部材34は、 それぞれのリップの先端側が開口部となって おり、内側シール部材33は液体収容室16側が� �口部となるようにホルダー15のカバー部15aに 装着され、外側シール部材34はその開口部が� ��状ケース11の先端部前方となるようにロッ� �カバー31に装着されている。それぞれのシー ル部材33,34は、他のシール部材17,32が収容孔14 の内周面に固定接触しているのに対して、ロ ッド21に摺動接触する往復動シールとなって� ��る。リップパッキンからなる内側シール部� ��33は、その開口部側から液体Lの圧力が加わ� ��ので、内周リップ33bが基部33aとともにロッ� ��21の外周面に接触してロッド21と内側シール 部材33との間から液体Lが漏出するのを防止す るとともに外部から液体収容室16内に空気や� ��体が流入するのを防止する。一方、外側シ� ��ル部材34は内周リップが基部とともにロッ� �の外周面に接触してロッド21と外側シール部 材34との間から空気等の内部への混入を防止� ��るとともに内部から液体が漏出するのを防� ��する。

 液体Lが外部に漏出するのを防止する内側 シール部材33は、往復動するロッド21の外周� �に摺動接触するので、ロッド21に移動部材が 衝突してロッド21が後退移動した後にロッド2 1がばね力によって前進移動するときに、ロ� �ド21の外周面に膜状に付着した液膜が内側シ ール部材33を通過することがある。通過した� ��膜が外側シール部材34を通過する構造であ� �場合には、僅かではあるが液体が外部に漏� �することになる。

 本発明のショックアブソーバ10において� �、内側シール部材33と外側シール部材34との� ��のシール材間距離Dは、ロッド21の往復動ス� ��ロークSよりも長く設定されている。したが って、図2に示すように、空気圧作動機器等� �移動部材がロッドカバー31の先端面に接触す るまで移動することによりロッド21が後退限� ��置まで移動した後に、移動部材がロッド21� �ら離れてロッド21が図1に示すように前進限� �置まで移動するときに、ロッド21の外周面に 付着した液膜が内側シール部材33を通過して� ��、液膜は外側シール部材34の位置まで到達� �ることはない。図2において符号Sで示すスト ロークは、ロッド21の外周面に付着した液膜� ��ロッド21とともに移動するストロークを示� �。

 内側シール部材33を通過した液膜は、ロ� �ド21に移動部材が衝突することによってロッ ド21が後退限位置に向けて移動する際には、� ��側シール部材33の基部33aが外側シール部材34 側となっているので、液膜は内側シール部材 33を通過して外方に移動するときよりも内部� ��入り易くなり、内側シール部材33を通過し� �液体収容室16に向けて戻り移動することにな る。これにより、内部に封入された液体Lが� �ョックアブソーバ10の外部に漏出することが 低減ないし防止され、衝撃吸収機能を長期間 に渡って保持することができ、ショックアブ ソーバ10の耐久性を向上させることができる� ��

 ショックアブソーバ10がその先端部を圧� �室に突出させて空気圧作動機器に取り付け� �れる場合には、外側シール部材34は圧力空気 の雰囲気にさらされることになる。このため 、空気が外側シール部材34とロッド21との間� �らロッド21の後退移動に伴ってショックアブ ソーバ10の内部に混入することがある。また� ��ショックアブソーバ10はその先端部が液体� �飛散する雰囲気にさらされるようにして使� �されることがある。その場合には、ロッド21 の後退移動に伴って外部の液体がショックア ブソーバ10の内部に混入することがある。

 このように、空気や液体等の流体が外側� ��ール部材34を通過してショックアブソーバ10 の内部に入り込んだ場合に、空気等の流体を ショックアブソーバ10の外部に排出するため� ��、ロッドカバー31とカバー部15aとの間の隙� �に連通する排出流路35が筒状ケース11に形成� ��れており、排出流路35は筒状ケース11の後端 面に開口している。このように、外側シール 部材34とロッド21との間から内部に混入した� �気や液体は、排出流路35から外部に排出され るので、流体が液体収容室16内に入り込むこ� ��が防止され、ショックアブソーバ10の耐久� �を向上させることができる。

 ショックアブソーバ10としては、その先� �部が圧力空気等の流体雰囲気にさらされな� �箇所に取り付けられる場合があり、その場� �には、排出流路35が設けられていないタイプ のショックアブソーバを使用することができ る。そのようなタイプのショックアブソーバ においては、ホルダー15に内側シール部材33� �装着するためのカバー部15aを設けることが� �要となるので、ロッドカバー31に内側シール 部材33と外側シール部材34とを装着すること� �でき、さらに、ホルダー15としてはカバー部 15aを有することなく、アキュムレータ30を収� ��するために両端部にフランジが設けられた� ��体を使用することができる。ただし、ロッ� ��カバー31に装着される内側シール部材33と外 側シール部材34のシール材間距離Dはロッド21� ��往復動ストロークSよりも大きく設定される 。

 図3は比較例としてのショックアブソーバ 10aの一部を示す断面図である。図3に示すよ� �に、内側シール部材33と外側シール部材34と� ��シール材間距離Dをロッド21のストロークSよ りも短く設定すると、ロッド21が後退限位置� ��ら図3において二点鎖線で示すように前進限 位置に移動するときに、ロッド21の外周面に� ��着して内側シール部材33を通過した液膜が� �側シール部材34よりも外部に漏出することに なる。外側シール部材34よりも外部に漏出し� ��液膜は、外側シール部材34の開口端が外方� �向いているので、ロッド21が後退移動すると きには、外側シール部材34を通過して内部に� ��り難く、液体が外部に漏出することになる� ��

