〔第一実施形態〕
 以下、本発明の第一実施形態を図面に基づ� ��て説明する。
図1は、時計1のムーブメントの表輪列側の概� ��形状を示す平面図、図2は、時計1の香箱2か� ��ガンギ車100の部分を示す概略部分断面図、� ��3は、時計1のガンギ車100からてんぷ10の部分 を示す概略部分断面図である。

 ここで、時計1は、2針式の機械式時計で� �る。しかし、時計は、電子制御式機械式時� �、クオーツ式時計等でも良いものとする。

 時計1は、ぜんまい2B、香箱歯車2A、香箱� �2C、および香箱蓋2Dからなる香箱車2を備えて いる。ぜんまい2Bは、外端が香箱歯車2A、内� �が香箱真2Cに固定されている。香箱真2Cは地� ��3と輪列受4に支持され、角穴車5と一体で回� ��するように角穴ネジにより固定されている� ��角穴車5は、時計方向には回転するが半時計 方向には回転しないように、こはぜ7と噛み� �っている。なお、角穴車5を回転しぜんまい2 Bを巻く方法は、一般的な機械式時計の自動� �きまたは手巻きと同様であるため、説明を� �略する。

 香箱歯車2Aの回転は、二番車12、三番車13、� ��番車14からなる増速輪列11を
介して増速された後、さらにガンギ車100及び アンクル200を介して、てんぷ10に伝達される� ��

 増速輪列11の二番車12には筒かな15が、筒� ��な15には分針8が固定されている。筒かな15� �回転に基づいて、図示しない日の裏車の回� �を介して、筒車16が回転する。この筒車16に� ��時針9が固定されている。つまり、各指針8� �9は、増速輪列11に結合されていて、香箱歯� �2Aや増速輪列11に使用される各番車12~14の歯� �は、時計1の指針8、9を駆動する歯車として� �いられている。よって、各時計用部品には� �高い寸法精度並びに耐摩耗性が要求されて� �る。

 時計1には様々な輪列があるが、以下簡単 のためにガンギ車100を例にとって説明を行う 。しかし、ガンギ車は本発明の理解を容易に するために例示的に記載するものである。

 図4(a)に、本発明の構造を有するガンギ車 (摺動部品)100を示す。ガンギ車100は、その外� ��部に複数のガンギ歯101を有し、中心部に厚� ��方向に貫通する軸穴102を有する。このガン� ��車100は、図1~3に示した機械式時計の時計用� ��品として用いられる一部品である。

 図4(b)は、図4(a)において、円Cで囲んだガ� ��ギ歯101を拡大した図である。ガンギ歯101は� ��停止面111、衝撃面112、及び背面113を有し、� ��止面111と衝撃面112との交差稜線がロッキン� ��コーナー114となり、衝撃面112と背面113との� ��差稜線がレットオフコーナー115となってい� ��。ガンギ歯101の停止面111、衝撃面112、及び� ��面113は、ガンギ車100の厚み方向に対して略� ��行な外周面の一部をなしており、ロッキン� ��コーナー114及びレットオフコーナー115を含� ��衝撃面112が、後述するツメ石210と摺動する� ��動部となっている。本発明の構造を有する� ��ンギ車100は、少なくとも3つの層が厚み方向 に積層された多層構造を有し、例えば本実施 形態では、同一の材料の第1及び第3の金属層1 21(第1対向層)、123(第2対向層)と、第1及び第3� �金属層121、123に挟まれ、これらとは異なる� �料の第2の金属層122とから成る。

 第1及び第3の金属層121、123の材料には、ニ� �ケル(Ni)、コバルト(Co)、白金(Pt)、ロジウム(R h)、クロム(Cr)、パラジウム(Pd)等の金属や、Ni -タングステン(W)、Ni-ボロン(B)等の合金、あ� �いは前記金属マトリックス中にアルミナ(Al ₂ O ₃ )や炭化ケイ素(SiC)等のセラミックス、ポリテ トラフルオロエチレン(PTFE)等の樹脂、その他 の有機物質又は無機物質の粒子又は繊維を共 析させた複合物が挙げられる。第2の金属層12 2の材料には、銅(Cu)、金(Au)、亜鉛(Zn)、銀(Ag)� ��鉄(Fe)、スズ(Sn)等の金属や、Cu-Au、Cu-Ag等の� ��金、あるいは前記金属マトリックス中に前� ��粒子又は繊維を共析させた複合物が挙げら� ��る。後述する製造工程において、第2の金属 層122をエッチングして凹部150を形成するため 、第2の金属層122のみを選択的にエッチング� �きる材料の組み合わせ、またはエッチング� �度に差のある材料の組み合わせを採用する� �また、ガンギ車100は摺動部品であるので、� �手部品と接する第1及び第3の金属層121、123は 、硬い材料であることが望ましい。

