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Title:
SOLDER MATERIAL FOR FASTENING AN OUTER ELECTRODE ON A PIEZOELECTRIC COMPONENT AND PIEZOELECTRIC COMPONENT COMPRISING A SOLDER MATERIAL
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/061335
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a solder material (6, 6a, 6b) for fastening an outer electrode (7, 71a, 71b, 72a, 72b) on a piezoelectric component (1). The solder material (6, 6a, 6b) contains tin as the main constituent and at least one addition of the group consisting of cobalt, tungsten, osmium, titanium, vanadium, iron and rare earth metals. The invention further relates to a piezoelectric component (1) comprising such a solder material (6, 6a, 6b), wherein the solder material (6, 6a, 6b) is applied by means of a base metallization (4).

Inventors:
RINNER FRANZ (AT)
WEIGLHOFER MARKUS (AT)
OTTLINGER MARION (AT)
GABL REINHARD (AT)
GALLER MARTIN (AT)
AUER CHRISTOPH (AT)
KUEGERL GEORG (AT)
Application Number:
PCT/EP2010/067942
Publication Date:
May 26, 2011
Filing Date:
November 22, 2010
Export Citation:
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Assignee:
EPCOS AG (DE)
RINNER FRANZ (AT)
WEIGLHOFER MARKUS (AT)
OTTLINGER MARION (AT)
GABL REINHARD (AT)
GALLER MARTIN (AT)
AUER CHRISTOPH (AT)
KUEGERL GEORG (AT)
International Classes:
B23K35/00; B23K35/26; H01L41/047; H01L41/29; H01L41/293
Foreign References:
US20080070059A12008-03-20
EP1048392A12000-11-02
EP1080823A22001-03-07
EP0844678A11998-05-27
EP0844678B12002-08-14
Attorney, Agent or Firm:
EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH (DE)
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Claims:
Patentansprüche

1. Lotmaterial zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement,

- enthaltend als Hauptbestandteil Zinn und wenigstens einen Zusatz aus der Menge Kobalt, Wolfram, Osmium, Titan,

Vanadium, Eisen und Metalle der Seltenen Erden.

2. Lotmaterial nach Anspruch 1,

- bei dem der Anteil des Zusatzes zwischen 0,03 Gew.-% und 0,17 Gew.-% beträgt.

3. Lotmaterial nach einem der Ansprüche 1 oder 2,

- enthaltend wenigstens einen weiteren Zusatz aus der Menge Silber, Kupfer, Nickel und Antimon.

4. Lotmaterial nach Anspruch 3,

- enthaltend einen Zusatz von Silber in einem Anteil zwischen 2,5 Gew.-% und 3,5 Gew.-%.

5. Lotmaterial nach einem der Ansprüche 3 oder 4,

- enthaltend einen Zusatz von Kupfer in einem Anteil zwischen 0,3 Gew.-% und 0,7 Gew.-%.

6. Lotmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 5,

- das bleifrei ist.

7. Piezoelektrisches Bauelement mit einem Lotmaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 6,

- mit einem Grundkörper (2) aus piezoelektrischen Schichten (3) und dazwischen angeordneten Elektrodenschichten und

- mit einer Grundmetallisierung (4), die auf eine Außenseite (21, 21a, 21b) des Grundkörpers (2) aufgebracht ist, - bei dem das Lotmaterial (6, 6a, 6b) über der

Grundmetallisierung (4) aufgebracht ist.

8. Piezoelektrisches Bauelement nach Anspruch 7,

- bei dem das Lotmaterial (6, 6a, 6b) direkt auf die

Grundmetallisierung (4) aufgebracht ist.

9. Piezoelektrisches Bauelement nach Anspruch 7,

- bei dem eine Beschichtung (5) zur Verbesserung der

Benetzung des Lotmaterials (6, 6a, 6b) auf die

Grundmetallisierung (4) aufgebracht ist und bei dem das Lotmaterial (6, 6a, 6b) auf die Beschichtung (5) aufgebracht ist .

10. Piezoelektrisches Bauelement nach einem der Ansprüche 7 bis 9,

- bei dem die Grundmetallisierung (4) aus einer eingebrannten Paste gebildet ist.

