Title:
Si-Ge LAMINATED THIN FILM AND INFRARED SENSOR USING SAME
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/135975
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is an Si-Ge laminated thin film, wherein one or more Si layers and one or more Ge layers are alternately laminated on a substrate (1). The Si layers (31) and the Ge layers (22) respectively have a thickness of 5-500 nm. The Si layers (31) are amorphous, and only the Ge layers (22) are crystallized. The average crystallite size of Ge in the Ge layers (22) is 20 nm or less.
Inventors:
SEKINO, Shoji (7-1 Shiba 5-chome, Minato-k, Tokyo 01, 〒1088001, JP)
関野 省治 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気株式会社内 Tokyo, 〒1088001, JP)
NAKAMURA, Shin (7-1 Shiba 5-chome, Minato-k, Tokyo 01, 〒1088001, JP)
中村 新 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気株式会社内 Tokyo, 〒1088001, JP)
関野 省治 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気株式会社内 Tokyo, 〒1088001, JP)
NAKAMURA, Shin (7-1 Shiba 5-chome, Minato-k, Tokyo 01, 〒1088001, JP)
中村 新 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気株式会社内 Tokyo, 〒1088001, JP)
Application Number:
JP2011/058374
Publication Date:
November 03, 2011
Filing Date:
March 25, 2011
Export Citation:
Assignee:
NEC Corporation (7-1 Shiba 5-chome, Minato-ku Tokyo, 01, 〒1088001, JP)
日本電気株式会社 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 Tokyo, 〒1088001, JP)
Tokyo University of Science Educational Foundation Administrative Organization (1-3 Kagurazaka, Shinjuku-ku Tokyo, 01, 〒1628601, JP)
学校法人東京理科大学 (〒01 東京都新宿区神楽坂一丁目３番地 Tokyo, 〒1628601, JP)
SEKINO, Shoji (7-1 Shiba 5-chome, Minato-k, Tokyo 01, 〒1088001, JP)
関野 省治 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気株式会社内 Tokyo, 〒1088001, JP)
日本電気株式会社 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 Tokyo, 〒1088001, JP)
Tokyo University of Science Educational Foundation Administrative Organization (1-3 Kagurazaka, Shinjuku-ku Tokyo, 01, 〒1628601, JP)
学校法人東京理科大学 (〒01 東京都新宿区神楽坂一丁目３番地 Tokyo, 〒1628601, JP)
SEKINO, Shoji (7-1 Shiba 5-chome, Minato-k, Tokyo 01, 〒1088001, JP)
関野 省治 (〒01 東京都港区芝五丁目７番１号 日本電気株式会社内 Tokyo, 〒1088001, JP)
International Classes:
H01L37/00; C23C14/34; G01J1/02; H01L31/04; H01L35/14
Attorney, Agent or Firm:
IKEDA, Noriyasu et al. (Hibiya Daibiru Bldg, 2-2 Uchisaiwaicho 1-chome, Chiyoda-k, Tokyo 11, 〒1000011, JP)
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Claims: