Kurzpulslaser, insbesondere Ultrakurzpulslaser, die Laserpulse mit einer Pulsdauer im Piko- bis Femtosekundenbereich erzeugen, haben sich in den letzten Jahren als vielfältig einsetzbare Werkzeuge z.B. in der hochpräzisen Materialbearbeitung und modernen Wissenschaft etabliert. Dabei ist insbesondere für wissenschaftliche Applikationen neben der Pulsleistung, der Pulsenergie und der Pulsdauer auch der zeitliche Pulskontrast, d.h. das Verhältnis zwischen der Pulsspitzenleistung während das Laserpulses und der Leistung von eventuellen Vor- und Nachpulsen oder anderer Untergrundstrahlung in einem gewissen Zeitfenster um das Pulsmaximum herum, ein wichtiger Parameter, der die Qualität der Laseremission bestimmt. Anforderungen an den Pulskontrast von Hochintensitäts-Kurzpulslasern können bis zu zehn Größenordnungen betragen. Das bedeutet, dass die Leistung im Pulsmaximum das 10 ¹⁰ -fache der Leistung außerhalb des Laserpulses betragen soll. Der zeitliche Kontrast wird durch verschiedene physikalische Effekte in realen Lasersystemen negativ beeinflusst. Der Pulskontrast kann in ungünstigen Fällen nur eine Größenordnung betragen. Verstärkte Spontanemission (ASE = „arnplified spontaneous emission") tritt in jedem Laser bzw. Verstärker auf und bewirkt eine zeitlich nahezu konstante Untergrundstrahlung zur gepulsten (nutzbaren) Laserstrahlung. Vor- oder nachlaufende Nebenpulse können aufgrund von Pulsselektion auftreten. Kurzpulslasersysteme umfassen zumeist hochrepetierende modengekoppelte Oszillatoren. Um die für die jeweilige Applikation gewünschte Pulsfrequenz einzustellen, werden Pulsselektoren eingesetzt (z.B. akusto-optische oder elektro-optische Modulatoren). Solche Pulsselektoren besitzen ein endliches Auslöschungsverhältnis, was sich unmittelbar auf den Kontrast auswirkt. Nebenpulse treten außerdem aufgrund von Fehlanpassung der Dispersion in CPA-Systemen („Chirped Pulse Amplification") und aufgrund von Nichtlinearitäten auf. In der CPA-Technologie werden die Laserpulse durch dispersive optische Elemente zeitlich gestreckt, die gestreckten Pulse, die entsprechend eine reduzierte Pulsspitzenleistung aufweisen, werden verstärkt und anschließend zeitlich komprimiert, wiederum mittels dispersiver optischer Elemente. Dabei führt jegliche Fehlanpassung von Dispersionstermen höherer Ordnung, beispielsweise durch Fehlanpassung in der Strecker- Kompressor-Anordnung selbst oder durch Toleranzen der Optik-Oberflächen oder durch eine im optischen Verstärker aufgeprägte nichtlineare Phase im Verstärkersystem (SPM, zeitliche Kerr-Nichtlinearität), zu Nebenpulsen oder zu sonstigen Leistungsanteilen, die zeitlich getrennt sind vom Nutzpuls.

Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Ansätze zur Verbesserung des zeitlichen Kontrastes bekannt.

Beispielsweise können optische Schalter oder Modulatoren zwischen einzelnen Verstärkerstufen oder am Ausgang eines Lasersystems (z.B. Pockelszellen oder akusto-optische Modulatoren) verwendet werden, die entsprechend nur das Nutzsignal transmittieren und den zeitlichen Untergrund dämpfen. Diese Methoden verbessern den Kontrast entsprechend dem Kontrast des einzelnen Schalters/Modulators. Die Kontrasterhöhung findet auf der Zeitskala der Schaltgeschwindigkeit des verwendeten Elementes statt. Mit einer Pockelszelle lässt sich daher eine Kontrastverbesserung von bis zu 30 dB (limitiert durch den Kontrast des Polarisators) auf einer Zeitskala von ca. 1 ns realisieren.