11. Piezoelektrisches Bauelement nach Anspruch 10,

- bei dem die eingebrannte Paste als Hauptbestandteil ein Metall aus der Menge Kupfer, Silber und Silber-Palladium aufweist .

12. Piezoelektrisches Bauelement nach einem der Ansprüche 7 bis 11

- mit einer Außenelektrode (7, 71a, 71b), die als Drahtgewebe (71a, 71b) ausgebildet ist.

Description:
Beschreibung

Lotmaterial zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement und piezoelektrisches Bauelement mit einem Lotmaterial

Es wird ein Lotmaterial zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement angegeben. Ein

derartiges Bauelement ist beispielsweise ein Piezoaktor, der zum Betätigen eines Einspritzventils in einem Kraftfahrzeug eingesetzt werden kann.

In der Druckschrift EP 0844678 Bl ist ein Piezoaktor

angegeben, bei dem eine Außenelektrode an eine Grund ¬ metallisierung angelötet ist.

Es ist eine zu lösende Aufgabe, ein Lotmaterial zur

Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement anzugeben, mit dem eine möglichst zuverlässige und dauerhafte Befestigung der Außenelektrode erreicht werden kann .

Es wird ein Lotmaterial zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement angegeben. Das

Lotmaterial enthält als Hauptbestandteil Zinn und wenigstens einen Zusatz aus der Menge Kobalt, Wolfram, Osmium, Titan, Vanadium, Eisen und Metalle der seltenen Erden.

Durch die Verwendung eines derartigen Zinn-Lotes kann eine zuverlässige Anbindung einer Außenelektrode bei einem

piezoelektrischen Bauelement erreicht werden. Dies ist in besonderem Maße bei einem piezoelektrischen Bauelement erforderlich, bei dem mechanische Spannungen zu einem Ablösen der Außenelektrode führen können.

Beispielweise eignet sich das Lotmaterial zur Befestigung einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor. Ein Piezoaktor weist einen Grundkörper auf, der sich im Betrieb beim Anlegen einer elektrischen Spannung ausdehnt. Dabei können an der Außenseite des Grundkörpers mechanische Spannungen und Risse entstehen. Die Befestigung einer Außenelektrode am Grundkörper muss diesen Belastungen standhalten, so dass eine elektrische Kontaktierung des Bauelements sichergestellt ist.

Beispielsweise ist der Piezoaktor in Vielschichtbauweise hergestellt. Der Grundkörper weist übereinander gestapelte piezoelektrische Schichten und dazwischen angeordnete

Elektrodenschichten auf. Die piezoelektrischen Schichten sind beispielsweise aus einem keramischen Material und die

Elektrodenschichten aus einer Kupferpaste, einer Silberpaste oder einer Silber-Palladium-Paste gebildet. Vorzugsweise werden die piezoelektrischen Schichten und die

Elektrodenschichten gemeinsam gesintert und bilden somit einen monolithischen Sinterkörper.

Vorzugsweise sind zur elektrischen Kontaktierung der

Elektrodenschichten Grundmetallisierungen auf die Außenseite des Grundkörpers aufgebracht. Beispielsweise sind

Grundmetallisierungen auf zwei gegenüberliegenden

Seitenflächen des Grundköpers vorgesehen. Vorzugsweise reichen die Elektrodenschichten abwechselnd bis zu einer der Grundmetallisierungen heran und sind in Bezug auf die

gegenüberliegende Grundmetallisierung in den Stapel

zurückversetzt. Auf diese Weise kann mittels der Grund- metallisierungen eine elektrische Spannung zwischen

benachbarte Elektrodenschichten angelegt werden.

Die Grundmetallisierungen sind beispielsweise aus

eingebrannten Pasten gebildet, die als Hauptbestandteil

Kupfer oder Silber-Palladium enthalten können. Zudem können die Pasten einen Glasflussanteil, beispielsweise in Form von Bleioxid oder Siliziumdioxid, enthalten, wodurch eine

besonders stabile Anbindung an einen gesinterten Grundkörper hergestellt werden kann.

