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Patent Searching and Data


Title:
SILICON CARBIDE ELEMENT
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2001/038254
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a ceramic heat element system in which an SiC ceramic heat element with an electric NTC behavior is provided for an electric circuit. Said electric circuit is provided with at least one segment whose resistance is saturated in an at least quasi-asymptotic manner by the current conduction required for a desired heat to be produced.

Inventors:
HEUBERGER MARTIN (DE)
KUNTZ MICHAEL (DE)
NASS RUEDIGER (DE)
Application Number:
PCT/DE2000/004205
Publication Date:
May 31, 2001
Filing Date:
November 25, 2000
Export Citation:
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Assignee:
NANOGATE GMBH (DE)
HEUBERGER MARTIN (DE)
KUNTZ MICHAEL (DE)
NASS RUEDIGER (DE)
International Classes:
C04B35/565; F23Q7/22; H01C7/04; H01C7/06; H05B3/14; (IPC1-7): C04B35/569; F02P19/02; F23Q7/00; H01C7/06; H05B3/14
Foreign References:
DE19537714A11997-04-17
JPH1179840A1999-03-23
US5322824A1994-06-21
DE4233626A11994-04-07
DE19537714A11997-04-17
Attorney, Agent or Firm:
Pietruk, Claus Peter (Im Speitel 102 Karlsruhe, DE)
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Claims:
Patentansprüche
1. Keramikwärmeelementanordnung, worin ein Keramikwärmeele ment aus SiC mit elektrischem NTCVerhalten für einen Stromkreis vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß im Stromkreis wenigstens ein Segment vorhanden ist, dessen Widerstand an dem für eine gewünschte Wärmeentwicklung benötigten Stromfluß zumindest quasi asymptotisch in Sät tigung geht.
2. Keramikwärmeelementanordnung, worin sich der Widerstand des Segmentes um nicht mehr als 10 % verändert, wenn der Strom um 20 % steigt, bevorzugt um weniger als 5 % bei 10 % Stromänderung verändert.
3. Keramikwärmeelementanordnung, worin das Keramikwärmeele ment ein Zündelement ist, insbesondere ein Glühzünder, wie ein Ölzünder für Ölheizungen, ein Gaszünder für Gas brenner und/oder Feststoffbrenner und/oder Motoren, ins besondere Dieselmotoren.
4. Keramikglühzündelement nach dem vorhergehenden Anspruch, worin die vom Keramikglühzündelement an der wärmsten Stelle angenommene Temperatur oberhalb von 900°C, insbe sondere bei wenigstens 1.100°C liegt.
5. Keramikwärmeelementanordnung nach einem der vorhergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Segment auf dem Keramikelement als Teil desselben vorgesehen ist.
6. Keramikwärmeelementanordnung nach einem der vorhergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Keramik wärmeelement so ausgestaltet ist, daß bei Stromfluß die Temperatur im Segment höher ansteigt als im verbleibenden Keramikwärmeelement.
7. Keramikwärmeelementanordnung nach dem vorhergehenden An spruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Segment einen hö heren spezifischen Widerstand aufweist als andere Berei che des Keramikwärmeelementes.
8. Keramikwärmeelementanordnung nach dem vorhergehenden An spruch, dadurch gekennzeichnet, daß der spezifische Wi derstand des Segmentes dadurch erhöht ist, daß das Seg ment im Vergleich zum restlichen Keramikwärmeelement oberflächlich und/oder oberflächennah verändert ist.
9. Keramikwärmeelementanordnung, dadurch gekennzeichnet, daß eine die Leitfähigkeit des SiCGrundmaterials durch eine Stickstoffdotierung erhöht ist.
10. Keramikwärmeelementanordnung nach einem der vorhergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest auf weiten Teilen des Keramikwärmeelementes der Stickstoffge halt oberflächennah höher ist als im Keramikwärmeelemen tinneren.
11. Keramikwärmeelementanordnung nach dem vorhergehenden An spruch, dadurch gekennzeichnet, daß in zumindest einem Bereich bzw. Segment die stickstoffhaltige, besser lei tende Stickstoffschicht entfernt ist und/oder ein Bereich mit geringeren oberflächlichem Stickstoffgehalt vorgese hen ist.
12. Keramikwärmeelementanordnung nach dem vorhergehenden An spruch, dadurch gekennzeichnet, daß das Segment einen insgesamt geringeren Querschnitt aufweist als andere Tei le des Keramikwärmeelementes.
13. Keramikwärmeelementanordnung, worin das Keramikwärmeele ment ein nahezu homogenes SiCGefüge aufweist.
14. Keramikwärmeelementanordnung nach einem der vorhergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Keramik wärmeelement aus feinporigem Siliziumcarbid besteht.
15. Keramikwärmeelementanordnung nach einem der vorhergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Segment durch einen Vorwiderstand mit PTCVerhalten gebildet ist.
16. Keramikwärmeelementanordnung nach einem der vorhergehen den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorwider stand durch eine Glühbirne realisiert ist.
17. Verfahren zur Herstellung eines SiCKeramikwärmeelemen tes, wobei ein SiCGrünkörper gefiltert und einer dotie renden Stickstoffatmosphäre ausgesetzt wird, dadurch ge kennzeichnet, daß der dotierende Stickstoff selektiv auf bestimmte Bereiche aufgebracht und/oder von bestimmten Bereichen ferngehalten und/oder davon entfernt wird.
18. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch ge kennzeichnet, daß eine Sinterung und/oder Nachsinterung und/oder Dotierung im Temperaturgradienten erfolgt.
Description:
Titel : Siliziumcarbid-Element Beschreibung Die vorliegende Erfindung betrifft eine Keramikwärmeelemen- tanordnung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.