Die sogenannte Cross Polarized Wave Generation (XPW) ist eine weitere bekannte und etablierte Methode zur Kontrastverbesserung von sub- Pikosekundenpulsen. XPW basiert auf entarteter Vier-Wellen-Mischung (FWM) und erzeugt neue Strahlung, welche orthogonal zur ursprünglichen Strahlung polarisiert ist. Typischerweise wird ein BaF2 Kristall als nichtlineares Medium verwendet. Die Kontrastverbesserung ist im Wesentlichen durch den Kontrast des polarisierenden Elementes zur Trennung der ursprünglichen Eingangsstrahlung von der neu erzeugten Strahlung bestimmt und liegt typsicherweise bei zwei bis drei Größenordnungen. Die Effizienz der Kontrastverbesserung ist im Bereich von 15 % und kann in Ausnahmefällen bis zu 30 % betragen. Nachteile ergeben sich durch den recht engen Leistungsbereich, in dem die Methode verwendet werden kann. Einerseits ist bereits eine hohe Pulsspitzenintensität nötig, um den Prozess effizient zu treiben, andererseits ist die maximale Intensität durch Selbstfokussierung und Weißlichterzeugung im Kristall beschränkt (vgl. A. Jullien, O. Albert, F. Burgy, G. Hamoniaux, J.-P. Rousseau, J.-P. Chambaret, F. Auge- Rochereau, G. Cheriaux, J. Etchepare, N. Minkovski, S. M. Saltiel "10-10 Temporal contrast for femtosecond ultraintense lasers by cross-polarized wave generation", Opt. Lett. 30, p. 920, 2005; A. Jullien, J.-P. Rousseau, B. Mercier, L. Antonucci, O. Albert, G. Cheriaux, S. Kourtev, N. Minkovski and S. S. Saltiel, "Highly-efficient nonlinear filter for femtosecond pulse contrast enhancement and pulse shortening", Opt. Lett., 33, p. 2353, 2008; US 7,430,351 B2).

Des Weiteren kann die nichtlineare intensitätsabhängige Veränderung des Polarisationszustandes in optischen Fasern genutzt werden, um den zeitlichen Pulskontrast zu erhöhen. Ein nachgeschalteter Polarisator „reinigt" den Laserpuls. Ähnlich wie bei der XPW-Methode bestimmt der Kontrast dieses Polarisators die erreichbare Kontrastverbesserung (vgl. D. Homoelle et.al., „Pulse contrast enhancement of high-energy pulses by use of a gas-filled hollow waveguide,", Opt. Lett. 27, p. 1 646, 2002).

Weiter kann aufgrund der Intensitätsabhängigkeit der Konversionseffizienz jeder nichtlineare Frequenzkonversionsprozess genutzt werden, um den zeitlichen Pulskontrast zu verbessern, wobei die Kontrastverbesserung vom Grad der Nichtlinearität abhängt und damit bei gebräuchlichen Systemen nur wenige Größenordnungen beträgt (vgl. Y. Wang et.al.,„Efficient conversion of picosecond laser pulses into second-harmonic frequency using group-velocity dispersion," Phys. Rev. A 41 , p. 5645, 1990).

Vor diesem Hintergrund ist es Aufgabe der Erfindung, ein Lasersystem sowie ein Verfahren bereit zu stellen, das mit einfachen Mitteln die Erhöhung des zeitlichen Pulskontrastes auf mehrere Größenordnungen ermöglicht. Die Methode soll möglichst flexibel einsetzbar, hochleistungstauglich und effizient sein.

Diese Aufgabe löst die Erfindung durch ein Lasersystem mit

einem Kurzpulslaser,

- einem spektralen Begrenzungsmittel, das eine von dem

Kurzpulslaser emittierte Laserstrahlung empfängt und in spektral begrenzte Laserstrahlung, die keine spektralen Anteile jenseits einer Grenzfrequenz aufweist, umwandelt,

einem nichtlinearen optischen Element, das die spektral begrenzte Laserstrahlung empfängt und in frequenzkonvertierte Laserstrahlung, die spektrale Anteile jenseits der Grenzfrequenz aufweist, umwandelt, und

einem optischen Filter, das für die spektralen Anteile der frequenzkonvertierten Laserstrahlung jenseits der Grenzfrequenz durchlässig und für die spektral begrenzte Laserstrahlung undurchlässig ist. Außerdem löst die Erfindung die Aufgabe durch ein Verfahren zur Erzeugung von Laserpulsen mit hohem zeitlichem Kontrast, mit den Verfahrensschritten

Erzeugung von gepulster Laserstrahlung,

spektrale Begrenzung der Laserstrahlung, so dass diese keine spektralen Anteile jenseits einer Grenzfrequenz aufweist,