In einer Ausführungsform ist das Lotmaterial derart

zusammengesetzt, dass es zuverlässig an einer Grundmetall ¬ isierung haftet und keine oder nur eine geringe Ablegierung der Grundmetallisierung hervorruft. In diesem Fall kann das Lotmaterial direkt auf die Grundmetallisierung aufgebracht werden. Durch die angegebenen Zusätze an geeigneten,

hochschmelzenden Metallen wie Kobalt, Wolfram, Osmium, Titan, Vanadium, Eisen und Metalle der seltenen Erden sollen

Diffusionsprozesse im Lotmaterial verlangsamt werden. Die Zusätze können als Kristallisationskeime beim Erstarren des Lotmaterials dienen und so zu einem feinkörnigen Gefüge führen. Auf diese Weise kann insbesondere die Diffusion des Zinns in Richtung der Grundmetallisierung und eine chemische Reaktion des Zinns mit dem Material der Grundmetallisierung vermieden werden.

In einer bevorzugten Ausführungsform enthält das Lotmaterial einen Zusatz von Kobalt. Es hat sich herausgestellt, dass durch eine Verwendung von Kobalt eine besonders zuverlässige Anbindung des Lotmaterials erreicht werden kann. Vorzugsweise beträgt der Anteil des Zusatzes zwischen 0,03 Gew.-% und 0,17 Gew.-%.

In einer Ausführungsform enthält das Lotmaterial wenigstens einen weiteren Zusatz aus der Menge Silber, Kupfer, Nickel und Antimon. Durch derartige Zusätze können der Schmelzpunkt des Lotmaterials, die Sprödigkeit und die Benetzungs- eigenschaften eingestellt werden.

Weiterhin weist das verwendete Lotmaterial eine hohe

Temperaturstabilität auf. Die Temperaturstabilität kann beispielsweise durch die Zusätze Silber und Kupfer

eingestellt werden.

Beispielsweise enthält das Lotmaterial einen Zusatz von

Silber in einem Anteil zwischen 2,5 Gew.-% und 3,5 Gew.-%. Zusätzlich oder alternativ dazu kann das Lotmaterial einen Zusatz von Kupfer in einem Anteil zwischen 0,3 Gew.-% und 0,7 Gew.-% enthalten.

Ein bevorzugtes Lotmaterial enthält als Hauptbestandteil Zinn, einen Zusatz von Silber in einem Anteil zwischen 2,5 Gew.-% und 3,5 Gew.-%, einen Zusatz von Kupfer in einem

Anteil zwischen 0,3 Gew.-% und 0,7 Gew.-% und einen Zusatz von Kobalt in einem Anteil zwischen 0,03 Gew.-% und 0,17 Gew.-%. Beispielsweise wird ein SnAg3Cu0 , 5Co0 , 1-Lotmaterial verwendet, bei dem der Sollwert von Silber bei 3,0 Gew.-%, der Sollwert von Kupfer bei 0,5 Gew.-%, der Sollwert von Kobalt bei 0,1 Gew.-% liegt und der Rest des Materials von Zinn gebildet wird.

Vorzugsweise ist das Lotmaterial bleifrei. Insbesondere sollte es der so genannten RoHS-Richtlinie der Europäischen Union zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten genügen.

Weiterhin wird ein piezoelektrisches Bauelement mit einem derartigen Lotmaterial angegeben. Das Bauelement weist einen Grundkörper aus piezoelektrischen Schichten und dazwischen angeordneten Elektrodenschichten auf. Auf wenigstens eine Außenseite des Grundkörpers ist eine Grundmetallisierung aufgebracht. Das Lotmaterial ist über der Grundmetallisierung aufgebracht .

Vorzugsweise ist mittels des Lotmaterials eine Außenelektrode am Grundkörper des Bauelements befestigt. Beispielsweise ist die Außenelektrode als Drahtgewebe ausgebildet. In einer weiteren Ausführungsform ist die Außenelektrode als

sogenannte Drahtharfe ausgebildet, bei der parallel

angeordnete Drähte am Grundkörper befestigt sind und zu einer Weiterkontaktierung führen, die vom Grundkörper beabstandet angeordnet ist.

In einer Ausführungsform ist das Lotmaterial direkt auf die Grundmetallisierung aufgebracht. Dies ermöglicht eine

besonders kostengünstige Herstellung des Baulements.