 図4(c)は、ガンギ車100を図4(b)のX-X線で切っ� �ときの断面図である。本発明の構造を有す� �ガンギ車100において、第2の金属層122の外形� ��、第1及び第3の金属層121、123の外形よりも� �さい。第2の金属層122の外周面は、ガンギ車1 00の外周面(第1及び第3の金属層121、123の外周� ��)から後退している。そのため、ガンギ車100 は、少なくとも摺動部の一部に、本実施形態 ではガンギ車1
00の外周面の全周にわたって、ガンギ車100の� ��み方向には開放されない凹部150を有する。� ��部150が、潤滑油保持の働きをする。

 ガンギ車100の厚みT0は、本実施例において� �100μmである。厚みT0は、製
造する部品に応じて、10μm~1mmとする。第1の� �属層121の厚みT1と第3の金属層123の厚みT3は、 1μm~900μmとする。厚みT1とT3が同じ値である必 要はない。第2の金属層122の厚みT2は、500nm~500 μmとする。凹部150の深さW1は1μm~1mmとする。� �部150の寸法を決める厚みT2と深さW1は、潤滑� ��の粘度や表面張力によって適宜決定する。

 ガンギ車100は、アンクル200と摺動する。� ��体的には、ガンギ車100のガンギ歯101とアン� ��ル200のツメ石210が摺動する。図5(a)はガンギ 歯101の部分拡大図、図5(b)はアンクル200のツ� �石210の部分拡大図である。ツメ石210はガン� �歯101と同様に、停止面211、衝撃面212、背面21 3、ロッキングコーナー214、レットオフコー� �ー215から成る。

 ガンギ歯101とツメ石210が摺動する過程を� ��図6を用いて説明する。図6(a)において、ツ� �石210の停止面211にガンギ歯101のロッキング� �ーナー114が接し、アンクルはガンギ車101を� �めている。

 アンクルが矢印の方向に動くと、ガンギ� ��101のロッキングコーナー114とツメ石210のロ� ��キングコーナー214が接する図6(b)に示す状態 を経て、図6(c)に示すようにガンギ歯101のロ� �キングコーナー114はツメ石210の衝撃面212上� �滑る。

 そして、ガンギ歯101のロッキングコーナ� ��114とツメ石210のレットオフコーナー215が接� ��る図6(d)に示す状態を経て、今度は図6(e)に� �すように、ツメ石210のレットオフコーナー21 5がガンギ歯101の衝撃面112上を滑る。

 図6(f)に示すようにガンギ歯101のレットオ フコーナー115とツメ石210のレットオフコーナ ー215が接すると、ガンギ歯101とツメ石210は離 れる。

 図6に示す摺動過程では、ガンギ歯101とツ メ石210との間に摩擦が生じるので、耐摩耗性 を向上させるために潤滑油を注油する。図7� �、図6(e)のY-Y線で切った断面図である。凹部1 50は、図7(a)、(d)に示すように、潤滑油410を保 持する働きを持つ。

 凹部150は、ガンギ車100の全周に設けられ� ��いるため、図3で説明した摺動過程の全ての 状態で、摺動部に潤滑油410を供給することが できる。また、ガンギ車100は、その潤滑油保 持部となる凹部150が積層方向の片側に位置せ ずに略中央部に位置しているため、図7(b)、(e )、(c)、(f)に示すようにツメ石210が傾いてい� �としても、摺動部に潤滑油410を供給するこ� �ができる。

 ガンギ車100は、潤滑油410が凹部150から摺� ��部により確実に供給されることにより、摺� ��性が向上する。そのため、ガンギ車100は耐� ��耗性が向上し、部品寿命が従来よりも長く� ��る。

 また、凹部150はガンギ車100の全周に設けら� ��ているため、保油量が従来の構造のガンギ� ��よりも多い。機械式時計では、数年毎に摺� ��部品の注油のためのメンテナンスが必要だ� ��、本発明の構造を有する摺動部品を用いれ� ��、メンテナンス期間を従来よりも
長くすることができる。

 本発明の構造を有するガンギ車100の製造� ��法を、図8~11を用いて以下に述べる。図8~11� �、ガンギ車100の製造工程の部分断面図であ� �。ここでは、一つのガンギ車100が形成され� �付近の断面図を概略的に示した。