- nichtlineare Frequenzkonversion der spektral begrenzten

Laserstrahlung, so dass die frequenzkonvertierte Laserstrahlung spektrale Anteile jenseits der Grenzfrequenz aufweist, und

spektrale Filterung der frequenzkonvertierten Laserstrahlung, wobei das verwendete optische Filter nur jenseits der Grenzfrequenz durchlässig ist. Kern der Erfindung ist - mit anderen Worten - eine zweifache, nacheinander ausgeführte spektrale Filterung der Laserstrahlung. In einem ersten Schritt (spektrale Begrenzung) wird der gesamte unerwünschte Strahlungsuntergrund in dem spektralen Bereich jenseits der Grenzfrequenz unterdrückt. Danach wird durch die nichtlineare Frequenzkonversion spektrale Intensität in genau dem zuvor von jeglichem Untergrund befreiten Spektralbereich erzeugt. Bei der anschließenden spektralen Filterung passiert nun lediglich Intensität aus dem spektralen Bereich, der zuvor durch die spektrale Begrenzung von unerwünschten Untergrund befreit wurde. Das Resultat sind Laserpulse mit sehr hohem zeitlichem Kontrast. Der Kontrast ist letztlich nur begrenzt durch die Filtergüte, d.h. die (möglichst geringe) Überlappung der spektralen Durchlasskurve des optischen Filters mit der spektralen Durchlasskurve des spektralen Begrenzungsmittels bzw. die Kantensteilheit des optischen Filters und des spektralen Begrenzungsmittels.

Die Formulierung„keine spektralen Anteile" oder„für die spektralen Anteile [...] undurchlässig" bedeutet im Sinne der Erfindung, das die Intensität der betreffenden spektralen Anteile entsprechend dem resultierenden Kontrast durch die spektrale Begrenzung bzw. durch die Filterung reduziert wird. Es ist nicht erforderlich, dass die Intensität in dem jeweiligen Spektralbereich dadurch tatsächlich vollständig unterdrückt, d.h. gleich Null ist.

Die Formulierung „jenseits der Grenzfrequenz" kann im Sinne der Erfindung sowohl oberhalb als auch unterhalb der Grenzfrequenz bedeuten. Es ist möglich, die Laserstrahlung zu niedrigen Frequenzen hin spektral zu begrenzen (z.B. durch ein Hochpassfilter), um danach durch nichtlineare Frequenzkonversion spektrale Anteile bei niedrigeren Frequenzen (unterhalb der Grenzfrequenz) zu erzeugen und entsprechend bei der spektralen Filterung nur Frequenzen unterhalb der Grenzfrequenz durchzulassen. Es ist alternativ ebenso möglich, die Laserstrahlung zu hohen Frequenzen hin spektral zu begrenzen (z.B. durch ein Tiefpassfilter), um danach durch nichtlineare Frequenzkonversion spektrale Anteile bei höheren Frequenzen (oberhalb der Grenzfrequenz) zu erzeugen und entsprechend bei der spektralen Filterung nur Frequenzen oberhalb der Grenzfrequenz durchzulassen. Bei einer möglichen Ausgestaltung umfasst das spektrale Begrenzungsmittel ein optisches Bandpass- oder Kantenfilter, das für Laserstrahlung jenseits der Grenzfrequenz undurchlässig ist. Zur maximalen Unterdrückung der spektralen Anteile jenseits der Grenzfrequenz kann das entsprechende Filter mehrfach von der Laserstrahlung durchlaufen werden. Auch für das optische Filter, das dem nichtlinearen optischen Element nachgeschaltet ist, eignet sich ein optisches Bandpass- oder Kantenfilter. Dieses ist für Laserstrahlung jenseits der Grenzfrequenz durchlässig. Realisiert werden kann das Filter z.B. durch ein Faser-Bragg-Gitter, ein Interferenzfilter oder ein Farbfilter.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Lasersystems wird, zur Erzeugung von Laserpulsen hoher Leistung, die von dem Kurzpulslaser emittierte Laserstrahlung durch Chirped Pulse Amplification (CPA) verstärkt, wobei die Laserstrahlung, wie bei CPA-Systemen üblich, einen Pulsstrecker, einen optischen Verstärker und einen Pulskompressor durchläuft. CPA-Systeme umfassen als dispersive Elemente im Pulskompressor üblicherweise eine Anordnung aus optischen Gittern oder Prismen, wodurch die verschiedenen spektralen Anteile räumlich separiert werden und unterschiedliche Wegstrecken durchlaufen. Es ist dabei mit Vorteil möglich, die erfindungsgemäße spektrale Begrenzung im Pulskompressor zu bewirken, z.B. durch eine Blende im Strahlengang, die die spektralen Anteile jenseits der Grenzfrequenz ausblendet, oder durch geeignete geometrische Bemessung des Gitters, so dass die Strahlungsanteile jenseits der Grenzfrequenz abgeschnitten werden. Bei dieser Ausgestaltung bildet also der Pulskompressor des CPA-Systems das spektrale Begrenzungsmittel.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung erzeugt das nichtlineare optische Element die frequenzkonvertierte Laserstrahlung durch Selbstphasenmodulation (SPM). Aufgrund von Kerr-Nichtlinearität in dem nichtlinearen optischen Medium entstehen im Spektrum der gepulsten Laserstrahlung neue spektrale Anteile. Die Grenzfrequenz ist dabei so abzustimmen, dass die neuen spektralen Anteile in Bezug auf das Spektrum der ursprünglich von dem Kurzpulslaser erzeugten Laserstrahlung jenseits der Grenzfrequenz liegen. Erfindungsgemäß kann jedes bekannte nichtlineare optische Element verwendet werden, das durch spektrale Verbreiterung Intensität in neuen Spektralbereichen erzeugt. Die neu erzeugten spektralen Anteile sollten in diesen Spektralbereichen möglichst eine nahezu flache oder kompensierbare Phase aufweisen. Geeignete nichtlineare optische Elemente sind z.B. konventionelle optische Singlemodefasern oder Singlemode- Wellenleiter, hoch-nichtlineare optische Fasern, photonische Kristallfasern, gasgefüllte mikrostrukturierte Hohlkernfasern (z.B. Kagome-Fasern), gasgefüllte Kapillaren oder auch volumenoptische Elemente, wie z.B. Glas-, YAG-, oder Saphir-Körper. Diese große Auswahl an möglichen nichtlinearen optischen Elementen begründet die hohe Flexibilität der erfindungsgemäßen Methode zur Kontrastverbesserung. Der verwendete Kurzpulslaser kann demnach eine Pulsenergie im Bereich von pJ bis hin zu Joule (oder darüber hinaus) aufweisen, die Pulsdauer der Laserpulse kann von wenigen Femtosekunden bis hin zu mehr als 100 Pikosekunden reichen.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:

