以下、本発明の実施の形態例を図面に基� ��いて詳細に説明する。

 <実施の形態例1>
 図1は本発明の実施の形態例1に係る工作機� �の斜視図、図2は前記工作機械の一部を破断� ��て示す側面図である。

 図1及び図2に示すように、大形の工作機� �21は、その主な構造体としてベッド22、テー� ��ル23、門形ブリッジ24、クロスレール25、サ� ��ル26、ラム27及び主軸28などを有している。

 ベッド22は床面30に固定されている。ベッ ド22の上面には、ベッド22の長手方向(X軸方向 )に水平に延びた一対のレール29A,29Bが設けら� ��ている。テーブル23は、これらのレール29A,2 9B上に摺動可能に取り付けられている。従っ� ��、テーブル23は図示しない送りねじ機構な� �の駆動手段により、レール29A,29Bに案内され� ��ベッド22の長手方向(X軸方向)に水平に移動� �ることができる。図示は省略するが、テー� �ル23上には工具37によって加工されるワーク� ��設置される。

 門形ブリッジ24は一対のコラム32A,32Bとト� ��プビーム33とを有してなる門形のものであ� �、テーブル23を跨ぐようして設置されている 。コラム32A,32Bはそれぞれ、ベッド22の左右両 側に水平に突設された一対のウイング31A,31B� �に立設されてテーブル23の左右両側に位置し ている。トップビーム33は、コラム32A,32Bの上 端部同士を連結している。

 コラム32A,32Bの前面(前面板32a)にはそれぞ� ��、上下方向(Z軸方向)に延びた一対のレール3 4A,34Bが設けられている。クロスレール25は、� ��ラム32A,32Bの前面板32a側に水平に配置され、 レール34A,34B上に摺動可能に取り付けられて� �る。従って、クロスレール25は図示しない送 りねじ機構などの駆動手段により、レール34A ,34Bに案内されて上下方向(Z軸方向)に移動す� �ことができる。

 クロスレール25の前面には、クロスレー� �25の長手方向(Y軸方向)に水平に延びた一対の レール35A,35Bが設けられている。サドル26はこ れらのレール35A,35B上に摺動可能に取り付け� �れている。従って、サドル26は図示しない送 りねじ機構などの駆動手段により、レール35A ,35Bに案内されてクロスレール25の長手方向(Y� ��方向)に水平に移動することができる。

 ラム27はサドル26に摺動可動に挿通され、 図示しない送りねじ機構などの駆動手段によ り、上下方向(Z軸方向)に移動することができ る。主軸28はラム27内に回転可能に設けられ� �上下方向(Z軸方向)に延びている。ラム27の上 端には主軸モータ36が取り付けられており、� ��の主軸モータ36によって主軸28を回転駆動す る。主軸28の先端にはフライス加工やドリル� ��工などの機械加工を行うための工具37が装� �される。

 従って、本工作機械21では工具37を、主軸 28とともに回転させるとともにラム27,クロス� ��ール25及びサドル26とともにZ軸方向やY軸方� ��へ移動させ、更にはテーブル23上のワーク� �、テーブル23とともにX軸方向に移動させる� �とにより、当該ワークに対してフライス加� �やドリル加工などの機械加工を行う。

 そして、本工作機械21では必要な剛性の� �囲で重量を最小限とするためにコラム32A,32B� ��前後の面板32a,32dの肉厚に差を有している。 このようなコラム32A,32Bでは、例えば図6に例� ��するような工作機械周囲の気温変化に対し� ��、厚肉の前面板32aの温度の変化速度(追従速 度)よりも、薄肉の後面板32dの温度の変化速� �(追従速度)のほうが速いため、これらの面板 32a,32dに温度差が生じる。このため、図2に一� ��鎖線で示すように(図2にはコラム32Aの傾斜� �態のみを示しているが、コラム32Bについて� �同様)、後面板32dのほうが前面板32aよりも大� ��く熱伸びして、コラム32A,32B(前面板32a)が前� ��に傾き、その結果、コラム32A,32B(前面板32a)� ��支持されている主軸28も前側に傾く(倒れる) 。

 そこで、本工作機械21には、このコラム32 A,32Bの熱変形(傾斜)による主軸28の倒れを検出 し且つ修正するために主軸倒れ検出装置41A,41 Bと、温度調節手段としてのペルチェ素子42A,4 2Bと、主軸倒れ修正制御装置50とが装備され� �いる。

 主軸倒れ検出装置41A,41Bは空洞であるコラ ム32A,32Bの内部にそれぞれ設けられている。� �ルチェ素子42A,42Bはシート状のものであり、� ��ラム32Aの後面板32dと、コラム32Bの後面板32d� ��にそれぞれ貼り付けられている。ペルチェ� ��子42A,42Bはペルチェ効果を利用した素子であ り、電流を流す方向を切り替えることによっ て発熱と吸熱の切り替えを行うことができ、 また、電流値を調整することによって発熱量 や吸熱量を調整することもできる。

 図2に示すように、コラム32Aに設けられた 主軸倒れ検出装置41Aは紐43と、錘45と、距離� �ンサとしての非接触式のギャップセンサ44と 、粘性流体ダンパとしてのオイルダンパ46と� ��備えている。紐43はコラム32A内の補強材32b� �上端が取り付けられ、且つ、下端に錘45が取 り付けられて鉛直に垂れ下がっている。紐43� ��適宜の材質や太さのものを選択できるが、� ��43の上端を取り付けた構造体(図示例ではコ� ��ム32Aの補強材32b)が傾いても、常に鉛直に垂 れ下がることができるような低剛性のものを 用いればよい。

 ギャップセンサ44は紐43に取り付けられて おり、コラム32Aの前面板32a(被計測部)までの� ��離Lを計測する。この場合、前記被計測部は 前面板32aの一部に限らず、例えば前面板32aに 取り付けた被計測板であってもよい。また、 ギャップセンサ44を前面板32aに取り付けて、� ��43(被計測部)までの距離を計測するようにし てもよい。このときにも、前記被計測部は紐 43の一部に限らず、例えば紐43に取り付けた� �計測板であってもよい。更には、紐43に取り 付けたギャップセンサ44で後面板32d(被計測部 )までの距離を計測するようにしてもよく、� �面板32dに取り付けたギャップセンサ44で紐43( 被計測部)までの距離を計測するようにして� �よい。この場合にも、前記被計測部は後面� �32dの一部や紐43の一部に限らず、例えば後面 板32dや紐43に取り付けた被計測板であっても� ��い。

 ギャップセンサ44としては渦電流式のギ� �ップセンサ、静電容量式のギャップセンサ� �レーザ光の反射を利用した光学式のギャッ� �センサなどを用いることができる。これら� �ギャップセンサは一般に温度ドリフトを十� �な精度でキャンセルする機能を備えている� �なお、渦電流式のギャップセンサを用いる� �合には、渦電流を生じさせるために前記被� �測部の材質を金属とする必要があり、光学� �のギャップセンサを用いる場合には、前記� �計測部の材質を光の反射率がよいものにす� �ことが望ましい。

 図示例ではコラム32A,32Bが熱変形によって 前側に傾くため、紐43に取り付けたギャップ� ��ンサ44で前面板32a(被計測部)までの距離を計 測する場合や、前面板32aに取り付けたギャッ プセンサ44で紐43(被計測部)までの距離を計測 する場合には、コラム32A,32Bの熱変形(傾斜)に 応じてギャップセンサ44の計測距離が減少す� ��ことになる。逆に、紐43に取り付けたギャ� �プセンサ44で後面板32d(被計測部)までの距離� ��計測する場合や、後面板32dに取り付けたギ� ��ップセンサ44で紐43(被計測部)までの距離を� ��測する場合には、コラム32A,32Bの熱変形(傾� �)に応じてギャップセンサ44の計測距離が増� �することになる。

 オイルダンパ46はコラム32Aの下面板32c上� �設置されており、容器47内に粘性流体として のオイル48を収容した構成となっている。そ� ��て、この容器47内のオイル48の中に錘45が入� ��られている。このため、外乱振動などによ� ��て錘45が紐43とともに揺れても、この錘45及� ��紐43の揺れはオイルダンパ46のオイル48によ� ��て短時間に減衰される。