Es ist bekannt, Keramikwärmeelemente zu verwenden, um bei- spielsweise bei Brennern das zu verbrennende Gemisch anfäng- lich auf eine Temperatur oberhalb der Zündtemperatur zu er- hitzen. Derartige Keramikwärmeelemente aus Siliziumcarbid können auf unterschiedliche Weisen hergestellt werden. Oft- mals sind die Siliziumcarbidkörper nicht sehr dicht, sondern großporig, was zu einer geringen mechanischen Belastbarkeit führt.

Aus der US-PS 5,322,824 ist es bekannt, einen drucklos gesin- terten Siliziumcarbidkeramikkompositgegenstand mit einer Gleichstromleitfähigkeit von zumindest 0,05 (Ohm x cm)-1, ei- ner Volumendichte von zumindest 2,9 g/cm3 und einer Biege- stärke von zumindest 100 MPa vorzusehen, welcher Leitfähig- keitseigenschaften des p-Typus aufweist, wobei diesem Körper ungefähr 0,5 bis 6,0 Gewichtsprozent Aluminium und 0,1 bis 2,0 Gewichtsprozent Bor zugemischt werden, wobei Aluminium zumindest im selben Gewichtsmaß wie Bor vorgesehen ist, und weiter zumindest 0,1 bis ungefähr 6,0 % freier Kohlenstoffe und zumindest 90 Gewichtsprozent Siliziumcarbid umfaßt, wobei das Siliziumcarbid vorwiegend in der Alphaphase vorliegen soll. Es wird ausgeführt, daß der Siliziumcarbidkörper der US-PS 5,322,824 einen relativ niedrigen elektrischen Wider-

standswert durch die Dotierung mittels Aluminium-und Borato- men in die Siliziumcarbidkristallgitterstruktur aufweist, und zwar durch einen Diffussionsmechanismus bei erhöhten Tempera- turen, um einen SiC (Al, B)-Halbleiter des p-Typus zu bilden.

Es wird weiter ausgeführt, daß Aluminium-Dotierungsmittel ei- nen stärker widerstandswertsenkenden Effekt auf Siliziumcar- bid aufweisen als Bor-Dotierungsmittel. Es wird auch ausge- führt, daß in SiC-Al-C-Systemen eher ein normales Kornwachs- tum auftritt als in SiC-B-C-Systemen, und zwar bei einer Sin- tertemperatur höher als ungefähr 2.050°C und daß dieses Korn- wachstum unerwünscht aufgrund der Verschlechterung der mecha- nischen Eigenschaften ist. Das gemäß der US-Schrift zu ver- wendende Siliziumcarbidpulver, welches als Ausgangsmaterial verwendet werden soll, soll selbst nur geringe Spuren an Ver- unreinigungen wie Graphit, Aluminium, Bor oder freies Silizi- um aufweisen. Es wird in dem US-Patent auch vorgeschlagen, daß das Sintern des Grünkörpers in einer Stickstoffatmosphäre erfolgen kann, soweit die resultierende elektrische Leitfä- higkeit nicht von Belang ist.

Ein Sinterkörper aus Siliziumcarbid oder Borcarbid ist weiter aus der DE 42 33 626 bekannt, in der vorgeschlagen wird, daß man einen Sinterkörper aus Siliziumcarbid oder Borcarbid da- durch herstellt, daß man a) Siliziumcarbid oder Borcarbid in einem wässrigen oder organischem Medium suspendiert und durch einstellen eines geeigneten pH-Wertes negative oder positive Oberflächenladungen erzeugt, b) ein Sinteraditiv, das Ober- flächenladungen von der auf dem Siliziumcarbid oder Borcarbid entgegengesetzte Polarität aufweist, zumischt, c) aus dem er- haltenden Schlicker einen Grünkörper herstellt und d) den Grünkörper zu einem Sinterkörper sintert. Es wird als Sin- teraditiv insbesondere ein Zweikomponentensinteraditiv, vor-

zugsweise C/A1, C/B, C/Al203 oder C/BC im Falle von SiC ver- wendet.