 図8(a)は、導電性基板形成工程を説明する 図である。基板601に電極材料602を形成する。 基板601は、シリコン、石英、サファイア等で ある。電極材料602は、Cu、Au、Cr、Ti等である� ��なお、基板601にステンレスやTi等の金属を� �いてもよい。基板601が金属の場合、電極材� �602は形成しなくてもよい。基板601の厚みは� �後の工程で自立できるよう100μm~1mmとする。� ��極材料602の厚みは、10nm~10μmとする。

 図8(b)は、レジスト形成工程を説明する図 である。電極材料602の上にフォトレジスト603 を堆積する。フォトレジスト603は、ネガ型で もポジ型でもよい。フォトレジスト603はスピ ンコート法やディップコート法を用いて形成 する。フォトレジスト603として、ドライフィ ルムレジストを用いる場合、ラミネート法に よって電極材料602の上に形成する。フォトレ ジスト603の厚みは、ガンギ車100の厚みT0以上� ��する。以下では、フォトレジスト603がネガ� ��の場合を用いて説明する。

 図8(c)は、現像工程を説明する図である。 ガンギ車100の外形パターンが形成されたフォ トマスクを用いて、フォトレジスト603に紫外 線を照射し、ガンギ車100の電鋳に使用する部 分以外のレジストを硬化させる。未硬化のレ ジスト部分を除去し、電鋳用の型が完成する 。フォトレジスト603Kの側面631は、ガンギ車10 0の外形の形状を持つ。フォトレジスト603Lの� ��面632は、軸穴102の形状を持つ。

 図8(d)~図9(a)は電鋳工程を説明する図であ� ��。第1及び第3の金属層121、123で第2の金属層1 22を挟むように、第1の金属層121、第2金属層12 2、第3の金属層123の順で堆積させる。電鋳物� ��底面からのみ成長する。

 図8(d)は、金属層電鋳工程を説明する図で ある。第1の金属層121を、電極材料602上の、� �ォトレジスト603K、603L以外の型部分に厚みT1� ��なるよう堆積させる。

 図8(e)は、金属層電鋳工程を説明する図で ある。第1の金属層121上に、第2の金属層122を� ��みT2になるよう堆積させる。なお、厚みT1と 厚みT2の合計は、厚みT0よりも小さい。

 図9(a)は、金属層電鋳工程を説明する図で ある。第2の金属層122上に、第3の金属層123を� ��電鋳物がガンギ車の厚みT0以上になるよう� �厚みT3以上堆積させる。但し、この後、図9(b )に示す研削・研磨工程を省略する場合は、� �鋳物が厚みT0になるよう、第3の金属層123を� �みT3まで堆積させる。

 図9(b)は、研削・研磨工程を説明するである 。研削により、ガンギ車100が厚みT0になるよ� ��第3の金属層123およびフォトレジスト603K、60 3Lを削り、平
面化を行う。さらに研磨を行い、第3の金属� �123の表面を鏡面に仕上げる。

 図9(c)は、レジスト除去工程を説明する図 である。エッチングあるいは物理的な力等に よって、フォトレジスト603K、603Lを除去する� ��

 図9(d)は、凹部形成工程を説明する図であ る。第2の金属層122をエッチングし、第1及び� ��3の金属層121、123をエッチングしないエッチ ング液中に電鋳物を浸漬する。第2の金属層12 2のみをエッチングし、深さW1の凹部150を形成 する。一例として、第1及び第3の金属層121、1 23にNi、第2の金属層122にCuを堆積させた場合� �、エッチング液に過硫酸アンモニウム溶液� �用いるとCuのみをエッチングできる。

 図9(e)は、電鋳物剥離工程を説明する図で ある。基板601、電極602をエッチングあるいは 物理的な力等によって除去する。

 なお、研削・研磨後の図9(c)~(e)に示す工� �は、以下の工程で行うことも可能である。

 図10(a)は、基板・電極除去工程を説明す� �図である。基板601、電極602をエッチング等� �よって除去する。

 図10(b)は、レジスト除去工程を説明する� �である。エッチングあるいは物理的な力等� �よって、フォトレジスト603K、603Lを除去する 。

 図10(c)は、凹部形成工程を説明する図で� �る。第2の金属層122をエッチングし、第1及び 第3の金属層121、123をエッチングしないエッ� �ング液中に電鋳物を浸漬する。第2の金属層1 22のみをエッチングし、深さW1の凹部150を形� �する。