 具体的な説明は省略するが、コラム32Bに� ��けられた主軸倒れ検出装置41Bの構成も、こ� ��コラム32Aに設けられた主軸倒れ検出装置41A� ��構成と同様である。

 主軸倒れ検出装置41A,41Bの各ギャップセン サ44の距離計測信号は、主軸倒れ修正制御装� ��50に入力される。主軸倒れ修正制御装置50で は、各ギャップセンサ44の計測距離に基づき� ��各ペルチェ素子42A,42Bを制御して各コラム32A ,32Bの熱変形(傾斜)を修正することにより、各 コラム32A,32Bの熱変形(傾斜)による主軸28の倒� ��(傾斜)を修正する。

 詳述すると、主軸倒れ修正制御装置50は� �1計測データ処理部51と、第2計測データ処理� ��52と、電源部53とを有してしている。なお、 図2では主軸倒れ修正制御装置50と主軸倒れ検 出装置41Aの関係のみを図示しているが、主軸 倒れ修正制御装置50と主軸倒れ検出装置41Bの� ��係も、図示は省略するが、主軸倒れ検出装� ��41Aの場合と同様である。

 各主軸倒れ検出装置41A,41Bの各紐43(錘45)は サドル26やクロスレール25などの移動によっ� �大きく揺れることがあり、その結果、各ギ� �ップセンサ44の出力信号(計測距離)が、コラ� ��32A,32Bの熱変形(傾斜)とは無関係に大きく変� ��する。しかし、コラム32A,32Bの熱変形(傾斜)� ��必ず時間のオーダで生じ、これによる前記� ��測距離の変化も時間のオーダで生じるのに� ��して、サドル26やクロスレール25などの移動 による前記計測距離の大きな変化は一時的な ものである。

 そこで、第1計測データ処理部51では、各� ��ャップセンサ44による計測距離が、予め設� �した計測範囲内か否かを判定し、その結果� �前記計測距離が前記計測範囲を超えた(レン� ��オーバした)と判定したときには当該計測距 離を、次の第2計測データ処理部52へ出力せず 、前記計測距離が前記計測範囲内であると判 定したときにだけ当該計測距離を、次の第2� �測データ処理部52へ出力する。即ち、計測範 囲を超える一時的な計測距離の変化(レンジ� �ーバ)は無視する。なお、前記計測範囲の具� ��的な値は、コラム32A,32Bの熱変形(傾斜)によ� ��前記計測距離の変化を考慮して当該変化の� ��囲よりも広い範囲とすればよく、試験など� ��って適宜設定すればよい。

 また、外乱振動による工作機械21の振動� �どによっても、主軸倒れ検出装置41A,41Bの紐4 3(錘45)が揺れることがあり、その結果、ギャ� ��プセンサ44の出力信号(計測距離)が変動する ことがある。しかし、この変動はほぼ正確な 正弦波状である。

 そこで、第2計測データ処理部52では、第1 計測データ処理部52から出力される各ギャッ� ��センサ44の計測距離の平均値を求める。こ� �場合、何時間分の計測データ(ギャップセン� ��44の計測距離)の平均値を求めるかは、前記� ��動の周期などを考慮して設定すればよく、� ��験など行うことによって適宜設定すればよ� ��。

 なお、図示例の主軸倒れ修正制御装置50� �は、第1計測データ処理部51における一時的� �レンジオーバを無視する計測データ処理と� �第2計測データ処理部52における計測距離の� �均値を求める計測データ処理の両方を行っ� �いるが、これに限定するものでなく、何れ� �一方の計測データ処理だけを行うようにし� �もよい。

 電源部53では、第2計測データ処理部52か� �出力される各ギャップセンサ44の計測距離の 平均値に基づいて、各ペルチェ素子42A,42Bに� �定の方向の電流を流す。なお、電源部53では 、第1計測データ処理部51の計測データ処理の みを行う場合には各ギャップセンサ44の計測� ��離が前記計測範囲内のときに当該計測距離� ��基づいて、各ペルチェ素子42A,42Bに所定の方 向の電流を流し、第1計測データ処理部51及び 第2計測データ処理部52の何れの計測データ処 理も行わない場合には直接、各ギャップセン サ44による計測距離に基づいて、各ペルチェ� ��子42A,42Bに所定の方向の電流を流す。