Es wird erwähnt, daß man einen Sinterkörper erhält, der Ver- wendung finden kann als Strukturkeramik im Hochtemperaturbe- reich, zum Beispiel für Gasturbinen, Brennkammern, Rotor- schaufeln und Turbinenräder ; im chemischen Apparatebau für den Einsatz mit stark korrosiven Medien ; als Wärmeaustau- scher, Heizleiter, feuerfeste Werkstoffe im Hochtemperatur- Ofenbau ; im Maschinenbau als Gleitlager und Gleitringdichtun- gen ; in der Schleifmittelindustrie ; und in der Elektroindu- strie zur Herstellung von Varistoren und Gleichrichtern. Die SiC-Fasern,-whisker und-komposite dienen dann zur Verbesse- rung der Festigkeit und Bruchzähigkeit von oxidischen und nichtoxidischen Hochleistungskeramiken. Das Sintern soll ge- mäß der DE 42 33 626 Al insbesondere drucklos erfolgen.

In der DE 195 37 714 wird beschrieben, wie ausgehend von der DE-A-42 33 626 Siliziumcarbid-Werkstoffe mit guten elektri- schen Eigenschaften, insbesondere guter elektrischer Leitfä- higkeit, guter Oxidationsbeständigkeit und hoher Festigkeit durch druckloses Sintern hergestellt werden können. Es wird beschrieben, daß Aluminium neben anderen ein geeignetes, über Sinteraditive zuzusetzendes Element ist. Weiter wird angege- ben, daß Kohlenstoff beim Sintern als Reduktionsmittel wirken kann und die Kornoberflächen des SiC von SiO2 reinigen kann, womit eine Erhöhung der Oberflächenenergie des Pulvers und der Korngrenzendiffusion beim Sintern verbunden sein soll. Es wird auch angegeben, daß, damit man sich diese vorteilhaften Eigenschaften der Sinteraditive zu Nutze machen kann, diese homogen in der grünen Keramik verteilt sein müssen. Es wird auch erwähnt, daß durch Dotierstoffe, wie Aluminiumnitrid, Molybdändisilizid, Phosphor, Arsen und Antimon zwar eine gute

elektrische Leitfähigkeit erreicht werden kann, durch diese Zusätze das Sinterverhalten der Keramik aber ungünstig beein- flußt wird, so daß eine ausreichende Verdichtung nur durch druckunterstützte Sinterverfahren wie Heißpressen oder heißi- sostatisches Pressen erreicht werden kann.

Die DE 195 37 714 schlägt dann vor, daß bei einem Verfahren zur Herstellung eines leitfähigen Sinterkörpers auf der Basis von Siliziumcarbid insbesondere ein Nachglühschritt in einer stickstoff-und/oder kohlenmonoxidhaltigen Atmosphäre nach dem Sintern erfolgt. Dies soll zu einer guten elektrischen Leitfähigkeit führen, die insbesondere zur Herstellung von Glühzündern erforderlich sein soll. Es wird angegeben, daß der Widerstand eines derartigen Zünders über seine Geometrie eingestellt werden kann, die in der DE 195 37 714 beschriebe- nen Glühzünder auch bei 220 V betrieben und sehr klein dimen- sioniert werden können. Es wird insbesondere ein hantelförmi- ger Glühzünder mit einer Gesamtlänge von 60 mm und einer Breite von 4 mm beziehungsweise 2 mm bei einer Dicke von 1 mm vorgeschlagen. Dieser soll auf eine Temperatur in Luft von 1.300°C aufheizbar sein.

Ein Nachteil der bekannten Anordnung besteht darin, daß die vorbekannten SiC-Keramiken, insbesondere nach der DE 195 37 714 einen negativen Temperaturkoeffizienten besitzen.

Bei der Verwendung als Glühzünder in Gas-und/oder Ölbrennern wird nun üblicherweise gefordert, daß eine bestimmte, zur Zündung sicher ausreichende Temperatur in einer vorgegebenen Zeit erreicht und danach für eine bestimmte Dauer gehalten werden muß, die ausreicht, um ein an dem heißen Zünder vor- beiströmendes Brennstoffgemisch, wie beispielsweise ein z. B. mit 10 m/s strömendes Luft-Gasgemisch und/oder Luft-Ölgemisch sicher zu entzünden. Nach dem sichergestellten Entzünden kann

der Zünder ausgeschaltet werden. Problematisch ist, daß bei den bekannten SiC-Keramikwärmeelementen mit NTC-Verhalten durch den rapide abnehmenden Widerstand sich zunächst das Zünderelement und dann dessen Halterung auf unerwünscht hohe, insbesondere weit über der Zündtemperatur liegende Temperatu- ren erwärmt. Dies kann die elektrische Kontaktierung beein- trächtigen und/oder zu Überschlägen führen. Ansätze, das NTC- Verhalten der Keramik durch Einfügen eines ein PTC-Verhalten aufweisenden Leiters in die Keramik einzubinden, führen dazu, daß ein Heißpressen erforderlich wird, was die Formgebung be- einträchtigt.

Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Kera- mikwärmeelementanordnung mit einem Keramikwärmeelement aus Siliziumcarbid anzugeben, welches ein elektrisches NTC- Verhalten aufweist, wobei die Keramikwärmeelementeanordnung so ausgebildet sein soll, daß zumindest temporär eine Über- hitzung weder des eigentlichen Keramikwärmeelementes noch dessen Verbindungsteils zu erwarten ist.