Figur 1 : schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Lasersystems;

Figur 2: Zeitverlauf und Spektrum eines

Laserpulses mit geringem zeitlichem Kontrast;

Figur 3: Zeitverlauf und Spektrum des Laserpulses nach Frequenzkonversion durch Kerr-

Nichtlinearität;

Figur 4: Zeitverlauf und Spektrum des Laserpulses mit hohem zeitlichem Kontrast nach spektraler Filterung. Figur 1 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes Lasersystem. Die erfindungsgemäße Methode basiert auf der spektralen Verbreiterung durch SPM gefolgt von einer spektralen Filterung. Wesentlich ist dabei, dass ein Kurzpulslaser 1 , dessen zeitlicher Kontrast einer Verbesserung unterzogen werden soll, am Ausgang ein spektrales Begrenzungsmittel 2 aufweist, das eine möglichst scharfe spektrale Begrenzung bewirkt, so dass Strahlung mit spektraler Intensität jenseits einer Grenzfrequenz möglichst vollständig unterdrückt wird. In einem nichtlinearen optischen Element 3 werden nun durch SPM neue spektrale Anteile erzeugt, die sich jenseits der Grenzfrequenz befinden. Durch ein optisches Filter 4 wird die spektral verbreiterte Strahlung gefiltert, wobei diejenigen spektralen Anteile selektiert werden, die im Spektrum der spektral begrenzten Strahlung des Kurzpulslasers 1 , d.h. am Ausgang des spektralen Begrenzungsmittels 2, keine Intensität aufweisen. Durch die dargestellte Anordnung lässt sich ein Laserpulszug mit nahezu beliebig hohem Kontrast erzeugen. Die Kontrastverbesserung ist nur durch die spektrale Form des Filters 4 (Kantensteilheit) nach der nichtlinearen spektralen Verbreiterung bestimmt. Anzumerken ist, dass neben der Kontrastverbesserung eine Verkürzung der Pulsdauer und eine Verschiebung der Zentralwellenlänge stattfindet. Beide Effekte hängen von der Pulsdauer der von dem Kurzpulslaser erzeugten Laserpulse und der Stärke der nichtlinearen Verbreiterung ab.