 なお、耐食性、潤滑性、耐熱性等の機能を� ��上させたい場合や、濡れ性をよくして保油� ��を向上させたい場合は、図9(e)または図10(c)� ��示す工程の後に、図11(a)、(b)に示すめっき� �程を追加する。剥離した電鋳物全体に、金� �膜650をめっきする。金属膜650の材料は、Ni、 Co、Rh、Cr等の金属や、Ni-W、Ni-Co等の合金、あ るいはNi-Al ₂ O ₃ 、Ni-PTFE等の複合物が挙げられる。金属膜650� �厚みT4は100nm~100μmとする。但し、凹部150が埋 まらない厚みとする。

 以上で説明したように、本発明の製造方� ��によれば、図4で示した摺動部品を容易に製 造することができる。

 図12は第1の金属層121の材料に、NiやCo等の金 属マトリックス中にAl ₂ O ₃ やSiC等の粒子を共析させた複合物を用いた場 合の電鋳工程を説明する図である。図12(a)は� ��1の金属層121の電鋳工程を説明する図である 。図12(a)に示すように、共析した複合粒子の� ��部は金属マトリックスに完全に取り込まれ� ��、上面に露出する。この露出した複合粒子� ��、図12(b)に示す第2の金属層122の電鋳工程で� ��属層122によって完全に取り込まれる。第1の 金属層121の複合粒子が表面の粗い物質であっ た場合、金属層121、122の境界に複合粒子が共 析することによって、二つの金属層の密着力 が向上する。この効果は、第2の金属層122の� �料に複合物を用いた場合の、第2の金属層122� ��第3の金属層123との密着力についても同様で ある。また、共析させる物質が炭化タングス テン(WC)等の繊維の場合も、同様の効果があ� �。

 また、第2の金属層122の材料に、NiやCu等の� �属マトリックス中にPTFEやアクリル樹脂等の� ��子を共析させた複合物を用いた場合、図13� �示す工程でも凹部を形成できる。図13(a)は、 第2の金属層122の材料にNiやCu等の金属マトリ� ��クス中にPTFEやアクリル樹脂等の粒子を共析 させた複合物を用いた場合の、レジスト除去 工程後の状態である。図13(a)に示すように、� ��合粒子の一部は摺動面に共析して
いる。この摺動面に共析した複合粒子を、熱 処理や有機溶媒等によって除去することで、 図13(b)に示すような凹部150を形成することが� ��きる。この場合、凹部150は外周面の全周に� ��っては形成されず、複合粒子が共析し、除� ��された部分にのみ形成される。この凹部150� ��、潤滑油保持の働きをする。

 また、ガンギ車100は摺動時に摩擦熱が発� ��し、摺動部の温度が上昇してガンギ車100を� ��成する材料の硬度が減少し、摩耗しやすく� ��る場合がある。しかし、本発明では第2の金 属層122に熱伝導性の良い材料を用いることで 、ガンギ車100全体の熱伝導性を向上させるこ とができ、第1及び第3の金属層121、123の温度� ��上がりにくくなるので、摩耗しにくくなる� ��このような金属の組み合わせの一例として� ��第1及び第3の金属層121、123にNi、第2の金属� �122にCuが挙げられる。

 また、図14に示す形状を用いれば、耐摩� �性をさらに向上させることができる。図14に 示すガンギ車100は、第1及び第3の金属層121、1 23の外周面と、第2の金属層122に接していない 面との交差部に曲面161A、163Aを有している。� ��面161Aの曲率R11aと曲面163Aの曲率R13aが同じ値 である必要はない。図7(b)、(e)、(c)、(f)に示� �ように、ガンギ歯101とツメ石210が傾いて接� �る場合、角が当たって摩擦力が大きくなる� �能性がある。一方、図14に示す形状を用いれ ば、図14(b)に示すように、曲面161A、163Aを形� �することによってガンギ歯101とツメ石210が� �いて接する場合でも角が当たらず、潤滑性� �良いので、摩擦力が低くなり、耐摩耗性が� �上する。また、曲面161A、163Aを形成すること によって摺動時のヘルツ接触圧が低くなるの で、耐摩耗性が向上する。

 図14に示す構造を有するガンギ車100の製� �方法を、図15~16を用いて以下に述べる。

 図15(a)、(c)は、バレル研磨工程を説明す� �図である。図10(b)の工程の後にバレルで電鋳 物を研磨し、曲面161A、163Aを形成する。曲面1 61A、163Aの半径はバレル研磨の条件によって� �整することができる。バレル研磨の条件に� �っては、図15(c)に示すように、第1及び第3の� ��属層121、123の内周面と第2の金属層122に接し ていない面との交差部も研磨され、曲面161B� �163Bが形成される。曲率R11a、R13a、曲面161Bの� ��率R11b、曲面163Bの曲率R13bが同じ値である必� ��はない。