Die Lösung dieser Aufgabe wird unabhängig beansprucht. Bevor- zugte Ausführungsformen finden sich in den Unteransprüchen.

Gemäß einem ersten wesentlichen Aspekt der Erfindung wird so- mit eine Keramikwärmeelementanordnung vorgeschlagen, worin ein Keramikwärmelement aus SiC mit elektrischem NTC-Verhalten in einem Stromkreis vorgesehen ist. Hierbei soll im Strom- kreis wenigstens ein Segment vorhanden sein, dessen spezifi- scher, temperaturabhängiger Widerstand bei jenem Wert des Stromflusses, der für die gewünschte Wärmeentwicklung bezie- hungsweise Keramikwärmeelementtemperatur erforderlich ist, zumindest asymptotisch in Sättigung geht.

Damit gibt die vorliegende Erfindung zunächst die technische Lehre einer Dimensionierung eines segmentartigen Teilbereichs derart, daß der Widerstand trotz des NTC-Verhaltens des Ker- mikwärmelementes aus Siliziumcarbid auch mit weitersteigendem Stromfluß nicht mehr, jedenfalls nicht wesentlich, abfällt.

Dies führt automatisch zu einer Begrenzungswirkung.

Für Zündelemente wie für Ölöfen, sowie Glühzünder für 01- oder Gasbrenner und dergleichen ist es im Regelfall ausrei- chend, wenn sich der Segmentwiderstand mit weiter ansteigen- dem Strom nur noch geringfügig ändert ; es wurde erkannt, daß insbesondere bei nur kurzzeitig betriebenen Glühzündern, die nach dem Zünden ausgeschaltet werden, auch dann ein zumindest quasi-stabiles Eigenverhalten erreicht werden kann, wenn sich der Widerstand noch geringfügig mit steigendem Strom ändert.

Weiter wurde erkannt, daß die Keramikwärmeelementanordnung auch dann einsetzbar ist, wenn ein Olzünder verwendet wird, der beispielsweise auf Etagenölheizungen unmittelbar aber ei- nem Ölvorrat oder in einer kleinen Ölmenge erhitzt wird, da die erzielbaren Glühtemperaturen ausreichen, um eine Ver- schmutzung und/oder Zerstörung der Oberfläche durch verkoken- de Substanzen zu vermeiden.

Aufgrund der guten Korrosionsbeständigkeit der zu für das Ke- ramikwärmeelement verwendenden SiC-Keramik kann dieses insbe- sondere auch zur Erwärmung korrosiver Medien verwendet wer- den, etwa zum Kochen von hochkonzentrierten Mineralsäuren wie H2SO4. Auch können Feststoffe verdampft und/oder geschmolzen werden, z. B. können Salzschmelzen erzeugt werden. Insbesonde- re Schwefel ist so zu behandeln.

Das Keramikglühzündelement kann insbesondere für Temperaturen an der wärmsten Stelle im Bereich von oberhalb 500°C, insbe- sondere 1.100°C ausgebildet sein. Für 01-und/oder Gasbren- nerzünder sind Temperaturen um 1400-1500°C an dieser Stelle bevorzugt. Bevorzugt ist das begrenzende Segment als Teil des Keramikwärmeelementes und insbesondere an dessen wärmster Stelle vorgesehen. Dies kann erreicht werden, indem das Seg- ment einen höheren Widerstand pro Länge aufweist als andere Bereiche des Keramikwärmeelements. Dazu kann entweder das Segment schmaler und/oder dünner als andere Bereiche des Ke- ramikwärmeelements ausgebildet werden und/oder der spezifi- sche Widerstandes des Segments wird erhöht. Es sei erwähnt, daß eine solche Ausbildung eines Keramikwärmeelementes, bei welchem unterschiedliche Bereiche bzw. Segmente unterschied- liche elektrische und/oder thermische Eigenschaften aufwei- sen, per se vorteilhaft sind, unabhängig von der elektrischen Ansteuerung.

Eine Erhöhung des spezifischen Widerstandes kann erfindungs- gemäß insbesondere dadurch erreicht werden, daß das Segment im Vergleich zum restlichen Keramikwärmeelement oberflächen- nah beziehungsweise an der Oberfläche verändert ist. dies ist gegenüber nur der Veränderung rein geometrischer Abmessungen wesentlich bevorzugt, weil eine Verringerung etwa der Dicke des Keramikwärmeelement unter bestimmte Grenzen die mechani- sche Beständigkeit gefährden kann.