Das linke Diagramm der Figur 2 zeigt einen kontrastarmen Laserpuls am Ausgang des spektralen Begrenzungsmittels 2 bei einer Zentralwellenlänge von 1064 nm (Leistung P in willkürlichen Einheiten als Funktion der Zeit in ps). Der Pulskontrast beträgt nur ca. 10 dB bezogen auf den ersten Nebenpuls. Das rechte Diagramm zeigt das zugehörige Spektrum. Durch die spektrale Begrenzung enthält das Spektrum keine spektralen Anteile oberhalb einer Grenzfrequenz G. Entsprechend zeigt das Diagramm keine spektralen Anteile bei Wellenlängen unterhalb der bei dem Ausführungsbeispiel zu der Grenzfrequenz G gehörigen Wellenlänge von 1040 nm.

Die spektrale Verbreiterung wird in dem Ausführungsbeispiel erzielt durch die Propagation des Laserpulses mit einer Pulsenergie von 100 nJ durch eine 17 mm lange Wechselwirkungsstrecke in dem bei dem Ausführungsbeispiel als Quarzglasfaser ausgebildeten nichtlinearen Element 3 mit einem Modenfelddurchmesser von 10 μηπ. Erwartungsgemäß ändert die Kerr- Nichtlinearität an der zeitlichen Intensitätsverteilung nichts, wie man in dem linken Diagramm der Figur 3 erkennt, jedoch wird eine Phase aufgeprägt, die zu einer spektralen Verbeiterung führt, wie im rechten Diagramm der Figur 3 dargestellt. Deutlich ausgeprägt sind spektrale Anteile bei Wellenlängen unterhalb 1040 nm, d.h. jenseits der Grenzfrequenz G.

Durch hinreichend starke (kontrastreiche) Dämpfung von Wellenlängen unterhalb der Grenzfrequenz G, d.h. oberhalb von 1040 nm mittels des optischen Filters 4, z.B. mittels Kantenfilter, wird der zeitliche Kontrast um einige Größenordnungen gesteigert, wie in dem linken Diagramm der Figur 4 dargestellt, das den zeitlichen Pulsverlauf am Ausgang des optischen Filters 4 zeigt. Das rechte Diagramm zeigt das zugehörige Spektrum, wobei der von dem Filter 4 unterdrückte spektrale Bereich bei Wellenlängen oberhalb von 1040 nm markiert ist. Der Kontrast des Pikosekundenpulses beträgt nun mehr als 120 dB.

Die Güte der Kontraststeigerung wird im Wesentlichen durch die spektrale Form des Filters 4 bestimmt. Ist diese zu steil, entsteht ein Untergrund im Zeitbereich, ist diese„weich" (was in der Realität der Fall ist), kann ein nahezu beliebig hoher zeitlicher Kontrast erreicht werden.

Anzumerken ist, dass in dem Ausführungsbeispiel mehr als 35 % der ursprünglichen Pulsenergie im„gereinigten" Pulszug enthalten bleiben und dass zudem eine Pulsdauerverkürzung von ca. 250 fs auf 100 fs zu beobachten ist.

Beispielhaft seien noch praktisch mögliche Konfigurationen des erfindungsgemäßen Lasersystems genannt:

Bei einer möglichen Konfiguration umfasst der Kurzpulslaser 1 ein Verstärkersystem basierend auf Ytterbium- oder Neodym-dotierten Lasermaterialien und erzeugt gepulste Laserstrahlung um 1064 nm Wellenlänge mit vergleichsweise geringem zeitlichem Kontrast. Durch SPM werden spektrale Anteile um 1030 nm erzeugt, welche nach spektraler Filterung (d.h. Dämpfung des ursprünglichen 1064 nm-Signals) als kontrastreiche Strahlung für Anwendungen zur Verfügung steht oder als Eingangssignal eines weiteren Verstärkersystems auf Ytterbium-Basis dient.

Bei einer anderen möglichen Konfiguration umfasst der Kurzpulslaser 1 ein Verstärkersystem basierend auf Ytterbium- oder Neodym-dotierten Lasermaterialien und erzeugt gepulste Laserstrahlung um 1030 nm Wellenlänge mit vergleichsweise schlechtem zeitlichem Kontrast. Durch SPM werden spektrale Anteile um 800 nm erzeugt, welche nach spektraler Filterung (Dämpfung des ursprünglichen 1030 nm-Signals) als kontrastreiche Strahlung für Anwendungen zur Verfügung steht oder als Eingangssignal eines Verstärkersystems auf Titan-Saphir-Basis dient.