 図15(b)、(d)は、凹部形成工程を説明する� �である。第2の金属層122をエッチングし、第1 及び第3の金属層121、123をエッチングしない� �ッチング液中に電鋳物を浸漬する。第2の金� ��層122のみをエッチングし、深さW1の凹部150� �形成する。

 なお、図15(c)~(d)に示す工程は、以下の工� ��で行うことも可能である。

 図16(a)は、ウエットエッチング工程を説� �する図である。第1及び第3の金属層121と123を エッチングし、第2の金属層122をエッチング� �ないエッチング液中に電鋳物を浸漬する。� �1及び第3の金属層121と123のみがエッチングさ れ、曲面161A、161B、163A、163Bが形成される。� �例として、第1及び第3の金属層121、123にCr、� ��2の金属層にCuを堆積させた場合は、エッチ� ��グ液にフェリシアン化カリウム溶液を用い� ��とCrのみをエッチングできる。

 図16(b)は、凹部形成工程を説明する図で� �る。第2の金属層122をエッチングし、第1及び 第3の金属層121、123をエッチングしないエッ� �ング液中に電鋳物を浸漬する。第2の金属層1 22のみをエッチングし、深さW1の凹部150を形� �する。

 なお、ガンギ車100に曲面161B、163Bを有し� �いる場合、軸穴102に軸を打ち込むときの応� �を緩和することができ、破損を防ぐことが� �きる。

 また、図17に示す形状を用いても耐摩耗� �を向上させることができる。図17に示すガン ギ車100は、第1及び第3の金属層121、123の外周� ��と第2の金属層122に接している面との交差部 に曲面161C、163Cを有している。曲面161Cの曲率 R11cと曲面163Cの曲率R13cが同じ値である必要は ない。曲面161C、163Cは、凹部150から摺動面に� ��けて形成されているため、図17に示すよう� �凹部150から摺動部へ潤滑油410が供給されや� �くなる。そのため潤滑性が向上し、耐摩耗� �が向上する。

 図17に示す構造を有するガンギ車100の製� �方法を、図18~21を用いて以下に述べる。

 図18(a)は、犠牲層電鋳工程を説明する図� �ある。図8(c)の工程の後に第1の犠牲層141を、 電極材料602上の、フォトレジスト603K、603L以� ��の型部分に堆積させる。電鋳物は底面から� ��み成長する。犠牲層141はAu、Cr、Ni、Cu等で� �る。第1の犠牲層141の厚みは10nm~10μmとする。

 図18(b)は、金属層電鋳工程を説明する図� �ある。第1の犠牲層141の上に、第1の金属層121 を厚みT1になるように堆積させる。その上に� ��2の金属層122を厚みT2になるように堆積させ� ��。その上に第3の金属層123を、電鋳物がガン ギ車100の厚みT0以上になるよう、厚みT3以上� �積させる。

 図18(c)は、研削・研磨工程を説明する図� �ある。研削により、ガンギ車100が厚みT0にな るよう第3の金属層123及びフォトレジスト603K� ��603Lを削り、平面化を行う。さらに研磨を行 い、第3の金属層123の表面を鏡面に仕上げる� �

 図18(d)は、犠牲層電鋳工程を説明する図� �ある。第3の金属層123の上に、第2の金属層142 を堆積させる。第2の犠牲層142はAu、Cr、Ni、Cu 等である。第2の犠牲層142の厚みは10nm~10μmと� ��る。

 図18(e)は、基板・電極除去工程を説明す� �図である。基板601、電極602をエッチング等� �よって除去する。

 図18(f)は、レジスト除去工程を説明する� �である。エッチングあるいは物理的な力等� �よって、フォトレジスト603K、603Lを除去する 。

 図18(g)は、凹部形成工程を説明する図で� �る。第2の金属層122をエッチングし、第1及び 第3の金属層121、123及び、第1及び第2の犠牲層 141、142をエッチングしないエッチング液中に 電鋳物を浸漬する。第2の金属層122のみをエ� �チングし、深さW1の凹部150を形成する。一例 として、第1及び第3の金属層121、123にNi、第2� ��金属層122にCu、第1及び第2の犠牲層141、142に Crを堆積させた場合は、エッチング液に過硫� ��アンモニウム溶液を用いるとCuのみをエッ� �ングできる。