Insbesondere kann die Leitfähigkeit des oberflächlichen Mate- rials durch eine Stickstoffdotierung erhöht werden. Es wurde erkannt, daß bei Behandlung des gesinterten feinporigen Kör- pers in einer Stickstoff-CO-Atmosphäre der dotierende Stick- stoff, welcher die Leitfähigkeit des Sinterkörpers erhöht, primär oberflächennah verbleibt, sich also ein Stickstoffgra-

dient ausbildet, was noch nicht vollständig verstanden ist, aber auf die hohe Dichte des Keramikgrundkörpers zurückge- führt wird. Bei Stickstoffdotierung durch Einbringen des Ke- ramikwärmeelementes in eine N2-CO-Atmosphäre bei erhöhter Temperatur kann deshalb der Segmentwiderstand erhöht werden, indem die besser leitende Stickstoffschicht entfernt wird und/oder indem von vorneherein die Dotierung mit Stickstoff so vorgenommen wird, daß am Segment eine verringerte Menge an Stickstoff vorliegt. Dies kann beispielsweise dadurch er- reicht werden, daß das Segment mit inerten Substanzen vor der Eindiffussion von Stickstoff in den SiC-Körper versiegelt wird, wozu hinreichend inerte, gasundurchlässige Substanzen verwendet werden können, oder es kann eine Dotierung über Pulver vorgenommen werden, die selektiv Stickstoff freisetzen und deshalb in geringerem Maße, mit größerer Korngröße (d. h. mit geringerer spezifischer Oberfläche) oder gar nicht am Segment angeordnet werden, beziehungsweise welche Stickstoff abfangen und daher in besonders großen Maße nahe des Segmen- tes angeordnet werden. Derartige Keramikwärmelemente bilden bevorzugte Ausführungsformen des Keramikwärmeelementes, bei welchem unterschiedliche Bereiche bzw. Segmente unterschied- liche elektrische und/oder thermische Eigenschaften aufwei- sen, per se vorteilhaft sind, unabhängig von der elektrischen Ansteuerung. Eine besonders bevorzugte Variante des Keramik- wärmeelementes sieht vor, daß die Spitze des Keramikwärmeele- mentes, insbesondere Keramikglühzünders eine geringe spezifi- sche Leitfähigkeit besitzt, insbesondere durch-über etwa das Sinterverfahren erzielter-hoher Dichte und geringer Dotier- tiefe, was dort zu geringer spezifischer Leitfähigkeit führt, während am Schenkel eine niedrigere Dichte mit größerer Do- tiertiefe eingestellt wird, um eine durch höhere spezifische Leitfähigkeit geringere ohmsche Erwärmung zu erzielen. Dies ergibt ein unabhängig von der Ansteuerung gewerblich nutzba-

res und daher separat beanspruchtes Keramikwärmeelement mit optimalem Temperaturprofil und einer thermisch weniger bela- steten Halterung.

Das Segment kann insbesondere einen insgesamt geringeren Querschnitt als andere Bereiche des Keramikwärmelementes auf- weisen. Wenn eine Stickstoffschicht im Segmentbereich ent- fernt werden soll, kann dies durch Wegschleifen, Sandstrah- len, Kugelstrahlen usw. einer stickstoffhaltigen Oberflächen- schicht geschehen, was gleichzeitig vorteilhaft auch den Ke- ramikwärmeelementquerschnitt im Segment verringert. Alterna- tiv kann eine Nachsinterung unter Vorhandensein eiens Tempe- raturgradienten erfolgen.

Das Keramikwärmeelement kann ein drucklos gesinterter Silizi- umcarbidkörper sein. Die Ausbildung als drucklos gesinterter Körper erlaubt eine große Freiheit bei der geometrischen Formgebung, die über unterschiedliche Verfahren rereicht wer- den können. So können Segmente an beliebigen Stellen vorgese- hen werden und/oder Mikrostrukturen im vollen Material er- zielt bzw. an der Oberfläche erzeugt werden. Insbesondere können Wärmeabstrahlrippen zwischen dem Segment und dem Trä- ger vorgesehen werden.

Während das Segment typisch als Teil des Keramikwärmeelemen- tes ausgebildet wird, kann in einer alternativen Ausführungs- form der Erfindung auch vorgesehen sein, daß das Segment durch einen Vorwiderstand mit PTC-Verhalten getrennt vom Ke- ramikwärmeelement gebildet ist. Bei diesem Vorwiderstand kann es sich inbesondere um eine Glühbirne handeln, wie eine Halo- genlampe oder dergleichen, da bei den typischen Glühzünderan- wendungen wie für das Anschalten von Brennern usw. die Wider- standsänderung bei steigendem Stromfluß in der Glühbirne etwa

genauso schnell wie im keramischen Wärmeelement erfolgt. Es besteht damit keine Gefahr, daß der keramische Zünder über- hitzt. Auf die Möglichkeit einer Strom-und/oder Leistungsbe- grenzugnsschaltung für das Keramikwärmeelement wird hingewie- sen.