In einer alternativen Ausführungsform ist auf die

Grundmetallisierung eine Beschichtung aufgebracht, die vorzugsweise die Benetzung des Lotmaterials verbessert. Das Lotmaterial ist auf die Beschichtung aufgebracht. Auf diese Weise kann eine besonders zuverlässige Lotverbindung

hergestellt werden.

Eine derartige Beschichtung kann mittels eines

Sputterprozesses auf die Grundmetallisierung aufgebracht sein. Die Beschichtung enthält beispielsweise Metalle aus der Menge Silber, Nickel, Chrom oder Kupfer.

Zur Befestigung einer Außenelektrode am Grundkörper wird die Außenelektrode auf die Grundmetallisierung oder auf eine Beschichtung auf der Grundmetallisierung aufgelegt.

Beispielsweise ist die Außenelektrode mit dem Lotmaterial beschichtet. Nach dem Auflegen der Außenelektrode auf den Grundkörper wird das Lotmaterial erhitzt, sodass es erweicht und eine Stoffschlüssige Verbindung mit der Grundmetall ¬ isierung oder der Beschichtung eingeht. Vorzugsweise wird die Außenelektrode während des Lötprozesses an die Grund ¬ metallisierung angedrückt, um eine platzsparende und

zuverlässige Verlötung zu erreichen.

Im Folgenden werden das angegebene Bauelement und mögliche Verwendungen des Lotmaterials anhand von schematischen und nicht maßstabsgetreuen Figuren erläutert. Es zeigen:

Figur 1 einen Querschnitt eines piezoelektrischen

Bauelements mit einer Außenelektrode in Form eines Drahtgewebes ,

Figur 2 einen Querschnitt eines piezoelektrischen

Bauelements mit einer Außenelektrode in Form einer Drahtharfe,

Figur 3 im Querschnitt eine erste Ausführungsform einer

Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement, Figur 4 im Querschnitt eine zweite Ausführungsform einer Befestigung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement.

Figur 1 zeigt einen Querschnitt eines piezoelektrischen

Bauelements 1 in Form eines Piezoaktors. Das Bauelement 1 weist einen Grundkörper 2 aus übereinander gestapelten piezoelektrischen Schichten 3 und Elektrodenschichten (hier nicht zu sehen) auf. Die piezoelektrischen Schichten 3 und Elektrodenschichten sind entlang einer Stapelrichtung S übereinander gestapelt und gemeinsam gesintert. Der

Grundkörper 2 weist eine Längsachse auf, die der Stapel ¬ richtung S entspricht.

Für die Herstellung der piezoelektrischen Schichten 3 werden beispielsweise dünne Folien aus einem piezokeramischen

Material, wie Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) , verwendet. Zur Bildung der Elektrodenschichten kann in einem Siebdruckverfahren eine Metallpaste, z. B. eine Kupferpaste oder eine Silber-Palladium-Paste, auf die Folien aufgebracht werden. Die Folien werden anschließend gestapelt, verpresst und gemeinsam gesintert.

Die Elektrodenschichten reichen entlang der Stapelrichtung S abwechselnd bis zu einer Außenseite 21a, 21b des Grundkörpers 2 und sind von der anderen Außenseite 21b, 21a beabstandet. Auf diese Weise entstehen im Grundkörper 2 so genannte inaktive Zonen 31a, 31b, in denen sich in Stapelrichtung S benachbarte Elektrodenschichten unterschiedlicher Polarität nicht überlappen. In den inaktiven Zonen 31a, 31b findet beim Anlegen einer elektrischen Spannung nur eine geringe oder überhaupt keine Ausdehnung des Bauelements 1 statt. Auf gegenüber liegenden Außenseiten 21a, 21b des Grundkörpers 2 sind angrenzend an die inaktiven Zonen 31a, 31b

Außenelektroden in Form von Drahtgeweben 71a, 71b

aufgebracht. Die Drahtgewebe 71a, 71b sind jeweils mittels eines Lotmaterials 6a, 6b an einer Grundmetallisierung (hier nicht zu dargestellt) an der Außenseite 21a, 21b des

Grundkörpers 2 befestigt.