 図18(h)、(j)は、バレル研磨工程を説明す� �図である。バレルで電鋳物を研磨し、曲面16 1C、163Cを形成する。曲面161C、163Cの半径はバ� ��ル研磨の条件によって調整することができ� ��。図17に示すように第1及び第3の金属層121、 123の外周面と第2の金属層122に接していない� �との交差部に曲面を有していない形状の場� �、曲面161C、163Cの半径が第1及び第2の犠牲層1 41、142の厚み以下になるようにする。バレル� ��磨の条件によっては、図18(j)に示すように� �第1及び第3の金属層121、123の内周面と第2の� �属層122に接していない面との交差部が研磨� �れ、曲面161D、163Dが形成される。曲率R11c、R1 3c、曲面161Dの曲率R11d、曲面163Dの曲率R13dが同 じ値である必要はない。

 図18(i)、(k)は、犠牲層除去工程を説明す� �図である。第1及び第2の犠牲層141、142をエッ チングし、第1及び第3の金属層121、123及び第2 の金属層122をエッチングしないエッチング液 中に電鋳物を浸漬する。第1及び第2の犠牲層1 41、142のみをエッチングし、犠牲層を除去す� ��。一例として、第1及び第3の金属層121、123� �Ni、第2の金属層122にCu、第1及び第2の犠牲層1 41、142にCrを堆積させた場合は、エッチング� �にフェリシアン化カリウム溶液を用いるとCr のみをエッチングできる。

 なお、図18(b)~(d)に示す工程は、図19(a)~(b)� ��説明する工程で行うことも可能である。

 図19(a)は、金属層電鋳工程を説明する図� �ある。第1の犠牲層141の上に、第1の金属層121 を厚みT1になるように堆積させる。その上に� ��2の金属層122を厚みT2になるように堆積させ� ��。その上に第3の金属層123を厚みT3になるよ� ��に堆積させる。なお、第1の犠牲層と厚みT1� ��T2、T3の合計は、フォトレジスト603K、603Lの� ��みよりも小さい。

 図19(b)は、犠牲層電鋳工程を説明する図� �ある。第3の金属層123の上に、第2の金属層142 を堆積させる。

 なお、図18(g)~(j)に示す工程は、図20(a)~(b)� ��説明する工程で行うことも可能である。

 図20(a)は、ウエットエッチング工程を説� �する図である。第1及び第3の金属層121と123を エッチングし、第2の金属層122及び、第1及び� ��2の犠牲層141、142をエッチングしないエッチ ング液中に電鋳物を浸漬する。第1及び第3の� ��属層121と123のみがエッチングされ、曲面161C 、161D、163C、163Dが形成される。一例として、 第1及び第3の金属層121、123にNi、第2の金属層� ��Cr、第1及び第2の犠牲層141、142にCuを堆積さ� ��た場合は、エッチング液にニッケル選択エ� ��チング液-NC(日本化学産業株式会社製)を用� �るとNiのみをエッチングできる。

 図20(b)は、犠牲層除去工程を説明する図� �ある。第1及び第2の犠牲層141、142をエッチン グし、第1及び第3の金属層121、123及び第2の金 属層122をエッチングしないエッチング液中に 電鋳物を浸漬する。第1及び第2の犠牲層141、1 42のみをエッチングし、犠牲層を除去する。

 なお、図18(d)~(j)に示す工程は、図21(a)~(e)� ��説明する工程で行うことも可能である。

 図21(a)は、レジスト除去工程を説明する� �である。エッチングあるいは物理的な力等� �よって、フォトレジスト603K、603Lを除去する 。

 図21(b)は、凹部形成工程を説明する図で� �る。第2の金属層122をエッチングし、第1及び 第3の金属層121、123及び、第1及び第2の犠牲層 141、142をエッチングしないエッチング液中に 電鋳物を浸漬する。第2の金属層122のみをエ� �チングし、深さW1の凹部150を形成する。

 図21(c)は、ウエットエッチング工程を説� �する図である。第1及び第3の金属層121と123を エッチングし、第2の金属層122及び、第1及び� ��2の犠牲層141、142をエッチングしないエッチ ング液中に電鋳物を浸漬する。第1及び第3の� ��属層121と123のみがエッチングされ、曲面161C 、161D、163C、163Dが形成される。

 図21(d)は、電鋳物剥離工程を説明する図� �ある。基板601、電極602をエッチングあるい� �物理的な力等によって除去する。

 図21(e)は、犠牲層除去工程を説明する図� �ある。第1及び第2の犠牲層141、142をエッチン グし、第1及び第3の金属層121、123及び第2の金 属層122をエッチングしないエッチング液中に 電鋳物を浸漬する。第1及び第2の犠牲層141、1 42のみをエッチングし、犠牲層を除去する。