 図示例では各ペルチェ素子42A,42Bが各コラ ム32A,32Bの後面板32dに貼り付け貼られており� �各コラム32A,32Bが熱変形で前側に倒れるため� ��電源部53から各ペルチェ素子42A,42Bへ流す電� ��の方向は、各ペルチェ素子42A,42Bが吸熱を行 う方向である。各ペルチェ素子42A,42Bの吸熱� �よって各後面板32dが冷却されると、各後面� �32dの温度が例えば0.5℃程度低下することに� �り、各コラム32A,32Bの熱変形(傾斜)が修正さ� �て、主軸28の倒れが修正される。勿論、各ペ ルチェ素子42A,42Bを前面板32aに貼り付けた場� �には、電源部53から各ペルチェ素子42A,42Bへ� �す電流の方向は各ペルチェ素子42A,42Bが発熱� ��る方向である。この場合、各ペルチェ素子4 2A,42Bの発熱によって各前面板32aが加熱される と、各前面板32aの温度が例えば0.5℃程度上昇 することにより、各コラム32A,32Bの熱変形(傾� ��)が修正されて、主軸28の倒れが修正される� ��

 なお、この場合、例えば、各ギャップセ� ��サ44の計測距離の平均値(第1及び第2計測デ� �タ処理部51,52の計測データ処理を行う場合又 は第2計測データ処理部52の計測データ処理の みを行う場合)、各ギャップセンサ44の前記計 測範囲内の計測距離(第1計測データ処理部51� �計測データ処理のみを行う場合)、或いは、� ��ギャップセンサ44の計測距離(第1及び第2計� �データ処理部51,52の何れの計測データ処理も 行わない場合)が、設定値に達したときに一� �値の電流を各ペルチェ素子42A,42Bに流すよう� ��してもよく、各ギャップセンサ44の計測距� �の平均値の変化量、各ギャップセンサ44の前 記計測範囲内の計測距離の変化量、或いは、 各ギャップセンサ44の計測距離の変化量に応� ��て、各ペルチェ素子42A,42Bに流す電流値を調 整する(即ち前記変化量が大きくなれば前記� �流値を大きくし、前記変化量が小さくなれ� �前記電流値を小さくする)ようにしてもよい� ��

 以上のように、本実施の形態例1の各主軸 倒れ検出装置41A,41Bによれば、各コラム32A,32B( 補強材32b)に上端が取り付けられ、且つ、下� �に錘45が取り付けられて鉛直に垂れ下がった 紐43と、紐43に取り付けられて各コラム32A,32B� ��前面板32a(被計測部)又は後面板32d(被計測部) までの距離を計測する、又は、各コラム32A,32 B(前面板32a又は後面板32d)に取り付けられて紐 43の被計測部までの距離を計測するギャップ� ��ンサ44とを備えたことを特徴とするため、� �コラム32A,32Bが前後の面板32a,32dの温度差によ る熱変形により傾斜して主軸28の倒れ(傾斜)� �生じた場合、この熱変形(傾斜)した各コラム 32A,32B(前面板32a,後面板32d)と、鉛直に垂れ下� �った各紐43との相対位置関係が変化する、即 ち、各紐43に取り付けられた各ギャップセン� ��44から各コラム32A,32Bの被計測部(前面板32a又 は後面板32d)までの距離、又は、各コラム32A,3 2B(前面板32a又は後面板32d)に取り付けられ各� �ャップセンサ44から紐43の被計測部までの距� ��が変化する。そして、これらの距離の変化� ��各ギャップセンサによって計測される。即� ��、各ギャップセンサ44の計測距離が変化す� �。かくして、これらの各ギャップセンサ44の 計測距離の変化から、各コラム32A,32Bに熱変� �(傾斜)が生じたこと、即ち、主軸28の倒れ(傾 斜)が生じたことを検出することができる。� �って、簡易な構成により低コストで確実に� �軸倒れを検出することができる。