 これに対して、本発明のショックアブソ� ��バ10においては、ロッド21の外周面に付着し た液膜がロッド21の前進移動時に内側シール� ��材33を通過しても、液膜は外側シール部材34 に到達しないので、液膜がショックアブソー バ10の外部に漏出することが防止される。内� ��シール部材33を通過してこれよりも外部に� �出した液膜は、ロッド21が後退移動するとき には、内側シール部材33の開口部が液体収容� ��16内に向いているので、比較的容易に液体� �容室16内に戻ることになる。これにより、内 部に充填された液体Lの漏出が抑制されて長� �間に渡って衝撃吸収機能が確保され、ショ� �クアブソーバ10の耐久性が向上する。

 図4(A)は空気圧作動機器としての揺動アク チュエータを示す平面図であり、図4(B)は同� �(A)の側面図であり、図5は図4(B)のA-A線断面図 である。

 揺動アクチュエータ40はほぼ直方体形状� �アクチュエータ本体41を有し、アクチュエー タ本体41には相互に平行となってシリンダ孔4 2a,42bが形成されている。シリンダ孔42a,42bは� �クチュエータ本体41の両端面に固定されるエ ンドカバー43,44により閉塞されており、それ� ��れのシリンダ孔42a,42b内には駆動ピストン45a ,45bが軸方向に往復動自在に組み込まれてい� �。アクチュエータ本体41に回転自在に装着さ れた回転軸46には、それぞれの駆動ピストン4 5a,45bに形成されたラック47a,47bに噛み合うピ� �オン48が設けられている。回転軸46には、図4 に示されるように、テーブル49が取り付けら� ��ており、このテーブル49には被加工物つま� �ワークWが搭載されるようになっている。

 駆動ピストン45aによりシリンダ孔42a内に� ��シリンダ室51a,52aが区画され、駆動ピストン 45bによりシリンダ孔42b内にはシリンダ室51b,52 bが区画されている。両端のエンドカバー43,44 には図示省略した給排ポートがそれぞれのシ リンダ室51a,51b,52a,52bに連通して形成されてお り、シリンダ室51a内に圧縮空気が供給される と、駆動ピストン45aが図5において右方向に� �動されて回転軸46が時計方向に回転駆動され る。このときには、シリンダ室52a内の空気は 給排ポートから外部に排出されるとともに、 駆動ピストン45bは図5において左方向に駆動� �れる。一方、シリンダ室51b内に圧縮空気が� �給されると、駆動ピストン45bが図5において� ��方向に駆動されて回転軸46が反時計方向に� �転駆動される。このときには、シリンダ室52 b内の空気は給排ポートから外部に排出され� �とともに駆動ピストン45aは図5において左方� ��に駆動される。図5は駆動ピストン45aが右方 向の移動端にまで移動し、駆動ピストン45bが 左方向の移動端にまで移動した状態を示して いる。

 エンドカバー43にはそれぞれの駆動ピス� �ン45a,45bに対応させて上述したショックアブ� ��ーバ10が取り付けられており、それぞれの� �ョックアブソーバ10は雄ねじ13にねじ結合さ� ��るナット53により揺動アクチュエータ40に締 結されている。

 それぞれのショックアブソーバ10は先端� �がシリンダ室51a,51bに露出するように揺動ア� ��チュエータ40に取り付けられており、シリ� �ダ室51a,51bに圧縮空気が供給されると、外側� ��ール部材34にも圧縮空気の圧力が加わるこ� �になる。圧縮空気が外側シール部材34とロッ ド21との間から内部に混入したとしても、図1 ,2に示されるように、排出流路35を介して揺� �アクチュエータ40の外部に排出される。この ように、ショックアブソーバ10がその先端面� ��加圧空気に晒される加圧雰囲気において使� ��される場合であっても、シリンダ室内に供� ��される圧縮空気は排出流路35を介して外部� �排出されるので、圧縮空気がショックアブ� �ーバ10の液体収容室16内に混入することが防� ��される。

 図4および図5は空気圧作動機器としての� �動アクチュエータ40に取り付けられたショッ クアブソーバ10を示し、ショックアブソーバ1 0はその先端部を圧縮空気が供給されるシリ� �ダ室に露出させて揺動アクチュエータ40に取 り付けられている。ショックアブソーバ10が� ��り付けられる機器としては、往復動する移� ��部材がその移動ストローク端に近づいたと� ��に移動部材に発生する衝撃を吸収するため� ��あれば、図4,5に示される揺動アクチュエー� ��40に限られず、ベーン型の揺動アクチュエ� �タや、往復動する部材を有する種々の機器� �ショックアブソーバ10を取り付けることがで きる。例えば、ロッド21に切削液等の液体が� ��散されるような雰囲気においてショックア� ��ソーバ10が使用される場合には、外側シー� �部材34とロッド21との間から液体が進入して� ��進入した液体は排出流路35から外部に排出� �ることができる。

 本発明は前記実施の形態に限定されるも� ��ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種� ��変更可能である。例えば、特許文献1に記載 されるように、筒状ケース11をアキュムレー� ��30等を収容する内側ケース体とこれを収容� �る外側ケース体とにより形成し、両方のケ� �ス体の間に排出流路35を形成するようにして も良い。また、ショックアブソーバ10として� ��衝撃吸収用の液体Lが充填されるタイプであ れば、アキュムレータ30を有しないタイプに� ��本発明を適用することができる。