Die Erfindung wird im folgenden nur beispielsweise anhand der Zeichnungen beschrieb. In dieser zeigt : Fig. 1 einen Siliziumcarbid-Grünkörper gemäß der vorliegenden Erfindung ; Fig. 2 ein fertiggestelltes SiC- Glühzünderelement gemäß der vorliegenden Erfindung ; Fig. 3 und 4 ein Teil einer Sinterhalterung für den Grünkörper von Fig. 1 in Draufsicht und im Schnitt ; Fig. 5 ein schematisches Verhalten des spezifi- schen elektrischen Widerstandes eines Si- liziumcarbidsegmentes gemäß der vorlie- genden Erfindung ; Fig. 6 eine Schaltkreisanordnung zum Betreiben eines Glühzünders ; Fig. 7 das Verhalten verschiedener Proben nach der Erfindung Fig. 1 zeigt einen Grünkörper aus Siliziumcarbid-Keramik, der hergestellt sein kann gemäß dem in der DE 42 33 626 Al be- schriebenen Verfahren. Dabei wird jedoch abweichend von dem dort beschriebenen Verfahren ein Siliziumcarbid-Ausgangs- material verwendet, welches einen geringen Anteil an Alumini- um-Dotierung aufweist.

Der mit dem aluminiumhaltigen Siliziumcarbid-Ausgangsmaterial hergestellte Schlicker wird zu einem Grünkörper la geformt.

Dieser Grünkörper la weist eine abgerundete Spitze 2 auf, die aber zwei dünne Schenkel 3a, 3b mit einem Grundkörper aus breiteren Schenkeln 4a, 4b verbunden ist. Die beiden Schenkel 4a, 4b sind in einem von der Spitze 2 abgewandten Bereich 5 miteinander verbunden. Zwischen den Schenkeln 4a, 4b, 3a, 3b erstreckt sich von der Spitze 2 zum unteren Verbindungsbe- reich 5 ein breiter Schlitz 6.

Der Grünkörper hat in einem praktischen Ausführungsbeispiel eine Dicke von etwa 1,5 mm und eine Lange von etwa 65 mm.

Der Siliziumcarbid-Grünkörper von Fig. 1 wird nun auf einen runden Träger aus Graphit aufgesetzt, der wie in Fig. 4 ge- zeigt sternförmig verlaufende Stege 7 aufweist, die eine ge- ringere Breite als der Schlitz 6 besitzen. Der Grünkörper wird mit seinem Schlitz 6 so auf die Stege 7 gesetzt, daß die Spitze 2 am radial äußeren Ende des Steges 7 angeordnet ist.

Es werden alle Stege 7 bestückt. Der Steg 7 besitzt eine sol- che Höhe H (Fig. 3), daß der Steg geringfügig über den aufge- legten Grünkörper la übersteht, so daß nun mehrere der mit Grünkörpern bestückten Sternplatten gestapelt und in einem geeigneten Sinterofen in per se bekannter Weise gesintert werden können.

Es wird dann in einer Inertgasatmosphäre aus Ar/He gesintert.

Durch die homogene Verteilung der Sinteradditive wie aus der DE 42 33 626 bekannt werden an den SiC-Korngrenzen vorhandene Siliziumdioxidschichten reduziert und so ein gleichmäßiges Korngrenzengefüge mit geringen Übergangswiderständen für elektrische und Wärmeströme vorgesehen. Dies führt zu einer besonders hohem Wärmeleitfähigkeit durch saubere Korngrenzen

und eine überlegene Temperaturwechselbeständigkeit. Zudem er- geben sich feinverteilte Poren, die im Mittel kleiner als die mittlere Korngröße sind und nicht festigkeitsverringernd sind, was eine hohe Festigkeit zur Folge hat. Obwohl die fei- nen Porengrößen bewirken, daß bei späterer Erwärmung allen- falls in geringem Ausmaß Gase eindringen können, kann bei ei- ner Stickstoffdotierung ein wesentlicher Teil des Stickstof- fes im Außenbereich verbleiben, was noch nicht vollstädnig verstanden wird.

Die Stickstoffdotierung kann auf verschiedene Weisen erfol- gen. Eine erste Möglichkeit ist die Erwärmung beziehungsweise das Halten der gesinterten Körper in erwärmtem Zustand in ei- ner Stickstoff-Kohlenmonoxidatmosphäre. Diese Atmosphäre kann beispielsweise um 95 % Stickstoff und um 5 % CO enthalten.

Das Kohlenmonoxid ist dann erforderlich, wenn nicht unmittel- bar nach dem Sintern die Stickstoffdotierung erfolgt, sondern der bereits gesinterte Grundkörper durch Zwischenschritte, etwa Sichtkontrollen der bereits gesinterten Körper, einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre ausgesetzt wird. Die Dotierung kann dabei insbesondere unter von Standardruck abweichenden Druckbedingungen erfolgen, d. h. insbesondere mit erhöhtem Druck, um die Dotierungsgeschwindigkeit zu erhöhen.

Es ist möglich, den Grünkörper ganz oder, zur Erzielung eines Gradienten beziehungsweise einer über die Grünkörperfläche variierenden Stickstoffdotierung, nur teilweise auf ein stickstoffabgebendes Material wie Siliziumnitride, Aluminium- nitrid, N-dotiertes SiC usw. zu legen und/oder darin einzu- betten. Auf diese Weise werden die Bereiche, die in intensi- ven Kontakt mit dem stickstoffabgebenden Material gelangen, höher dotiert.