 また、本実施の形態例1の各主軸倒れ検出 装置41A,41Bによれば、距離センサとして非接� �式のギャップセンサ44を用いることを特徴と するため、接触式の距離センサを用いる場合 に比べて、距離計測の際に距離センサが誤っ て紐を揺らすことがないため、より正確に距 離計測を行うことができる。また、温度ドリ フトをキャンセルする機能を備えたギャップ センサ44を各主軸倒れ検出装置41A,41Bに用いる ことにより、自己発熱や気温変化による温度 ドリフトの問題も解決することができる。

 また、本実施の形態例1の各主軸倒れ検出 装置41A,41Bによれば、容器47内にオイル48を収� ��してなるオイルダンパ46を備え、このオイ� �ダンパ46のオイル48中に錘45を入れたことを� �徴とするため、外乱振動やクロスレール25の 移動などによって紐43及び錘45が揺れにくく� �また、紐43及び錘45が揺れても、この揺れを� ��イル48によって速やかに減衰させることが� �きる。従って、ギャップセンサ44による距離 計測を、より精度よく行うことができる。

 また、本実施の形態例1の各主軸倒れ検出 装置41A,41Bによれば、各主軸倒れ検出装置41A,4 1Bを構成する部材(紐43と錘45とギャップセン� �44とオイルダンパ46)を各コラム32A,32Bの内部� �設けたことを特徴とするため、保護カバー� �どを設けることなく、これらの部材が作業� �や工作機械21周辺の構造物などと干渉するの を容易に防止して、確実に主軸倒れを検出す ることができる。

 また、本実施の形態例1の工作機械21によ� ��ば、各主軸倒れ検出装置41A,41Bを備えたこと を特徴とするため、上記のような効果が得ら れる優れた工作機械を実現することができる 。

 また、本実施の形態例1の工作機械21によ� ��ば、各コラム32A,32Bの温度調節を行う各ペル チェ素子42A,42Bと、各ギャップセンサ44の計測 距離の平均値に基づき、各ペルチェ素子42A,42 Bを制御して各コラム32A,32Bの熱変形を修正す� ��ことにより、各コラム32A,32Bの熱変形による 主軸28の倒れを修正する主軸倒れ修正制御装� ��50とを備えたことを特徴とするため、各コ� �ム32A,32Bが前後の面板32a,32dの温度差による熱 変形により傾斜して主軸28の倒れ(傾斜)が生� �ても、このときの各ギャップセンサ44の計測 距離の平均値に基づいて主軸倒れ修正制御装 置50により、各ペルチェ素子42A,42Bを制御して 各コラム32A,32Bの熱変形を修正することによ� �、主軸倒れを修正することができる。

 しかも、各ギャップセンサ44の計測距離� �所定の計測範囲内か否かを判定し、前記計� �距離が前記計測範囲内のときにだけ当該計� �距離を制御に用いることにより、クロスレ� �ル25などの移動や外乱振動などにより紐43及� ��錘45が大きく揺れて各ギャップセンサ44の計 測距離が大きく変化しても、前記計測範囲を 超えた(レンジオーバした)計測距離は無視さ� ��るため、より正確に各コラム32A,32Bの熱変形 を修正して、主軸倒れを修正することができ る。

 また、各ギャップセンサ44の計測距離の� �均値を求めて、この平均値を制御に用いる� �とにより、外乱振動などにより紐43及び錘45� ��揺れて各ギャップセンサ44の出力が変動し� �も、この変動が各ギャップセンサ44の計測距 離の平均値を求めることによってキャンセル されるため、より正確に各コラム32A,32Bの熱� �形を修正して、主軸倒れを修正することが� �きる。