 また、図22に示す形状を用いると耐摩耗� �をさらに向上させることができる。図22に示 すガンギ車100は、曲面161A、161C、163A、163Cを� �している。曲率R11a、R11c、R13a、R13cが同じ値� ��ある必要はない。図14に示す形状を備えて� �るため、図22(b)に示すように、曲面161A、163A� ��形成することによってガンギ歯101とツメ石2 10が傾いて接する場合でも角が当たらず、潤� ��性が良いので、摩擦力が低くなり、耐摩耗� ��が向上する。また、曲面161A、161C、163A、163C を形成することによって摺動時のヘルツ接触 圧が低くなるので、耐摩耗性が向上する。

 また、図17に示す形状を備えているため� �図22に示すように凹部150から摺動面にかけて 曲面161C、163Cが形成されているので、凹部150� ��ら摺動部へ潤滑油410が供給されやすくなる� ��そのため潤滑性が向上し、耐摩耗性が向上� ��る。

 さらに、曲面161Aと161C、163Aと163Cがつなが っていて、ガンギ車100の外周面全体が曲面の 場合、ツメ石210と点接触で摺動するので潤滑 性が向上し、耐摩耗性が向上する。

 図22に示す構造を有するガンギ車100の製� �方法を、図23を用いて以下に述べる。

 図23(a)、(b)は、バレル研磨工程を説明す� �図である。図10(c)の工程の後にバレルで電鋳 物を研磨し、曲面161A、161C、163A、163Cを形成� �る。曲面161A、161C、163A、163Cの半径はバレル� ��磨の条件によって調整することができる。� ��レル研磨の条件によっては、図23(b)に示す� �うに、曲面161B、161D、163B、163Dが形成される� ��曲率R11a、R11b、R11c、R11d、R13a、R13b、R13c、R13 dが同じ値である必要はない。

 なお、図23(b)に示す工程は、以下の工程� �行うことも可能である。

 図24(a)は、ウエットエッチング工程を説� �する図である。第1及び第3の金属層121と123を エッチングし、第2の金属層122をエッチング� �ないエッチング液中に電鋳物を浸漬する。� �1及び第3の金属層121と123のみがエッチングさ れ、曲面161A、161B、161C、161D、163A、163B、163C� �163Dが形成される。

 なお、ガンギ車100に曲面161B、161D、163B、1 63Dを有している場合、軸穴102に軸を打ち込む ときの応力を緩和することができ、破損を防 ぐことができる。

 〔第二実施形態〕
 図25は、本発明の構造を有するガンギ車700� �部分拡大図である。ガンギ車700は、n個(nは4� ��上の整数)の層が厚み方向に積層された多層 構造を有し、例えば第一実施形態における第 1及び第3の金属層121、123と同一の材料で外形� ��大きい第1、3、…の金属層711、713、…と、� �えば第一実施形態における第2の金属層122と� ��一の材料で外形の小さい第2、4、…の金属� �712、714…とから成る。

 このような第二実施形態によれば、第一� ��施形態で得られた効果が、さらに向上する� ��以下に、nが奇数で、且つ最上層と最下層が 外形の大きい金属層の場合について説明する 。この場合、最上層と最下層がエッチングさ れない金属層となるので、凹部を形成するた めに外形を小さくすべき金属層をエッチング しても、ガンギ車700の厚みT0がばらつかない� ��いう利点がある。

 ここで、n=2m+1とする(mは2以上の整数)。摺 動部品700は、外形の大きい第1、3、…の金属� ��を(m+1)層、外形の小さい第2、4、…の金属層 をm層有し、これらの金属層が厚み方向に交� �に重なっている。

 ガンギ車700において、第2、4、…の金属� �712、714、…の外形は第1、3、…の金属層711、 713、…の外形よりも小さい。第2、4、…の金� ��層712、714、…の外周面は、ガンギ車700の外� ��面(第1、3、…の金属層711、713、…の外周面) から後退している。そのため、ガンギ車700は 、少なくとも摺動部の一部に、本実施形態で は、ガンギ車700の外周面の全周にわたって、 ガンギ車100の厚み方向には開放されないm個� �凹部750を厚み方向に分散して有する。この� �部750が、潤滑油保持の働きをする。

 図26は、m=3のときのガンギ車700のガンギ� �701とアンクル200のツメ石210との摺動過程の� �面図である。図26(a)、(d)に示すように、ガン ギ歯701とツメ石210が真直ぐな状態で接してい るとき、潤滑油410の供給場所が複数あるので 、第一実施形態よりも多く潤滑油410が摺動部 に供給され、また、満遍無く行き渡る。

 図26(b)、(e)、(c)、(f)に示すように、ガン� �歯701とツメ石210が傾いて接する場合は、複� �の凹部750が広く分布していると、ガンギ歯70 1とツメ石210の接点から最近接の凹部750まで� �距離D1が、図7(b)、(e)、(c)、(f)に示すガンギ� �101とツメ石210の接点から凹部150までの距離D1 と比べて近くなるので、潤滑油410を確実に供 給できる。