Die Drahtgewebe 71a, 71b umfassen eine Vielzahl von

miteinander verwebten Drähten 70, die in Winkeln von 45° zur Stapelrichtung S verlaufen. Die Drähte 70 weisen als

Grundmaterial Stahl auf und sind mit einer Kupfer- Beschichtung versehen. In der gezeigten Schnittansicht sind Kreuzungspunkte 73 zu sehen, an denen sich die Drähte 70 in einem Winkel von 90° überschneiden.

Im hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist das Drahtgewebe 71a, 71b vollflächig mit der Grundmetallisierung 4 verlötet. Dies bedeutet, dass sich auf allen Drahtabschnitten des

Drahtgewebes 71a, 71b zumindest bereichsweise Lotmaterial 6a, 6b befindet, welches die Anbindung an die Grundmetallisierung 4 herstellt. Insbesondere befindet sich das Lotmaterial 6a, 6b zumindest auf Teilbereichen der Drahtabschnitte, die der Grundmetallisierung 4 zugewandt sind.

Das Lotmaterial 9a, 9b enthält als Hauptbestandteil Zinn und einen Zusatz von Kobalt. Weiterhin enthält das Lotmaterial 9a, 9b neben dem Hauptbestandteil Zinn einen Zusatz von

Silber in einem Anteil zwischen 2,5 Gew.-% und 3,5 Gew.-%, einen Zusatz von Kupfer in einem Anteil von 0,3 Gew.-% und 0,7 Gew.-% und einen Zusatz von Kobalt im Anteil von 0,03 Gew.-% bis 0,17 Gew.-%. Durch derartige Zusätze lässt sich ein Ablegieren der

Grundmetallisierung durch das Lotmaterial 6a, 6b verringern. Insbesondere kann die Diffusion des Zinns zur Grundmetall ¬ isierung hin verlangsamt und so eine Reaktion des Zinns mit der Grundmetallisierung verhindert werden. Zudem lässt sich eine zuverlässige Haftung des Lotmaterials 6a, 6b an der Grundmetallisierung erreichen.

Figur 2 zeigt eine weitere Ausführungsform für eine

Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Bauelement 1 in Form eines Piezoaktors.

Der Grundkörper 2 weist übereinander gestapelte

piezoelektrische Schichten 3 und Elektrodenschichten (hier nicht zu sehen) auf. Die Elektrodenschichten sind abwechselnd bis zu einer Kante 22a, 22b des Grundkörpers 2 geführt und von der diagonal gegenüberliegenden Kante 22b, 22a

beabstandet, so dass sich die inaktiven Zonen 31a, 31b im Bereich der gegenüberliegenden Kanten 22a, 22b befinden. Zur elektrischen Kontaktierung der Innenelektroden sind auf zwei gegenüberliegenden Außenseiten 21a, 21b, angrenzend an die inaktiven Zonen 22a, 22b, Grundmetallisierungen (hier nicht zu sehen) aufgebracht. Die Grundmetallisierungen erstrecken sich in Form von schmalen Streifen entlang der Stapelrichtung S des Grundkörpers 2.

Über jeder Grundmetallisierung ist ein Lotmaterial 6a, 6b aufgebracht, mittels dem Außenelektroden in Form von

Drahtharfen 72a, 72b am Grundkörper 2 befestigt sind. Jede der Drahtharfen 72a, 72b weist eine Vielzahl von parallel verlaufenden Drähten 70a, 70b auf, die um eine Kante 22a, 22b des Grundkörpers 2 herumgeführt sind. An ihren freien Enden sind die Drahtharfen 72a, 72b mit Weiterkontaktierungen in Form von Kontaktpins 8a, 8b verbunden.

Das Lotmaterial 9a, 9b weist als Hauptbestandteil Zinn und wenigstens einen Zusatz aus der Menge Kobalt, Wolfram,

Osmium, Titan, Vanadium, Eisen und Metalle der seltenen Erden auf .

Figur 3 zeigt im Detail eine erste Ausführungsform für die Befestigung einer Außenelektrode 7 bei einem

piezoelektrischen Bauelement 1. Das Bauelement 1 ist ein Piezoaktor, wie er beispielsweise in den Figuren 1 oder 2 gezeigt ist.

Am Grundkörper 2 des Bauelements 1 ist eine Außenelektrode 7 befestigt, die eine Vielzahl von Drähten 70 aufweist. Die Außenelektrode 7 kann beispielsweise als Drahtgewebe 71a, 71b, wie in Figur 1 gezeigt, oder als Drahtharfe 72a, 72b, wie in Figur 2 gezeigt, ausgebildet sein.