 更には、温度調節手段としてペルチェ素� ��42A,42Bの用い、これらのペルチェ素子42A,42B� �各コラム32A,32Bの温度差が生じる部分(前面板 32a又は後面板32d)に貼り付けたことを特徴と� �るため、各ペルチェ素子42A,42Bによって各コ� ��ム32A,32Bの温度調節を容易且つ高精度に行う ことができる。このため、より容易且つ高精 度に各コラム32A,32Bの熱変形を修正して主軸� �れを修正することができる。また、各ペル� �ェ素子42A,42Bはシート状のものを各コラム32A, 32Bに貼り付けるだけでよいため、設置作業が 非常に容易である。各ペルチェ素子42A,42Bに� �り、例えば前面板32a又は後面板32dを例えば± 0.1℃の精度で加熱冷却できるため、各コラム 32A,32Bの熱変形(傾斜)を例えば±100μm/mの範囲� �±2μm/mの精度で修正することができる。

 <実施の形態例2>
 図3は本発明の実施の形態例2に係る工作機� �の一部を破断して示す側面図である。なお� �図3に示す本実施の形態例2の工作機械の全体 的な構成については図1及び図2に示す実施の� ��態例1の工作機械と同様であり、図3におい� �図1,図2と同様の部分には同一の符号を付し� �いる。

 図3に示すように、本実施の形態例2の工� �機械21では2つのペルチェ素子42A-1,42A-2が、一 方のコラム32Aの前面板32aと後面板32dにそれぞ れ貼り付けられている。図示は省略するが、 もう一方のコラム32Bの前面板32aと後面板32d(� �1参照)にも、2つのペルチェ素子42B-1,42B-2がそ れぞれ貼り付けられている。

 主軸倒れ修正制御装置50の電源部53では、 第2計測データ処理部52から出力される各ギャ ップセンサ44の計測距離の平均値に基づいて� ��各ペルチェ素子42A-1,42A-2,42B-1,42B-2に所定の� �向の電流を流す。なお、第1計測データ処理� ��51の計測データ処理のみを行う場合には、� �源部53では各ギャップセンサ44の計測距離が� ��記計測範囲内のときに当該計測距離に基づ� ��て、各ペルチェ素子42A-1,42A-2,42B-1,42B-2のそ� �ぞれに所定の方向の電流を流す。また、第1� ��測データ処理部51及び第2計測データ処理部5 2の何れの計測データ処理も行わない場合に� �、電源部53では直接、各ギャップセンサ44に� ��る計測距離に基づいて、各ペルチェ素子42A- 1,42A-2,42B-1,42B-2に所定の方向の電流を流す。

 図示例では各コラム32A,32Bは熱変形で前側 に倒れるため、各前面板32aに貼り付けられた 各ペルチェ素子42A-1,42B-1へは、各ペルチェ素� ��42A-1,42B-1が発熱する方向の電流を流し、各� �面板32dに貼り付けられた各ペルチェ素子42A-2 ,42B-2へは、各ペルチェ素子42A-2,42B-2が吸熱を� ��う方向の電流を流す。各ペルチェ素子42A-1,4 2B-1の発熱によって各前面板32aが加熱される� �、各前面板32aの温度が上昇し、同時に各ペ� �チェ素子42A-2,42B-2の吸熱によって各後面板32d が冷却されると、各後面板32dの温度が下降し て、各コラム32A,32Bの熱変形(傾斜)が修正され 、その結果、主軸28の倒れが修正される。

 なお、この場合にも、上記実施の形態例1 と同様に例えば各ギャップセンサ44の計測距� ��の平均値(第1及び第2計測データ処理部51,52� �計測データ処理を行う場合又は第2計測デー� ��処理部52のみの計測データ処理を行う場合)� ��各ギャップセンサ44の計測範囲内の計測距� �(第1計測データ処理部51のみの計測データ処� ��を行う場合)、或いは、各ギャップセンサ44� ��計測距離(第1及び第2計測データ処理部51,52� �何れの計測データ処理も行わない場合)が、� ��定値に達したときに一定値の電流を各ペル� ��ェ素子42A-1,42A-2,42B-1,42B-2に流すようにして� �よく、前記各ギャップセンサ44の計測距離の 平均値の変化量、各ギャップセンサ44の計測� ��囲の計測距離の変化量、或いは、各ギャッ� ��センサ44の計測距離の変化量に応じて、各� �ルチェ素子42A-1,42A-2,42B-1,42B-2に流す電流値を 調整する(前記変化量が大きくなれば前記電� �値を大きくし、前記変化量が小さくなれば� �記電流値を小さくする)ようにしてもよい。