Weiter ist es moglich, alternativ bestimmte Bereich in Sili- ziumcarbidpulver einzubetten, welches dann mit dem Silizium- carbid des gesinterten oder zu sinternden Keramikelementes um den Stickstoff aus der Stickstoffatmosphäre konkurriert. Es ist darauf zu achten, daß erforderlichenfalls das Silicium- carbidpulver nach jedem Sintervorgang ausgewechselt wird, um ein konstantes Verhalten zu erhalten.

Es sei darauf hingewiesen, daß das Dotieren nicht auf der Sternplatte erfolgen muß, sondern auch separat von dieser er- folgen kann.

Bei der Wahl des zur Dotierung oder zur Stickstoffkonkurrenz verwendeten Pulvers ist einsichtig, daß die Pulverfeinheit eine wesentliche Rolle aufgrund der verschiedenen spezifi- schen Oberflächen spielt.

Im vorliegenden Beispiel wird der gesinterte Keramikkörper in einer Atmosphäre aus 95 % Stickstoff und 5 % CO für eine aus- reichende Zeit stickstoffdotiert, um zu gewährleisten, daß eine oberflächliche und oberflächennahe Stickstoffdotierung erfolgt.

Nach der Dotierung kann die Spitze 2 auf beiden Seiten des flachen Sinterkörpers abgeschliffen werden, wie durch die Schraffierung 9 dargestellt, so daß im Bereich der Schraffie- rung 9 die Spitze 2 nicht mehr die oberflächennahe Stick- stoffdotierung aufweist, die durch die Schraffierung 10 für den verbleibenden Keramikwärmeelementkörper angedeutet ist.

Danach kann der untere, nur während des Sinterns zur Erhöhung der Stabilität gewünschte Bereich 5 von dem gesinterten Kör- per abgetrennt werden, wie durch Linie 8 in Fig. 2 angedeu- tet. Der Keramikwärmeelementkörper kann nun kontaktiert wer-

den. Dazu kann beispielsweise ein herkömmlicher Leiter mit einer dünnen Aluminiumfolie umwickelt werden und diese dann Verlötet bzw. verschweißt werden. Die Umwicklung des Wickel- leiters mit hochduktiler Aluminiumfolie wird ein muschelför- miges Ausbrechen der Keramik an der Kontaktstelle aufgrund der unterschiedlichen Wärmeausdehnung von Metalle und Keramik vermieden. Alternativ kann beispielsweise auch ein Nickel- blech mit einer Dicke von beispielsweise 0,05 mm verwendet werden. Dieses kann dann mit herkömmlichem, für diesen Zweck verwendeten Lot wie Ti-haltigem Aktivlot"CB-4"von Degussa mit nahezu 50 % Silber-und 50 % Kupferanteil auf das Kerami- kelement aufgelötet werden.

Der kontaktierte Keramikkörper kann nun in eine Gußmasse ein- gebettet werden, die aus dem Stand der Technik per se bekannt ist. Dabei kann zur Vermeidung späterer Überschläge zwischen die beiden Schenkel 4a, 4b in den Schlitz 6 eine keramische Trennwand gesetzt werden, die ein Überschlagen der Verguß- masse bei Erwärmung verhindert.

Das vergossene und somit montagebereite Keramikwärmeelement kann nun über die aus der Vergußmasse herausgeführten elek- trischen Wickelanschlußleitungen mit einer Wechselspannungs- quelle von etwa 230 V verbunden werden. Dabei erwärmt sich der gesamte Keramikkörper. Aufgrund der Erwärmung nimmt der Widerstand des Keramikkörpers, entsprechend seinem NTC- Verhalten, stark ab. Dies führt zu einem sich weiter erhöhen- dem Stromfluß. Hierbei wird ein überwiegender Teil des Stro- mes durch die gut leitende stickstoffdotierte oberflächliche Schicht fließen, die in Fig. 2 durch die Schraffierung 10 an- gedeutet ist. Im Bereich der Spitze 2 ist diese oberflächli- che Schicht aufgrund des Abschleifens nicht mehr vorhanden.

Demgemäß ist der Widerstand in diesem Bereich deutlich höher,

daß bei einem stärkeren Spannungsabfall in diesem Bereich der Spitze 2 führt und demgemäß zu einem besonders hohem Tempera- turanstieg im Bereich der Spitze 2. Ein Altern durch Verände- rung des Widerstandsverhältnisses von Segment und restlichen Keramikwärmeelementbereichen wurde auch nach wiederholter Zy- klierung nicht beobachtet.

Fig. 5 zeigt, wie der spezifische Widerstand des Siliziumcar- bids mit Temperatur abnimmt. Es ist zu erkennen, daß für hohe Temperaturen ein asymptotisches Sättigungsverhalten eintritt.