Auf die Außenseite 21 des Grundkörpers 2 ist eine

Grundmetallisierung 4 aufgebracht. Die Grundmetallisierung 4 wird aus einer eingebrannten Kupferpaste gebildet, die einen Glasflussanteil enthält. Durch eine teilweise Eindiffusion des Glasflussanteils in die piezoelektrischen Schichten 3 und die Elektrodenschichten kann eine besonders feste Verbindung mit dem Grundkörper 2 erreicht werden. Die Grundmetall ¬ isierung 4 weist beispielsweise eine Dicke im Bereich von 20 bis 50 ym auf.

Die Drähte 70 der Außenelektrode 7 sind mittels des

Lotmaterials 6 an der Grundmetallisierung 4 befestigt. Das Lotmaterial 6 ist über der Grundmetallisierung 4 aufgetragen und grenzt unmittelbar an die Grundmetallisierung 4 an. Bei der Befestigung der Außenelektrode 7 am Grundkörper 2 werden die Drähte 70 an den Grundkörper 2 angedrückt. Auf diese Weise kann eine besonders zuverlässige Befestigung der Drähte 70 erreicht werden. Die Drähte 70 liegen dadurch zumindest teilweise direkt auf der Grundmetallisierung 4 auf und sind in seitlichen Bereichen von Lotmaterial 6 bedeckt. In einer Ausführungsform ist auf alle Drahtabschnitte der Drähte 70 Lotmaterial 6 wenigstens in einem der Grundmetallisierung 4 zugewandten Teilbereich aufgebracht, wodurch eine vollflächige Befestigung der Drähte 70 an der Grundmetallisierung hergestellt wird.

In einer weiteren Ausführungsform kann auf die Grundmetallisierung eine durchgängige Lotschicht aufgebracht sein. In diesem Fall stehen die Drähte in keinem direkten Kontakt mit der Grundmetallisierung.

In einer weiteren Ausführungsform heben die Drähte

bereichsweise von der Grundmetallisierung ab und es befindet sich ein nicht mit Lotmaterial gefüllter Zwischenraum

zwischen den Drähten und der Grundmetallisierung. Auf diese Weise kann die Dehnbarkeit der Außenelektrode erhöht werden.

Figur 4 zeigt eine weitere Ausführungsform für eine

Befestigung einer Außenelektrode 7 bei einem piezo ¬ elektrischen Bauelement 1.

Hier ist auf die Grundmetallisierung 4 eine durchgängige Beschichtung 5 aufgebracht. Die Außenelektrode 7 ist mittels des Lotmaterials 6 an der Beschichtung 5 befestigt. Die

Beschichtung 5 ist zum Beispiel eine Sputterschicht aus Silber, Nickel, Chrom oder Kupfer und weist eine Dicke im Bereich von 0,1 ym bis 1 ym, beispielsweise von 0,3 ym auf.

Die Beschichtung 5 weist eine besonders gute Lötbarkeit auf, so dass das Lotmaterial 6 sehr zuverlässig an der

Beschichtung 5 befestigt werden kann.

Bei der Befestigung der Außenelektrode 7 am Grundkörper 2 wird beispielsweise auf den Grundköper 2 eine

Grundmetallisierung 4, zum Beispiel eine Kupferpaste oder eine Silber-Palladium-Paste, aufgebracht und eingebrannt. Anschließend wird eine Beschichtung 5 mittels eines

Sputterprozesses auf die Grundmetallisierung 4 aufgebracht. Die Außenelektrode 7 wird auf die Beschichtung 5 aufgelegt und angelötet.

Bezugs zeichenliste

1 piezoelektrisches Bauelement

2 Grundkörper

21, 21a, 21b Außenseite

22a, 22b Kante

3 piezoelektrische Schicht 31a, 31b inaktive Zone

4 Grundmetallisierung

5 Beschichtung

6 Lotmaterial

70, 70a, 70b Draht

71, 71a, 71b Drahtgewebe

72, 72a, 72b Drahtharfe

73 Kreuzungspunkt

8a, 8b Kontaktpin

S Stapelrichtung