 また、図27に示すようにツメ石210に凹凸が� �る場合、図27(a)に示すように
凹部150が1個しかないと、潤滑油410がうまく� �給されない可能性がある。しかし、図27(b)に 示すように複数の凹部750を厚み方向に分布さ せると、確実に潤滑油410を供給することがで きる。

 また、図28に示すように、ガンギ車700の� �属層711、799の外周面と層712、716に接してい� �い面との交差部に曲面761A、769Aを有している 場合、図26(b)、(e)、(c)、(f)に示す場合よりも� ��摩耗性に優れている。曲面761Aの曲率R71aと� �面769Aの曲率R79aが同じ値である必要はない。 図26(b)、(e)、(c)、(f)に示すように、ガンギ歯7 01とツメ石210が傾いて接する場合、角が当た� ��て摩擦力が大きくなる可能性がある。一方� ��図28に示す形状を用いれば、図28(b)に示すよ うに、曲面761A、769Aを有しているため、ガン� ��歯701とツメ石210が傾いて接する場合でも角� ��当たらず、潤滑性が良いので、耐摩耗性が� ��上する。

 また、図29に示すように、ガンギ車700の� �属層711、799の外周面と層712、716に接してい� �面との交差部に曲面761C、769Cを有し、金属層 713、715の外周面と上下の金属層に接している 面との交差部に曲面763C、765Cを有している場� ��、図26、図27(b)に示す場合よりも耐摩耗性に 優れている。曲面761Cの曲率R71c、曲面763Cの曲 率R73c、曲面765Cの曲率R75c、曲面769Cの曲率R79c� ��同じ値である必要はない。凹部750から摺動� ��にかけて曲面であるため、図29に示すよう� �凹部750から摺動部へ潤滑油410が供給されや� �くなり、潤滑性が向上するので、耐摩耗性� �向上する。

 また、図30に示すように、曲面761A、761C、 763C、765C、769C769A、769Cを有している場合、さ� ��に耐摩耗性に優れている。曲率R71a、R71c、R7 3c、R75c、R79a、R79cが同じ値である必要はない� ��図30(b)に示すように、ガンギ歯701とツメ石21 0が傾いて接する場合でも角が当たらず、潤� �性が良いので、摩擦力が低くなり、耐摩耗� �が向上する。また、角がないので、摺動時� �ヘルツ接触圧が低くなり、耐摩耗性が向上� �る。また、凹部750から摺動面にかけて曲面� �あるため、図30に示すように凹部750から摺動 部へ潤滑油410が供給されやすくなり、潤滑性 が向上し、耐摩耗性が向上する。さらに、ガ ンギ車700の外周面全体が曲面の場合、ツメ石 210と点接触で摺動するので潤滑性が向上し、 耐摩耗性が向上する。

 また、ガンギ車700は、潤滑油保持のため� ��凹部750が複数あるので、潤滑油410の保持量� ��多い。そのため、メンテナンス期間を第一� ��施形態より長くできる。

 ガンギ車700における厚みT0は、第一実施� �態の厚みT0と同様である。金属層の厚みT1~T2m +1は、第一実施形態の厚みT1、T3と同様である 。ただし、厚みT1~T2m+1が同じ値である必要は� ��い。金属層の厚みT2~T2mは、第一実施形態の� ��みT2と同様である。ただし、厚みT2~T2mが同� �値である必要はない。凹部の深さW1は、第一 実施形態の深さW1と同様である。

 ガンギ車700の製造方法は、第一実施形態� ��同様である。ただし、図8(d)~図9(f)、図12、� �18(b)、図19(a)に示す電鋳工程は、n層目を積層 するまで行う。このとき、(n-1)層目までの厚� ��は、厚みT0よりも小さい。

 なお、上述した各実施形態では、摺動部� ��の一例としてガンギ車について説明したが� ��これに限定されることなく、機械式時計の� ��~四番車、角穴車、香箱車、こはぜ、丸穴車 などの時計用部品に本発明を適用してもよい 。

 また、本発明は時計用部品に限らず、内� ��鏡進退装置の歯車や、車両玩具の駆動装置� ��ギア等の摺動部品に適用してもよい。

 100、700 ガンギ車
 101、701 ガンギ歯
 102 軸穴
 121、711 第1の金属層(第1対向層)
 122、712 第2の金属層
 123、713 第3の金属層(第2対向層)
 150、750 凹部
 210 ツメ石
 410 潤滑油