 なお、本実施の形態例2の工作機械21のそ� ��他の構成については上記実施の形態例1の工 作機械21(図1,図2参照)と同様であるため、こ� �での詳細な説明は省略する。

 以上のように、本実施の形態例2の工作機 械によれば、各ペルチェ素子42A-1,42A-2,42B-1,42B -2を各コラム32A,32Bの温度差が生じる前後の面 板32a,32dのそれぞれに貼り付け、主軸倒れ修� �制御装置50は、温度差が生じる部分のうちの 低温部分である前面板31aに貼り付けられたペ ルチェ素子42A-1,42B-1に対しては当該前面板32a� ��加熱し、温度差が生じる部分のうちの高温� ��分である後面板32dに貼り付けられたペルチ� ��素子42A-2,42B-2に対しては当該後面板32dを冷� �するように制御することを特徴とするため� �ペルチェ素子によって低温部分(前面板32a)を 加熱するだけ、又は、高温部分(後面板32d)を� ��却するだけの場合に比べて、容易に各コラ� ��32A,32Bの熱変形を修正して主軸倒れを修正す ることができ、しかも、各コラム32A,32Bの熱� �変化が少なくて各コラム32A,32Bの熱伸縮が少� ��い。このため、各コラム32A,32Bの熱伸縮につ いては考慮する必要がなく、主軸倒れの修正 だけを行えばよい。

 なお、上記では本発明の主軸倒れ検出装� ��を門形の大形工作機械に適用した場合につ� ��て説明したが、これに限定するものではな� ��、本発明の主軸倒れ検出装置は小形の工作� ��械、コラムが1体の工作機械、コラムも移動 する工作機械など、各種の工作機械に適用す ることができる。

 また、上記では主軸倒れ検出装置をコラ� ��に設けた場合について説明したが、これに� ��定するものではく、主軸を支持するサドル� ��クロスレールなどの各種の構造体に適用す� ��ことができる。例えば、クロスレールに主� ��倒れ検出装置を設けた場合にはクロスレー� ��の熱変形(傾斜)による主軸倒れだけでなく� �コラムの熱変形(傾斜)による影響で主軸とと もにクロスレールも傾斜することから、コラ ムの熱変形(傾斜)による主軸倒れも検出する� ��とができ、また、サドルに主軸倒れ検出装� ��を設けた場合にはサドルの熱変形による主� ��倒れだけでなく、コラムの熱変形(傾斜)や� �ロスレールの熱変形(傾斜)による影響で主軸 とともにサドルも傾斜することから、コラム の熱変形(傾斜)やクロスレールの熱変形(傾斜 )による主軸倒れも検出することができる。� �ち、主軸倒れ検出装置は熱変形(傾斜)によっ て主軸倒れを引き起こす構造体に直接設ける 場合に限らず、この構造体の熱変形(傾斜)に� ��る影響を受けて主軸とともに傾斜する他の� ��造体に設けてもよい。

 また、上記では前後の面板の肉厚が異な� ��場合の主軸倒れの検出について説明したが� ��勿論、これに限定するものではく、本発明� ��主軸倒れ検出装置は上下の面板の肉厚が異� ��る場合や左右の面板の肉厚が異なる場合の� ��軸倒れの検出にも適用することができる。� ��に、本発明の主軸倒れ検出装置はクロスレ� ��ルなどの捩れによる主軸倒れの検出にも適� ��することができる。この場合、クロスレー� ��などの矩形状の面板における一方の対角線� ��向の部分と、これと交差する他方の対角線� ��向の部分の何れか一方又は両方にペルチェ� ��子を貼り付ければよい。即ち、ペルチェ素� ��は、温度差による熱変形によって主軸倒れ� ��き起こす構造体において前記温度差が生じ� ��部分の少なくとも1箇所或いは前箇所に貼り 付ければよい。

 また、温度調節手段としてはペルチェ素� ��が望ましいが、必ずしもこれに限定するも� ��ではなく、例えば温調流体(温水、冷水等)� �よって構造体の温度調節をするようなもの� �もよい。