Für die sehr hohe Erwärmung der Spitze liegt dabei bereits ein asymptotisches Verhalten vor. Dies führt dazu, daß sich der Gesamtwiderstand der Anordnung dem Widerstandswert nä- hert, der durch die geometrische Abmessung der Spitze und dem spezifischen Widerstand im asymptotischen Bereich gegeben ist. Damit kann der Stromfluß durch die Spitze nicht beliebig ansteigen. Ein derartiger Zünder kann Temperaturen von bei- spielsweise 1.200 °C erreichen und diese für mindestens 30 Sekunden halten, ohne daß eine Temperatur von z. B. 1.400°C überschritten wird. Damit ist durch die Ausbildung eines Seg- mentes im Keramikwärmeelement, dessen Widerstand an dem für eine gewünschte Wärmeentwicklung erforderlichen Stromfluß zu- mindest quasi asymptotisch in Sättigung geht, ein zumindest quasi stabiles Verhalten erzielt.

Fig. 6 zeigt eine weitere Anordnung, in der ein Segment in einem Keramikwärmeelement-Stromkreis vorgesehen ist, bei wel- chem Segment der Widerstand an dem für die gewünschte Wär- meentwicklung benötigten Stromfluß zumindest quasi asympto- tisch in Sättigung geht. In Fig. 6 bezeichnet 1 ein Keramik- wärmeelement aus Siliziumcarbid, welches nach dem der DE 42 33 626 A1 oder DE 195 37 714 hergestellt ist, ohne daß, wie im Ausführungsbeispiel von Fig. 2 ein Spitzenbereich

oberflächlich abgeschliffen wurde. Weiter umfaßt der Schalt- kreis von Fig. 6 eine handelsübliche Glübirne 11, zum Bei- spiel eine 50 W Halogenlampe, einen Schalter 12 und eine 230 V Wechselstromquelle 13.

Wenn der Schalter 12 geschlossen wird, fließt zunächst, auf- grund des noch geringen Widerstandes die Glühbirne 11 ein großer Strom durch den Schaltkreis und erwärmt das Keramik- wärmeelement 1 mit NTC-Charakteristik, worauf der Widerstand abfällt und sich das Keramikwärmeelement stark erwärmt.

Gleichzeitig und mit ungefähr vergleichbarem Temperaturan- stieg ändert sich auch die Temperatur der in der Glühlampe vorhandene Glühwendel, worauf deren Widerstand ansteigt, was den Strom begrenzt. Die Glühlampe 11 wirkt somit als PTC- Element und das NTC-Verhalten des Keramikwärmeelementes aus Siliziumcarbid wird zumindest partiell kompensiert. Die Glüh- lampe 11 stellt somit das erfindungsgemäße Segment dar. Mit der gezeigten Anordnung kann eine hohe Temperatur von bei- spielsweise 1.580°C dauerhaft ohne Beschädigung des SiC- Elementes oder dessen Anschlüsse gehalten werden.

Fig. 7 zeigt, wie sich bei unterschiedlichen Proben, bei de- nen die äußere Zünderspitze mit Temperaturgradienten nach- gesintert wurde und nachfolgend eine Dotierung im Temperatur- gradienten erfolgte, die Dichte von Spitze und Schenkel sowie die Gesamtdichte verhalten. Es ist klar zu erkennen, daß die Dichte am Schenkel höher als jene an der Spitze ist. Dies hat Unterschiede im Erwärmungsverhalten zur Folge.

Es wird somit ein Keramikwärmeelement gezeigt, das auch über einen Zeitraum von wenigstens 15, bevorzugt typisch 30 und insbesondere bevorzugt 45 Sekunden quasi stabil und ohne Ei- genzerstörung betrieben werden kann.

Es sei erwähnt, daß insbesondere die mit den beschriebenen Anordnungen für Gasbrenner übliche Vorglühzeit von 30 Sekun- den gehalten werden kann und daß es möglich ist, den Zünder- widerstand bei der Fertigung der Wärmeelementkeramik um bis zu einem Faktor 5 zu verändern, ohne daß Veränderungen der Glühtemperatur signifikant werden. Zudem kann durch eine ge- eignete Wahl der Glühkörper-Glühbirne-Kombination die Zünder- Reglereinheit auf regional unterschiedlichen Netzspannungen oder unterschiedliche Glühtemeperaturen, zum Beispiel auf- grund von unterschiedlichen Gasströmgeschwindigkeiten einge- stellt werden, wobei niedrigere Glühbirnenwattzahl für höhe- ren Netzspannungen erforderlich sind. Auch kann das Keramik- wärmeelement in eine Flüssigkeit zu dessen Erwärmung einge- taucht werden, insbesondere in aggressiven und/oder komprim- nierten bzw. überkritischen Fluiden.

Im übrigen sei erwähnt, daß die einfache Formgebung des Kera- mikelementes durch bloßes Sinters es insbesondere erlaubt, die Schenkel 4a, 4b mit wärmeabstrahlenden Rippen auszubil- den, so daß der Kontaktbereich, über welche die Schenkel mit den elektrischen Zuleitungen verbunden sind, die erhöhte Wär- meabstrahlung kälter bleiben.

Es sei auch erwähnt, daß auch andere Versorgungsspannungen als 230 V Wechselstrom bei entsprechender Auslegung einsetz- bar sind.